KR940010254A - 2중 포지션 방식을 이용한 웨이퍼 프로우빙 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼로드시 타겟을 찾고, 제1 다이를 지정하고 오토얼라인 및 오토프로우브를 수행하는 프로우빙 방법에서, 타겟을 찾은 다음 제2포지션을 지정하는 단계와, 제2포지션의 패턴다이를 찾는 단계를 추가로 수행하고, 이어 제1다이를 지정토록 한것으로, 이중포지션에 의해 얼라인시키므로 미스얼라인을 방지하여 작업불량을 해소케 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본발명의 웨이퍼 검사용 프로우버 시스템용 플로우챠트이다.
Claims (1)
- 웨이퍼로딩시 타겟(제1 포지션)을 찾는 단계(A1), 제1다이를 지정하는 단계(A2) 및 오토얼라인 및 오토프로우브를 수행하는 단계(A3)로 이루어지는 프로우빙 방법에서, 상기단계(A1)후 추가로 제2포지션을 지정하는단계(B1)와, 제2포지션의 패턴다이를 찾는 단계(B2)후 상기단계(A2)를 수행토록 함을 특징으로 하는 2중 포지션 방식을 이용한 웨이퍼프로우빙 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920018795A KR960002288B1 (ko) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | 2중 포지션 방식을 이용한 웨이퍼 프로우빙 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920018795A KR960002288B1 (ko) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | 2중 포지션 방식을 이용한 웨이퍼 프로우빙 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940010254A true KR940010254A (ko) | 1994-05-24 |
| KR960002288B1 KR960002288B1 (ko) | 1996-02-14 |
Family
ID=19341074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920018795A KR960002288B1 (ko) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | 2중 포지션 방식을 이용한 웨이퍼 프로우빙 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960002288B1 (ko) |
-
1992
- 1992-10-13 KR KR1019920018795A patent/KR960002288B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960002288B1 (ko) | 1996-02-14 |
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