KR980012167A - 반도체장치의 패턴 인식마트 형성방법 - Google Patents

Abstract

웨이퍼(Wafer)에 패턴 인식을 위한 특정모양을 각각의 웨이퍼에 관계없이 모든 웨이퍼에 동일하게 형성하여 계측공정을 신속하고 지속적으로 하도록 개선시킨 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법에 관한 것이다. 본 발명은, 패턴인식 기능을 수행하기 위한 반도체장치 패턴인식 마크의 형성방법에 있어서, 웨이퍼의 스크라이버 라인(Scribe Line) 상에 "ㄹ" 형상으로 패턴인식 마크를 모든 반도체장치에 동일하게 형성하여 패턴 인식 기능을 수행함을 특징으로 하여 이루어진다. . 따라서, 본 발명에 의하면 신속한 공정수행 및 지속적인 관리가 용이한 효과가 있다.

Description

반도체장치의 패턴 인식마트 형성방법

제1도는 종래의 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법을 나타내는 평면 구성도이다.

제2도는 본 발명에 따른 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법의 실시예를 나타내는 평면구성도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 16 : 칩 12, 18 : 스크라이버 라인

14, 20 : 패턴 인식마크

본 발명은 반도체장치의 패턴(Pattern) 인식마크(Mark) 형성방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼(Wafer)에 패턴 인식을 위한 특정모양을 각각의 웨이퍼에 관계없이 모든 웨이퍼의 동일하게 형성하여 계측공정을 신속하고 지속적으로 하도록 개선시킨 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법에 관한 것이다. 통상, 반도체장치의 제조공정에서는 웨이퍼 내에 존재하는 특정모양의 마크를 이용하는 패턴을 인식하고 공정을 수행한다. 제1도는 종래의 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법을 나타내는 것이다. 먼저, 웨이퍼에 반복적으로 존재하는 칩(Chip)(10)과 칩(10)사이의 스크라이버 라인 (Scribe Line)(12)에는 직사각형의 패턴 인식마크(14)가 일정거리를 두고 반복적으로 형성되어 있다. 여기서 패턴 인식을 하기 위하여 웨이퍼 내에 반복적으로 존재하는 패턴 인식마크(14) 모양을 선정하는 데에는 별다른 문제가 제기되지 않는다. 그러나 공정이 진행됨에 따라 패턴 인식마크(14)의 모양이 달라지고, 이런 이유로 계측공정 셋업(Set-Up)할 때 마다 패턴 인식마크(14)를 달리해주어야 한다. 따라서, 종래에는 셋업시 많은 시간이 걸리게 되어 신속한 공정수행이 진행되는 데에는 어려움이 많았고, 또한 계측공정의 지속적인 관리도 복잡하게 되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 신속하게 공정을 수행하고, 지속적인 관리가 이루어지도록 하기 위한 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법을 제공하는 데 있다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법에 있어서, 웨이퍼 스크라이버 라인(Scribe Line) 상에 "ㄹ" 형상으로 패턴 인식마크를 모든 반도체장치에 동일하게 형성하여 패턴 인식기능을 수행함을 특징으로 하여 이루어진다. 이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 제2도는 본 발명에 따른 반도체장치의 패턴 인식마크 형성방법의 실시예를 나타낸다. 먼저, 웨이퍼에 반복적으로 존재하는 칩(16)과 칩(16) 사이의 스크라이버 라인(18)에는 패턴 인식마크(20)가 일정거리를 두고 반복적으로 형성되어 있다. 본 발명은 패턴 인식마크(20)를 특정모양인 가로 90㎛ 내지 110㎛ , 세로 190㎛ 내지 210㎛ 의 "ㄹ"로 형성하고, 실시예는 가로 100㎛ , 세로 200㎛ 로 형성하여 웨이퍼에 형성되는 패턴 즉, 칩(16)의 내부에는 지장이 없도록 한다.

그리고 본 발명의 패턴 인식마크(20)는 모든 디바이스(Device)에 동일하게 적용하여 공정을 수행한다.그러면 셋업하고자 하는 모든 계측공정의 웨이퍼를 별도로 준비할 필요 없이 한 공정의 웨이퍼만 준비하면 된다. 즉, 신규 디바이스의 도입에 따라 수행되는 계측공정의 셋업은 일회 셋업만으로 모든 계측공정의 패턴 인식을 할 수 있는 것이다. 그리고 공정수행시 이상이 발견될 때 정상적으로 복구시키기도 쉬어진다. 따라서 본 발명에 의하면 신속한 공정수행 및 지속적인 관리가 용이한 효과가 있다. 이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연하다.

Claims (1)

1. 패턴인식 기능을 수행하기 위한 반도체장치 패턴인식 마크의 형성방법에 있어서, 웨이퍼의 스크라이버 라인(Scribe Line)상에 "ㄹ" 형상으로 패턴인식 마크를 모든 반도체장치에 동일하게 형성하여 패턴 인식 기능을 수행함을 특징으로 하는 반도체장치의 패턴인식 마크 형성방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임