KR100889797B1

KR100889797B1 - 케미컬 분사 방법 및 장치

Info

Publication number: KR100889797B1
Application number: KR1020070055296A
Authority: KR
Inventors: 류승수; 이홍주; 김명진
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2007-06-07
Filing date: 2007-06-07
Publication date: 2009-03-20
Also published as: KR20080107492A

Abstract

케미컬을 분사하는 방법이 개시된다. 기판 이송 이전에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성한다. 이어, 기판을 도포막에 통과시키면서 기판에 케미컬을 분사하여 도포한다. 케미컬 분사 장치는 이송부 및 분사부를 포함한다. 이송부는 다수의 롤러를 포함하고, 다수의 롤러에 의해 기판이 이송되도록 한다. 분사부는 기판이 지나기 이전에 다수의 롤러 중에서 기판이 통과하기 이전의 롤러에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성하고, 도포막이 형성된 롤러를 통과하는 기판에 케미컬을 분사한다. 따라서, 케미컬을 분사하여 기판에 균일하게 도포되도록 할 수 있다.

Description

케미컬 분사 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR INJECTING CHEMICAL}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 분사 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.

도 2는 도 1에 도시된 분사부와 롤러를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 3은 도 1의 케미컬 분사 장치를 사용할 때, 특정 롤러에 케미컬이 분사되는 상태를 나타낸 개략적인 도면이다.

도 4는 도 3을 90도로 회전하여 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 5는 도 4의 A부분의 확대도이다.

도 6은 도 4에 도시된 도포막이 형성되는 롤러의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 7은 도 4에 도시된 도포막이 형성되는 롤러의 다른 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 케미컬 20 : 기판

30 : 도포막 100 : 케미컬 공급부

200 :분사부 210 : 제1 분사부

212 : 노즐 패턴 220 : 제2 분사부

300 : 롤러 310 : 제1 막형성 롤러

312 : 회전축 314 : 몸통

316 : 가이드홈 320 : 제2 막형성 롤러

330 : 이송 롤러 1000 : 케미컬 분사 장치

본 발명은 케미컬 분사 방법 및 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 기판에 케미컬을 분사하여 도포하기 위한 케미컬 분사 방법 및 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 집적회로소자는 실리콘을 기초로 하여 제작된 전자 장치 중 하나이다. 상기 집적회로소자는 일 예로, 반도체 소자 및 디스플레이 소자를 포함할 수 있다. 또한, 상기 디스플레이 소자는 일 예로, 액정표시장치, 플라즈마 구동 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치에 적용될 수 있다.

이와 같은 디스플레이 소자는 반도체 소자를 제작하기 위한 공정 중 노광, 현상 또는 식각 공정을 포함하여 제작된다.

여기서, 상기 각 공정을 간단하게 설명하면, 상기 노광 공정은 사용자가 원하는 패턴이 패터닝된 마스크를 통해 특정 광을 조사하여 상기 패턴을 유리 기판에 형성시키는 공정이다. 상기 현상 공정은 상기 노광 공정이 진행된 상기 유리 기판에 현상액을 도포하여 상기 노광 공정을 통해 형성된 상기 패턴을 보호하거나, 제거하는 공정이다. 상기 식각 공정은 상기 현상 공정이 진행된 상기 유리 기판에 식 각액을 도포하여 상기 패턴을 양각 또는 음각 형상으로 간주하여 그 나머지를 제거하는 공정이다.

최근 들어, 상기 디스플레이소자가 대형화되면서 상기 유리 기판의 사이즈도 커지는 추세에 있다. 이에, 상기 현상 공정에서는 공정이 보다 효율적으로 진행되도록 하기 위하여 분사 헤드가 사용된다. 상기 분사 헤드는 상기 유리 기판의 폭과 대응되도록 길게 형성되어 상기 현상액을 상기 유리 기판에 일제히 도포시킨다.

구체적으로, 상기 분사 헤드에는 실질적으로, 상기 현상액이 분사되는 복수의 분사 노즐들이 상기 유리 기판의 폭 방향을 따라 일정한 간격을 두고 다수 개가 형성된다.

그러나, 상기 유리 기판이 상기 분사 헤드로 인입 시, 상기 분사 노즐들 사이 또는 상기 분사 노즐들 중 일부 막힌 부분에 대응해서 상기 현상액이 도포되지 않는 문제점이 발생될 수 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 기판에 현상액과 같은 케미컬을 분사하여 균일하게 도포시킬 수 있는 케미컬 분사 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기와 같은 케미컬 분사 방법을 적용한 케미컬 분사 장치를 제공하는 것이다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 케미컬을 분사하는 방법은 기판 이송 이전에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성한다. 이어, 상기 기판을 상기 도포막에 통과시키면서 상기 기판에 상기 케미컬을 분사하여 도포한다. 여기서, 상기 도포막은 상기 기판의 이송 방향에 수직한 일측면을 커버하도록 형성된다.

상술한 본 발명의 다른 특징을 달성하기 위하여, 케미컬 분사 장치는 이송부 및 분사부를 포함한다. 상기 이송부는 다수의 롤러를 포함하고, 상기 다수의 롤러에 의해 기판이 이송되도록 한다. 상기 분사부는 상기 기판이 지나기 이전에 상기 다수의 롤러 중에서 상기 기판이 통과하기 이전의 롤러에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성하고, 상기 도포막이 형성된 롤러를 통과하는 상기 기판에 케미컬을 분사한다.

상기 분사부는 상기 도포막이 상기 기판의 이송 방향에 수직한 일측면을 커버하도록 상기 도포막이 형성된 롤러의 길이 방향을 따라 형성된 노즐 패턴을 포함한다.

상기 도포막이 형성된 롤러는 회전축 및 상기 회전축을 감싸며 상기 노즐 패턴에 대응해서 일체형 구조를 갖는 몸통을 포함한다. 상기 몸통은 외면에 상기 케미컬을 가이드하는 가이드홈이 형성된다.

상기 가이드홈은 상기 노즐 패턴을 따라 길게 형성된다. 이와 달리, 상기 가이드홈은 나선형으로 형성될 수 있다.

한편, 상기 케미컬 분사 장치는 상기 다수의 롤러를 회전시키기 위한 제1 구동부 및 상기 도포막이 형성된 롤러를 회전시키기 위한 제2 구동부를 더 포함할 수 있다.

이러한 케미컬 분사 방법 및 장치에 따르면, 분사부가 기판이 이송되는 이송부의 롤러 중에서 상기 기판이 통과하기 이전의 롤러에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성시킴으로써, 상기 기판이 상기 분사부에 인입 시, 상기 케미컬이 상기 기판에 균일하게 도포되도록 할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 방법 및 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

한편, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 분사 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 분사부와 롤러를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 분사 장치(1000)는 케미컬 공급부(100), 분사부(200) 및 이송부(300)를 포함한다.

상기 케미컬 공급부(100)는 케미컬(10)을 상기 분사부(200)에 공급한다. 여기서, 상기 케미컬(10)은 일 예로, 액정표시장치 중 표시 패널의 핵심 구성 요소이면서 디스플레이 소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor) 기판을 제조하기 위한 공정 중 현상 공정에 사용되는 현상액일 수 있다. 상기 현상액은 일 예로, 약 2.38%의 TMAH 용액일 수 있다. 이와 달리, 상기 케미컬(10)은 상기 박막 트랜지스터 기판을 제조하기 위한 공정 중 식각 공정에 사용되는 식각액일 수도 있다.

상기 케미컬 공급부(100)는 탱크 형상을 가지며, 상기 분사부(200)와 공급관(110)을 통해 연결될 수 있다. 이때, 상기 케미컬 공급부(100)에는 상기 케미컬(10)을 상기 케미컬 공급부(100)로부터 상기 공급관(110)을 통해 상기 분사부(200)로 인위적으로 공급시키기 위하여 공압이 인가될 수 있다.

또한, 상기 공급관(110)에는 상기 케미컬(10)의 유량을 제어하기 위하여 유량 조절 밸브가 결합될 수도 있다. 이와 달리, 상기 케미컬 공급부(100)는 상기 공급관(110)에 별도의 유량 펌프를 결합시켜 상기 케미컬(10)의 공급 및 조절이 동시에 이루어지도록 할 수 있다.

상기 분사부(200)는 상기 케미컬(10)을 분사하여 기판(20)에 도포한다. 상기 기판(20)은 일 예로, 상기에서 언급한 박막트랜지스터 기판일 수도 있고, 상기 박막 트랜지스터 기판에 대향하여 배치되는 컬러필터 기판일 수도 있다.

상기 분사부(200)는 상기 기판(20)의 폭에 대응하여 길게 형성된다. 이는, 상기 기판(20)이 길이 방향을 따라 이송되기 때문이다. 이에, 이하에서는 상기 기판(20)의 길이 방향을 이송 방향(a)으로 개명하여 설명하고자 한다.

한편, 상기 분사부(200)는 상기 기판(20)의 사이즈가 대형화될 경우, 한번의 도포로 정밀성을 확보하기 힘들기 때문에, 제1 분사부(210) 및 제2 분사부(220)와 같이 두 개로 구성될 수 있다. 즉, 상기 제1 분사부(210)는 상기 케미컬(10)을 상대적으로 많은 유량을 통해 대략적으로 도포시키고, 상기 제2 분사부(220)는 상기 케미컬(10)을 상대적으로 적은 유량을 통해 정밀하게 도포시키는 역할을 한다.

일 예로, 상기 제1 분사부(210)가 분당 약 50리터 및 약 80리터의 유속으로 도포시킨다면, 상기 제2 분사부(220)는 각각 분당 약 20리터 및 약 25리터의 유속으로 도포시킬 수 있다. 또한, 상기 공급관(110)도 상기 분사부(200)가 상기 제1 분사부(210) 및 상기 제2 분사부(220)로 나누어질 경우, 두 갈래로 나누어질 수 있다.

상기 제1 분사부(210)와 상기 제2 분사부(220)는 상기 이송 방향(a)을 따라 연속적으로 배치된다. 구체적으로, 상기 제1 분사부(210)는 상기 이송 방향(a)을 기준으로 보았을 때, 선방에 배치되고, 상기 제2 분사부(220)는 후방에 배치된다.

상기 제1 분사부(210)는 상기 기판(20)과 기울어지게 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 분사부(210)는 상기 제2 분사부(220)와 반대 방향으로 기울어지게 배치된다.

이로써, 상기 제1 분사부(210)는 상기 케미컬(10)을 상기 기판(20)에 상기 이송 방향(a)을 따라 기울어진 각도로 분사시킴으로써, 상기 제1 분사부(210)에서 상대적으로 빠르게 분사되는 상기 케미컬(10)이 상기 기판(20)에서 튀는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 케미컬(10)이 상기 기판(20)에서 튀어 도포가 불균일해지거나, 외부로 누출되어 낭비되는 것을 방지할 수 있다.

이에 반해, 상기 제2 분사부(220)는 상기 기판(20)과 수직하게 배치된다. 이는, 상기 제2 분사부(220)에서 상기 케미컬(10)이 상대적으로 느리게 분사되어 상기 제1 분사부(210)에서와 같은 튀는 현상이 발생될 가능성이 매우 적기 때문이다. 또한, 상기 제2 분사부(220)가 그 기능상 상기 케미컬(10)을 상기 기판(20)에 보다 정밀하게 도포시켜야 하기 때문이다. 이와 달리, 상기 제2 분사부(220)도 상기 제1 분사부(210)와 마찬가지로, 상기 기판(20)과 기울어지게 배치될 수 있다.

상기 이송부(300)는 상기 기판(20)이 원활하게 이송되도록 하기 위한 레일 역할을 한다. 일 예로, 상기 이송부(300)는 서로 평행하게 일정한 간격을 두고 배치된 다수의 롤러로 이루어진다.

이에, 상기 이송부(300)는 상기 제1 분사부(210)에 대응되는 제1 막형성 롤러(310), 상기 제2 분사부(220)에 대응되는 제2 막형성 롤러(320) 및 상기 제1 막형성 롤러(310)와 상기 제2 막형성 롤러(320)의 사이 및 외곽에 배치된 이송 롤러(330)로 구성될 수 있다.

구체적으로, 상기 제1 분사부(210)는 상기 케미컬(10)이 상기 제1 막형성 롤러(310)로 분사되도록 배치되고, 상기 제2 분사부(220)는 상기 케미컬(10)이 상기 제2 막형성 롤러(320)로 분사되도록 배치된다.

상기 제1 막형성 롤러(310)는 회전축(312)과 상기 회전축(312)의 둘레를 감 싸면서 실질적으로 상기 기판(20)과 접촉하는 몸통(314)으로 이루어진다. 이때, 상기 몸통(314)의 외면은 상기 기판(20)이 상기 이송부(300)에서 미끄러지지 않도록 하기 위하여 마찰 계수가 높은 물질로 도포될 수 있다.

또한, 상기 몸통(314)은 상기 기판의 폭 방향에 따른 양 측면으로부터 소정의 길이만큼 돌출된 형상을 가질 수 있다. 이는, 상기 기판(20)이 보다 안정적으로, 이송되도록 하기 위해서이다. 이하, 상기 제2 막형성 롤러(320)와 상기 이송 롤러(330)는 상기 제1 막형성 롤러(310)와 동일한 구성을 가질 수 있으므로, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 다수의 롤러로 이루어진 상기 이송부(300)에는 실질적으로 상기 기판(20)을 이송시키기 위하여 일부 또는 전체에 회전력이 인가될 수 있다. 즉, 상기 케미컬 분사 장치(1000)는 상기 이송부(300)의 각 롤러를 회전시키기 위한 제1 구동부(400)를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 구동부(400)는 실질적으로, 회전력을 인가하기 위한 것이므로, 구동 모터일 수 있다.

여기서, 상기 이송부(300)의 일부에 상기 회전력이 인가될 경우, 상기 기판(20)의 사이즈를 고려할 필요성이 있다. 구체적으로, 상기 회전력이 인가된 상기 이송부(300)는 그 간격이 최대한 상기 기판(20)의 길이를 넘지 않도록 하여야 한다. 이는, 상기 기판(20)이 상기 이송부(300)에서 연속적으로 이송되도록 하기 위해서이다.

따라서, 상기 케미컬 분사 장치(1000)는 상기 이송부(300)에서 상기 이송 방향(a)을 따라 이송되는 상기 기판(20)에 상기 케미컬(10)을 상기 분사부(200)를 통 해 분사하여 전체적으로 도포시킬 수 있다.

도 3은 도 1의 케미컬 분사 장치를 사용할 때, 특정 롤러에 케미컬이 분사되는 상태를 나타낸 개략적인 도면이고, 도 4는 도 3을 90도로 회전하여 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4의 A부분의 확대도이다.

본 실시예에서는, 분사부의 제2 분사부가 케미컬의 유속의 차이로 인해 기판과 수직하게 배치된다는 것을 제외하고는 제1 분사부와 그 기능 및 구성 상 유사할 수 있으므로, 제1 분사부를 대표하여 설명하고자 한다.

도 1, 도 3, 도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 분사부(210)는 케미컬(10)이 실질적으로, 분사되는 노즐 패턴(212)을 포함한다.

상기 노즐 패턴(212)은 기판(20)의 폭 방향을 따라 길게 형성된다. 구체적으로, 상기 노즐 패턴(212)은 상기 케미컬(10)을 상기 기판(20)의 폭에 대하여 일괄적으로 분사시킨다. 다시 말해, 상기 노즐 패턴(212)은 분사되는 상기 케미컬(10)이 상기 기판(20)의 이송 방향(a)에 수직한 일측면을 전체적으로 커버할 수 있도록 형성된다.

상기 노즐 패턴(212)은 홀 형상의 분사구 또는 분사 노즐이 복수 개가 일정한 간격으로 형성된 구성을 가질 수 있다. 이때, 상기 노즐 패턴(212)이 상기 분사 노즐들로 구성될 경우, 분사되는 지향각을 상기 분사구들보다 상대적으로 넓힐 수 있다.

여기서, 상기 노즐 패턴(212)이 상기 기판(20)의 폭 방향을 따라 길게 하나로 형성시키지 않는 이유는 케미컬 공급부(100)로부터 인가되는 분사압을 상기 노 즐 패턴(212)의 위치에 따라 균일하게 인가시킬 수 없기 때문이다. 즉, 상기 제1 분사부(210) 중 공급관(110)이 결합된 위치에서는 분사압이 강하고, 상기 공급관(110)으로부터 멀어질수록 분사압이 약하기 때문이다. 특히, 제2 분사부(220)의 경우에는 전체적인 분사압이 낮아, 일부 위치에서 아에 분사가 되지 않는 경우가 발생될 수 있다.

제1 막형성 롤러(310)는 상기 노즐 패턴(212)과 마주보도록 배치된다. 상기 제1 막형성 롤러(310)는 몸통(314)이 일체형 구조를 갖는다. 즉, 상기 제1 막형성 롤러(310)의 몸통(314)은 하나로 길게 형성될 수도 있고, 여러 개가 서로 밀착 결합되어 형성될 수도 있다. 이에 반해, 이송 롤러(330)는 상기 기판(20)과의 접촉 면적을 최소화시키기 위하여 몸통(314)을 일정한 간격을 두고 여러 개로 분리하여 형성시킬 수 있다.

이에 따라, 상기 기판(20)이 상기 제1 분사부(210)로 인입되기 전에, 상기 노즐 패턴(212)으로부터 분사된 상기 케미컬(10)은 상기 제1 막형성 롤러(310)에 전체적으로 부딪히게 된다. 즉, 상기 노즐 패턴(212)과 상기 제1 막형성 롤러(310)의 사이에는 상기 케미컬(10)로부터 소정 두께의 도포막(30)이 유도될 수 있다. 이는, 상기 제1 분사부(210)와 상기 제1 막형성 롤러(310) 사이에서 상기 제1 케미컬(10)에 액체의 특성인 응집성과 확산성이 적용되기 때문이다.

그 원리를 간단하게 설명하면, 먼저 상기 노즐 패턴(212)에서 분사되는 상기 케미컬(10)은 비처럼 일정한 간격을 두고 분사된다. 이후, 상기 케미컬(10)은 상기 제1 막형성 롤러(310)에 부딪히게 되어 액체의 확산성에 따라 상기 제1 막형성 롤 러(310)를 따라 확산하게 된다. 마지막으로, 상기 제1 막형성 롤러(310)에서 확산된 상기 케미컬(10)은 액체의 응집성에 따라 서로 뭉치게 되어 소정 두께의 상기 도포막(30)을 형성시키게 된다. 이러한 상기 도포막(30)은 위치에 따라 거의 동일한 유량을 가지게 된다.

이와 같이, 상기 기판(20)이 상기 제1 분사부(210)로 인입 시, 상기 케미컬(10)은 상기 제1 분사부(210)와 상기 제1 막형성 롤러(310) 사이에 형성된 상기 도포막(30)을 통하여 상기 기판(20)에 균일하게 도포될 수 있다. 다시 말해, 상기 노즐 패턴(212) 중 각각의 사이 또는 일부 막힌 부분에 있어서, 상기 케미컬(10)이 상기 기판(20)에 미도포되는 것을 방지할 수 있다.

이어, 상기 기판(20)이 상기 제1 분사부(210)에 진입하여 통과하게 되면, 상기 기판(20)이 상기 제1 막형성 롤러(310)와 같은 역할을 하여 이들 사이에 상기 도포막(30)과 유사한 막이 형성됨에 따라 역시, 상기 케미컬(10)은 상기 기판(20)에 균일하게 도포될 수 있다. 결과적으로, 상기 기판(10)에는 전체적으로 상기 케미컬(10)이 균일하게 도포될 수 있다.

한편, 케미컬 분사 장치(1000)는 상기 제1 막형성 롤러(310)가 실질적으로, 상기 기판(20)을 이송시킬 수 있도록 회전력을 인가하기 위한 제2 구동부(500)를 더 포함할 수 있다. 즉, 상기 제1 막형성 롤러(310)는 상기 제2 구동부(500)에 의해 회전할 수 있다.

이때, 상기 제1 막형성 롤러(310)가 상기 제1 분사부(210)의 노즐 패턴(212)보다 이송 방향(a)을 따라 소정의 차이만큼 더 멀리 배치된다면, 상기 제1 막형성 롤러(310)가 상기 케미컬(10)을 끌어 올리는 역할을 하여 상기 도포막(30)을 더 두껍게 형성시킬 수 있다. 이는, 상기 기판(20)이 상기 제1 분사부(210)에 인입 시, 상기 케미컬(10)을 보다 안정적으로 균일하게 도포시킬 수 있음을 의미한다.

도 4, 도 5 및 도 6을 참조하면, 도포막(30)이 형성되는 롤러인 제1 막형성 롤러(310)는 몸통(314)의 외면에 케미컬(10)을 가이드하는 가이드홈(316)이 형성될 수 있다.

상기 가이드홈(316)은 제1 분사부(210)의 노즐 패턴(212)을 따라 길게 형성된다. 상기 가이드홈(316)은 상기 외면을 따라 일정한 간격으로 복수 개가 형성될 수 있다.

상기 가이드홈(316)은 상기 몸통(314)의 길이에 전체적으로 형성될 수도 있고, 상기 노즐 패턴(212)에 대응해서만 형성될 수도 있다. 또한, 상기 가이드홈(316)은 단면이 반원 또는 타원과 같이 라운드지게 형성될 수도 있고, 각지게 형성될 수도 있다.

이로써, 상기 가이드홈(316)은 상기 제1 분사부(210)로부터 분사되는 상기 케미컬(10)을 모두 아래로 흘려 보내지 않고, 일부를 포획함으로써, 도포막(30)의 형성을 보다 용이하게 할 수 있다. 또한, 상기 가이드홈(316)은 상기 제1 막형성 롤러(310)가 회전하지 않을 경우, 상기 케미컬(10)의 포획을 보다 용이하게 할 수 있어, 그 효과를 더 증대시킬 수 있다.

본 실시예에서, 도포막이 형성되는 롤러인 제1 막형성 롤러는 가이드홈의 형상을 제외하고는 도 6과 동일한 구성을 가질 수 있으므로, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 4, 도 5 및 도 7을 참조하면, 도포막이 형성되는 롤러인 제1 막형성 롤러(340)는 몸통(344)의 외면에 나선형으로 형성된 가이드홈(346)을 포함할 수 있다.

상기 가이드홈(346)은 하나가 형성될 수도 있고, 복수 개가 서로 평행하게 형성될 수도 있다. 또한, 상기 가이드홈(346)은 상기 몸통(344)의 길이에 따른 중심을 기점으로 양쪽이 서로 반대 방향으로 형성될 수도 있다. 여기서, 상기 제1 막형성 롤러(340)는 제2 구동부(500)와 연결되어 회전하는 것을 기본으로 한다.

이로써, 상기 가이드홈(346)은 케미컬(10)을 상기 제1 막형성 롤러(340)의 길이 방향을 따라 한쪽 방향 또는 양쪽 방향으로 가이드함으로써, 상기 케미컬(10)의 응집을 보다 용이하게 할 수 있다. 결과적으로, 상기 가이드홈(346)은 도포막(30)의 형성을 보다 용이하게 할 수 있다.

이와 같은 케미컬 분사 방법 및 장치에 따르면, 분사부가 기판이 이송되는 이송부의 다수의 롤러 중에서 상기 기판이 통과하기 이전의 롤러에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성시킴으로써, 상기 기판이 상기 분사부에 인입 시, 상기 케미컬 이 분사되어 상기 기판에 균일하게 도포되도록 할 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

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다수의 롤러를 포함하고, 상기 다수의 롤러에 의해 기판을 이송하기 위한 이송부; 및

상기 기판이 지나기 이전에 상기 다수의 롤러 중에서 상기 기판이 통과하기 이전의 롤러에 케미컬을 분사하여 도포막을 형성하고, 상기 도포막이 형성된 롤러를 통과하는 상기 기판에 케미컬을 분사하는 분사부를 포함하고,

상기 분사부는 상기 도포막이 상기 기판의 이송 방향에 수직한 일측면을 커버하도록 상기 도포막이 형성된 롤러의 길이 방향을 따라 형성된 노즐 패턴을 포함하며,

상기 도포막이 형성된 롤러는

회전축; 및

상기 회전축을 감싸며, 상기 노즐 패턴에 대응해서 일체형 구조를 가지면서 외면에 상기 케미컬을 가이드하는 가이드홈이 형성되는 몸통을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.
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제3항에 있어서, 상기 가이드홈은 상기 노즐 패턴을 따라 길게 형성되는 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.
제3항에 있어서, 상기 가이드홈은 나선형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.
제3항에 있어서,

상기 다수의 롤러를 회전시키기 위한 제1 구동부; 및

상기 도포막이 형성된 롤러를 회전시키기 위한 제2 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.