KR950015692A - 반도체 웨이퍼 결함 검사시의 원점 통일 패턴 - Google Patents

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KR950015692A
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허익범
이철승
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Abstract

본 발명에서는 종래의 다이 고정점 패턴에 바둑판 모양의 패턴을 새롭게 추가하여 각각의 결함 검사 장비에 맞게 상기 두 개의 패턴 중 하나를 선택할 수 이게 함으로써, 각각의 장비들이 서로 동일한 기준점을 갖게 하여 결함 검사 결과를 서로 효과적으로 비교할 수 있도록 하는 원점 통일 패턴에 관한 것이다.

Description

반도체 웨이퍼 결함 검사시의 원점 통일 패턴
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 원점 통일 패턴을 도시한 평면도.

Claims (2)

  1. 반도체 소자의 결함 검사시의 기준점을 통일하기 위한 패턴에 있어서, 반도체 칩의 스크라이브(scribe) 영역의 네 모서리의 일정 부분에 형성되며 빛이 통과하는 영역과 빛이 통과하지 않는 영역의 두 부분으로 구분이 된 다이 고정점(die fit target) 패턴과, 스크라이브 영역 내에서 각 고정점 패턴의 주위에 형성되며 정사각형의 빛이 통과하는 영역과 빛이 통과하지 않는 영역이 바둑판 모양으로 나열된 바둑판 모양의 패턴으로 이루어지는 원점 통일 패턴.
  2. 제1항에 있어서, 패턴 이미지 비교 방식용 장비에서는 상기 다이 고정점 패턴을 이용하여 기준점을 설정하고, 빛 산란 방식용 장비에서는 상기 바둑판 모양의 패턴을 이용하여 기준점을 설정하도록 하는 원점 통일 패턴.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100624469B1 (ko) * 2004-11-19 2006-09-15 삼성전자주식회사 비대칭 패턴을 갖는 체크보드 및 이를 이용한영상획득장치의 캘리브레이션 방법 및 장치

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