KR930008449A - 이물검사장치 - Google Patents

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히데시 우에다
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Abstract

본 발명은 레티큘(Reticule)의 이물검사를 확실하게 행할 수 있는 이물 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 하며,a rm 구성의 특징은 편광레이저(22)와, 투과조명(23)을 조합하고, 편광레이저(22)와 검광자(4)를 조합시켜 편광레이저(22)와 검광자(24)에 의해서는 영향을 받은 패턴에지를 투과조명(23)에 의해 소거하여, 고속 또한 고정밀도로 이물검사를 행한다.

Description

이물검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 이물검사장치의 기본구성을 표시한 도면.
제2도는 동 실시예에 있어서의 피검사영역을 표시한 도면.
제3도는 동 레이저광에 의한 조명의 경우에 입력화상을 표시한 도면.

Claims (6)

  1. 투명체의 피검사물체 표면에 직선편향시킨 코히어런트광을 조사하는 동시에 피검사 물체이면으로부터 투과조명을 조사하는 조사수단에 의해 형성하는 광정보를 소정의 특성을 가진 편향차수단을 통해서 광검출기구에 도입하고, 피검사물체에 형성되어 있는 패턴의 영향을 억제하여 부착되고 있는 이물의 판별능력을 높이는 것을 특징으로 하는 이물검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 광검출기구로서 촬상소자를 사용하고, 이물의 내용을 특정하는 일이 가능한 것을 특징으로 하는 이물검사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 장치에 있어서, 도입한 화상으로부터 패턴면 만을 검출하고, 이 화상에 팽창처리, 수축처리를 가하여 패턴면 위의 이물의 검출을 행하고, 패턴면 위와 그 이외에 존재하는 이물을 판별하는 일이 가능한 것을 특징으로 하는 이물검사장치.
  4. 투명체의 피검사물체 표면에 직선편향시킨 코히어런트광을 조사해서 소정의 특성을 가진 편향차단수단을 통해서 얻은 화상과, 피검사물체이면으로부터 투과조명을 조사해서 얻은 화상을 사용해서, 피검사물체에 형성되어 있는 패턴의 영향을 억제하여 부착되고 있는 이물의 판별능력을 높이는 것을 특징으로 하고 있는 이물검사장치.
  5. 제4항에 있어서, 광검출기구로서 촬상소자를 사용하고, 이물의 내용을 특정하는 일이 가능한 것을 특징으로 하는 이물검사장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 도입한 화상으로부터 패턴면 만을 검출하고, 이 화상에 팽창처리, 수축처리를 가하여 패턴면 위의 이물의 검출을 행하고, 패턴면 위와 그 이외에 존재하는 이물을 판별하는 일이 가능한 것을 특징으로 하는 이물검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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