KR830008167A - 흠(hurt) 검사장치 - Google Patents

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KR830008167A
KR830008167A KR1019810003828A KR810003828A KR830008167A KR 830008167 A KR830008167 A KR 830008167A KR 1019810003828 A KR1019810003828 A KR 1019810003828A KR 810003828 A KR810003828 A KR 810003828A KR 830008167 A KR830008167 A KR 830008167A
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노부유끼 아끼야마
요시마사 오오시마
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미다 가쓰시게루
가부시기 가이샤 히다찌 세이사꾸쇼
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Abstract

내용 없음

Description

흠(hurt)검사 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 흠 검사장치의 전체적인 구성을 나타낸 도면.
제2도 및 제3도는 시료면상의 흠의 유무에 따른 반사광의 설명도.

Claims (3)

  1. 레이저 광에 의하여 시로면상을 순차적으로 주사하여 반사광을 검출하고, 검출한 반사광의 신호레벨이 설정된 역치를 넘었는지의 여부에 따라 시료면상의 홈 또는 이물(異物)의 유무를 검출하는 흠 검사장치에 있어서, 소정 주사선상의 초기 위치에서 상기 역치를 신호레벨이 넘었을 때, 상기 초기 위치를 포함하는 일정폭의 게이트를 연속되는 주사선상의 상기 게이트 폭내에서 상기 역치를 넘는 신호레벨이 검출되지 아니할 때까지 출력하여 2차원 프레임을 설정함과 동시에 상기 2차원 프레임내에서의 신호레벨의 최대치와 그 시료면상의 위치를 검출하여 기억하는 기능을 갖춘 최대치 메모리 회로를 설치하고, 상기 주사선 종료시까지에 최대치 메모리회로에 기억된 최대치와 그 위치 및 그 갯수로 부터 시료면상의 흠 또는 이물(異物)의 크기와 위치 및 갯수를 자동 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 흠 검사장치.
  2. 제1항에 있어서의 흠 검사장치에서 시료가 투명시료인 경우에 시료의 앞면과 뒷면에 각각 촛점을 갖는 두개의 레이저 광으로 고호로 시료를 주사하여 얻어지는 두개의 반사광의 신호를 취출하는 수단을 설치함과 동시에, 최대치메모리 회로 두개를 1조로 하여 상기 두개의 신호로 부터 각각 흠 또는 이물(異物)에 의한 최대치와 그 위치를 검출하여 각가의 상기 최대치메모리 회로에 기언하고, 또 시료면상의 동일위치에 있는 2차원 프레임내에서 얻은 최대치 끼리의 대소를 비교하므로서 투명시료의 앞면과 뒷면 어느 쪽에 흠 또는 이물(異物)이 있는가를 자동 판별할 수 있도록 한것을 특징으로 하는 흠 검사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서의 흠 검사장치에서 상기 최대치 메모리회로 또는 그 조(組)를 복수개 설치함과 동시에, 시료면상에 있어서의 흠 또는 이물이 복수개가 존재하여 이들의 흠 또는 이물에 대응하는 상기 2차원 프레임의 각 영역이 중첩될 경우에 이것을 분리하여 검출할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 흠 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019810003828A 1980-10-09 1981-10-08 흠(hurt)검사 장치 KR850000855B1 (ko)

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