KR950030215A - 주사형 투영노광장치 및 이를 사용한 마이크로디바이스의 제조방법 - Google Patents

주사형 투영노광장치 및 이를 사용한 마이크로디바이스의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 주사형 투영노광장치는, 물체면상에 놓여 있는 원고의 패턴을 기판상에 결상하는 결상수단과, 상기 결상수단에 대해서 상기 원고와 기판을 상대적으로 주사하는 주사수단을 구비하고, 상기 결상수단은 광축방향에 관해서, 상기 물체면상의 주사방향을 따라 인접배출된 복수의 영역에 대해 상이한 결상위치를 형성하는 것을 특징으로 한다.

Description

주사형 투영노광장치 및 이를 사용한 마이크로디바이스의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명의 제1실시예에 의한 투영노광장치의 주요부의 개략도, 제8도는 제7도의 투영노광장치의 일부분의 평면도, 제9도는 제7도의 투영노광장치의 일부분을 설명하는 개략도, 제10도는 제7도의 투영노광장치의 상면상에 있어서의 광강도분포를 설명하는 개략도, 제11도는 본 발명에 의해서 얻어지는 패턴상의 광강도분포를 설명하는 개략도, 제12도는 제7도의 투영노광장치의 상면상에 있어서의 광강도분포를 설명하는 개략도, 제13도는 제7도의 투영노광장치의 상면상에 있어서의 광강도분포의 다른 예를 설명하는 개략도.

Claims (12)

  1. 물체면상에 놓여 있는 원고의 패턴을 기판상에 결상하는 결상수단과, 상기 결상수단에 대해서 상기 원고와 기판을 상대적으로 주사하는 주사수단을 구비한 주사형 투영노광장치에 있어서, 상기 결상수단은 광축방향에 관해서, 상기 물체면상의 주사방향을 따라 인접배치된 복수의 영역에 대해 상이한 결상위치를 형성하는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 결상수단은, 각각 상기 영역에 관련된 결상광용의 경로를 형성하는 투영광학계와, 상기 결상광용의 상기 경로에 대해서 광로차를 형성하는 광학부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 광학부재는 상기 물체면과 상기 투영광학계 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 결상수단은 광축방향에 관해서, 물체면상의 주사방향을 따라 인접배치된 2개의 영역에 대해 상이한 결상위치를 형성하고, 상기 광학부재는 유전체로 이루어진 직방체부재로 이루어지고, 상기 직방체부재는 상기 2개 영역으로부터의 결상광용의 경로중 1개의 경로에 배치되어 이들 경로간에 광토차를 형성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 광학부재는 상기 물체면과 상기 투영광학계 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 광학부재는 주사방향으로 두께가 변화하는, 유전체로 이루어진 쐐기형상부재로 구성되고, 상기 쐐기형상부재는 상기 영역에 관련된 결상광용의 경로를 가로질러서 배치되어 상기 경로에 대해 광로차를 형성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 쐐기형상부재는 상기 물체면과 상기 투영광학계 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 광학부재는 주사방향으로 두께가 변화하는 유전체로 이루어진 계단형상부재로 구성되고, 상기 계단형상부재는 상기 영역에 관련된 결상과용의 경로를 가로질러서 배치되어 상기 경로에 대해 광로차를 형성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 계단형상부재는 상기 물체면과 상기 투영광학계 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 광학부재는 주사방향을 따라 두께가 변화하는 유전체로 이루어진 굴절률분포형부재로 구성되고, 상기 굴절률분포형 부재는 상기 영역에 관련된 결상광용의 경로를 가로질러서 배치되어 상기 경로에 대해 광로차를 형성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 굴절률분포형 부재는 상기 물체면과 상기 투영광학계 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사형 투영노광장치.
  12. 제1항 내지 제11항중 어느 한 항에 기재된 주사형 투영노광장치를 사용해서, 기판상에 디바이스패턴을 인쇄하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
KR1019950009494A 1994-04-22 1995-04-22 주사형 투영노광장치 및 이를 사용한 마이크로디바이스의 제조방법 KR0174300B1 (ko)

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