JPS63269006A - 平面度検査装置 - Google Patents

平面度検査装置

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JPS63269006A
JPS63269006A JP10568787A JP10568787A JPS63269006A JP S63269006 A JPS63269006 A JP S63269006A JP 10568787 A JP10568787 A JP 10568787A JP 10568787 A JP10568787 A JP 10568787A JP S63269006 A JPS63269006 A JP S63269006A
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JP
Japan
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camera
pattern
image
reflected
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JP10568787A
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Kenji Mugita
憲司 麥田
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NIPPON SYST DESIGN KK
Original Assignee
NIPPON SYST DESIGN KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （Ａ）産業上の利用分野 この発明は、２次元カメラと画像処理装置を用いて、光
沢のあるサンプルの表面平面度を検査する装置に関する
ものである。
（Ｂ）従来の技術 従来２次元カメラと画像処理装置を用いて物体表面の形
状を測定する方法としては、スリット光を利用した光切
断法等がある。しかし光切断法では表面の微妙なうねり
が捕えにくく、スリット光を平行に多数照射することは
コスト高になるため高速の検査装置は実現し難かった。
（Ｃ）発明が解決しようとする問題点 従って産業界の強いニーズにもかかわらず、微妙な平面
の異常を高速に検査する装置は実用化されていなかった
のが実状である。
本発明は低コストで高速に光沢のある物体の表面を検査
すること目標としている。
（Ｄ）問題を解決するための手段 本発明の構成を図に沿って説明する。
（イ）テストパターンはコントラストの大きい平行なし
ま模様からなるパターンとする。検査を効率的に行うた
めに具体的なパターンは、例えば第２図に示すように白
と黒の帯を等間隔で平行に並べたものとする。
（ロ）光源２で照明したパターン３の像が検査対象４の
表面で反射し、カメラ１の視野内に入るようにセンサ系
を構成する。
（ハ）カメラ１で捕えた像を例えば第４図に示すような
構成の画像処理装置で処理する。
（ニ）処理画像において直線が一定以上の、レベルで歪
んでいる点を異常として検出するよう、ＣＰＵに処理プ
ログラムを組込む。
（Ｅ）本発明の効果 以上の構成によれば光切断法と異なり、カメラの全視野
を有効に使って平面の検査が行えるなめ処理が高速に行
える。
また第５図に示すように、ビーム光の照射した点の位置
により表面の高さを検出するのと異なり、本発明では拡
散光源の反射像を写す方式のため第６図に示すようにわ
ずかな面の傾きで反射された像の位置は大きく変化し、
微妙な表面の傾きの変化が検出出来る。
このように本発明によれば従来にない利点を持った表面
皮検査装置が構成出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図はセンサ系の構成を示す図 第２図はパターンの一例を示す図 第３図は処理画像の例を示す図 第４図は画像処理系の具体的例を示す口筒５図は光切断
法による検出の原理を示す図第６図は本発明による検出
の原理を示す図１はカメラ ２は光源 ３は検出パターン ４は検査対象 ５は異常個所 特許出願人　日本システムデザイン株式会社第１図 第２０ 第３図 第４図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 平行なしま模様からなるテストパターンを、検査対象物
    の表面で反射させた画像をカメラで取込み、取込んだ画
    像のテストパターンの直線度を評価することにより、検
    査対象物の表面平面度を検出する平面度検査装置。
JP10568787A 1987-04-27 1987-04-27 平面度検査装置 Pending JPS63269006A (ja)

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