JPS6375545A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
- Publication number
- JPS6375545A JPS6375545A JP22058086A JP22058086A JPS6375545A JP S6375545 A JPS6375545 A JP S6375545A JP 22058086 A JP22058086 A JP 22058086A JP 22058086 A JP22058086 A JP 22058086A JP S6375545 A JPS6375545 A JP S6375545A
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- JP
- Japan
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- defect
- light source
- light
- visual sensor
- defects
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- Pending
Links
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 44
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract description 23
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光電的手段を用いた外観検査装置の照明・傷
信号検出部に関するものである。
信号検出部に関するものである。
従来の技術
従来の光電的手段を用いた外観検査装置の照明部には、
落射照明と呼ばれる照明方法が採用されている。この照
明方法は第３図に示すように検査用光源１１による検査
対象物１での正反射光を検出するような位置に視覚セン
サ１２を配置する方２ページ 法であり、この方法によれば、欠損部１３は暗部に、欠
損の周辺部は明部となる場合が多い。しかし、検査対象
物１に光学的特性の異なる複数種類の欠損がある場合、
検出のしやすさは欠損の種類によって異なり、検出しや
すい欠損もあれば、逆に輝度対比が小さく検出しにくい
欠損もある。このため、検出しにくい欠損に対しては複
雑な信号処理を必要としたり、また、複数種類の欠損の
うちのいくつかの検出を諦めなければならないケースも
生じていた。
落射照明と呼ばれる照明方法が採用されている。この照
明方法は第３図に示すように検査用光源１１による検査
対象物１での正反射光を検出するような位置に視覚セン
サ１２を配置する方２ページ 法であり、この方法によれば、欠損部１３は暗部に、欠
損の周辺部は明部となる場合が多い。しかし、検査対象
物１に光学的特性の異なる複数種類の欠損がある場合、
検出のしやすさは欠損の種類によって異なり、検出しや
すい欠損もあれば、逆に輝度対比が小さく検出しにくい
欠損もある。このため、検出しにくい欠損に対しては複
雑な信号処理を必要としたり、また、複数種類の欠損の
うちのいくつかの検出を諦めなければならないケースも
生じていた。
発明が解決しようとする問題点
従来の落射照明による方法は、欠損の検出能力を低下せ
しめることなく複数種類の欠損を同時に検出することが
困難であった。本発明はかかる点に鑑みてなされたみの
で、簡易な構成で、光学的特性の異なる複数種類の欠損
を、同時に、かつ、それぞれの欠損の検出能力を低下せ
しめることなく検出できるような照明・信号検出部を提
供しようとするものである。
しめることなく複数種類の欠損を同時に検出することが
困難であった。本発明はかかる点に鑑みてなされたみの
で、簡易な構成で、光学的特性の異なる複数種類の欠損
を、同時に、かつ、それぞれの欠損の検出能力を低下せ
しめることなく検出できるような照明・信号検出部を提
供しようとするものである。
問題点を解決するための手段
３ページ
本発明は−１−記問題点を解決するため、単色光を放射
する光源とその単色光に感度を持つ視覚センサを対とし
て、波長域の異なる単色光を持つ複数個の光源・視覚セ
ンサ対のそれぞれを、欠損の光学的特性に応じて最も検
出作用が高くなるように配置したものである。
する光源とその単色光に感度を持つ視覚センサを対とし
て、波長域の異なる単色光を持つ複数個の光源・視覚セ
ンサ対のそれぞれを、欠損の光学的特性に応じて最も検
出作用が高くなるように配置したものである。
作用
本発明は、光源・視覚センサ対を欠損の光学的特性に応
じて、検出作用が最大となるように配置することによっ
て光学的特性の異なる欠損の検出能力を高め、さらに、
波長域の異なるｍ色光を持つ複数個の光源・視覚センサ
対を用いることによって、光学的特性の異なる複数種類
の欠損を同時に検出することができる。
じて、検出作用が最大となるように配置することによっ
て光学的特性の異なる欠損の検出能力を高め、さらに、
波長域の異なるｍ色光を持つ複数個の光源・視覚センサ
対を用いることによって、光学的特性の異なる複数種類
の欠損を同時に検出することができる。
実施例
本発明の実施例を添付図に基づいて説明する。
第１図において、１は表面が鏡面反射特性を持つ検査対
象物、２は３００〜４００ｎｍの単色光を放射する光源
、２１は３００〜４００ｎｍに感度を持ち光源２による
検査対象物１での反射光を検出する視覚センサ、３は５
００〜６００ｎｍの単色光を放射する光源、３１は５０
０〜６００ｎｍに感度を持ち光源３による検査対象物１
での反射光を検出する視覚センサ、４は６００〜７００
ｎｍの単色光を放射する光源、４１は６００〜７００ｎ
ｍに感度を持ち光源４による検査対象物］での正反射光
を検出する視覚センサである。
象物、２は３００〜４００ｎｍの単色光を放射する光源
、２１は３００〜４００ｎｍに感度を持ち光源２による
検査対象物１での反射光を検出する視覚センサ、３は５
００〜６００ｎｍの単色光を放射する光源、３１は５０
０〜６００ｎｍに感度を持ち光源３による検査対象物１
での反射光を検出する視覚センサ、４は６００〜７００
ｎｍの単色光を放射する光源、４１は６００〜７００ｎ
ｍに感度を持ち光源４による検査対象物］での正反射光
を検出する視覚センサである。
光源・視覚センサ対の位置関係は、第２図の欠損部での
光学的作用に基づいて説明できる。すなわち、欠損２２
がかき傷である場合には、その部分は拡散反射特性を持
つので、第２図（ａ）のように光源２を斜め４５°方向
に、視覚センサ２１を検査対象物１の上部に配置すれば
、欠損部２２で拡散反射した光だけが視覚センサ２１に
入射するので、これによって欠損を検出することができ
る。
光学的作用に基づいて説明できる。すなわち、欠損２２
がかき傷である場合には、その部分は拡散反射特性を持
つので、第２図（ａ）のように光源２を斜め４５°方向
に、視覚センサ２１を検査対象物１の上部に配置すれば
、欠損部２２で拡散反射した光だけが視覚センサ２１に
入射するので、これによって欠損を検出することができ
る。
次に、欠損３２が凹凸である場合には、第２図（ｂ）の
ように光源３を検査対象物１の側方に配置すれば欠損の
一部分が輝点になるので、この輝点が検査対象物１の−
に部に配置された視覚センサ３１に入射することによっ
て、欠損を検出することができる。さらに、欠損４２が
油のしみである場合に５ページ は、その部分は検査対象物１との間に鏡面反射率に違い
が生ずるので、第２図（Ｑ）のように均一な輝度面を有
した光源４で照明し、光源４の正反射光を検出できるよ
うな位置に視覚センサ４１を配置しておけば、欠損部と
その周辺部の輝度対比で欠損を検出することができる。
ように光源３を検査対象物１の側方に配置すれば欠損の
一部分が輝点になるので、この輝点が検査対象物１の−
に部に配置された視覚センサ３１に入射することによっ
て、欠損を検出することができる。さらに、欠損４２が
油のしみである場合に５ページ は、その部分は検査対象物１との間に鏡面反射率に違い
が生ずるので、第２図（Ｑ）のように均一な輝度面を有
した光源４で照明し、光源４の正反射光を検出できるよ
うな位置に視覚センサ４１を配置しておけば、欠損部と
その周辺部の輝度対比で欠損を検出することができる。
このように、それぞれの光源・視覚センサ対は欠損の光
学的特性に基づいて最も輝度対比が大きくなるように配
置されているので、３種類の欠損の検出に対して最も効
果的に作用する。しかも、それぞれの欠損の検出に用い
る光の波長域は異なっているので、同時に３種類の欠損
の検出が可能になる。
学的特性に基づいて最も輝度対比が大きくなるように配
置されているので、３種類の欠損の検出に対して最も効
果的に作用する。しかも、それぞれの欠損の検出に用い
る光の波長域は異なっているので、同時に３種類の欠損
の検出が可能になる。
本発明の実施例では３種類の欠損を検出する手段につい
て述べたが、光源・視覚センサ対を増やせば、３種類以
上の欠損が同時に検出できることはいうまでもない。ま
た、それぞれの光源・視覚センサ対で使用する波長域は
、本実施例と異なるものであってもよい。
て述べたが、光源・視覚センサ対を増やせば、３種類以
上の欠損が同時に検出できることはいうまでもない。ま
た、それぞれの光源・視覚センサ対で使用する波長域は
、本実施例と異なるものであってもよい。
発明の効果
６ページ
以上述べたように、本発明によれば、きわめて簡単な構
成で、光学的特性の光源となる複数種類の欠損を、欠損
の種類によって検出能力を低下せしめることなく同時に
検出することができる。
成で、光学的特性の光源となる複数種類の欠損を、欠損
の種類によって検出能力を低下せしめることなく同時に
検出することができる。
第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の原理
図、第２図はこの実施例の光源・視覚センサ対の位置関
係を説明する図、第３図は従来例における外観検査装置
の原理図である。 １・・・検査対象物、２．３．４・・・光源、２１．３
１．４１・・・視覚センサ、２２．３２．４２・・・欠
損
図、第２図はこの実施例の光源・視覚センサ対の位置関
係を説明する図、第３図は従来例における外観検査装置
の原理図である。 １・・・検査対象物、２．３．４・・・光源、２１．３
１．４１・・・視覚センサ、２２．３２．４２・・・欠
損
Claims (1)
- 単色光を放射する光源とその単色光に感度を持つ視覚セ
ンサを対として、波長域の異なる単色光をもつ複数個の
前記光源・視覚センサ対のそれぞれを、欠損の光学的特
性に応じて最も検出作用が高くなるように配置したこと
を特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22058086A JPS6375545A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22058086A JPS6375545A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375545A true JPS6375545A (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=16753200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22058086A Pending JPS6375545A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375545A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0385625A2 (en) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | AT&T Corp. | Method and apparatus for inspection of substrates |
| US5347363A (en) * | 1991-07-25 | 1994-09-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | External lead shape measurement apparatus for measuring lead shape of semiconductor package by using stereoscopic vision |
| US7676169B2 (en) * | 2006-05-22 | 2010-03-09 | Lexmark International, Inc. | Multipath toner patch sensor for use in an image forming device |
-
1986
- 1986-09-17 JP JP22058086A patent/JPS6375545A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0385625A2 (en) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | AT&T Corp. | Method and apparatus for inspection of substrates |
| US5347363A (en) * | 1991-07-25 | 1994-09-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | External lead shape measurement apparatus for measuring lead shape of semiconductor package by using stereoscopic vision |
| US7676169B2 (en) * | 2006-05-22 | 2010-03-09 | Lexmark International, Inc. | Multipath toner patch sensor for use in an image forming device |
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