KR950004380A - 열처리장치 - Google Patents

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KR950004380A
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히로후미 기타야마
토시미쓰 시바다
토시아키 미야주
카쓰신 미야기
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
마쓰바 구니유키
도오교오 에레구토론 도오호쿠 가부시끼가이샤
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Abstract

보온통상에 얹어놓인 피처리체 보우트(웨이퍼 보우트)에 피처리체를 얹어놓고, 이 피처리체 보우트를 처리용기내로 로우드하여 열처리를 행하는 열처리장치에 있어서, 처리용기의 내관과 외관의 간극부로서 그들의 아래쪽의 열용량이 비교적 큰 막형성 영역에 온도검출센서를 설치하여 그 부분에 위치하는 피처리체의 온도를 검출하고 히터부의 온도를 제어한다. 이것에 의하여 열응답성을 향상시키고, 또한, 정확한 피처리체의 온도검출을 행하는 것이 가능하게 한다.

Description

열처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 열처리장치의 제1실시예의 종단면도, 제2도는 제1도에 도시한 열처리장치의 최하단의 가열존의 온도제어 블록도, 제3도는 제1도에 도시한 열처리장치의 최하단의 가열존의 온도제어 블록도.

Claims (8)

  1. 처리용기내에 보온통상에 얹어놓인 피처리체 보우트에 수용된 피처리체를 도입하여 여러 영역으로 분할한 가열존에 의하여 가열하여 열처리를 행하는 열처리장치에 있어서, 상기 처리용기내의 하부의 열용량이 빅적 큰 장소로서 열처리시에 막이 부착하는 막형성 영역에 가열 온도제어용의 온도검출센서를 설치한 열처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리용기가 상기 보온통보다 큰 지름의 내관과 이 내관에 동심으로 배치한 이것보다 큰 지름의 외관으로 이루어지고, 상기 막형성 영역은 상기 보온통과 상기 내관의 사이에 형성된 간극부인 열처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 온도검출센서부의 부착부가, 처리가스흐름의 상류측으로서, 온도가 낮고 반응생성물이나 반응부생성물이 거의 발생하지 않는 막불형성영역에서 지지되고 있는 열처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 막형성 영역이 상기 보온통의 높이의 약 2/3의 위치로부터 상기 피처리체중 아래쪽으로부터 3번째 위치까지의 범위내에 있는 열처리장치.
  5. 피처리체를 열처리하는 처리용기와, 이 처리용기내에서 피처리체를 지지하는 피처리체 보우트와, 이 피처리체 보우트를 유지함과 함께 상기 처리용기의 개구부를 밀폐가능한 뚜껑체와, 상기 처리용기내의 온도를 측정하는 온도측정수단을 갖춘 열처리장치에 있어서, 상기 온도측정수단을 수용한 석영튜브를 상기 뚜껑체에 형성한 구멍을 통하여 상기 처리용기내로 거의 수직으로 부착 및 이탈가능하게 지지함과 함께 상기 처리용기내의 기밀성을 유지하는 지지수단을 상기 뚜껑체에 설치한 열처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 지지수단이 상기 석영튜브의 기초부에 설치된 플랜지로 이루어지는 열처리장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 지지수단이 상기 석영튜브의 기초부를 종방향으로 파지하는 2중 O링으로 이루어지는 열처리장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 피처리체 보우트를 상기 처리용기내에서 회전시키는 회전구동기구를 상기 뚜껑체에 설치한 열처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940018629A 1993-07-29 1994-07-29 열처리장치 KR100336167B1 (ko)

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