KR930022549A - 유전체 물질에의 전기 접속부 - Google Patents

유전체 물질에의 전기 접속부

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Abstract

본 발명은 주가되는 구조는 유전체 물질〔예를 들어 스트론튬 티타네이트(22)〕및 유전체〔예를 들어 루테니엄 질화물(20 및 24)〕에 만들어지는 전기접속을 포함한다. 접속은 전기적으로 전도성이 루테니엄 질화물, 루테니엄 이산화물, 주석 질화물, 주석 산화물, 티타늄 질화물 및 티타늄 일산화물과 같은 비금속을 함유하는 화합물(즉 하나 이상의 비금속이 있는 금속 화합물)로 되어 있다. 이와 같은 구조의 장점은 금속 화합물이 확산 배리어로 작용함으로써 외연하는 물질과 유전체 사이의 오염을 감소시키는 것을 포함한다. 반응된 금속에 의해 더 이상의 반응이 최소화되어 접속 물질의 층간 분리를 방지한다. 접속은 단일층이므로 제조 환경에서 더욱 쉽게 경제적으로 제조될 수 있다. 비전도 상호 접속 산화물에 의해 야기되는 부유 저항이 대체로 이들 구조에 의해 방지된다.

Description

유전체 물질에의 전기접속부
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 커패시터의 단면도.
제2도는 반도체 기판의 표면상에 형성된 커패시터의 현미경적의 단면도.
제3도는 반도체 기판의 표면상에 형성된 커패시터의 현미경적인 단면도.

Claims (16)

  1. 유전체 및 상기 유전체 물질에 접속되는 하나 이상의 전기 접속부를 포함하되, 상기 전기 접속부는 하나이상의 전기적으로 전도성인 비금속 함유화합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 구조물.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유전체가 강 유전체 물질인 것을 특징으로 하는 구조물.
  3. 제1항에 있어서, 상기 유전체가 전이 금속 산화물, 티타네이트, 하나 이상의 회토류 원소로 도핑된 티타네이트, 하나 이상의 알칼리 토금속으로 도핑된 티타네이트 및 이들의 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  4. 제1항에 있어서,상기 유전체 물질이, Ta2O3, Y2O3, SrTIO3, TIO3, KNbO3, KTaO3, (Pb,Mg) NbO3, Bi4Ti3O12또는 이들의 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  5. 제1항에 있어서, 상기 유전체 물질이 La도핑된(Ba,Sr,Pb)(Ti,Zr)O3또는 Nb 도핑된(Ba, Sr, Pb)(Ti, Zr)O3인 것을 특징으로 하는 구조물.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전도성 화합물이 루테니엄 질화물, 루테니엄 이산화물, 주석 질화물, 주석 산화물, 티타늄 질화물, 티타늄 일산화물 및 이들의 화합물로 이루어진 RNSDPTJ 선태되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  7. 제1항에 있어서, 상기 전도성 화합물이 전기 전도성이 상당히 증가하도록 도핑되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  8. 제7항에 있어서, 상기 도핑된 금속 화합물이 인듐 도핑된 주석 질화물, 알루미늄 도핑된 아연 질화물, 인듐 도핑된 주석 산화물, 알루미늄 도핑된 아연 산화물 및 이들의 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  9. 제1항에 있어서, 상기 유전에 물질이 바륨 스트론튬 티타네이트인 것을 특징으로 하는 구조물.
  10. 제1항에 있어서, 상기 유전체 물질이 납 지르코늄 티타네이트인 것을 특징으로 하는 구조물.
  11. 제1항에 있어서, 상기 유전체 물질이 탄탈륨 오산화물인 것을 특징으로 하는 구조물.
  12. 제1항에 있어서, 상기 유전체 물질이 니오븀 오산화물인 것을 특징으로 하는 구조물.
  13. 루테니엄 질화물의 2개 층 사이에 있는 바륨 스트론튬 티타네이트 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 커페시터.
  14. 커페시터를 형성하는 방법에 있어서 (a) 유전체 물질이 전이 금속 산화물, 티타네이트, 하나 이상의 희토류 원소로 도핑된 티타네이트, 하나 이상의 알칼리 토금속으로 도핑된 티타네이트 및 이들의 화합물로 이루어진 군에서 선택되어, 전기적으로 전도성이 비금속 함유 화합물의 제1 층상에 유전체 물질층은 형성하는 단계, (b)상기 유전체 물질층상에 비금속 함유 화합물의 전기적으로 전도성인 제2층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 전도성 화합물이 루테니엄 질화물, 루테니엄 이산화물, 주석 질화물, 주석 산화물, 티타늄 질화물, 티타늄 일산화물 및 이들의 화합물로 이루어진 군에서 선태되는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 전도성 화합물을 도핑하는 추가적인 단계가 수행되어 상기 전도성 화합물이 전도성을 상당히 향상시키는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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