KR950004515A - 포토마스크의 방진 보호용 프레임-지지 펠리클 - Google Patents

포토마스크의 방진 보호용 프레임-지지 펠리클 Download PDF

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KR950004515A
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메구루 가시다
도루 시라사끼
유이찌 하마다
요시히꼬 나가따
사까에 가와구찌
요시히로 구보따
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가네가와 센진
신-에쓰가가꾸고오교 가부시끼가이샤
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor

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Abstract

강성 프레임과 느슨하지 않은 양태로 프레임의 한쪽 밀단표면에 접착력있게 결합한 투명한 플라스틱막으로 구성되어 있고, 정밀전자부품 및 장치 제조용으로 사진평판패턴작업에서 사용된 포토마스크의 방진 보호용 프레임-지지 펠리클에 대한 개선방안 제안되었다.
이러한 개선방안은 수송 및 취급과정 중 펠리클막위의 먼지입자 침착에 의한 피할 수 없는 문제점을 완전하게 해결하기 위하여 전착법에 의하여 펠리클 프레임의 전체 표면을 코팅 조성물로 코팅하여 달성된다.

Description

포토마스크의 방진 보호용 프레임 - 지지 펠리클
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (5)

  1. 하기를 포함하는 집적체인 포토마스크의 방진보호용 프레임-지지 펠리클(frame-supported pellicele):(a) 강성 물질로 제조하고, 수용성 코딩 조성물에서 전착의 코팅법으로 형성한 코팅 조정물층을 전체 표면상에 공여한 프레임; 및 (b) 프레임의 한쪽 말단 표면에 분산되어 드럼헤드-형의 느슨하지 않은 양태로 접착력 있게 결합한 플라스틱 수지의 투명성 필름.
  2. 제1항에 있어서, 프레임을 형성하는 강성물질이 알루미늄 합금인 프레임-지지 펠리클.
  3. 제1항에 있어서, 프레임의 전체표면상의 코팅 조성물층의 두께가 5∼50㎛의 범위인 프레임-지지펠리클
  4. 제1항에 있어서, 수용성 코팅 조성물의 전색제(vehicle) 수지가 아크릴 수지 또는 플루오로탄수지인 프레임-지지 펠리클.
  5. 제1항에 있어서, 프레임 전체표면상의 코팅 조성물층을 검정 안료 또는 색소를 함유하는 수용성 코팅 조성물에서 전착의 코팅법에 의해 검정으로 착색시키는 프레임-지지 펠리클.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940017999A 1993-07-28 1994-07-25 포토마스크의방진보호용프레임-지지펠리클 KR100307053B1 (ko)

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