KR940009194B1 - 회전양극형 x선관 - Google Patents

회전양극형 x선관 Download PDF

Info

Publication number
KR940009194B1
KR940009194B1 KR1019910013392A KR910013392A KR940009194B1 KR 940009194 B1 KR940009194 B1 KR 940009194B1 KR 1019910013392 A KR1019910013392 A KR 1019910013392A KR 910013392 A KR910013392 A KR 910013392A KR 940009194 B1 KR940009194 B1 KR 940009194B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lubricant
rotating body
cavity
sliding bearing
vacuum vessel
Prior art date
Application number
KR1019910013392A
Other languages
English (en)
Other versions
KR920008823A (ko
Inventor
가츠히로 오노
히데로 안노
히로유키 스기우라
다카유키 기타미
히로아키 다자와
Original Assignee
가부시키가이샤 도시바
아오이 죠이치
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=17428611&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR940009194(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 가부시키가이샤 도시바, 아오이 죠이치 filed Critical 가부시키가이샤 도시바
Publication of KR920008823A publication Critical patent/KR920008823A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR940009194B1 publication Critical patent/KR940009194B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
    • H01J35/101—Arrangements for rotating anodes, e.g. supporting means, means for greasing, means for sealing the axle or means for shielding or protecting the driving
    • H01J35/1017—Bearings for rotating anodes
    • H01J35/104—Fluid bearings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/10—Drive means for anode (target) substrate
    • H01J2235/1046—Bearings and bearing contact surfaces
    • H01J2235/106—Dynamic pressure bearings, e.g. helical groove type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/10—Drive means for anode (target) substrate
    • H01J2235/1046—Bearings and bearing contact surfaces
    • H01J2235/1066—Treated contact surfaces, e.g. coatings

Landscapes

  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

회전양극형 X선관
제1도는 본 발명의 한 실시예를 나타낸 종단면도.
제2도는 제1도의 주요부 확대도.
제3도는 제2도의 3-3에서의 횡단면도
제4도는 제1도의 조립공정에서의 주요부를 나타낸 종단면도.
제5도는 제4도 이후의 조립공정에서의 주요부를 나타낸 종단면도.
제6도는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 주요부 종단면도.
제7도는 본 발명의 또다른 실시예를 나타낸 주요부 종단면도.
제8도는 본 발명의 또다른 실시예를 나타낸 종단면도.
제9도는 본 발명의 또다른 실시예를 나타낸 주요부 종단면도.
제10도는 본 발명의 또다른 실시예를 나타낸 주요부 종단면도.
제11도는 제10도의 조립공정에서의 주요부를 나타낸 종단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 양극타겟 12 : 회전체
15 : 고정체 16 : 개구폐쇄부
18 : 진공용기 19 : 미끄럼 베어링
20,21 : 나선홈 25 : 공동
26 : 윤활제 누출방지수단
본 발명은 회전양극형 X선관에 관한 것으로, 특히 베어링 기구의 개량에 관한 것이다.
회전양극형 X선관은 주지된 바와같이 원판상의 음극타겟을 상호간에 베어링부를 가진 회전체 및 고정체에 지지하고 진공용기 밖에 배치된 전자코일에 힘을 가하여 고속회전 시키므로써 음극에서 전자비임을 방출하여 음극타겟에 맞추어 X을 방사한다.
베어링부는 볼베어링과 같은 윤활베어링과, 베어링면에 나선홈을 형성하는 동시에 갈륨(Ga) 또는 Ga, 인듐(In), 주석(Sn)의 합금과 같은 액체 금속 윤활제를 이용한 동압식(動壓式) 미끄럼 베어링으로 구성된다.
후자의 미끄럼 베어링을 이용한 예는 예를들면 일본 특공소 60-21463호, 일본특개소 60-97536호, 일본특개소 60-117531호, 일본특개소 62-287555호, 일본특개평 2-227947호 또는 일본특개평 2-227948호 등이 각 공보에 개시되어 있다.
상기 각 공보에 개시되어 있는 회전양극형 X선관에서는 나선홈을 가진 동압미끄럼 베어링부의 서로 대향하는 베어링면이, 예를들면 20μm정도의 약간의 간격을 가지도록 구성되고 이 간격에 액체금속윤활제가 충전개재된다.
이 회전양극기구를 조립할때 간격의 일부에 공기가 남아 있기도 하고 또는 구성부품에서 가스방출이 일어나면 그것에 의한 기포 때문에 국부적으로 액체금속윤활제가 존재하지 않는 부분이 발생하게 된다.
또는 기포와 함께 윤활제의 일부가 베어링면에서 외부로 새어나와 버릴 염려가 있다.
이와같은 현상이 발생하면 당연히 미끄럼 베어링이 장시간 안정한 동압베어링작용을 얻을 수 없고 또한 X선관의 진공용기내 공간의 누출, 비산된 윤활제에 의해 내전압성능이 현저하게 손상된다고 하는 치명적인 장해를 초래한다.
본 발명의 목적은 이상과 같은 불합리를 해소하고 만일 회전체와 고정체 사이의 미끄럼 베어링면에서 기포가 발생해도 액체금속윤활제의 치환이 확실하고 용이하게 실행되어지고 윤활제가 진공용기내 공간에서 비산하는 것을 방지하여 안정한 동작을 유지시키는 회전양극형 X선관을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 회전체 및 고정체의 일부에 설치되고 또 나선홈을 가진 미끄럼 베어링에 진공용기의 내부공간을 통과하는 종단부근에 원주모양의 공동이 설치되고 이 공동에서 상기 진공용기내 공간에 이르는 공동의 반직경방향의 폭치수보다도 좁은 간격의 윤활제 누출방지수단이 설치되게 되는 회전양극형 X선관을 제공하는 것이다.
본 발명에서 의하면 미끄럼 베어링면 진공용기의 내부공간을 통과하는 종단부근에 원주상의 공동이 설치되어 이 공동에서 상기 진공용기내 공간에 이르는 도중에 공동의 반경방향 치수보다도 좁은 간격의 윤활제 누출방지수단이 설치되기 때문에 회전양극기구의 조립시 또는 실제의 X선관의 동작시에 만일 미끄럼 베어링부에 기포가 발생해도 원주상 공동에 의해서 베어링부의 기포와 액체금속윤활제가 원활하게 치환되고 또 이 공동에 액체금속윤활제의 일부가 체류하여 진공용기내 공간으로 누출하는 것이 억제된다.
따라서 미끄럼 베어링면의 간격에 과부족없이 윤활제가 충만하게 되고 원하는 베어링윤활을 얻을 수 있다. 이렇게 하여 안정한 동작을 유지할 수 있다.
이하 그 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 또 동일 부분은 동일부호로 나타낸다.
제1도 내지 제3도에 나타낸 실시예는 다음 구성을 가진다.
즉 중금속으로 이루어진 원반상의 양극타겟(11)은 바닥있는 원통모양의 회전체(12)의 한쪽끝의 바닥부에 돌출설치된 회전축부(13)에 고정나사(14)에 의해 일체적으로 고정되어 있다.
회전체(12)내측에는 원주상의 고정체(15)가 회전체의 도시한 하단 개구부(12a)측에서 삽입되어 끼워맞추어 진다.
고정체(15)의 도시한 하단부, 즉 회전체 개구부의 근방에는 외경이 축소된 고정체 소직경부(15a)가 형성되어 있다.
그리고 회전체(12)의 개구부(12a)에는 고정체의 소직경부(15a)를 근접하여 포위하고 개구부를 실질적으로 폐쇄하는 링모양의 개구부 폐쇄체(16)가 복수개의 나사(16 a)에 의해 고정부착되어 있다.
고정체의 소직경부(15a)에는 이들 회전체(12) 및 고정체(15)를 기계적으로 지지하는 철재제의 양극지지부(17)가 납땜에 의해 고정부착되고 이것은 유리제의 진공용기(18)에 기밀접합되어 있다.
회전체(12)와 고정체(15)의 끼워맞춤부분은 상기 각 공보에 나타낸 바와같은 동압식 미끄럼 베어링부(19)를 구성하고 있다.
그 때문에 고정체측의 미끄럼 베어링면이 되는 고정체 외주벽 및 양단벽에는 상기 각 공보에 기재되어 있는 바와같이 해링본 패턴(HERRING-BONE PATTERN)의 나선홈(20)(21)이 형성되어 있다.
이것과 대면하는 회전체측의 미끄럼 베어링면은 단지 평활한 면이어도 좋고 또는 필요에 따라서 나선홈을 형성한 것이어도 좋다.
이들 회전체 및 고정체의 양 베어링면은 약 20μm의 간격(G)을 가지고서 근접하고 있다.
고정체(15)에는 그 중심부가 축방향으로 뚫려진 구멍으로 이루어진 윤활제 수용실(22)이 설치되어 있다.
이 윤활제수용실(22)의 도시된 상단개구(22a)는 도시된 상부의 해링본패턴의 나선홈(21)을 가지고 미끄럼 베어링면을 거쳐서 고정체 바깥둘레의 나선홈(20)을 가진 미끄럼 베어링면의 사이로 연통하고 있다.
또 이 고정체(15)의 중간부 바깥둘레벽에 테이퍼모양으로 줄어들어 형성된 소직경부(23)로 통하는 3개의 방사방향 통로(24)가 120도 간격으로 축대칭적으로 형성되어 있다.
그리고 회전체(12)의 개구부에 설치된 개구부 폐쇄체(16)와 그것에 근접포위되는 고정체 소직경부(15a)사이에는 고정체소직경부의 일부가 원주상으로 절단되어 구성된 원주상의 공동(25)이 설치되어 있다.
이와같이 하여, 나선홈(20), (21)을 갖는 미끄럼 베어링부(19)중 진공용기(18)의 내부공간에 공간적 경로상 가장 가까이에 나선홈(21)을 갖는 미끄럼 베어링부(19)에 연속하는 위치에 베어링면의 간격(G)보다도 충분히 큰 반경방향 폭크기의 원주상 공동(25)이 회전체(12)와 고정체(15)사이에 설치되게 된다.
그리고 이 원주상공동(25)에서 진공용기내 공간에 이르는 도중에 액체금속윤활제가 누출되지 않도록 윤활제 누출방지부재(26)가 설치되어 있다.
이 윤활제 누출방지부재(26)는 개구부 폐쇄체(16)의 원통부(16b)내주면에 액체금속윤활제가 거의 누출되지 않도록 실질적으로 이 윤활제를 튕겨내는 알루미나(Al3O3), 질화보롬(BN), 또는 질화실리콘(Si3N4)의 세라믹스와 같은 재료로 이루어진 링(27)을 고정하고 이것과 고정체 소직경부(15a) 사이간격(Q)의 반경방향 치수를 10μm이하로 또한 비접촉으로 유지하며 구성되어 있다.
이 회전양극기구의 조립에 있어서는 제4도에 나타낸 바와 같이 가열히터(31)를 가지고 일부에 배기 펌프(32)가 접속된 진공벨쟈(33)의 내부에 회전체(12)를 그 개구부(12a)를 위로 향하여 일점쇄선으로 나타낸 지지대(34)위에 설치한다.
또한 이 진공벨쟈(33)의 내부에는 고정체(15)를 위쪽에 매달아서 지지하는 고정체 유지기(35)가 설치되고, 이것은 고정체(15)를 위쪽에 위치결정하여 매달려 있다.
고정체(15)의 위쪽바깥둘레에는 개구부 폐쇄체(16)가 도시하지 않은 지지체에 의해 지지되어 있고 또 그것을 고정하기 위한 복수개의 나사(16a)가 체결구(36)에 의해서 소정위치에 지지되어 있다.
또한 Ga 합금과 같은 금속윤활제를 내장하는 윤활제 주입기(37)가 배치되어 있고 벨쟈밖의 도시하지 않은 제어장치에 의해서 도시한 바와같이 주입공을 회전체 개구부내로 이동하여 소정량의 윤활제를 회전체내부에 주입할 수 있도록 되어 있다.
우선 제4도와 같이 각 부품과 장치를 배치하고 벨쟈내를 예를들면 10-3, 파스칼 정도의 고진공으로 한다. 그리고 가열히터(31)에 의해 적어도 각 베어링부재를 200℃ 이상의 온도, 예를들면 약 250℃까지 상승시키고 일정시간 유지한다. 이에의해 각 부품, 및 액체금속윤활제에서 내장가스가 방출되어 배기된다.
다음으로, 윤활제 주입기(37)를 제4도에 나타낸 바와같이 회전체 개구부내로 이동하고 소정량으로 계량된 액체금속윤활제(L)를 회전체의 내부에 주입한다.
다음으로 벨쟈밖에 있는 제어장치를 구동제어하여 윤활제 주입기(37)를 원래위치로 이동하고 위쪽으로부터 고정체(15)를 천천히 하강시켜서 회전체(12)의 내측에 삽입한다.
또한 회전체의 바닥부에 있는 액체금속윤활제(L)는 양자의 베어링면 상호간의 간격, 또한 방사방향 통로를 거쳐서 고정체 중심부의 윤활제 수용실내로 유동해 간다.
그리고 그때 만약 각 부에 잔류해 있던 공기내장가스가 방출되어 기포가 발생될 경우는 기포가 베어링면의 간격을 통해서 위쪽으로 이동하여 원주상 공동에 도달하여 배기된다. 그렇게 하여 윤활제가 각 부에 침투한다.
또 윤활제의 극히 일부는 원주상 공동(25)에도 충만하다.
이와같이 양자를 끼워맞춘 상태로 가스치환처리를 행하고 그 후 제5도에서 나타낸 바와같이 개구부 폐쇄체(16)를 회전체 개구부(12a)에 접합하여 복수개의 나사(16a)를 체결구(36)로 죄어서 고정한다.
그리고 진공중에서 서서히 냉각한다.
이렇게 하여 나선홈을 포함하는 베어링부의 베어링면 간격(G), 및 이것에 연통하는 윤활제 통로, 윤활제 수용실에 액체금속윤활제가 분명히 충전된 회전 양극구체를 얻을 수 있다. 이 회전양극 기구를 유리제 진공용기(18)내에 장착하고 관내로 배기하여 X선관을 완성한다.
이 회전양극형 X선관의 동작에 있어서는, 진공용기(18)의 외측 회전체(12)에 대응하는 위치에서 도시하지 않은 고정자 즉, 전자코일을 배치하여 회전자계를 발생시키고 회전양극을 화살표(P)방향으로 고속회전 시킨다.
액체상의 금속윤활제는 미끄럼 베어링을 충분히 메워 원활한 동압베어링동작을 가능하게 한다.
그리고 이 액체금속윤활제는 동작에 의한 부분적인 압력차에 의해 중심의 윤활제수용실(22)로 부터, 방사방향통로(24) 및 나산홈(20)(21)을 가진 베어링면으로 이동, 순환하여 안정한 동압베어링 작용에 공급된다.
윤활제는 동작에 따라서 회전체 개구부측으로 스며나와도 이 개구부근방에 설치된 대용적의 원주상 공동에 체류하고 재차 베어링면으로 직접 또는 각 윤활제 통로를 거쳐서 순환된다.
도시하지 않은 음극에서 방출된 전자비임이 양극타겟에 사출하여 X선이 발생됨과 동시에 이 타겟에 발생된 열은 그 많은 부분이 복사에 의해 방사되는 동시에 일부는 회전체로 부터 미끄럼 베어링의 액체금속윤활제를 통하여 고정체를 거쳐서 외부로 발산된다.
제6도에 나타낸 실시예는 개구부 폐쇄체(16)의 내부주벽에 펌프용 나선홈(28)을 형성하여 이것을 윤활제 누출방지부재(26)로 한 것이다.
펌프용 나선홈(28)는 원주상 공동(25)의 영역에서 원통부(16b)의 도중까지 형성되어 있고 이 홈(28)이 형성된 원통부(16b)가 회전함에 의해 펌프작용으로 액체금속윤활제의 진공용기내 공간으로의 누출이 방지된다.
제7도에 나타낸 실시예는 고정체 소직경부(15a)에 3개의 원주상 공동(25), (25)…이 종열로 형성되어 있다.
그리고 이들 공동상호간 및 최고선단의 공동으로 부터 진공용기내 공간에 도달하는 영역의 원통내부벽과 고정체 소직경부와의 사이 간격은 각 공동의 반경 방향크기보다도 충분히 좁은 크기로 되어 있고 또 이 원통부 내주벽에 펌프용 나선홈(28)이 각각 형성되어 복수단의 윤활제 누출방지수단을 구성하고 있다.
그에 의해 만일 미끄럼 베어링에 기포가 발생해도 이 기포와 액체금속윤활제가 원활하게 치환된다. 더구나 만일 윤활제가 베어링부에서 새어나오더라도 복수의 공동내에 남게됨과 동시에 좁은 각 간격의 윤활제 누출방지수단에 의해 진공용기내 공간으로 누출하는 것이 보다 한층 확실하게 억제된다.
제8도에 나타낸 실시예는 개구부 폐쇄체 원통부(16b)의 안쪽둘레에 3조의 원주상 공동(25), (25)… 및 좁은 간격의 윤활제 누출방지수단(26), (26)…을 형성한 것이다.
또 복수의 원주상 공동을 구성할 경우 일부 공동을 고정체의 소직경부에 형성하고 그밖의 공동을 회전체의 개구부 폐쇄체에 형성하는 조합구조로 할수도 있다.
제9도에 나타낸 실시예는 고정체 소직경부(15a)의 바깥둘레에 원주상의 오목부로 이루어진 공동(25)을 가진 개구부 폐쇄체(16) 및 윤활제 포착실(29)을 갖는 수직단면이 U자형의 링(16c)을 회전체 개구부(12a)에 일체적으로 나사고정한 것이다.
윤활제 포착실(29)의 내면에는 액체금속윤활제가 부착하기 쉽도록 윤활제와 습성이 좋은 피막(30)이 피복되어 있다. 윤활제 포착실(29)은 반경방향의 통로(29a)에 의해서 고정체 소직경부(15a)와 개구부 폐쇄체(16)사이의 미소간격을 두고서 연통하고 있다.
만일 이 간격으로 윤활제가 누출할 경우에는 누출된 윤활제가 원심력으로 윤활제 포착실(29)로 유동하고 내면의 피막(30)에 부착되어 진공용기내 공간으로는 누출하지 않도록 되어 있다.
본 실시예에 있어서는 개구부 폐쇄체(16)의 안쪽둘레벽에 형성된 공동(25)에 의해서 조립시에 발생하는 베어링부의 가스를 원활하게 배출하고 액체금속윤활제를 충전할 수 있는 동시에 윤활제의 진공용기내 공간으로의 누출이 한층 확실하게 방지된다. 또 윤활제 포착실(29)을 축방향을 따라서 복수개 설치해도 좋다.
또 제7도 또는 제8도에 나타낸 구조에 있어서 진공용기내 공간 가까이의 1 또는 복수의 원주상 공동의 내면에 윤활제와의 습성이 좋은 피막을 형성하여 이들 공동을 실질적인 윤활제 포착실로 해도 좋다.
제10도에 나타낸 실시예는 회전중심축상에 양극타겟이 일체로 결합되어 회전하는 원주상의 회전체(12)를 배치한 것이다.
이 회전체(12)의 도시된 상부에는 파이프제의 회전축(13)이 고정부착되고 그것에 양극타겟(11)이 고정되어 있다. 그리고 회전체(12)를 포위하여 바닥에 있는 원통상의 고정체(15)가 설치되어 있다. 이 고정체(15)의 도시된 상단개구부(15b)에는 개구부 폐쇄체(16)가 나사로 고정되어 있다. 고정체(15)의 바깥둘레에는 모터의 회전체로서 기능하는 강자성체 원통(41) 및 그 외측에 끼워맞춘 동제의 가장바깥쪽 원통(42)이 배치되어 있다. 또 강자성체원통(41)의 상단부(41a)가 회전축(13)에 기계적으로 강고하게 고정부착되어 있다.
회전체(12)의 상단면에는 개구부 폐쇄체(16)가 접해있고 그 접촉면에 나선홈(21)이 형성되어 있다. 그리고 이 개구부 폐쇄체(16)의 회전축쪽의 내주벽 하반부 및 회전체(12)의 회전축 주위에 원주상으로 도려낸 공동(25)이 형성되어 있다. 이 공동(25)은 나선홈(21)을 갖는 베어링면의 안쪽단에 연통하여 설치되어 있다. 또 이 공동(25)에서 고정체 외주벽과 강자성체 원통내주벽 사이의 간격을 거쳐서 관구내 공간으로 통하는 도중에 윤활제 누출방지를 위한 미소간격(Q) 및 반경방향의 구부려진 부분(43)이 설치되어 있다. 또 이 구부려진 부분(43)의 내면에 윤활제의 부착을 확실하게 하는 피막을 형성해도 좋다.
이 회전양극기구의 조립에 있어서는 제11도에 나타낸 바와같이 고정체(15)의 개구부(15b)를 위를 향하여 도시하지 않은 진공벨쟈내에 탑재한다. 이 고정체(15)의 위쪽에 양극타겟을 고정하지 않은 상태의 회전체(12) 및 개구부 폐쇄체(16), 복수의 나사(16a)를 위치결정하여 매달아 놓는다. 벨쟈내를 고진공으로 하는 동시에 가열수단에 의해 각 베어링부재를 가열하고 내장가스를 방출시켜서 배기한다. 그후, 액체금속윤활제(L)를 고정체(15)의 내부에 주입한다.
다음에 위쪽에서 회전체(12)를 하강시켜서 고정체(15)의 내측에 삽입하고 개구폐쇄체(16)를 나사로 고정한다. 윤활제(L)는 양자의 베어링면 상호간의 간격, 및 윤활제 수용실(22)내에 유동한다. 그때 만약 각 부에서 가스가 발생했을 경우는 기포가 베어링면의 간격을 통해서 윗쪽으로 이동하여 원주상 공동(25)에 도달하고 또한 외부로 추출되어 배기된다. 그와같이 교체되어 윤활제가 베어링면의 간격으로 침투한다.
또 금속윤활제는 Ga, Ga-In 또는 Ga-In-Sn과 같이 Ga를 주체로 하는 것을 사용할 수 있지만 그것에 한정하지 않고 예를들면 비스무트(Bi)를 상대적으로 많이 포함하는 Bi-In-Pb-Sn 합금, In을 상대적으로 포함하는 In-Bi 합금 또는 In-Bi-Sn합금을 사용할 수 있다. 이것들은 융점이 실온이상의 온도이기 때문에 양극타겟을 회전시키기 전에 금속윤활제를 이 온도 이상으로 예열한 후에 회전시키는 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와같이 본 발명에 의하면 미끄럼 베어링이 진공용기의 내부공간을 통과하는 종단부근에 원주상의 공동이 설치되고 이 공동에서 진공용기내 공간에 도달하는 도중에 좁은 간격의 윤활제 누출방지수단이 설치되기 때문에 회전양극기구의 조립시, 또는 실제의 X선관의 동작시에 만일 미끄럼 베어링부에 기포가 발생해도 원주상 공동에 의해서 베어링부의 기포와 액체금속윤활제가 원활하게 치환된다.
그리고 윤활제는 베어링면의 간격에서 진공용기내 공간으로 직접누출하는 것이 방지되고 따라서 미끄럼베어링의 간격에 과부족없이 윤활제가 충만하게 되고 바라는 베어링윤활을 얻을 수 있다. 이렇게 하여 안정한 X선관 동작이 유지된다.

Claims (1)

  1. 진공용기(18) 내부에 설치되어 양극타겟(11)을 일체적으로 지지하는 회전체(12), 상기 회전체(12)를 회전가능하게 지지하는 고정체(15), 상기 회전체(12) 및 고정체(15)의 일부에 설치되고 또 나선홈(20)(21)을 갖는 미끄럼 베어링면의 상호간에 동작중에는 액체상태인 금속윤활제를 개재하게 되는 미끄럼 베어링부(19)를 구비한 회전양극형 X선관에 있어서, 상기 나선홈(20), (21)을 갖는 미끄럼 베어링부(19)중 상기 진공용기(18)의 내부공간에서 공간적 경로상 가장 가까운 나선홈(21)을 갖는 미끄럼 베어링부(19)에 연속하는 위치에 상기 회전체(12)와 고정체(15)사이에 구성되는 원주상 공동(25)이 설치되어 있고, 또한 상기 원주상 공동(25)이 설치되어 있고, 또한 상기 원주상 공동(25)으로 부터 상기 진공용기(18)의 내부공간에 이르는 위치에서 상기 원주상 공동(25)에 공간적으로 연계되는 동시에 상기 공동(25)의 반경방향폭 크기보다도 좁은 간격(Q)을 형성하는 윤활제 누출방지수단(26)(27)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 회전양극형 X선관.
KR1019910013392A 1990-10-05 1991-07-31 회전양극형 x선관 KR940009194B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP??02-266268 1990-10-05
JP26626890 1990-10-05
JP02-266268 1990-10-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR920008823A KR920008823A (ko) 1992-05-28
KR940009194B1 true KR940009194B1 (ko) 1994-10-01

Family

ID=17428611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910013392A KR940009194B1 (ko) 1990-10-05 1991-07-31 회전양극형 x선관

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5189688A (ko)
EP (1) EP0479194B2 (ko)
KR (1) KR940009194B1 (ko)
CN (1) CN1024235C (ko)
CA (1) CA2052476C (ko)
DE (1) DE69113382T3 (ko)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960005752B1 (ko) * 1991-12-10 1996-05-01 가부시키가이샤 도시바 X선 장치
KR960008927B1 (en) * 1992-01-24 1996-07-09 Toshiba Kk Rotating anode x-ray tube
KR960010431B1 (ko) * 1992-04-08 1996-07-31 가부시키가이샤 도시바 회전양극형 x선관
DE4403116A1 (de) * 1994-02-02 1995-08-03 Philips Patentverwaltung Drehanoden-Röntgenröhre mit einem Gleitlager
JP3093581B2 (ja) * 1994-10-13 2000-10-03 株式会社東芝 回転陽極型ｘ線管及びその製造方法
DE19510068A1 (de) * 1995-03-20 1996-10-02 Siemens Ag Flüssigmetall-Gleitlager
DE19510066A1 (de) * 1995-03-20 1996-05-30 Siemens Ag Verfahren zum Befüllen eines Flüssigmetall-Gleitlagers
DE19605085C2 (de) * 1996-02-12 1999-07-29 Siemens Ag Flüssigmetall-Gleitlager mit einer Einfüllöffnung
KR100193583B1 (ko) * 1996-05-29 1999-06-15 이형도 이물질 비산방지를 위한 스핀들 모터의 공기 배출 유도장치
DE19630351C1 (de) * 1996-07-26 1997-11-27 Siemens Ag Röntgenröhre mit einem Gleitlager
JP2001325908A (ja) * 2000-03-09 2001-11-22 Toshiba Corp 回転陽極型ｘ線管
US6377658B1 (en) 2001-07-27 2002-04-23 General Electric Company Seal for liquid metal bearing assembly
CN100370576C (zh) * 2001-12-13 2008-02-20 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有一体式阳极和承载构件的x射线产生装置
US8300770B2 (en) 2010-07-13 2012-10-30 Varian Medical Systems, Inc. Liquid metal containment in an x-ray tube
DE102014107576A1 (de) 2014-05-28 2015-12-03 Jules Hendrix Röntgengenerator
US9972472B2 (en) * 2014-11-10 2018-05-15 General Electric Company Welded spiral groove bearing assembly
US10533608B2 (en) 2017-02-07 2020-01-14 General Electric Company Ring seal for liquid metal bearing assembly
US11670475B2 (en) * 2021-04-30 2023-06-06 GE Precision Healthcare LLC Liquid metal bearing structure with enhanced sealing structures

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL6512869A (ko) * 1965-10-05 1967-04-06
NL7713634A (nl) * 1977-12-09 1979-06-12 Philips Nv Roentgenbuis met draaianode.
NL8303832A (nl) * 1983-11-08 1985-06-03 Philips Nv Roentgenbuis met spiraalgroeflager.
NL8303833A (nl) * 1983-11-08 1985-06-03 Philips Nv Spiraalgroeflager met metaalsmering en antibevochtigingslaag.
DE3842034A1 (de) * 1988-12-14 1990-06-21 Philips Patentverwaltung Drehanoden-roentgenroehre mit fluessigem schmiermittel
DE3900729A1 (de) * 1989-01-12 1990-07-19 Philips Patentverwaltung Drehanoden-roentgenroehre mit einem gleitlager, insbesondere einem spiralrillenlager

Also Published As

Publication number Publication date
DE69113382T2 (de) 1996-05-30
CA2052476C (en) 1998-01-06
CN1024235C (zh) 1994-04-13
CN1060556A (zh) 1992-04-22
EP0479194B1 (en) 1995-09-27
CA2052476A1 (en) 1992-04-06
US5189688A (en) 1993-02-23
EP0479194B2 (en) 2002-11-27
DE69113382D1 (de) 1995-11-02
DE69113382T3 (de) 2003-11-27
KR920008823A (ko) 1992-05-28
EP0479194A1 (en) 1992-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR940009194B1 (ko) 회전양극형 x선관
KR940009324B1 (ko) 회전양극형 x선관
KR940009193B1 (ko) 회전양극형 x선관
EP0552808B1 (en) Method of manufacturing a rotating anode X-ray tube
US6192107B1 (en) Liquid metal cooled anode for an X-ray tube
KR0177014B1 (ko) 회전양극형 엑스선관 및 그 제조 방법
US5384819A (en) X-ray tube of the rotary anode type
KR940011725B1 (ko) 회전양극형 x선관의 제조방법 및 제조장치
KR0171237B1 (ko) 회전 양극형 x선관의 제조방법
JP2735417B2 (ja) 回転陽極型ｘ線管
US6477232B2 (en) Rotary-anode-type X-ray tube
JP2930272B2 (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH09134690A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH04144046A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH04363846A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH04196036A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH11273599A (ja) 回転陽極ｘ線管
JP3068952B2 (ja) 回転陽極型ｘ線管の製造方法
JP3159663B2 (ja) 回転陽極型ｘ線管の製造方法
JP3068951B2 (ja) 回転陽極型ｘ線管の製造方法
JP3410886B2 (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH05290772A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH11213927A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JPH05290770A (ja) 回転陽極型ｘ線管
JP2000346075A (ja) 流体動圧軸受および流体動圧軸受への注油方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080926

Year of fee payment: 15

LAPS Lapse due to unpaid annual fee