KR940001341A - 전자 장치로의 빠른 전기 접근을 위한 순간 접속법 - Google Patents

전자 장치로의 빠른 전기 접근을 위한 순간 접속법 Download PDF

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KR940001341A
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챨스 프라이 로버트
이 로우 머린
리엔 타이 킹
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디. 아이. 캐플란
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Abstract

많은 집적 회로 전자 장치(예컨대, 10)를 차례로 빨리 테스트 하기 위한 소정의 테스트 기판(20)이 전자 장치 의 땜납범프 I/0패드(13)와 배열할 수 있는 한 세트의 상호 절연한 주름 배선 영역(30)을 가진다. 주름 영역의 각표면에는 층(23)이 위치하는데, 상기층은 전기 전도성 내구 산화물이거나 또는 그 자체가 내구성이 있고 전기 전도성 비산화물일 수 있다. 테스트 동안에 테스트한 전자 장치의 땜납 범프 I/0패드는 주어진 기판의 주름진 배선 영역과 배열되고 영역에 대해 프레스 된다.
선택적으로 전자 장치는 EPROMs와 같은 전기 프로그램 변형체이며, 프로그램 전압은 단일 기판의 주름진 배선 영역을 통해 차례로 장치의 각각에 할당된다.

Description

전자 장치로의 빠른 전기 접근을 위한 순간 접속법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 특정 실시예를 이해하는데 유용한 전자 장치 및 테스트 기관의 부분적으로 절단한 정면도.

Claims (9)

  1. 제1장치(10)의 다수의 I/0단자(13)를 제2장치(20)의 다수의 I/O패드(30)에 함께 전기적으로 순간 접속하는 방법에 있어서, ㄱ)I/0패드를 가진 제2장치와, 주름져 노출된 표면을 가지며 전기적으로 전도한 재료이거나 비산화 전기 전도 재료를 포함한 그 금속 산화물인 한층의 기판(23)을 구비한 패드 각각의 노출 상부 표면을 제공하는 단계와, ㄴ)단자 및 패드를 함께 전기 접촉되도록 프레스하는 단계와, ㄷ)패드로부터 단자를 멀리 당기는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제1장치의 프로그램을 짜기 위해, 제2장치상에 위치되고 패드에 접속한 배선층(22)을 통해 전압을 가하는 단계와 단계(ㄴ)와 (ㄷ)사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 다수의 제1장치의 프로그램을 짜는 것이 다수의 제1장치 각각으로 차례로 단계(ㄴ)와(ㄷ)을 실행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 단자 및 패드를 전기 접촉시키는 동안에 전자 장치를 테스트하는 것이, ㄹ)적어도 몇 세트 의 I/O패드를 통해 테스트 전압을 적어도 몇 세트의 I/0단자에 가하는 단계와, ㅁ)I/0패드의 다른 것을 통해 I/0단자의 다른 것에서 발생한 전기적 반응을 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 제1전자 장치의 다수의 각각으로 단계 (ㄴ )내지( ㅁ )를 차례로 실행하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서. 상기 다수가 적어도 100인 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 다수가 적어도 1000인 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 주름진 표면이 1.0㎛와 20.0㎛의 범위에서 수평 공간 주기성을 가진 주름 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제4항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 단계 (ㄴ)내지 (ㅁ)가 대략 10조 또는 그 이하동안 진행되는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930010956A 1992-06-29 1993-06-16 전자 장치로의 빠른 전기 접근을 위한 순간 접속법 KR940001341A (ko)

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