JPH11213927A

JPH11213927A - 回転陽極型ｘ線管

Info

Publication number: JPH11213927A
Application number: JP1124498A
Authority: JP
Inventors: Hideo Abu; 秀郎阿武
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-01-23
Filing date: 1998-01-23
Publication date: 1999-08-06

Abstract

(57)【要約】【課題】Ｘ線管の製造工程などにおいて陽極構造体の
回転起動を滑らかにし、破損を防止できる回転陽極型Ｘ
線管を提供すること。【解決手段】陽極ターゲットに連結された回転体１２
の内面と固定体１５の外面とが軸受け間隙をもって配置
され、かつ、回転体１２と固定体１５との間に動圧式す
べり軸受けが形成された回転陽極型Ｘ線管において、回
転体１２の軸受け面と固定体１５の軸受け面の少なくと
も一方に鉛の薄膜５１、５３を付着させている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、回転陽極型Ｘ線
管に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、相互間に軸受が形
成された回転体と固定体とによって円盤状の陽極ターゲ
ットが支えられている。そして、真空容器外に配置した
ステータの電磁コイルを付勢して陽極ターゲットを高速
に回転させ、陰極から放出した電子ビームを陽極ターゲ
ット面に当てＸ線を放射させている。

【０００３】回転陽極型Ｘ線管の場合、軸受には、ボー
ルベアリングのようなころがり軸受や動圧式すベリ軸受
が利用されている。動圧式すベリ軸受は、軸受面に動圧
発生用のらせん溝を形成し、ガリウム（Ｇａ）、また
は、ガリウムーインジウムー錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合
金のような液体金属潤滑剤を、動圧発生用のらせん溝お
よび軸受間隙に供給している。

【０００４】動圧式すベリ軸受やそれを用いた回転陽極
型Ｘ線管は、特公昭６０−２１４６３号および特開平２
−２４４５４５号、特開平２−２２７９４７号、特開平
２−２２７９４８号、特公平３−７７６１７号、特公平
７−１０５８８５号などの各公報に開示されている。ま
た、その製造方法については、例えば、特公平５−１２
９９７号や特公平５−２９０７３４号の各公報に開示さ
れている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の回転陽極型Ｘ線
管は、らせん溝を有する動圧すベリ軸受部の相嵌合する
軸受面は２０μｍ程度の微小な軸受間隙を保つように構
成されている。そして、らせん溝や軸受間隙に液体金属
潤滑剤が充填されている。このとき、液体金属潤滑剤が
軸受間隙の全体にくまなく行き渡たらないと、すベリ軸
受の動圧が十分に得られず、動圧すべり軸受の安定した
動作が維持されない。このため、極端な場合は、軸受面
同士がかじり合いを起こし、回転不能状態や破損を引き
起こすことがある。

【０００６】このような不都合を防止するために、長い
時間、動作した場合でも、液体金属潤滑剤が循環などし
て軸受部に十分な量が供給できるように、軸受部に連通
する潤滑剤収容室、いわゆるリザーバが設けられてい
る。

【０００７】ところで、動圧すベリ軸受に供給された液
体金属潤滑剤については、Ｘ線管の動作中はもちろん、
その製造工程においても真空容器の内部空間に漏れ出な
いようにしなければならない。また、排気工程では、Ｘ
線管を構成する部品や陽極構造体、あるいは潤滑剤から
十分にガスを放出させ排気する必要がある。

【０００８】このため、排気工程では、軸受やその付近
から放出したガスを潤滑剤の漏出を伴うことなく排出さ
せることが重要である。また、排気工程のある段階で
は、陽極ターゲットを回転させながら電子ビーム衝撃を
与え、十分に高い温度まで発熱させ、軸受構成部材を含
む各部からガスを放出させている。

【０００９】このような排気工程においては、潤滑剤の
漏出を伴うことなく、軸受部分を含む内部の放出ガスを
排出できるように、例えば、陽極構造体に設けられたガ
ス排出通路を上向きにしてＸ線管を排気装置に取り付け
排気している。しかし、このとき、陽極ターゲットを回
転させる前の段階で、軸受を構成する固定体と回転体と
の軸受面が、潤滑剤が存在しないまま部分的に密着する
ことがある。

【００１０】例えば、排気工程で、回転中心軸が鉛直方
向やそれに近い状態でＸ線管を固定すると、回転体や陽
極ターゲットの重力によって、回転中心軸に対して垂直
に位置する少なくとも一方のスラストすべり軸受の軸受
面同士が密着した状態になる。そして、軸受面どうしが
密着し軸受面間に潤滑剤が存在しない状態で回転体が回
転を始めると、滑らかな回転駆動ができず、極端な場合
には軸受が破損する。

【００１１】この発明は、上記した欠点を解決するもの
で、Ｘ線管の製造工程などにおいて陽極構造体の回転起
動を滑らかにし、破損を防止できる回転陽極型Ｘ線管を
提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明は、固定体と、
陽極ターゲットに連結されその内面と前記固定体の外面
とが軸受け間隙をもって配置された回転体と、前記固定
体の外面と前記回転体の内面との間に形成された動圧式
すべり軸受け、および、前記軸受け間隙にそれぞれ供給
された少なくとも動作中は液状である金属潤滑材とを具
備した回転陽極型Ｘ線管において、前記固定体の軸受け
面と前記回転体の軸受け面の少なくとも一方に、鉛の薄
膜を付着させている。

【００１３】

【発明の実施の形態】この発明の実施形態について図１
を参照して説明する。図１は、陽極構造体の各部品やそ
の組立構造、そして液体金属潤滑剤の注入状況などを示
している。

【００１４】符号１２は、底があるほぼ円筒状の回転体
で、その一端に回転軸１３が突設されている。回転体１
２は、鉄合金からなる内側円筒１２ａと銅からなる外側
円筒１２ｂとが二重に嵌合され接合固着されている。回
転体１２の中心部に穴１２ｄが形成され、その内部に、
Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金からなる金属潤滑剤Ｌが所定量注
入されている。金属潤滑剤Ｌは融点が約１１℃で、注入
される室温状態では液体である。そして、回転体１２の
開口端部１２ｃの方から、鉄合金製のほぼ円柱状の固定
体１５が回転体の中心穴１２ｄに挿入される。

【００１５】固定体１５は図示下方の径小部１５ａと、
途中の径大部１５ｂと、図示上方の陽極支持部１５ｃと
を備えている。そして、径小部１５ａ外周の軸受面に
は、２組の動圧発生用へリンボンパターンらせん溝１
６、１７が設けられ、前述した各公報に開示されるもの
と同様のラジアルすべり軸受が形成されている。そし
て、２組のすべり軸受用らせん溝１６、１７間の中間領
域はやや細くなっている。また、固定体径大部１５ｂの
中心軸に垂直な図示下側の軸受面には、サークル状動圧
発生用ヘリンホンパターンらせん溝２０が設けられ、一
方のスラストすベリ軸受を形成している。

【００１６】また、固定体１５の中心軸部には、軸方向
に沿ってくり抜かれた直径が３ｍｍの穴からなる潤滑剤
収容室３１が設けられている。潤滑剤収容室３１は先端
部分に開口３１ａがあり、また、中間部には、潤滑剤収
容室３１から細い部分の外周面に開口する４つの放射方
向通路３２が９０度間隔で対称に形成されている。潤滑
剤収容室３１の図示上端部では、固定体の陽極支持部１
５ｃの外周面に開口する第１の通気孔３３に連通してい
る。

【００１７】通気孔３３は、直径が例えば１．５ｍｍ
で、その内部に図示しないロッドが挿入されている。ロ
ッドは、モリブデンや銅、あるいは鉄合金のような、液
体金属潤滑剤でよく濡れ、かつ反応する材料で形成さ
れ、また、その外径寸法は通気孔３３と密に嵌合する大
きさになっている。ロッドには、外周壁の一部がわずか
に面取りされた切欠き部が形成されている。これによっ
て、通気孔３３の横断面積を実質的に狭め、液体金属潤
滑剤の表面張力との兼ね合いで、通気孔３３から潤滑剤
が直接漏出しないようにしている。また、ロッドは芯の
部分に任意の材料を使用し、その外側に、液体金属潤滑
剤でよく濡れ、かつ反応する被膜を付着させた構造のも
のでもよい。

【００１８】ここで、固定体径大部１５ｂの構造につい
て図２および図３を参照して説明する。なお、図２およ
び図３では、図１に対応する部分には同一の符号が付さ
れている。

【００１９】固定体径大部１５ｂには、その外周壁面か
ら内部の途中まで、それぞれ独立した直径が３ｍｍの穴
が穿設され、３個の潤滑剤収容室３５、３６、３７が形
成されている。３個の潤滑剤収容室３５、３６、３７
は、中心軸上に形成された潤滑剤収容室３１を避けて延
長し、互いに分離して構成されている。また、これら３
個の潤滑剤収容室３５、３６、３７は、回転中心軸に垂
直な面に対し斜め方向に傾斜して穿設されている。この
実施形態の場合、各潤滑剤収容室３５、３６、３７は、
その開口３５ａ、３６ａ、３７ａは陽極支持部１５ｃに
近い側に位置し、また、内部端３５ｂ、３６ｂ、３７ｂ
は径小部１５ａに近い側に位置し、径大部１５ｂに斜め
に延長して形成されている。

【００２０】各潤滑剤収容室３５、３６、３７は、各収
容室の途中で第２の各通気孔３５ｃ、３６ｃ、３７ｃに
それぞれ連通されている。第２の各通気孔３５ｃ、３６
ｃ、３７ｃは陽極支持部１５ｃの外周面に開口するよう
に斜めに形成され、直径は例えば１．５ｍｍになってい
る。そして、第１の潤滑剤収容室３１やそれに連通する
通気孔３３を避けて穿設されている。

【００２１】第２の通気孔の内部には、図示しないロッ
ドがそれぞれ密に挿入されている。ロッドには、モリブ
デンや銅、あるいは鉄合金のような、液体金属潤滑剤で
よく濡れ、かつ反応する材料が使用され、その外径寸法
は通気孔に密に嵌合する大きさになっている。ロッド
は、外周壁の一部がわずかに面取りされて切欠き部が形
成されている。これによって、各通気孔の横断面積を実
質的に狭め、通気孔から潤滑剤が直接漏出しないように
している。なお、ロッドには芯の部分に任意の材料を用
い、その外側に、液体金属潤滑剤でよく濡れ、かつ反応
する被膜を付着させた構造のものを使用することもでき
る。

【００２２】なお、各潤滑剤収容室３５、３６、３７の
内部には、図１に示すように中心軸を鉛直に置いた場合
にその収容室から流出せず、かつ、通気孔３５ｃ、３６
ｃ、３７ｃの収容室内の開口を塞がない範囲で、できる
限り多くの量のＧａ合金からなる液体金属潤滑剤Ｌが注
入されている。

【００２３】そして、固定体径大部１５ｂの図示上側に
位置する中心軸に垂直な他方のスラストすベり軸受用の
平坦な軸受面１５ｄには、約０．３μｍの厚さで、鉛
（Ｐｂ）の薄膜５１がスパッタリング法によって付着形
成されている。

【００２４】また、図１に示すように、固定体径大部の
軸受面１５ｄに対面して、スラスト軸受の軸受面を構成
するスラストリング２１が用意されている。スラストリ
ング２１の軸受面には、図４に示すようにサークル状の
動圧発生用ヘリンボンパターンらせん溝２２が形成され
ている。

【００２５】そして、スラストリング２１のらせん溝２
２を含む軸受面には、上記と同様に、約０．３μｍの厚
さで、鉛（Ｐｂ）の薄膜５３がスパツタリング法によっ
て付着形成されている。また、スラストリング２１に
は、液体金属潤滑剤の漏出を防止するために、固定体の
陽極支持部１５ｃを微小間隙を保って取り巻く短円筒部
２１ａが一体的に設けられている。スラストリング２１
の外周付近には、スラストリング２１を回転体の開口端
部１２ｃにねじ止めするためのねじ挿通用の複数の孔２
１ｂが形成されている。

【００２６】さらに、スラストリング２１の図示上方に
は、固定体の陽極支持部１５ｃを微小間隙を保ってとり
まき、半断面がほぼクランク状の第１潤滑剤トラッブリ
ング２５が当てがわれ、その内側には、第１の潤滑剤ト
ラッブ空胴３９が構成されている。これらスラストリン
グ２１、第１潤滑剤トラップリング２５は、上述のよう
に回転体の開口端部１２ｃに一体的にねじ止めで固定さ
れる。

【００２７】真空ベルジャス内に配置する必要はない
が、スラストリング２１および第１潤滑剤トラッブリン
グ２５の図示上方に適合させる封止用補助リング２６が
用意されている。

【００２８】封止用補助リング２６は、固定体の陽極支
持部１５ｃの外周にきつく嵌合し気密溶接される。封止
用補助リング２６には、液体金属潤滑剤の外部漏出を防
止するための第２の潤滑剤トラップリング２９が予め固
着され、その内側に第２の潤滑剤トラップ空胴４０が構
成されている。第２潤滑剤トラップ空胴４０は、第１潤
滑剤トラップリング２５の短円筒部の外周との間に円周
状の微小間隙Ｇ１を介して真空容器の内部空間に連通し
ている。

【００２９】そして、図１に示すように各部に液体金属
潤滑剤Ｌを注入した後、これら部材を真空べルジャ内で
必要により加熱しながらガス抜きが行われる。次いで、
固定体１５を回転体１２の中心部の穴１２ｄに上方から
ゆっくり挿入する。このとき、回転体の内側に注入した
潤滑剤Ｌは、ラジアル軸受部分や中心軸上の潤滑剤収容
室３１、放射方向通路３２、あるいは固定体と回転体と
の間にできる空間や軸受間隙に流動する。

【００３０】その後、固定体径大部１５ｂを回転体開口
端部１２ｃの内側空所に合致させ、スラストリング２１
および第１潤滑剤トラップリング２５を嵌め、これらを
回転体開口部１２ｃにねじ止めする。これによって、固
定体径大部２１は、ねじ止めされた回転体内側円筒とス
ラストリング２１とで挾持され、２つのスラスト軸受面
が相互に適合される。なお、これら２つのスラスト軸受
の軸受面間には、回転体の高速回転時に２０〜３０μｍ
程度の軸受間隙が確保される。

【００３１】上記した方法で組立てを行った後、中心軸
を図示のように鉛直に維持したまま組立構造体を真空ベ
ルジャ外に取り出す。そして、第２潤滑剤トラップリン
グ２９が予め固着されている封止用補助りング２６を、
固定体の陽極支持部の外周に嵌合し、図５に符号Ｂｍで
示すように気密に溶接する。図５には、回転軸１３にナ
ット１４で固定され重金属製円盤状陽極ターゲット１１
が示されている。

【００３２】さらに、組立構造体を真空容器２７内部の
所定位置に挿入し、真空容器の封着用金属リング２８と
封止用補助リング２６との薄肉先端部を合致させ、符号
Ｂｎで示すように気密溶接する。この状態では、各潤滑
剤収容室内の液体金属潤滑剤Ｌの各喫水線Ｈａ、Ｈｂ
は、図示のようにそれぞれの潤滑剤収容室の途中の位置
になる。なお、図５の符号１８、１９は固定体径小部と
回転体との間に構成された動圧式ラジアルすべり軸受、
符号２３、２４は固定体径大部とスラストリングを含む
回転体との間に構成された動圧式スラストすべり軸受、
符号Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃはそれぞれ固定体と回転体との間
に形成された内部空間を示している。

【００３３】その後、図６に示すように、陽極支持部１
５ｃを上方に向け、回転軸を鉛直にした状態で排気装置
（図示せず）に取り付け、陰極構体６１が支持された真
空容器２７の図示下方にある排気管６２から真空ポンプ
（図示せず）で排気する。この排気工程では、図示しな
いガスバーナや加熱ヒータ、高周波誘導加熱装置などに
より、真空容器や管内部品からガスを放出させ、真空ポ
ンブで排気する。

【００３４】この場合、スラストリング２１を含む回転
体は、固定体に対して自重により吊り下げられた状態に
なる。この状態におけるスラスト軸受の近傍は、それを
拡大して示すと図７のようになる。

【００３５】回転体の一部を構成するスラストリング２
１は、固定体である径大部１５ｂに対して自重で下方に
押し付けられている。このため、固定体径大部１５ｂの
上側のスラスト軸受面１５ｄと、スラストリング２１の
らせん溝２２がある軸受面は互いに密着する。したがっ
て、内部の軸受部分や潤滑剤収容室内で発生するガスは
スラスト軸受２４を通過することができず、各潤滑剤収
容室から第２潤滑剤トラッブ空胴４０に向けて開口して
いる各通気孔３３、３５ｃ、３６ｃ、３７ｃ、および間
隙Ｇ１を通過して真空容器の内部空間に排出され、真空
ポンブによって外部に排出される。なお、符号Ｇ２、Ｇ
３は固定体陽極支持部とスラストリングおよび第１トラ
ッブリングとの間にできる潤滑剤漏れ防止用の微小間隙
をあらわしている。

【００３６】上記したように陽極構造体を静止したまま
所定の加熱制御を行い排気する。次に、ステータコイル
を配置し、回転体および回転体に固定された陽極ターゲ
ットを回転させ、同時に、陰極から電子ビームを放出さ
せてターゲットに電子ビームを照射する。これにより、
陽極各部を加熱してガスを放出させ排気する。

【００３７】この状態における排気工程は、回転体の全
荷重が上方のスラスト軸受２４にかかっている。スラス
ト軸受２４の両軸受面は、回転始動前には上述のように
密接しているものの、密接し合っている面はＰｂ層にな
っている。Ｐｂは比較的柔らかい金属であることから、
Ｐｂ層は実質的に潤滑剤の役割をする。したがって、回
転体はかみつき等を起こすことなく回転を始め、また、
安定な回転が維持され、陽極支持部を上向きすなわち回
転軸を鉛直方向に据えたまま、必要十分な排気を行うこ
とができる。

【００３８】排気工程を経た後、Ｘ線管を例えば横倒し
にすれば、潤滑剤収容室などに注入されている液体金属
潤滑剤は、すべての軸受部分のらせん溝や軸受間隙、潤
滑剤通路、あるいは内部の空間に流動してゆきわたる。
Ｐｂ層を付着してあるスラスト軸受の軸受面は、Ｇａ合
金からなる潤滑剤と比較的容易に濡れかつ融合し、潤滑
剤の機能を発揮する。したがって、軸受の破損を防止で
き、安定した軸受性能を有する回転陽極型Ｘ線管が得ら
れる。

【００３９】なお、各潤滑剤収容室から延長された通気
孔は、上述のように潤滑剤を通過させない狭い寸法にな
っている。このため、Ｘ線管の回転軸がどの方向に向け
られても潤滑剤収容室から潤滑剤が真空容器の内部空間
に漏出することがない。また、エージング工程等を経る
なかで、各潤滑剤収容室から通気孔に入り込む一部の潤
滑剤は、通気孔の内壁、あるいは、ロッドがある場合に
はこのロッドの表面に付着して徐々に反応が進行し、反
応物の堆積で通気孔が密閉される。したがって、Ｘ線管
の動作中などに潤滑剤収容室から通気孔を経由する液体
金属潤滑剤の漏出が確実に防止される。

【００４０】上記の実施形態は、陽極構造体の組立て、
そして、潤滑剤の供給から排気工程までを、陽極支持部
を上方に向けたままの縦向きで行っている。しかし、こ
れに限らず、回転軸を一旦横向きにした後に図６に示す
ように縦向きにして排気を行なってもよい。

【００４１】回転軸を一旦横向きにすると、とくにスラ
スト軸受の部分では、図８に示すように、固定体径大部
１５ｂに形成した潤滑剤収容室のうち、開口が下向きに
位置する収容室３５から、潤滑剤Ｌが空間Ｓｃを経てス
ラスト軸受２３、２４の軸受間隙内に流動する。とくに
Ｐｂ層を付着した軸受面間に流動したＧａ合金潤滑剤
は、室温でも比較的速やかにＰｂ層を濡らし、かつ、わ
ずかながら融合し、毛細管現象によりこの軸受間隙内お
よびらせん溝内にゆきわたる。なお、この操作は空気中
で行っても、Ｐｂ層および潤滑剤の表面部の酸化は少な
く、両者の濡れや融合は支障なく進行する。また、Ｘ線
管を横倒しのまま固定体径大部に形成したすべての潤滑
剤収容室が順次下向きになるように回せば、スラスト軸
受間隙の全体に確実に潤滑剤が供給される。

【００４２】この後、図６に示したように縦向きに設置
して排気を行えば、回転構造体の全荷重が加わるスラス
ト軸受の両軸受面間に既に液体金属潤滑剤が介在してい
るため、陽極ターゲットを比較的高速で回転させても電
子ビーム衝撃を支障なく行うことができる。

【００４３】また、Ｐｂ薄膜は、排気工程の際に回転体
の荷重が加わる軸受面には必ず付着するようにし、他の
軸受面、または固定体と回転体との嵌合面の潤滑剤が供
給される全面に付着するようにしてもよい。

【００４４】上記の実施形態では、回転軸を縦向きにし
て排気を行う場合について述べたが、回転軸を横向きに
して排気を行ってもよい。この場合も、Ｐｂ薄膜をラジ
アル軸受面に付着させておくことにより、同様の効果を
得ることができる。

【００４５】また、軸受面上に付着したＰｂ薄膜の上
に、潤滑剤注入工程の前に液体金属潤滑剤を小量滴下し
て濡らし、その後、軸受構成部材を組立てもよい。

【００４６】また、軸受面上にＰｂ薄膜を付着する方法
は、スパッタリングやイオンプレーティング法、めっき
法に限らず、他の公知の薄膜形成方法を採用することが
できる。

【００４７】なお、金属潤滑剤の充填量は、好ましく
は、上記の各軸受部分や軸受間隙、潤滑剤収容室、放射
方向通路、および各内部空間を含む空間容積の２０％乃
至８０％の範囲で、例えば５０％程度が有効である。ま
た、金属潤滑剤は、ＧａやＧａ−Ｉｎ合金、あるいはＧ
ａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金のようなＧａを主体とするものが使
用される。しかし、これに限らず、例えばビスマス（Ｂ
ｉ）を相対的に多く含むＢｉーＩｎ−Ｐｂ−Ｓｎ合金、
あるいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ−Ｂｉ合金、また
はＩｎ−Ｂｉ−Ｓｎ合金を使用することができる。これ
らは融点が室温以上であるので、陽極ターゲットを回転
させる前に金属潤滑剤をその融点以上の温度に予熱した
後、回転させることが望ましい。

【００４８】なお、上記した実施形態では、スラスト軸
受を形成するスラストリングの軸受面と固定体径大部の
軸受面にＰｂ薄膜を付着しているが、その一方の軸受面
だけにＰｂ薄膜を付着するようにしてもよい。

【００４９】

【発明の効果】この発明によれば、Ｘ線管の製造工程な
どにおいて陽極構造体の回転起動を滑らかにし、破損を
防止できる回転陽極型Ｘ線管を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態を示す要部分解縦断面図で
ある。

【図２】図１の要部を拡大した断面図である。

【図３】図２の線分３−３における横断面図である。

【図４】図１の一部を示す底面図である。

【図５】図１の各部品を組み立てた状態を示す要部縦断
面図である。

【図６】この発明の排気工程を説明するための縦断面図
である。

【図７】この発明の排気工程における要部を拡大して示
した断面図である。

【図８】この発明の他の実施形態を示す要部縦断面図で
ある。

【符号の説明】

１１…陽極ターゲット１２…回転体１３…回転軸１５…固定体１５ａ…固定体径小部１５ｂ…固定体径大部１６、１７、２０、２２…らせん溝３１…中心軸方向の潤滑剤収容室３５…固定体径大部の潤滑剤収容室５１、５３…Ｐｂ薄膜Ｌ…液体金属潤滑剤

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固定体と、陽極ターゲットに連結されそ
の内面と前記固定体の外面とが軸受け間隙をもって配置
された回転体と、前記固定体の外面と前記回転体の内面
との間に形成された動圧式すべり軸受け、および、前記
軸受け間隙にそれぞれ供給された少なくとも動作中は液
状である金属潤滑材とを具備した回転陽極型Ｘ線管にお
いて、前記固定体の軸受け面と前記回転体の軸受け面の
少なくとも一方に、鉛の薄膜を付着させたことを特徴と
する回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】金属潤滑剤は、ガリウム、インジウム、
錫、およびビスマスの各金属の中から選択された少なく
とも１つの金属、または、前記各金属の少なくとも１つ
を含む合金からなる請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】鉛の薄膜を、回転軸に対して直角に位置
する軸受け面のみに付着させた請求項１記載の回転陽極
型Ｘ線管。