KR950014995A - 투영 노광장치(projection exposure apparatus) - Google Patents

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가네꼬 히사시
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Abstract

반도체 웨이퍼 노광장치는 광뭔, 글라스기판, 차광체로 이루어진 제1패턴을 갖는 마스크, 투영렌즈, 및 광원으로부터의 광을 마스크에 조사하여 패턴을 반도체 웨이퍼상으로 전사하는 조명 광학계를 포함한다. 글라스 기판은 조명광학계의 일부를 구성하고 복수개의 제2패턴을 가지며, 복수개의 제2패턴은 광투과성이고 각각 서로 다른 치수를 갖는다. 제2패턴은 바람직하게 정사각 형상이고, 또한 바람직하게 정사각 형상과 등변 삼각형의 조합이다.

Description

투영 노광장치(PROJECTION EXPOSURE APPARATUS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명에 따른 제1실시예의 개략단면도.

Claims (17)

  1. 글라스기판, 차광체로 이루어진 제1패턴을 갖는 마스크, 투영렌즈 및 상기 광원으로부터의 광을 상기 마스크에 조사하여 상기 패턴을 반도체 웨이퍼상으로 전사하는 조명광학계를 구비하는 반도체 웨이퍼 노광장치로서, 상기 글라스기판은 상기 조명공학계의 입루를 구성하고 복수개의 제2패턴을 가지며, 상기 복수개의 제2패턴은 광투과성이고 각각 서로 다른 치수를 갖는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴 각각은 다각 형상인 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴 각각은 직사각형상인 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴 각각은 정사각 형상인 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴은 직사각 형상과 3각 형상을 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 직사각 형상은 정사각 형상을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 노광장치,
  7. 제5항에 있어서, 상기 3각 형상은 등변삼각 형상을 구비하는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 다각형상은 8각 형상인것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴은 서로 일치되지 않는것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  10. 제3항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴은 하나는 제1사각형상이고, 다른하나는 직사각 형상인 내부공간을 갖는 제2직사각형상인, 2군의 직사각형상을 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제2직사각 형상의 내부공간은 상기 제1직사각 형상과 형상이 동일함을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  12. 제2항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴은 서로로부터 상이하게 간격지워지는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  13. 제11항에 있어서, 인접한 제1직사각형상간의 간격은 인접한 제2직사각 형상간의 간격의 반인것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  14. 제4항에 있어서, 상기 복수개의 제2패턴은 하나는 제1정사각형상이고, 다른 하나는 정사각형상인 내부공간을 갖는 제2정사각형상인, 2군의 정사각 형상을 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2정사각형상의 상기 내부공간은 상기 제1정사각형상과 형상이 동일함을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제1정사각형상은 인접한 제1정사각 형상간의 간격이 반인 길이를 갖는 측부를 갖고, 상기 제2정사각 형상은 인접한 정사각 형상간의 간격의 반인 길이를 갖는 측부를 갖는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치
  17. 제2항에 있어서, 상기 다각형상은 8N(N은 정수)인 측부들을 갖는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940031358A 1993-11-26 1994-11-26 투영 노광장치 KR0135355B1 (ko)

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