JPH04144046A - 回転陽極型ｘ線管 - Google Patents
回転陽極型ｘ線管Info
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- JPH04144046A JPH04144046A JP26627090A JP26627090A JPH04144046A JP H04144046 A JPH04144046 A JP H04144046A JP 26627090 A JP26627090 A JP 26627090A JP 26627090 A JP26627090 A JP 26627090A JP H04144046 A JPH04144046 A JP H04144046A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/10—Drive means for anode (target) substrate
- H01J2235/1046—Bearings and bearing contact surfaces
- H01J2235/106—Dynamic pressure bearings, e.g. helical groove type
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、回転陽極型Ｘ線管に係わり、とくにその回
転機構部の改良に関する。
転機構部の改良に関する。
（従来の技術）
回転陽極型Ｘ線管は、周知のように、軸受部を有する回
転体および固定体で円板状の陽極ターゲットを支え、真
空容器外に配置したステータの電磁コイルを付勢し高速
回転させながら、陰極から放出した電子ビームを陽極タ
ーゲットに当て、Ｘ線を放射する。軸受部は、ボールベ
アリングのようなころがり軸受や、軸受面にらせん溝を
形成するとともにガリウム（Ｇａ）、又はＧａ、インジ
ウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、その他の金属から選択され
た合金のような動作中に液状となる金属潤滑剤を用いた
動圧式すべり軸受で構成される。
転体および固定体で円板状の陽極ターゲットを支え、真
空容器外に配置したステータの電磁コイルを付勢し高速
回転させながら、陰極から放出した電子ビームを陽極タ
ーゲットに当て、Ｘ線を放射する。軸受部は、ボールベ
アリングのようなころがり軸受や、軸受面にらせん溝を
形成するとともにガリウム（Ｇａ）、又はＧａ、インジ
ウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、その他の金属から選択され
た合金のような動作中に液状となる金属潤滑剤を用いた
動圧式すべり軸受で構成される。
後者のすべり軸受を用いた例は、たとえば特公昭５Ｌ２
１４６３号、特開昭Ｇｏ−９７５３６号、特開昭６０−
］！７５３１号、ある（・は特開昭６２−２８７５５５
号等の各公報に開示されている。
１４６３号、特開昭Ｇｏ−９７５３６号、特開昭６０−
］！７５３１号、ある（・は特開昭６２−２８７５５５
号等の各公報に開示されている。
（発明ｈ（解決しようとする課題）
上記各公報に開示されている回転陽極型Ｘ線管では、回
転動作中、液体金属潤滑剤が回転体の開口部と固定体と
の隙間から除々に漏れ出すおそれがある。液体金属潤滑
剤が、回転機構部から漏れ出すと、すべり軸受の長時間
の安定な動圧軸受作用が得られず、さらにＸ線管内に飛
散した潤滑剤により耐電圧性能が著しく損なわれるとい
う致命的な障害をもたらす。
転動作中、液体金属潤滑剤が回転体の開口部と固定体と
の隙間から除々に漏れ出すおそれがある。液体金属潤滑
剤が、回転機構部から漏れ出すと、すべり軸受の長時間
の安定な動圧軸受作用が得られず、さらにＸ線管内に飛
散した潤滑剤により耐電圧性能が著しく損なわれるとい
う致命的な障害をもたらす。
この発明は、以上のような不都合を解消し、回転体と固
定体との間のすべり軸受面に満たされた液体金属潤滑剤
の漏出を確実に防止でき、安定な軸受動作を維持するこ
とができる回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とす
る。
定体との間のすべり軸受面に満たされた液体金属潤滑剤
の漏出を確実に防止でき、安定な軸受動作を維持するこ
とができる回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とす
る。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明は、陽極ターゲットと一体の回転体を保持する
円柱状の固定体が回転体の開口部近傍に径小部を有し、
有底円筒状の回転体の開口部に固定体径小部を近接包囲
するリング状の開口部閉塞体が設けられ、この固定体径
小部及びこれを包囲する開口部閉塞体の間に液体金属潤
滑剤をすべり軸受部の方向に押しやるポンプが構成され
てなる回転陽極型Ｘ線管である。
円柱状の固定体が回転体の開口部近傍に径小部を有し、
有底円筒状の回転体の開口部に固定体径小部を近接包囲
するリング状の開口部閉塞体が設けられ、この固定体径
小部及びこれを包囲する開口部閉塞体の間に液体金属潤
滑剤をすべり軸受部の方向に押しやるポンプが構成され
てなる回転陽極型Ｘ線管である。
（作用）
この発明によれば、固定体径小部及びこれを近接包囲す
るリング状の開口部閉塞体の間に液体金属潤滑剤をすべ
り軸受部の方向に押しやるポンプが構成されてなるので
、陽極ターゲットを支える回転体の回転によりポンプ作
用が得られ、すべり軸受面に満たされた液体金属潤滑剤
の漏出を防止でき、安定な軸受動作を維持することがで
きる。
るリング状の開口部閉塞体の間に液体金属潤滑剤をすべ
り軸受部の方向に押しやるポンプが構成されてなるので
、陽極ターゲットを支える回転体の回転によりポンプ作
用が得られ、すべり軸受面に満たされた液体金属潤滑剤
の漏出を防止でき、安定な軸受動作を維持することがで
きる。
（実施例）
以下その実施例を図面を参照して説明する。なお同一部
分は同一符号であられす。
分は同一符号であられす。
第１図乃至第３図に示す実施例は、次の構成を有する。
すなわち、重金属からなる円盤状陽極ターゲットｌｌは
、有底円筒状の回転体１２の一端に突設された回転軸部
１３に固定ねじ１４により一体的に固定されている。有
底円筒状回転体１２の内側には、円柱状の固定体１５が
回転体開口部１２ａ側から挿入されて密に嵌合されてい
る。固定体１５は、その図示下端部すなわち回転体開口
部の近傍に、外径が縮小された固定体径小部１５ａが設
けられている。
、有底円筒状の回転体１２の一端に突設された回転軸部
１３に固定ねじ１４により一体的に固定されている。有
底円筒状回転体１２の内側には、円柱状の固定体１５が
回転体開口部１２ａ側から挿入されて密に嵌合されてい
る。固定体１５は、その図示下端部すなわち回転体開口
部の近傍に、外径が縮小された固定体径小部１５ａが設
けられている。
そして回転体開口部１２１には、固定体径小部１５ａを
近接して包囲し、実質的に閉塞するリング状の開口部閉
塞体１６が複数個のねじ１６ａにより固定されている。
近接して包囲し、実質的に閉塞するリング状の開口部閉
塞体１６が複数個のねじ１６ａにより固定されている。
固定体径小部１５１には、これら回転体１２および固定
体１５を機械的に支える鉄材型の陽極支持部１７がろう
接により固着され、これはガラス製の真空容器１８に気
密接合されている。
体１５を機械的に支える鉄材型の陽極支持部１７がろう
接により固着され、これはガラス製の真空容器１８に気
密接合されている。
円筒状回転体１２と固定体１５との嵌合部分は、前述の
各公報に示されるような動圧すベリ軸受部１９を構成し
ている。そのため、固定体側のすべり軸受面となる固定
体外周壁及び両端壁には、前述の各公報に記載されてい
るようならせん溝２０．２１が形成されている。これと
対面する回転体側のすべり軸受面は、単なる平滑な面で
もよく、あるいは必要に応じてらせん溝を形成したもの
でもよい。
各公報に示されるような動圧すベリ軸受部１９を構成し
ている。そのため、固定体側のすべり軸受面となる固定
体外周壁及び両端壁には、前述の各公報に記載されてい
るようならせん溝２０．２１が形成されている。これと
対面する回転体側のすべり軸受面は、単なる平滑な面で
もよく、あるいは必要に応じてらせん溝を形成したもの
でもよい。
これら回転体及び固定体の両軸受面は、およそ２０μｍ
の間隙をもって対面するようになっている。
の間隙をもって対面するようになっている。
また固定体１５は、その中心部が軸方向にくり抜かれて
透孔とされ、軸方向の潤滑剤通路２２が設けられている
。この軸方向潤滑剤通路２２の図示上端開口２２ａは、
図示上部のらせん溝２１をもつ軸受面を経て固定体外周
のらせん溝２０をもつ軸受面に連通している。また、こ
の固定体１５の中間部にその外周壁がわずかにテーパ状
に削られた径小部２３が形成されており、潤滑剤通路２
２からこの径小部２３に通じる３つの放射方向通路２４
が１２０度間隔で軸対称的に形成されている。さらに、
中心の潤滑剤通路２２の図示下端開口部２２ｂは、固定
体１５と同じ材料の栓２５によって閉塞されており、そ
の近傍に径小な円周溝２６が形成されている。そして、
この円周溝２６から中心の潤滑剤通路２２に通じる同じ
く３つの放射方向通路２７が１２０度間隔で軸対称的に
形成されている。それにより、潤滑剤通路２２の図示下
端部２２ｂは、放射方向の通路２７および円周溝２６を
通して図示下部のらせん溝２１ををもつ軸受面を経て同
様に固定体外周のらせん溝２０をもつ軸受面に連通して
いる。
透孔とされ、軸方向の潤滑剤通路２２が設けられている
。この軸方向潤滑剤通路２２の図示上端開口２２ａは、
図示上部のらせん溝２１をもつ軸受面を経て固定体外周
のらせん溝２０をもつ軸受面に連通している。また、こ
の固定体１５の中間部にその外周壁がわずかにテーパ状
に削られた径小部２３が形成されており、潤滑剤通路２
２からこの径小部２３に通じる３つの放射方向通路２４
が１２０度間隔で軸対称的に形成されている。さらに、
中心の潤滑剤通路２２の図示下端開口部２２ｂは、固定
体１５と同じ材料の栓２５によって閉塞されており、そ
の近傍に径小な円周溝２６が形成されている。そして、
この円周溝２６から中心の潤滑剤通路２２に通じる同じ
く３つの放射方向通路２７が１２０度間隔で軸対称的に
形成されている。それにより、潤滑剤通路２２の図示下
端部２２ｂは、放射方向の通路２７および円周溝２６を
通して図示下部のらせん溝２１ををもつ軸受面を経て同
様に固定体外周のらせん溝２０をもつ軸受面に連通して
いる。
らせん溝２０．２１を含む軸受部１９、およびこれに連
通ずる潤滑剤通路２２には、これらの空間を埋める量の
図示しない液体金属潤滑剤が充填され、収容されている
。そして、真空容器１８の外側の回転体１２に対応する
位置に、図示しないステータの電磁コイルを配置して回
転磁界を生じさせ、回転陽極を矢印Ｐの如く高速回転さ
せる。図示しない陰極から放出された電子ビームが陽極
ターゲット１１に射突してＸ線が発生させられるととも
に、このターゲットに生じた熱はその多くが輻射により
放散されるとともに、一部は回転体１２から軸受部１９
の液体金属潤滑剤を通り固定体１５を経て外部に放散さ
れる。
通ずる潤滑剤通路２２には、これらの空間を埋める量の
図示しない液体金属潤滑剤が充填され、収容されている
。そして、真空容器１８の外側の回転体１２に対応する
位置に、図示しないステータの電磁コイルを配置して回
転磁界を生じさせ、回転陽極を矢印Ｐの如く高速回転さ
せる。図示しない陰極から放出された電子ビームが陽極
ターゲット１１に射突してＸ線が発生させられるととも
に、このターゲットに生じた熱はその多くが輻射により
放散されるとともに、一部は回転体１２から軸受部１９
の液体金属潤滑剤を通り固定体１５を経て外部に放散さ
れる。
そこで、固定体径小部１５ａおよびその一部に形成され
た円周溝２６を近接して包囲するリング状の開口部閉塞
体１６には、その内周壁面にらせん状溝１６ｂが形成さ
れている。このらせん状溝＋６ｂは、固定体径小部１５
ａの外周壁に沿い近接して軸方向にわたって所定距離形
成されている。このらせん状溝＋６ｂは、回転体１２の
回転Ｐによりこの溝＋８ｂと固定体径小部１５！との隙
間に入る液体金属潤滑剤を、図示の上方すなわちすべり
軸受部の方向に押しやるスクリュー式のポンプ３０を構
成している。
た円周溝２６を近接して包囲するリング状の開口部閉塞
体１６には、その内周壁面にらせん状溝１６ｂが形成さ
れている。このらせん状溝＋６ｂは、固定体径小部１５
ａの外周壁に沿い近接して軸方向にわたって所定距離形
成されている。このらせん状溝＋６ｂは、回転体１２の
回転Ｐによりこの溝＋８ｂと固定体径小部１５！との隙
間に入る液体金属潤滑剤を、図示の上方すなわちすべり
軸受部の方向に押しやるスクリュー式のポンプ３０を構
成している。
そのために、らせん状溝＋６ｂは回転方向Ｐによりこの
溝内に入る潤滑剤を図の上方へ移動させる方向に向けて
形成されている。なお、開口部閉塞体１６の図示下端シ
リンダ一部の内周壁面１６ｃは、さらに径小になってお
り、固定体径小部１５ａと１０〜２０μｍの間隙ｇに狭
められている。そして要すれば、間隙ｇを保って対面す
る固定体径小部の外周面、および閉塞体シリンダ一部内
周面１６ｃに、液体金属潤滑剤を表面張力で弾くように
、例えば金属酸化物、セラミックスの薄い被膜を形成し
ておく。それによって、この間隙ｇを経て潤滑剤が漏出
することがより一層確実に防止できる。
溝内に入る潤滑剤を図の上方へ移動させる方向に向けて
形成されている。なお、開口部閉塞体１６の図示下端シ
リンダ一部の内周壁面１６ｃは、さらに径小になってお
り、固定体径小部１５ａと１０〜２０μｍの間隙ｇに狭
められている。そして要すれば、間隙ｇを保って対面す
る固定体径小部の外周面、および閉塞体シリンダ一部内
周面１６ｃに、液体金属潤滑剤を表面張力で弾くように
、例えば金属酸化物、セラミックスの薄い被膜を形成し
ておく。それによって、この間隙ｇを経て潤滑剤が漏出
することがより一層確実に防止できる。
この回転陽極型Ｘ線管の動作において、液状になった金
属潤滑剤は、すべり軸受部を十分滴たし、円滑な動圧軸
受動作を可能にする。そしてこの液体金属潤滑剤が動作
に伴って回転体開口部側にしみ出してきても、この開口
部近傍に設けられたスクリュー式のポンプ３０により外
へ漏れ出ることが防止されるとともに、軸受面へ直接ま
たは各潤滑剤通路を経て押し戻され、すべり軸受の円滑
な回転に供される。
属潤滑剤は、すべり軸受部を十分滴たし、円滑な動圧軸
受動作を可能にする。そしてこの液体金属潤滑剤が動作
に伴って回転体開口部側にしみ出してきても、この開口
部近傍に設けられたスクリュー式のポンプ３０により外
へ漏れ出ることが防止されるとともに、軸受面へ直接ま
たは各潤滑剤通路を経て押し戻され、すべり軸受の円滑
な回転に供される。
なお、上記実施例のポンプ３０は回転体の開口部閉塞体
の内周壁面に形成したらせん状溝を有して構成されてい
るが、それに限らず、開口部閉塞体にプロペラ状の突起
を設けて構成してもよい。
の内周壁面に形成したらせん状溝を有して構成されてい
るが、それに限らず、開口部閉塞体にプロペラ状の突起
を設けて構成してもよい。
なおまた、使用する金属潤滑剤は、Ｇａ、Ｇａ−Ｉｎ１
又はＧａ−Ｉｎ−８ｎのようなＧａを主体とするものが
使用できるが、それに限らず、例えばビスマス（Ｂ ｉ
）を相対的に多く含むＢ１−Ｉｎ−Ｐｂ−８ｎ合金、あ
るいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ−Ｂ１合金、又はＩ
ｎ−Ｂ１−８ｎ合金を使用し得る。これらは融点が室温
以上の温度であるので、陽極ターゲットを回転させる前
に金属潤滑剤をこの温度以上に予熱したうえで回転させ
ることが望ましい。
又はＧａ−Ｉｎ−８ｎのようなＧａを主体とするものが
使用できるが、それに限らず、例えばビスマス（Ｂ ｉ
）を相対的に多く含むＢ１−Ｉｎ−Ｐｂ−８ｎ合金、あ
るいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ−Ｂ１合金、又はＩ
ｎ−Ｂ１−８ｎ合金を使用し得る。これらは融点が室温
以上の温度であるので、陽極ターゲットを回転させる前
に金属潤滑剤をこの温度以上に予熱したうえで回転させ
ることが望ましい。
［発明の効果コ
以上説明したようにこの発明によれば、陽極ターゲット
を支える回転体の開口部近傍に固着した閉塞体及び固定
体径小部の間に液体金属潤滑剤をすべり軸受部の方向に
押しやるポンプが構成されてなるため、すべり軸受面に
満たされた液体金属潤滑剤の漏出を確実に防止でき、安
定な軸受動作を維持することができる。
を支える回転体の開口部近傍に固着した閉塞体及び固定
体径小部の間に液体金属潤滑剤をすべり軸受部の方向に
押しやるポンプが構成されてなるため、すべり軸受面に
満たされた液体金属潤滑剤の漏出を確実に防止でき、安
定な軸受動作を維持することができる。
したがって、長時間にわたり安定な軸受は動作性能をも
つ回転陽極型Ｘ線管を得ることができる。
つ回転陽極型Ｘ線管を得ることができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す要部縦断面図、第２
図はその要部拡大図、第３図はその一部を示す縦断面図
である。 １１・・・陽極ターゲット、１２・・・回転体、１５・
・・固定体、 １５！・・・固定体径小部、１９
・・・すべり軸受部、 １６・・・開口部閉塞体、１６
ｂ・・・らせん状溝、 ３０・・・ポンプ。
図はその要部拡大図、第３図はその一部を示す縦断面図
である。 １１・・・陽極ターゲット、１２・・・回転体、１５・
・・固定体、 １５！・・・固定体径小部、１９
・・・すべり軸受部、 １６・・・開口部閉塞体、１６
ｂ・・・らせん状溝、 ３０・・・ポンプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 陽極ターゲットが固定された有底円筒状の回転体と、こ
の回転体を回転可能に保持する円柱状の固定体と、前記
回転体および固定体の一部に設けられた軸受面の相互間
に少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が介在され
てなるすべり軸受部とを具備する回転陽極型Ｘ線管にお
いて、 上記固定体は上記回転体の開口部近傍に径小部を有し、
前記回転体の開口部に前記固定体の径小部を近接包囲す
るリング状の開口部閉塞体が設けられ、該固定体径小部
及びこれを包囲する開口部閉塞体の間に上記液体金属潤
滑剤をすべり軸受部の方向に押しやるポンプが構成され
てなることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2266270A JP2898731B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | 回転陽極型ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2266270A JP2898731B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | 回転陽極型ｘ線管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04144046A true JPH04144046A (ja) | 1992-05-18 |
| JP2898731B2 JP2898731B2 (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=17428636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2266270A Expired - Fee Related JP2898731B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | 回転陽極型ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2898731B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0979263A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-03-25 | Hitachi Ltd | 軸受装置及びこれを備えたスピンドルモ−タ |
| EP4083458A3 (en) * | 2021-04-30 | 2023-03-29 | GE Precision Healthcare LLC | Liquid metal bearing structure with enhanced sealing structures |
-
1990
- 1990-10-05 JP JP2266270A patent/JP2898731B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0979263A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-03-25 | Hitachi Ltd | 軸受装置及びこれを備えたスピンドルモ−タ |
| EP4083458A3 (en) * | 2021-04-30 | 2023-03-29 | GE Precision Healthcare LLC | Liquid metal bearing structure with enhanced sealing structures |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2898731B2 (ja) | 1999-06-02 |
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