KR940003437A - 유체처리장치 및 기재처리방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기재를 유체로 처리하기 위한 신규한 장치 및 방법에 관한 것이다. 이 신규한 장치는 기재의 영역에 충돌한 유체가 그 영역에 잔류하여 새로운 유체가 그 충돌영역에 도달하는 것을 방해하는 현상인 드랙아웃(dragout)의 문제를 실질적으로 극복할 수 있는 신규한 구성의 유체제트 분사기를 구비한다. 이러한 신규한 구성에 의하면, 기재상에 토크가 가해지는 것을 피할 수 있을 뿐만 아니라, 기재를 이송하기 위한 로울러와 안내부의 필요성도 대폭 감소된다.

Description

유체처리장치 및 기재처리방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 장치의 제1실시예를 도시하는 등각 사시도,

제2도는 제1도에 도시한 실시예의 측면도(end view),

제4도는 본 발명에 따른 장치의 제2실시예에 대한 평면도,

제6도는 본 발명에 따른 장치의 제3실시예를 도시하는 등각 사시도,

제7도는 제6도에 도시한 제3실시예의 측면도.

Claims (10)

1. 입구연부(entrance edge)와 출구연부(exit edge)를 구비하며, 축이 상기 입구연부로부터 상기 출구연부까지 연장되는 특징을 갖는 유한한 치수의 적어도 하나의 표면과; 상기 입구연부로부터 상기 출구연부까지 상기 표면으로부터 소정거리(H) 떨어진 지점에서 상기 축과 실질적으로 평행한 방향을 따라 상기 표면위로 기재 (substrate)를 이송하기 위한 수단을 포함하는 유체처리장치에 있어서; 상기 유체처리 장치는 적어도 2개의 이격된 유체제트 분사기들로 이루어진 적어도 하나의 제1열(at least a first row of at least two, spaced-apart fluid jet injectiors)을 더 포함하며, 상기 제1열은 상기 축을 가로 질러서 배열되며, 상기 적어도 2개의 유체제트 분사기는 상기 표면을 관통하여 상기 기재와 충돌하는 적어도 2개의 유체 제트로 이루어진 제1의 유체제트 열(a first rew of at least two fluid jets)을 형성하는 역할을 하며, 각각의 상기 유체제트 분사기는 H/D의 비가 약 0.2 내지 약 15가 되는 직경(D)을 가지며, 상기 제1의 유체제트분사기열은 상기 출구연부보다는 상기 입구연부에 가깝게 배치됨으로써, 상기 제1의 유체제트 열이 상기 기재와 충돌한 후 상기 제1의 유체제트 열과 관련된 유체중 절반이상이 상기 기재의 이송방향과 거의 반대방향으로 흐르도륵 된 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
2. 제1항에 있어서, 각각의 상기 유체제트는 상기 유체제트 분사기에서의 유체 속도를 V라 하고 그 유체의 동점도(kinematic viscosity)틀 nu라 하는 경우, V*D/nu로 규정되는 것으로 각각의 상기 유체 제트와 관련된 레이놀드수(Reynolds number)가 약 50 내지 약 30,000이 되는 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
3. 제1항에 있어서, 적어도 2개의 이격된 유체제트 분사기들로 이루어진 적어도 하나의 제2열(at least a sec-ond row of at least two, spaced-apart fluid jet injectors)을 더 포함하며, 상기 제2의 유체제트분사기 열은 상기 표면을 관통하여 상기 기재와 충돌하는 적어도 2개의 유체제트로 이루어진 제2의 유체제트 열(a second row of at least two fluid jects)을 형성하는 역할을 하며, 상기 제2의 유체제트 분사기 열은 상기 제1의 유체제트 분사기 열과 상기 출구연부사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 제2의 유체제트 분사기 열은 상기 입구연부와 상기 출구 연부사이에 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 표면을 관통하는 적어도 2개의 이격된 배출구멍들로 이루어진 적어도 하나의 제1열(at least a first row of at least two, spaced-apart drain holes)을 더 포함하며, 상기 제1의 배출 구멍열은 상기 축을 가로질러서 배열되고 상기 입구연부와 상기 제1의 유체제트 분사기 열사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1의 배출구멍 열로부터 유체를 펌핑하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
7. 제5항에 있어서, 적어도 2개의 이격된 배출구멍들로 이루어진 적어도 하나의 제2열(at least a second row of at least two, spaced-apart drain holes)을 더 포함하며, 상기 제2의 배출구멍열은 상기 축을 가로질러서 배열되고 상기 제1의 유체제트 분사기 열과 상기 출구 연부사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 유체처리장치.
8. 유체로 기재를 처리하기 위한 방법에 있어서 : 입구연부와 출구연부를 구비하고 축이 상기 입구연부로부터 상기 출구연부까지 연장되는 특징을 갖는 유한한 치수의 표면위로 상기 기재를 이송하는 단계를 구비하되, 이 이송단계는 상기 입구연부로부터 상기 출구연부까지 상기 축과 실질적으로 평행한 방향을 따라 상기 표면으로부터 소정거리(H) 떨어진 지점에서 수행되고; 적어도 2개의 이격된 유체제트 분사기들로 이루어진 적어도 하나의 제1열로부터 방출된 적어도 2개의 유체제트로 이루어진 적어도 하나의 제1의 유체제트열을 상기 기재와 충돌시키는 단계를 포함하되, 상기 제1의 유체제트 분사기 열은 상기 축을 가로질러서 배열되고 상기 표면을 관통하므로 상기 제1의 유체제트 열이 상기 축을 가로질러서 배열되며, 각각의 상기 유체제트 분사기는 H/D의 비가 약 0.2 내지 약 15가 되는 직경(D)을 가지고, 상기 제1의 유체제트 분사기 열은 상기 출구연부보다는 상기 입구연부에 가깝게 배치됨으로써, 상기 충돌단계후에 상기 제1의 유체제트 열과 관련된 유체중 절반 이상이 상기 기재의 이송방향과 거의 반대방향으로 흐를 수 있게 된 것을 특징으로 하는 기재 처리 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 제1의 유체제트 열의 각 유체제트는 상기 제1의 유체제트 분사기 열에서의 유체속도를 V라 하고 그 유체의 동점도를 nu라 하는 경우, 상기 충돌단계중에, V*D/nu로 규정되는 것으로 각각의 상기 유체 제트와 관련된 레이놀드수(Reynolds number)가 약 50 내지 약 30,000이 되는 것을 특징으로 하는 기재처리 방법.
10. 제8항에 있어서, 적어도 2개의 이격된 유체제트 분사기들로 이루어진 적어도 하나의 제2열로부터 방출된 적어도 2개의 유체제트로 이루어진 적어도 하나의 제2의 유체제트열을 상기 기재와 충돌시키는 단계를 더 포함하되, 상기 제2의 유체제트 분사기 열은 상기 축을 가로질러서 배열되고 상기 표면을 관통하므로 상기 제2의 유체제트 열이 상기 축을 가로질러서 배열되며, 상기 제2의 유체제트 분사기 열은 상기 제1의 유체제트 분사기 열과 상기 출구연부사이에 배치되어, 상기 기재상에서의 상기 제2의 유체제트 열의 충돌영역이 상기 기재상에서의 상기 제1의 유체제트 열의 충돌영역과 상기 출구연부 사이에 배치되도록 한 것을 특징으로 하는 기재처리방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.