KR950030229A - 웨이퍼 패턴의 얼라인 방법 - Google Patents

웨이퍼 패턴의 얼라인 방법 Download PDF

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KR950030229A
KR950030229A KR1019940008282A KR19940008282A KR950030229A KR 950030229 A KR950030229 A KR 950030229A KR 1019940008282 A KR1019940008282 A KR 1019940008282A KR 19940008282 A KR19940008282 A KR 19940008282A KR 950030229 A KR950030229 A KR 950030229A
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KR
South Korea
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wafer
die
wafer pattern
alignment
alignment method
Prior art date
Application number
KR1019940008282A
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English (en)
Inventor
최동순
김천수
Original Assignee
김주용
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 패턴의 얼라인(Align) 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 제조공정중 웨이퍼 패턴 검사시스템(Wafer Pattern Inspection System)에 웨이퍼를 로딩(Loading)하여 검사공정을 실시하기 전에 얼라인먼트 향상을 위하여, 웨이퍼에 형성된 다수의 다이중에 기준 다이와 얼라인 다이를 인식시켜 이를 좌표값으로 하여 웨이퍼 패턴의 얼라인을 하므로써, 얼라인 실패(Fail)을 줄일 수 있는 웨이퍼 패턴의 얼라인 방법에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 패턴의 얼라인 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 패턴의 얼라인 방법을 설명하기 위해 도시한 도면.

Claims (1)

  1. 웨이퍼 패턴 검사 시스템에서 검사공정을 실시하기전에 웨이퍼를 얼라인하는 방법에 있어서, 웨이퍼(1)에 형성된 다수의 다이(2)중 기준 다이(2A)를 선정하고, 상기 기준다이(2A)로부터 소정 위치에 존재하는 다이를 선정하여 얼라인 다이(2B)로 하고, 상기 기준다이(2A)와 얼라인 다이(2B)를 좌표값으로 기억시켜 이를 얼라인 포인트로 하여 얼라인 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패턴의 얼라인 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
KR1019940008282A 1994-04-20 1994-04-20 웨이퍼 패턴의 얼라인 방법 KR950030229A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100292936B1 (ko) * 1997-10-29 2001-11-26 이시다 아키라 웨이퍼의 측정정보 작성방법 및 측정위치 결정방법
KR100519789B1 (ko) * 2003-03-20 2005-10-10 삼성전자주식회사 반도체 기판의 얼라인 방법

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KR100292936B1 (ko) * 1997-10-29 2001-11-26 이시다 아키라 웨이퍼의 측정정보 작성방법 및 측정위치 결정방법
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