KR960026867A - 반도체소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 제조방법에 관한 것으로서, 반도체기판에서 주변회로 영역으로 예정되어 있는 부분을 노출시키는 산화막 및 질화막 패턴을 형성하고, 상기 질화막 패턴을 마스크로 노출되어 있는 주변회로 영역상에 형성하고자 하는 소자의 두께와 대응되는 두께를 갖는 실리콘 성장막을 형성하고, 상기 질화막 및 산화막패턴을 제거한 후, 후속공정, 예를 들어 워드선과 비트선 및 캐패시터등의 예정된 각종 구조물들을 형성하였으므로, 메모리 셀 영역과 주변회로 영역간의 단차가 감소되어 금속배선 형성 공정에서의 촛점심도 여유도가 증가되고, 단차피복성이 향상되며, 반도체기판의 표면이 손상되지 않아 공정수율 및 소자동작의 신뢰성이 향상된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1A도 내지 제1D도는 본 발명에 따른 반도체소자의 제조공정도.
Claims (1)
- 반도체기판에서 주변회로 영역을 노출시키며 중첩되어 있는 산화막 및 질화막 패턴을 형성하는 공정과, 상기 질화막 패턴을 마스크로 노출되어 있는 반도체기판상에 예정된 두께의 실리콘 성장막을 형성하는 공정과, 상기 산화막 및 질화막 패턴을 제거하는 공정을 구비하는 반도체소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940039247A KR960026867A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 반도체소자의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940039247A KR960026867A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 반도체소자의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960026867A true KR960026867A (ko) | 1996-07-22 |
Family
ID=66647764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940039247A KR960026867A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 반도체소자의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960026867A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980030446A (ko) * | 1996-10-29 | 1998-07-25 | 김영환 | 반도체 기판 및 그의 형성방법 |
| KR100761655B1 (ko) * | 2001-06-27 | 2007-09-27 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 소자의 제조 방법 |
-
1994
- 1994-12-30 KR KR1019940039247A patent/KR960026867A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980030446A (ko) * | 1996-10-29 | 1998-07-25 | 김영환 | 반도체 기판 및 그의 형성방법 |
| KR100761655B1 (ko) * | 2001-06-27 | 2007-09-27 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 소자의 제조 방법 |
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