JP2002245958A

JP2002245958A - 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法

Info

Publication number: JP2002245958A
Application number: JP2001281608A
Authority: JP
Inventors: Hideki Ide; 秀樹井手
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2000-12-12
Filing date: 2001-09-17
Publication date: 2002-08-30

Abstract

(57)【要約】【課題】液体金属潤滑剤の漏出を防止し、動作中、動
圧式すべり軸受に液体金属潤滑剤を過不足なく安定に供
給する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供する
こと。【解決手段】陽極ターゲット１２と、動圧式すべり軸
受２３、２４が相互間に設けられた内側円筒１７および
固定体１９を有し、陽極ターゲット１２を回転可能に支
持する回転機構１５と、陽極ターゲット１２および回転
機構１５を収納する真空容器１１とを具備した回転陽極
型Ｘ線管において、動圧式すべり軸受２３、２４から真
空容器１１内の空間に至る途中に、液体金属潤滑剤に対
し動圧式すべり軸受２３、２４側に向かう圧力を発生す
る動圧発生部３６を固定体に設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、陽極ターゲット
を回転可能に支持する回転機構の軸受部分に供給される
液体金属潤滑剤の漏洩を防止した回転陽極型Ｘ線管およ
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲットを
回転機構で回転可能に支持し、高速回転する陽極ターゲ
ットに対して電子ビームを照射し、陽極ターゲットから
Ｘ線を放射させる構造になっている。陽極ターゲットを
支持する回転機構は回転体や固定体などから構成され、
回転体と固定体間に軸受が設けられている。

【０００３】回転機構の軸受には、ボールベアリングの
ようなころがり軸受、あるいは、軸受面にらせん溝を形
成し、ガリウム（Ｇａ）やガリウム−インジウム−錫
（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金など、動作中に液状となる液
体金属潤滑剤をらせん溝などに供給する動圧式すべり軸
受が用いられる。

【０００４】動圧式すべり軸受を用いた例は、特開昭６
０−１１７５３１号、特開平２−２２７９４８号、特開
平５−１３０２８号、あるいは、特開平７−１９２６６
６号の各公報に開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】回転陽極型Ｘ線管は、
動作状態に入ると、陽極ターゲットは３０００ｒｐｍ乃
至９０００ｒｐｍという高速で回転し、Ｘ線管の向きも
使用状況によって変化する。回転機構の軸受として動圧
式すべり軸受を用いた場合、Ｘ線管の姿勢に関係なく、
動圧式すべり軸受のらせん溝などの部分に、長期間にわ
たり液体金属潤滑剤を過不足なく供給することが必要と
なる。

【０００６】しかし、動圧式すべり軸受の空間部分など
にガスが残留し、あるいは、軸受部材からガスが放出す
ると、ガス気泡の圧力によって、回転体および固定体の
間隙部分に供給されている液体金属潤滑剤がＸ線管を構
成する真空容器内の空間部分に噴出する場合がある。そ
の結果、らせん溝などに供給される液体金属潤滑剤が不
足し動圧式すべり軸受の動作が不安定になる。

【０００７】ところで、回転陽極型Ｘ線管の回転機構の
軸受に動圧式すべり軸受を用いる場合、通常、回転体を
半径方向で支持するラジアル方向の動圧式すべり軸受お
よび回転体を管軸方向で支持するスラスト方向の動圧式
すべり軸受がそれぞれ一対ずつ設けられる。この場合、
たとえばスラスト方向の動圧式すべり軸受の１つが真空
容器内の空間部分に近い位置に設けられる。このスラス
ト方向の動圧式すべり軸受は回転体を管軸方向に支持す
ると同時に、液体金属潤滑剤に対し軸受方向に向う動圧
を発生し液体金属潤滑剤の漏れを防止している。

【０００８】しかし、Ｘ線管の姿勢が変わると軸受に対
する荷重が変化し、回転体と固定体の相対位置が変化す
る。このとき、軸受部分の圧力分布が変わり、液体金属
潤滑剤の流れが真空容器内の空間方向に向い、液体金属
潤滑剤が漏れる場合がある。動作中に、液体金属潤滑剤
が真空容器内の空間部分に漏れると、上記したように軸
受部分の液体金属潤滑剤が不足し動圧式すべり軸受の動
作が不安定になり、あるいは、Ｘ線管の耐電圧性能が損
なわれる。

【０００９】逆に、動圧が大きいと、液体金属潤滑剤が
軸受方向に移動し、らせん溝よりも真空容器内の空間側
に位置する軸受面に対する液体金属潤滑剤の供給が不足
し、動圧式すべり軸受の動作が不安定になる。

【００１０】本発明は、上記した欠点を解決し、液体金
属潤滑剤の漏出を防止し、動作中、動圧式すべり軸受に
液体金属潤滑剤を過不足なく安定に供給する回転陽極型
Ｘ線管およびその製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、陽極ターゲ
ットと、液体金属潤滑剤が供給される動圧式すべり軸受
が相互間に設けられた回転体および固定体を有し、前記
陽極ターゲットを回転可能に支持する回転機構と、前記
陽極ターゲットおよび前記回転機構を収納する真空容器
とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記回転体お
よび前記固定体が互いに対向する部分で、かつ、前記動
圧式すべり軸受から前記真空容器内の空間に至る途中
に、前記液体金属潤滑剤に対し前記動圧式すべり軸受側
に向かう圧力を発生する動圧発生部を設けたことを特徴
とする。

【００１２】また、この発明は、陽極ターゲットと、液
体金属潤滑剤が供給される動圧式すべり軸受が相互間に
設けられた回転体および固定体を有し、前記陽極ターゲ
ットを回転可能に支持する回転機構と、前記陽極ターゲ
ットおよび前記回転機構を収納する真空容器とを具備し
た回転陽極型Ｘ線管の製造方法において、前記回転体と
前記固定体が互いに対向する部分で、かつ、前記動圧式
すべり軸受から前記真空容器内の空間へ至る途中に、前
記液体金属潤滑剤に対し前記動圧式すべり軸受側に向か
う圧力を発生する動圧発生部を前記固定体に形成する第
１工程と、前記動圧発生部が前記動圧式すべり軸受より
も上になる姿勢に前記回転陽極型Ｘ線管を配置し、管内
を排気する第２工程と、この第２工程の後、前記回転体
の回転軸が水平または前記動圧発生部が前記動圧式すべ
り軸受よりも下になる姿勢に前記回転陽極型Ｘ線管を配
置し、前記回転体を回転させる第３工程とを有する。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。

【００１４】符号１１はＸ線管を構成する真空容器で、
図ではその一部が示されている。真空容器１１内に、Ｘ
線を発生する重金属製の円盤状陽極ターゲット１２が配
置されている。陽極ターゲット１２はナット１３によっ
て回転支柱１４に固定されている。回転支柱１４は回転
機構１５に連結され、陽極ターゲット１２は回転機構１
５によって回転可能に支持されている。

【００１５】回転機構１５は回転体と固定体から構成さ
れている。回転体は、たとえば回転支柱１４が直接固着
されたほぼ有底円筒状の鉄合金製の中間円筒１６、この
中間円筒１５の内側に第１の断熱間隙Ｇａを保って配置
された内側円筒１７、中間円筒１６の外側に第２の断熱
間隙Ｇｂを保って配置された銅製の外側円筒１８の３層
構造などから構成されている。内側円筒１７および中間
円筒１６、外側円筒１８は隣接するどうしが互いに部分
的に接合されている。

【００１６】内側円筒１７の内部に、鉄合金製のほぼ円
柱状をした固定体１９が嵌合挿入されている。固定体１
９は、たとえば図示上方に位置する直径の小さい第１径
小部１９ａ、および、図示中間に位置する直径の大きい
径大部１９ｂ、第１径小部１９ａよりも径がたとえば大
きく径大部１９ｂよりも径が小さい図示下方に位置する
第２径小部１９ｃなどから形成されている。

【００１７】また、内側円筒１７の下端開口部を実質的
に閉じるようにスラストリング２０が設けられている。
スラストリング２０はねじ止めによって内側円筒１７に
固定され、内側円筒１７と一体に回転する回転体を構成
している。

【００１８】回転機構１５の内側円筒１７および固定体
１９の嵌合部分に動圧式すべり軸受が構成されている。
たとえば、固定体１９の第１径小部１９ａの外周面に、
動圧を発生する動圧発生溝たとえばヘリンボンパターン
らせん溝２１、２２が軸方向に離れた２箇所にそれぞれ
対に形成され、内側円筒１７の内周面とともにラジアル
方向の動圧式すべり軸受２３、２４を構成している。

【００１９】また、固定体１９の径大部１９ｂの図示上
面２５に、動圧を発生する動圧発生溝たとえばサークル
状のヘリンボンパターンらせん溝２６が形成され、これ
と近接対向する内側円筒１７の段差面とともにスラスト
方向の動圧式すべり軸受２７を構成している。スラスト
リング２０の上面２８にも、同じくサークル状のヘリン
ホンパターンらせん溝２９が形成され、これと近接対向
する径大部１９ｂの図示下面とともにスラスト方向の動
圧式すべり軸受３０を構成している。

【００２０】固定体１９の一部、たとえばラジアル方向
の動圧式すべり軸受２３、２４に挟まれた領域に外径の
小さい部分を設け、液体金属潤滑剤を貯蔵する空間３１
を形成している。また、固定体１９の外周面に、動圧式
すべり軸受のらせん溝および軸受間隙などの各部分に液
体金属潤滑剤を供給する複数の通路それぞれの開口３２
ａ〜３２ｄが軸方向に所定間隔で設けられている。

【００２１】スラストリング２０の下方に、液体金属潤
滑剤の漏出を防止する複数個のトラップリング３３、３
４が固定されている。固定体１９の第２径小部１９ｃの
外周部分は封止金属リング３５の内側に気密溶接され、
封止金属リング３５の外側は真空容器１１のガラス部分
に封着されている。

【００２２】上記の構成において、ラジアル方向および
スラスト方向の動圧式すべり軸受２３、２４、２７、３
０のうち、真空容器内の空間１１ａに一番近い動圧式す
べり軸受たとえばスラスト方向の動圧式すべり軸受３０
から真空容器内の空間１１ａに至る途中で、スラストリ
ング２０と同軸状に対向する第２径小部１９ｃの外周面
に動圧発生部３６が形成されている。

【００２３】動圧発生部３６は、管軸に対し傾斜する向
きに設けた所定長さの複数のらせん溝３７から構成さ
れ、らせん溝３７は円周方向に所定間隔で設けられてい
る。複数のらせん溝３７は、回転機構１５の回転体が回
転した場合に、液体金属潤滑剤に対して、図示下方に位
置する真空容器内の空間１１ａの側から、図示上方に位
置する動圧式すべり軸受２３、２４、２７、３０の側に
移動させる圧力いわゆる動圧を発生する。

【００２４】上記した構成によれば、動圧式すべり軸受
２３、２４、２７、３０部分の空間に残留するガスや軸
受部材から放出するガスの圧力、あるいは、軸受の姿勢
変化などに伴う軸受内部の圧力変化によって、液体金属
潤滑剤の流れが真空容器１１内の空間１１ａ方向に向っ
ても、らせん溝３７の動圧で流れが抑えられ、液体金属
潤滑剤の漏出が防止される。

【００２５】なお、上記した構成では、動圧式すべり軸
受２３、２４、２７、３０で支持された回転体が回転す
る際などに、動圧発生部３６が設けられた領域の回転体
と固定体が機械的に接触しないように、動圧発生部３６
が設けられた領域の回転体と固定体の間隙を、動圧式す
べり軸受３６が設けられた領域の回転体と固定体の間隙
よりも大きくしている。

【００２６】次に、本発明の他の実施形態について図２
を参照して説明する。図２は、動圧発生部の近傍を抜き
出した図で、図１に対応する部分に同じ符号を付し、重
複する説明を一部省略する。

【００２７】この実施形態の場合、動圧発生部３６の図
示上方、たとえば径大部１９ｂとらせん溝３７との間の
第２径小部１９ｃに、らせん溝３７が形成された部分よ
りも外径が小さい小径部分１９ｄが設けられている。小
径部分１９ｄにおけるスラストリング２０との間隙は、
動圧式すべり軸受２３、２４、２７、３０側に位置する
動圧発生部３６の始端部分における回転体と固定体の間
隙、すなわちスラストリング２０と第２径小部１９ｃと
の間隙よりも大きくなっている。この場合、小径部分１
９ｄとスラストリング２０との間に管軸を囲む環状の空
間が生じる。この環状の空間は液体金属潤滑剤を貯蔵す
る貯蔵空間４１として機能する。

【００２８】また、第２径小部１９ｃの外周面と対向す
るスラストリング２０の内周面の一部、たとえば、らせ
ん溝３７が形成された動圧発生部３６の軸方向における
ほぼ中間に、その上下両側に位置する動圧発生部の部分
４２ａ、４２ｂよりも内径が大きい大径部分が設けられ
ている。この大径部分によって、スラストリング２０と
第２径小部１９ｃとの間に管軸を囲む環状溝が形成され
る。この環状溝は液体金属潤滑剤とガスの置換空間４３
として機能する。

【００２９】この場合、置換空間４３の上下両側に位置
する部分４２ａ、４２ｂは、その少なくとも一部が、そ
れぞれ第２径小部１９ｃに形成されたらせん溝３７の図
示上端および下端に対向している。

【００３０】上記した構成によれば、第２径小部１９ｃ
の小径部分１９ｄによって液体金属潤滑剤を貯蔵する貯
蔵空間４１が形成されている。そのため、スラスト軸受
３０などへの液体金属潤滑剤の供給に過不足が生じな
い。また、貯蔵空間４１に貯蔵された液体金属潤滑剤は
らせん溝３７の動圧によって漏出が防止される。

【００３１】また、置換空間４３の図示上方に位置する
軸受部分の空間から、動圧発生部３６を形成する部分４
２ａにおける動圧よりも大きい圧力で噴出してくる液体
金属潤滑剤やガスは置換空間４３で捕捉される。したが
って、置換空間４３よりも図示下方に位置する真空容器
内の空間１１ａへの液体金属潤滑剤やガスの噴出が防止
される。置換空間４３で捕捉された液体金属潤滑剤は、
その後、らせん溝３７の動圧で貯蔵空間４１に戻され
る。

【００３２】なお、回転機構１５の回転体が静止してい
る静的状態、たとえばらせん溝３７による動圧が発生し
ない状態では、液体金属潤滑剤を噴出させるような突発
的なガスの圧力増加はほとんど発生しない。しかし、液
体金属潤滑剤の自重による漏出を防止する必要がある。
このような漏出は、たとえば液体金属潤滑剤に濡れてい
る面と濡れていない面との境界に働く液体金属潤滑剤の
表面張力による抗力によって防止される。

【００３３】上記した構造の場合、らせん溝３７が形成
されているスラストリング２０の部分４２ｂまで液体金
属潤滑剤が存在し、これらの部分は液体金属潤滑剤に濡
れており表面張力による抗力は発生しない。しかし、第
２径小部１９ｃと同軸状に対向するスラストリング２０
の一部、たとえばその図示下側に位置し真空容器内の空
間１１ａに最も近い部分４２ｃでは、これと対向する第
２径小部１９ｃの面にらせん溝３７が設けられていな
い。したがって、このらせん溝３７のない領域に液体金
属潤滑剤に濡れない部分が生じ、この部分に表面張力に
よる抗力が働く境界が形成され、静的状態における漏出
が防止される。

【００３４】上記の実施形態の場合、第２径小部１９ｃ
の外周とスラストリング２０内周の片側の間隙たとえば
置換空間４３が設けられていない部分の間隙は、らせん
溝３７の深さ分を除き、管軸を中心にした半径方向の寸
法で０．０５ｍｍ乃至０．２ｍｍの範囲が実用上望まし
い。また、らせん溝３７の深さは上記間隙の０．５倍乃
至２倍の寸法が望ましい。

【００３５】また、らせん溝３７が設けられていない部
分４２ｃの間隙寸法は、らせん溝３７の設けられた部分
４２ａ、４２ｂ、たとえば動圧発生部３６の動圧式すべ
り軸受側に位置するその始端部分および動圧式すべり軸
受と反対側に位置するその終端部分における間隙よりも
狭くしている。

【００３６】なお、上記した構成のＸ線管を製造する場
合、少なくとも排気工程の途中までは、第２径小部１９
ｃの外周面とスラストリング２０が対向する部分４１、
４２ａ、４３、４２ｂ、４２ｃのうち、少なくとも符号
４３、４２ｂ、４２ｃの各部分の空間に液体金属潤滑剤
が存在しないように組立て、さらに、回転体の回転軸が
ほぼ鉛直で上記各部分４３、４２ｂ、４２ｃが動圧すべ
り軸受よりも上になるような姿勢にＸ線管を保ってい
る。

【００３７】その後、Ｘ線管の回転軸を水平にし、また
は、上記の各部分４３、４２ｂ、４２ｃが動圧すべり軸
受よりも下になるような姿勢にＸ線管を保ち、回転体部
分を回転させる。

【００３８】この方法によれば、動圧式すべり軸受の空
間内部におけるガスの排気が促され、部分４２ａ、４２
ｂの動圧で液体金属潤滑剤の漏出防止効果が確実にな
る。

【００３９】なお、固定体１９の材料には、たとえばモ
リブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、あるい
は、それらを主体とする合金、もしくは、鉄、鉄合金、
ニッケル、ニッケル合金、その他の金属材料、セラミッ
クスなどが使用される。

【００４０】また、らせん溝３７が設けられた部分４２
ａ、４２ｂ、貯蔵空間４１および置換空間４３の各部分
の部材の表面に、液体金属潤滑剤で侵されにくく、か
つ、液体金属潤滑剤に濡れやすい材料の被膜を形成して
もよい。また、らせん溝３７の設けられていない部分４
２ｃを形成する部材の表面に、液体金属潤滑剤で侵され
にくく、かつ、液体金属潤滑剤に濡れにくい材料の被膜
を形成してもよい。

【００４１】次に、本発明の他の実施形態について図３
および図４を参照して説明する。図３および図４は、図
１および図２に対応する部分に同じ符号を付し、重複す
る説明を一部省略する。図４は図３の動圧発生部の近傍
を抜き出し拡大した図で、管軸ｍに対して対称であるた
めその左側だけを示している。

【００４２】この実施形態の場合、固定体１９の第２径
小部１９ｃの図示下方たとえば真空容器内の空間１１ａ
側の部分に、第２径小部１９ｃよりも外径を小さくした
第３径小部５１が設けられている。これによって、第２
径小部１９ｃと第３径小部５１の境界に、たとえば管軸
ｍに垂直な環状の段差面５２が形成される。また、スラ
ストリング２０のたとえば図示下端に、固定体１９の段
差面５２に沿って平行に管軸ｍ方向に突出する環状突出
部５３が形成されている。

【００４３】この場合、図４に示すように、固定体１９
およびスラストリング２０の間隙は、第２径小部１９ｃ
の部分ではその第１間隙５４が管軸ｍ方向に伸び、ま
た、段差面５２の部分ではその第２間隙５５が管軸ｍと
垂直に管軸ｍ側に向って伸びている。この場合、回転体
の回転で液体金属潤滑剤に遠心力が作用しても、第２間
隙５５の部分で液体金属潤滑剤の空間１１ａ方向への移
動が抑えられ、真空容器内の空間１１ａへの漏出が防止
される。

【００４４】先に説明した図１の構造の場合、固定体１
９とスラストリング２０との間隙は管軸ｍ方向にのみ設
けられている。そのため、固定体１９とスラストリング
２０の間隙を進み、真空容器内の空間１１ａ側の端部に
到達した液体金属潤滑剤は、スラストリング２０の回転
で発生する遠心力によって漏出する場合がある。図３の
構造によれば、このような液体金属潤滑剤の漏出が防止
される。

【００４５】たとえば、動圧発生部３６は、図１などに
示されるように、固定体１９およびスラストリング２０
が対向する部分と同軸状に構成される。しかし、動圧発
生部３６の間隙は場所によって大小があり、周方向に勾
配が生じる。回転体が安定な定常状態で回転している場
合は、間隙の勾配もほぼ定常状態となり、動圧発生部が
発生する圧力のほとんどは液体金属潤滑剤に対し軸受側
に移動させるように作用する。

【００４６】一方、回転体が停止状態から回転起動する
場合や不安定な回転で振れるような場合は、間隙の勾配
が変化し、間隙は拡大や縮小を繰り返す。その結果、液
体金属潤滑剤に対して周方向および軸方向に移動させる
ように作用する。この場合、真空容器内の空間１１ａ方
向に移動させる力の方が軸受方向に移動させる力よりも
大きくなると、液体金属潤滑剤は真空容器内の空間１１
ａ方向に移動する。そして、液体金属潤滑剤が空間１１
ａ側の端部に到達すると、回転によって液体金属潤滑剤
に遠心力が作用しているため回転体に押しつけられる。
このとき、固定体と対向する回転体のたとえば内周面
が、空間１１ａ側に向い径が小さくなる構造になってい
ないと、液体金属潤滑剤は端部から空間１１ａ側に向っ
て移動し漏出する。

【００４７】しかし、図３の構造によれば、管軸ｍに接
近する第２間隙の部分で真空容器内の空間１１ａ方向へ
の移動が抑えられ、図１の構造で問題となる液体金属潤
滑剤の漏出が防止される。

【００４８】次に、本発明の他の実施形態について図５
を参照して説明する。図５は動圧発生部の近傍を抜き出
した図で、図４に対応する部分に同じ符号を付し、重複
する説明を一部省略する。

【００４９】この実施形態の場合、固定体１９の第３径
小部５１と対向するスラストリング２０の環状突出部５
３の内側端面に内径を大きくした管軸を囲む環状の溝６
１が形成されている。この場合、動圧発生部３６が発生
する動圧よりも大きい圧力で噴出してくる液体金属潤滑
剤は溝６１で捕捉され漏出が防止される。

【００５０】次に、本発明の他の実施形態について図６
を参照して説明する。図６は、図４に対応する部分に同
じ符号を付し、重複する説明を一部省略する。

【００５１】この実施形態の場合、第２径小部１９ｃの
段差面５２の外縁部分と対向するスラストリング２０の
対向面、たとえば管軸ｍに垂直な第２間隙５５の部分
で、管軸ｍから一番遠い位置に管軸を囲む環状の溝６２
が設けられている。この場合、動圧発生部３６が発生す
る動圧よりも大きい圧力で噴出してくる液体金属潤滑剤
は溝６２で捕捉され漏出が防止される。また、溝６２で
捕捉された液体金属潤滑剤は動圧発生部３６の動圧で軸
受方向に戻される。

【００５２】次に、本発明の他の実施形態について図７
を参照して説明する。図７は、図６に対応する部分に同
じ符号を付し、重複する説明を一部省略する。

【００５３】この実施形態の場合、固定体１９の第２径
小部１９ｃと第３径小部５１との間の段差面５２が真空
容器内の空間１１ａ側に向って徐々に径が小さくなるよ
うに傾斜している。スラストリング２０の対向面は固定
体１９の段差面５２に合わせて真空容器内の空間１１ａ
側に向って徐々に径が大きくなっている。この場合も、
固定体１９の傾斜する段差面５２の部分に、真空容器内
の空間１１ａ側の方が管軸に接近する接近区間が形成さ
れ、遠心力による液体金属潤滑剤の漏出が防止される。
管軸ｍに対して傾斜する部分に接近区間を設けた場合、
たとえば固定体１９の半径方向の寸法が限られていて
も、接近区間の長さを長くできるという利点がある。

【００５４】次に、本発明の他の実施形態について図８
を参照して説明する。図８は図７に対応する部分に同じ
符号を付し、重複する説明を一部省略する。

【００５５】この実施形態の場合、固定体１９の傾斜す
る段差面５２に、第２径小部１９ｃに設けられた複数の
らせん溝３７がそのまま延長して形成されている。

【００５６】なお、上記の各実施形態において、動圧式
すべり軸受から真空容器内の空間に至る途中で、回転体
および固定体が互いに対向する間隙の部分に、動圧式す
べり軸受側の方の間隙が広く、真空容器内の空間側の方
が狭い領域を設けることもできる。この場合、たとえば
回転体と固定体の対向面が液体金属潤滑剤で濡れていな
い状態では、表面張力によって液体金属潤滑剤が間隙の
広い側に引っ張られる性質があり、液体金属潤滑剤の漏
出が抑えられる。

【００５７】

【発明の効果】本発明によれば、動作中における液体金
属潤滑剤の漏出を防止し、動圧式すべり軸受に液体金属
潤滑剤を過不足なく供給でき、安定な軸受動作が維持さ
れる回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態を示す縦断面図である。

【図２】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【図３】この発明の他の実施形態を示す縦断面図であ
る。

【図４】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【図５】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【図６】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【図７】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【図８】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【符号の説明】

１１…真空容器１２…陽極ターゲット１３…ナット１４…回転支柱１５…回転機構１６…中間円筒１７…内側円筒１８…外側円筒１９…固定体２０…スラストリング２１…らせん溝２２…らせん溝２３…ラジアル方向の動圧式すべり軸受２４…ラジアル方向の動圧式すべり軸受２５…固定体の径大部の上側軸受面２６…ヘリンボンパターンらせん溝２７…スラスト方向の動圧式すべり軸受２８…スラストリングの上側軸受面２９…ヘリンボンパターンらせん溝３０…スラスト方向の動圧式すべり軸受

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】陽極ターゲットと、液体金属潤滑剤が供
給される動圧式すべり軸受が相互間に設けられた回転体
および固定体を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に
支持する回転機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回
転機構を収納する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線
管において、前記回転体および前記固定体が互いに対向
する部分で、かつ、前記動圧式すべり軸受から前記真空
容器内の空間に至る途中に、前記液体金属潤滑剤に対し
前記動圧式すべり軸受側に向かう圧力を発生する動圧発
生部を設けたことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】動圧発生部は複数のらせん溝から形成さ
れている請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】動圧発生部は複数のらせん溝から形成さ
れ、前記複数のらせん溝が固定体に設けられた請求項１
記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】動圧発生部が形成された領域における回
転体と固定体の間隙は、動圧式すべり軸受が形成された
領域における前記回転体と前記固定体の間隙よりも大き
い請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の回転陽
極型Ｘ線管。
【請求項５】動圧発生部が形成された領域に、回転体
と固定体の間隙が小さい部分に挟まれて、この小さい間
隙よりも間隙が大きい部分が設けられた請求項１乃至請
求項４のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】動圧式すべり軸受と動圧発生部との間
に、前記動圧式すべり軸受側に位置する前記動圧発生部
の始端部分における回転体と固定体の間隙よりも前記回
転体と前記固定体の間隙が大きい部分を設けた請求項１
乃至請求項５のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線
管。
【請求項７】動圧発生部から真空容器内の空間に至る
途中に、前記動圧式すべり軸受と反対側に位置する前記
動圧発生部の終端部分における回転体と固定体の間隙よ
りも前記回転体と前記固定体との間隙が小さい部分を設
けた請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載の回転
陽極型Ｘ線管。
【請求項８】らせん溝の深さは、動圧式すべり軸受側
に位置する動圧発生部の始端部分および前記動圧式すべ
り軸受と反対側に位置する前記動圧発生部の終端部分に
おける回転体と固定体との間隙よりも大きい請求項２ま
たは請求項３のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線
管。
【請求項９】陽極ターゲットと、液体金属潤滑剤が供
給される動圧式すべり軸受が相互間に設けられた回転体
および固定体を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に
支持する回転機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回
転機構を収納する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線
管の製造方法において、前記回転体と前記固定体が互い
に対向する部分で、かつ、前記動圧式すべり軸受から前
記真空容器内の空間へ至る途中に、前記液体金属潤滑剤
に対し前記動圧式すべり軸受側に向かう圧力を発生する
動圧発生部を前記固定体に形成する第１工程と、前記動
圧発生部が前記動圧式すべり軸受よりも上になる姿勢に
前記回転陽極型Ｘ線管を配置し、管内を排気する第２工
程と、この第２工程の後、前記回転体の回転軸が水平ま
たは前記動圧発生部が前記動圧式すべり軸受よりも下に
なる姿勢に前記回転陽極型Ｘ線管を配置し、前記回転体
を回転させる第３工程とを有する回転陽極型Ｘ線管の製
造方法。
【請求項１０】回転体および固定体が互いに対向する
間隙部分で、動圧発生部が設けられている領域から真空
容器内の空間に至る途中に、前記真空容器内の空間側に
向って管軸に近くなる接近区間が設けられた請求項１記
載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１１】接近区間内の回転体の表面に溝を設け
た請求項１０記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１２】動圧発生部が設けられている領域から
真空容器内の空間に至る固定体の一部に、前記動圧発生
部が設けられている部分よりも外径が小さい径小部を設
け、前記動圧発生部が設けられている部分と前記径小部
との間に位置する前記固定体の段差面の部分に接近区間
が設けられた請求項１０記載の回転陽極型Ｘ線管。