KR940011725B1 - 회전양극형 x선관의 제조방법 및 제조장치 - Google Patents

회전양극형 x선관의 제조방법 및 제조장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

회전양극형 X선관의 제조방법 및 제조장치
제1도는 본 발명의 제조대상이 되는 X선관의 구조를 나타낸 종단면도.
제2도는 본 발명의 일실시예를 나타낸 장치의 개략도.
제3도는 제2도의 후조립공정에 있어서의 상태를 나타낸 주요부 종단면도.
제4도는 본 발명의 제조대상이 되는 X선관의 다른 구조예를 나타낸 종단면도.
제5도는 제4도의 X선관의 조립공정에 있어서의 상태를 나타낸 개략종단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 양극타겟 12 : 회전체
18 : 진공용기 15 : 고정체
19 : 미끄럼베어링부 G : 베어링간격
L : 액체금속윤활제 16 : 개구폐쇄부
31 : 가열히터 32,47 : 배기펌프
33 : 진공벨자(bell jar) 34 : 초음파진동기(지지대)
35,36 : 부품지지·제어장치 37 : 금속윤활제 주입기
45 : 윤활제 전처리기
본 발명은 회전양극형 X선관의 제조방법 및 그 실시에 사용하는 제조장치에 관한 것이다.
회전양극형 X선관은 주지하는 바와같이 베어링부를 갖는 회전체 및 고정체로 원판모양의 양극타겟을 지지하고, 진공용기밖에 배치한 고정자의 전자코일에 힘을 가하여 고속회전시키면서 음극에서 방출된 전자비임을 양극타겟면상에 쏘아 X선을 방사한다.
베어링부는 볼베어링과 같은 롤베어링이나 베어링면에 나선홈은 형성한 동시에 갈륨(Ga), 또는 갈륨-인듐-주석(Ga-In-Sn) 합금과 같은 액체금속윤활제를 베어링 간격 사이에 채운 동압식 미끄럼 베어링으로 구성된다.
후자의 미끄럼 베어링을 이용한 예는 예를들면 특공소 60-21463호, 특개소 60-97536호, 특개소 60-11753호 62-287555호, 특개소 2-227948호의 각 공보에 개시되어 있다.
상기 각 공보에 개시되어 있는 회전양극형 X선관에서는 나선홈을 갖는 동압미끄럼 베어링부의 서로 대향하는 베어링면에 예를들어 20μm 정도의 아주 작은 베어링간격을 갖도록 구성되고, 나선홈 및 베어링 간격에 액체금속윤활제가 채워져 있다.
이 회전양극구조물을 조립할때, 베어링부에 공기가 남아있거나 구성부품이나 윤활제에서 가스방울이 일어나면 베어링면이 산화되어 윤활제에 의한 젖음 상태가 나빠진다.
또 가스기포 때문에 국부적으로 액체금속유활제가 존재하지 않는 부분이 생겨버린다.
또한 조립완성후의 X선관을 실제로 작동시켜 사용했을때에는 베어링부가 대략 200℃의 최소 온도에 도달하지만, 이러한 실제 작동시에 베어링구성부재나 윤활제에서 가스방출이 일어날 경우가 있다.
이와같이 베어링부에서 가스방출이 일어나면 가스기포와 함께 윤활제의 일부가 베어링부에거 외부로 날아가 버릴 우려가 있다.
이러한 현상이 생기면 당연히 미끄럼 베어링의 장시간의 안정된 동압 베어링 작용을 얻을 수 없고, 또한 X선관 용기내 공간에 비산된 액체금속윤활제에 의해 내전압성능이 현저히 손상된다고 하는 치명적인 장해를 초래한다.
본 발명은 이상과 같은 불합리를 해소하고, 완성된 X선관의 베어링부나 윤활제로 부터의 가스발생을 억제하며, 또한 액체금속윤활제의 누출을 방지할 수 있어 안정된 베어링동작을 유지할 수 있는 회전양극형 X선관의 제조방법 및 그 제조방법의 실시예 직접사용하는 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 회전체 및 고정체의 각각의 베어링부재를 진공중에서 200℃ 이상의 온도액체금속윤활제를 충전한 회전체 및 고정체를 진공중에서 열처리하여 베어링부 및 액체윤활체에서 나오는 가스를 배기하는 공정을 거치는 회전양극형 X선관의 제조방법이다.
또한 이 제조방법을 실시하기 위한 장치는 가열수단을 갖는 진공벨자와, 이 진공벨자의 내부에 배치되어, 회전양극형 X선관의 회전체 및 고정체를 유지하는 동시에, 상기 진공벨자 밖에서의 제어에 의해 이동하는 부품지지장치와, 상기 진공벨자내에 배치되어 이 진공밖에서의 제어에 의해 상기 회전체 및 고정체중 바닥이 있는 원통을 이루는 쪽의 내부에 액체금속윤활제를 주입하는 윤활제 주입장치를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제조방법에 의하면 X선관을 완성 하기전에 베어링부 혹은 액체금속윤활제를 청정화할 수 있는 동시에 여기에서 발생하는 가스를 확실히 제거할 수 있어 윤활제에 의한 베어링면의 양호한 젖음상태를 얻을 수 있다.
그리고 가스기포에 의한 윤활제의 누출이 거의 일어나지 않고, 장기간에 걸쳐 안정된 동압식 미끄럼 베어링동작에 유지할 수 있는 회전양극형 X선관을 얻을 수가 있다.
또 본 발명 장치에 의하면 능률좋고, 완성후의 X선관에서의 가스발생이 적은 액체금속윤활 미끄럼 베어링부를 조립할 수 있다.
이하 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
또한 동일부분은 동일부호로 나타낸다.
제1도 내지 제3도에 나타낸 실시예는 다음의 구성을 갖는다.
즉 조립완성후의 X선관은 제1도와 같이 중금속으로된 원반형양극타겟(11)이 바닥이 있는 원통형의 회전체(12) 일단에 돌출설치된 회전축부(13)에 너트(14)에 의해 일체적으로 고정되어 있다.
도면에는 나타나 있지 않지만 회전체(12)의 바깥둘레부에는 강자성체 원통 및 고도전체원통으로 된 이중의 회전자원통이 동축적으로 끼워져 고정부착되어 있다.
이 회전체(12)의 내측에는 원주모양의 고정체(15)가 삽입되어 있다.
고정체(15)의 도시된 하단부, 즉 회전체 개구부(12a)의 근방에는 바깥직경이 축소된 고정체 소직경부(15a)가 형성되어 있다.
그리고 회전체 개구부(12a)에는 고정체 소직경부(15a)를 근접해서 포위하고, 이 개구부를 실질적으로 폐쇄하는 링모양의 개구부 폐쇄체(16)가 복수개의 볼트(16a)에 의해 고정부착되어 있다.
고정체 소직경부(15a)에는 이들 회전체(12) 및 고정체(15)를 기계적으로 지지하는 철재양극지지부(17)가 납땜에 의해 고정부착되고, 이것은 유리로 만든 진공용기(18)에 기밀 접합되어 있다.
원통형 회전체(12)와 고정체(15)와의 끼워맞춤부분은 상기 각 공보의 것과 같은 동압식 미끄럼 베어링부(19)를 구성하고 있다.
이때문에 고정체측의 미끄럼베어링면이 되는 고정체 바깥둘레벽 및 양단벽에는 상기 각 공보에 기재된 것과 같은 헤링본·패턴의 나선홈(20)(21)이 각각 형성되어 있다.
이와 대면하는 회전체의 미끄럼 베어링면은 단순히 평활한 면이라도 좋고, 또는 필요에 따라서 나선홈을 형성시킨 것이라도 좋다.
이들 회전체 및 고정체의 양 베어링면은 대략 20μm의 베어링간격 G를 가지고 대면하도록 되어 있다.
개구부 폐쇄체(16)와 고정체 소직경부(15a)와의 사이에는 고정체 소직경부의 일부가 원주모양으로 절삭되어 구성된 원주모양의 공동(26)이 설치되어 있다.
폐쇄체 원통부(16b)는 내측의 고정체 소직경부(15a)와의 사이에 아주작은 간격 Q를 형성하고, 안쪽둘레면에 스크류 펌프홈(28)을 가지고 있다.
이 스크류펌프홈(28)과 간격 Q와는 윤활제 누출방지수단을 구성하고 있다.
원주형 공동(26)은 간격 Q의 반경방향 칫수보다도 훨씬 큰 칫수를 가지고 있다.
고정체(15)에는 그 중심부가 축방향을 따라 도려내어진 구멍으로된 윤활제 수용실(22)이 설치되어 있다.
이 윤활제 수용실(22)의 도시된 상단개구부(22a)는 도시된 상단의 나선홈(21)을 갖는 트러스트베어링부의 베어링간격 G에 연이어 통하고 있다.
또 이 고정체(15)에는 그 중간부 바깥둘레벽이 약간의 테이퍼형상의 잘려진 소직경부(23)가 형성되고, 윤활제 수용실(22)에서 이 소직경부(23)로 통하는 3개의 방사방향통로(24)가 120°간격으로 축대칭적으로 형성되어 있다.
그에따라 윤활제 수용실(22)은 방사방향통로(24)를 거쳐 2조의 래디얼 베어링부의 나선홈(20)을 갖는 베어링 간격 G에 연이어 통하고 있다.
또한 중심의 윤활제 수용실(22)의 도시된 하단부(22b)에는 원주모양공동(26)과 통하는 동일한 3개의 방사방향통로(27)가 120°간격으로 축대칭적으로 형성되어 있다.
그에따라 윤활제 수용실(22)의 도시된 하단부(22b)는 방사방향통로(27) 및 원주모양공동(26)을 통해서 도시된 하부의 나선홈(21)을 갖는 트러스트 베어링부의 베어링간격 G와 연이어 통하고 있다.
그리고 나선홈(20)(21)을 포함하는 베어링부(19) 및 이와 연이어 통하는 윤활제 수용실(22)이나 방사방향 통로(24)에는 이들 공간을 거의 채울 만큼의 도시하지 않은 액체금속유활제가 채워져 있다.
또한 방사방향통로(27)를 형성하지 않고, 윤활제 수용실(22)을 중간에서 종단(終端)해도 좋다.
이 회전양극형 X선관의 동작에 있어서는 진공용기(18)의 외측회전체(12)에 대응하는 위치에 도시하지 않은 고정자, 즉 전자코일을 배치하여 회전자계를 발생시키고, 회전양극을 화살표 P와 같이 고속회전시킨다.
액체 상태로 된 금속윤활제는 미끄럼 베어링부를 충분히 채우고, 원활한 동압베어링 동작을 가능하게한다.
그리고 이 액체금속윤활제는 동작에 따른 부분적인 압력차에 의해 중심의 윤활제 수용실, 방사방향통로 및 나선홈을 갖는 베어링 간격을 이동, 순환하여 안정된 동압베어링 작용에 기여한다.
도시하지 않은 음극에서 방출된 전자비임이 양극타겟에 투사되어 X선을 발생시킨다.
타겟에 생긴 열은 그 대부분이 복사에 의해 방산되는 동시에 일부는 회전체(12)에서 베어링부(19)의 액체금속윤활제를 지나 고정체(15)를 거쳐 외부로 발생한다.
이 회전양극구조물의 조립시에는 제2도에와 같이 가열히터(31)를 가지며, 일부에 배기펌프(32)가 접속된 진공벨자(33)의 내부에 각 베어링구성 부재를 배치한다.
회전체(12)는 그 개구부(12a)가 위로 향하고 지지대를 겸하는 초음파진동기(34)상에 놓여진다.
이 진공벨자(33)의 내부에는 고정체(15)를 윗쪽으로 매달아 지지하는 고정체지지기(35)가 설치되고, 이것은 고정체(15)를 회전체의 윗쪽으로 위치결정하여 매어달고 있다.
고정체의 윗쪽바깥둘에는 개구부폐쇄체(16)가 도시하지 않은 지지체에 의해 지지되고 있으며, 또한 그것을 고정시키기 위해 복수의 볼트(16a)가 체결구(36)에 의해 소정위치로 위치결정되어 지지되어 있다.
또한 Ga 합금과 같은 액체금속윤활제를 내장하는 윤활제 주입기(37)가 설치되어 있으며, 벨자외의 도시하지 않은 제어장치에 의해 도시한 바와같이 주입 노즐의 선단(37a)을 회전체 개구부(12a)의 내측으로 꽂아 소정량의 윤활제를 회전체 내부에 주입할 수 있도록 되어 있다.
또 도시하지 않았지만 베어링 구성부재인 회전체(12)와 고정체(15)의 온도를 검출하는 온도검출기가 설치되어 있다.
먼저 제2도와 같이 각 부품이나 제어장치를 배치하고, 배기펌프(32)에 의해 벨자내를 예를들면 10-3Pa 정도의 고진공으로 만든다.
그리고 가열히터(31)에 의해 적어도 각 베어링부재를 200℃ 이상의 온도, 예를들면 약 250℃까지 상승시키고 일정시간 유지한다.
그에따라 각 부품 및 액체금속윤활제에서 내장가스가 방출되고, 배기펌프(32)에서 배기된다.
이 진공가열처리에 의해 각 베어링부재에서는 내장가스가 제거되며 가스발생이 억제된다.
이에따라 베어링면은 윤활제로 잘 적셔진 표면상태로 되는 것이다.
다음으로 윤활제 주입 노즐의 선단(27a)을 제2도와 같이 회전체 개구부내로 꽂고, 소정치로 계량된 액체금속윤활제를 회전체 내부로 주입한다.
제2도에 있어서 부호 L이 주입된 액체금속윤활제를 나타낸다.
초음파진동에 의해 이 액체금속윤활제 L의 내부나 이것과 접촉하는 회전체 내벽에서 나온 가스가 벨자내 공간으로 효과적으로 나오게 되어 배기된다.
다음으로 벨자밖에서 제어장치를 구동제어하여 윤활제 주입기(37)를 원래의 위치로 이동시키고, 윗쪽에서 고정체(15)를 천천히 강하시켜 회전체(12)내측에 삽입한다.
이에따라 회전체의 바닥부에 있는 액체금속윤활제 L은 양쪽의 베어링간격, 고정체 중심부의 윤활제 수용실 및 방사방향통로내로 유동되고, 각부로 스며들어 충전된다.
그리고 이때 만약 각부에 잔류한 공기내장가스가 방출되어 기포가 생겼을 경우에는 기포가 윗쪽으로 이동하여 베어링부재밖으로 배출되고 펌프로 배기된다.
또 그대신 윤활제가 각부로 침투한다.
초음파진동은 이 가스의 배출 및 가스기포와 윤활제와의 치환작용을 한층 증진시킨다.
또한 윤활제의 극히 일부는 고정체 소직경부에 형성된 원주형 공동(26)에도 넘친다.
이와같이 양쪽을 끼워맞춤 상태에서 제3도와 같이 개구부폐쇄체(16)를 회전체 개구부(12a)에 맞추고, 복수개의 볼트(16a)를 체결구(36)로 조어 붙여 고정시킨다.
이 상태에서 진공주에서의 가열을 계속하고, 거기에 초음파진동을 계속가하면 베어링부재 및 윤활제로 부터의 가스빠짐을 보다 더 완전하게 할 수 있다.
그리고 소정시간 진공가열처리를 한후, 진공중에서 서서히 냉각시킨다.
이렇게 하여 액체금속윤활제가 나선홈을 포함하는 베어링간격 및 윤활제 수용실등의 구석구석까지 스며드는 한편, 윤활제의 베어링밖으로의 누출이 방지되어 안정된 동압식 미끄럼베어링동작을 갖는 회전양극 구조물이 얻어진다.
또한 상기 실시예에서 사용한 윤활제 주입기를 생략하고, 미리 소정량의 윤활제를 회전체의 내부공간에 넣어두어도 좋다.
또한 윤활제 충전공정에서의 베어링부의 최고 가열온도는 완성도 X선관의 실제동작시에 있어서 베어링부의 최고도달온도 보다도 높은 온도로 설정된다.
이때문에 상기와 같이 200℃ 이상으로 설정하지만 바람직하게는 300℃ 이상, 예를들면 400-450℃의 범위로 설정한다.
그에따라 완성된 X선관의 실제동작시에 베어링부나 윤활제에서 가스방출이 일어날 우려가 적고, 따라서 가스와 함께 윤활제가 베어링면으로부터 외부로 분출되는 등의 불합리가 거의 없어지게 된다.
또는 이 윤활제 충전공정에서의 베어링부의 최고가열온도를 이 윤활제 충전공정후의 제조공정, 예를들면 배기공정에 있어서 베어링부의 최고도달온도보다도 높은 온도로 설정하는 것이 보다 바람직하다.
또는 이 윤활제 충전공정에서의 베어링부의 최고가열온도를 이 윤활제 충전공정후의 제조공정, 예를들면 배기공정에 있어서 베어링부의 최고도달온도보다도 높은 온도로 설정하는 것이 보다 바람직하다.
그런데 상기 실시예는 원통모양의 회전체에 양극타겟을 고정시킨 것이지만, 이에 한정되지 않고 제4도와 같이 양극타겟이 일체결합되어 회전하는 원주모양의 회전체(12)를 회전중심축상에 배치시킨 것에도 본 발명을 적용할 수 있다.
즉 원주형 회전체(12)의 도시된 상부에는 파이프로 만든 회전축(13)이 고정부착되고, 거기에 양극타겟(15)이 설치되어 있다.
그리고 회전체(12)를 포위하여 바닥이 있는 원통모양의 고정체(15)가 설치되어 있다.
이 고정체(15)의 도시된 상단개구부(15b)에는 개구부 폐쇄체(16)가 복수개의 볼트(16a)에 의해 체결되어 있다.
고정체(15)의 바깥둘레에는 모터의 회전자 원통으로서 가능하는 강자성체 원통(41) 및 그 외측에 끼워맞춰진 구리로 된 최외측원통(42)이 동축상태로 배치되어 있다.
또한 강자성체원통(41)의 상단부(41a)가 회전축(13)에 기계적으로 견고하게 고정부착되어 있다.
개구부 폐쇄체(16)는 회전체(12)의 상단면과 접하고 있으며, 그 접촉면에 나선홈(21)이 형성되어 있다.
이 개구부 폐쇄체(16)의 회전축에는 근접하는 안쪽둘레면의 하반부 및 회전체(12)의 회전축 주위에 원주형 공동(26)이 형성되어 있다.
이 공동(26)은 나선홈(21)을 갖는 베어링부(19)의 베어링간격 G의 안쪽끝에 연이어 통하여 설치되어 있다.
또 이 공동(26)에서 부터 고정체 바깥둘레벽과 강자성체 원통 안쪽둘레벽과의 사이의 간격을 거의 진공용기내 공간을 지니는 중간에 윤활제 누출방지를 위한 미소한 간격 Q 및 반경방향의 접힘부(43)가 설치되어 있다.
또한 이 접힘부(43)의 안쪽면에 윤활제의 부착을 확실하게 해주는 피막을 형성해도 좋다.
이 회전양극구조물의 조립에 있어서는 제5도와 같이 고정체(15)의 개구부(15b)를 위를 향해서 진공벨자(33)내의 초음파진동기(34)상에 얹어놓는다.
이 고정체(15)의 윗쪽에 양극타겟을 고정시키지 않은 상태의 회전체(12) 및 개구부폐쇄체(16), 복수의 볼트(16a)를 위치결정하여 매어달고 있다.
진공벨자와는 별개로 액체금속윤활제를 진공열처리하기 위한 윤활제 전처리기(45)가 설치되어 있다.
이 윤활제 전처리기(45)는 가열히터(46), 진공펌프(47), 초음파진동기(48), 소정량의 윤활제를 배출하기 위한 윤활제 주입기(37) 및 진공벨자내에 신축되는 노즐(37a)을 가지고 있다.
거기서 진공벨자내를 고진공으로 만드는 동시에 가열히터(31)에 의해 각 베어링부재를 가열하여 내장가스를 방출시켜 배기한다.
한편, 윤활제 전처리기(45)의 내부에 저장한 Ga 합금과 같은 액체금속윤활제를 가열히터(46) 및 진공펌프(47)에 의해 300℃ 이상, 예를들면 약 400℃로 가열하면서 진공배기하여 탈기시킨다.
그 경우에도 초음파 진공기(48)에 의해 윤활제에 진공을 가하여 탈기를 확실히 한다.
그후, 윤활제 주입기(37) 및 노즐(37a) 선단에서 고온상태인 액체금속윤활제 L을 소정량만큼 고정체(15)의 내부에 분무상태로 만들어 주입한다.
그리고 초음파 진동기(34)에서 고정체(15) 및 윤활제를 진공시키면서 가열, 탈기시킨다.
그후 윗쪽에서 부터 회전체(12)를 하강시켜 고정체(15)의 내측에 삽입하고, 개구부 폐쇄체(16)를 복수개의 볼트(16a)로 체결한다.
윤활제 L은 양쪽의 베어링간격 및 윤활제 수용실(22)내로 스며든다.
이때 만약 베어링부나 윤활제 수용실, 윤활제에 가스가 발생했을 경우에는 가스기포가 베어링간격을 통해서 윗쪽으로 이동하여 원주형 공동(26)에 도달하고 여기서 급격하게 압력 저하되어 외부로 배출된다.
베어링간격이나 윤활제 수용실에 생긴 기포를 대신해 윤활제가 침투한다.
이 공정에도 초음파진동을 계속시킴으로써 가스의 배출과, 윤활제의 치환작용이 한층 증진된다.
이 처리를 소정시간 행한후 진공상태에서 서서히 냉각시킨다.
이렇게 하여 그후에 베어링부재나 윤활제에서 가스가 발생할 우려가 적고, 또한 윤활제가 미소한 간격 Q를 거쳐 진공용기내 공간으로 누출되는 것이 억제된다.
또한 금속윤활제는 Ga, Ga-In 합금, 혹은 Ga-In-Sn 합금과 같은 Ga을 주체로 하는 것을 사용할 수 있지만, 이에 한정되지 않고 예를들면 비스마스(Bi)를 상대적으로 많이 포함하는 Bi-In-Pb-Sn 합금, 또는 In을 상대적으로 많이 포함하는 In-Bi 합금, 또는 In-Bi-Sn 합금을 사용할 수 있다.
이들은 융점이 실온이상이기 때문에 양극타겟을 회전시키기전에 금속윤활제를 그 융점이상의 온도로 예열시킨 후에 회전시킨 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 제조방법에 의하면 X선관을 완성하기전에 베어링부를 청정화할 수 있어 베어링면과 윤활제와의 습성이 좋은 접촉을 얻을 수 있는 동시에 베어링부 혹은 윤활제내에 생기는 가스를 확실히 제거할 수 있다.
또 가스기포와 액체금속윤활제와의 치환을 확실히 할 수가 있다.
따라서 안정된 동압형 미끄럼 베어링동작을 유지하는 회전양극형 X선관을 얻을 수 잇다.
또한 본 발명의 장치에 의하면 각 부재의 진공가열처리, 윤활제의 주입을 능률있게 행할 수 있어 조립작업성이 향상된다.
이렇게 하여 신뢰성이 높은 회전베어링부를 조립할 수 있게 된다.

Claims (2)

  1. 양극타겟이 고정된 회전체와, 이 회전체와 서로 끼워맞춰지고, 상기 회전체를 회전가능하게 지지하는 고정체와, 상기 회전체 및 고정체의 끼워맞춤부에 설치된 나선홈을 갖는 미끄럼 베어링부와, 이 미끄럼 베어링부의 상기 나선홈을 포함하는 베어링 간격에 충전된 액체윤활제를 구비하는 회전양극형 X선관의 제조방법에 있어서, 상기 회전체 및 고정체의 각각의 베어링 구성부재를 진공중에서 200℃ 이상의 온도로 가열하는 공정과; 상기 회전체 및 고정체중, 바닥이 있는 원통을 형성하는 쪽의 내부에 액체금속윤활제를 주입하는 동시에, 다른쪽을 삽입하여 베어링부의 나선홈을 포함하는 베어링 간격에 액체금속윤활제를 스며들게하는 공정과; 상기 베어링부에 액체금속윤활제를 충전한 상기 회전체 및 고정체를 진공중에서 열처리하여 상기 베어링부 및 액체금속윤활제에서 나오는 가스를 배기하는 공정을 지지하는 것을 특징으로 하는 회전양극형 X선관의 제조방법.
  2. 가열수단을 갖는 진공벨자와; 이 진공벨자의 내부에 배치되어 회전양극형 X선관의 회전체 및 고정체를 유지하는 동시에, 상기 진공벨자 밖에서의 제어에 의해 이동하는 부품지지장치와; 상기 진공벨자내에 배치되어 이 진공벨자 밖에서의 제어에 의해 상기 회전체 및 고정체중 바닥이 있는 원통을 이루는 쪽의 내부로 액체금속윤활제를 주입하는 윤활제 주입장치를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 청구범위 제1항에 따른 회전양극형 X선관의 제조방법을 실시하기 위한 제조장치.
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