JPH09126948A - カラーフィルタの検査方法 - Google Patents
カラーフィルタの検査方法Info
- Publication number
- JPH09126948A JPH09126948A JP28722595A JP28722595A JPH09126948A JP H09126948 A JPH09126948 A JP H09126948A JP 28722595 A JP28722595 A JP 28722595A JP 28722595 A JP28722595 A JP 28722595A JP H09126948 A JPH09126948 A JP H09126948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- light
- stage
- filter surface
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルタの顔料パターンのストライプ形
状の端部を擬似欠陥として検出してしまう問題点を解決
する。 【解決手段】検査対象物を載置したステージを、その水
平面の水平を維持して360°回転させながら、光源から
の光の反射光による連続的な検査を行い、その際、検査
対象物である液晶表示装置用カラーフィルタにおいて普
遍的に検出される繰り返しパターンを擬似欠陥として認
定しないことにより、キズ、ムラ欠陥のみを検出する。
状の端部を擬似欠陥として検出してしまう問題点を解決
する。 【解決手段】検査対象物を載置したステージを、その水
平面の水平を維持して360°回転させながら、光源から
の光の反射光による連続的な検査を行い、その際、検査
対象物である液晶表示装置用カラーフィルタにおいて普
遍的に検出される繰り返しパターンを擬似欠陥として認
定しないことにより、キズ、ムラ欠陥のみを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置等に
用いられるカラーフィルタの欠陥検査方法に関するもの
である。
用いられるカラーフィルタの欠陥検査方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】現状の、例えば図３に示すような、赤
色、緑色、青色の顔料などよりなる画素パターン層７を
透明基板８上に形成したカラーフィルタのキズ、ムラな
どの欠陥検査を行う欠陥検査機は、以下の方式のものが
主流となっている。すなわち、光源として白色光または
レーザー光を利用し、その光源からの光をカラーフィル
タ上に照射する。次いで、カラーフィルタより反射、透
過もしくは散乱した光をＣＣＤエリアセンサー等の受光
素子で受ける。次いで受光素子にて光から変換された電
気信号を処理して欠陥検出を行うものである。これらの
方式を用いた検査機は、画素欠け、ピンホール状の色抜
けなどの点欠陥、及び面積の大きな色ムラ等の欠陥を良
く検出するが、画素パターン面または基板裏面の筋状キ
ズ欠陥あるいは線状のムラのような、幅が狭く細長い欠
陥、すなわち方向性を持った面積の小さい欠陥の検出は
難しいものである。特に、図３および図３のＸ−Ｘ′線
における断面図である図４に示すような、例えばストラ
イプ形状のカラーフィルタの画素パターンの端部５から
は筋状の反射光が得られるが、従来技術によればこれを
擬似欠陥として検出してしまう。このような、擬似欠陥
を含む多数の欠陥の中から真の欠陥を検出する検出判断
は、従来より人間の目視によれば容易に判断していたも
のであるが、従来技術では難しかった。
色、緑色、青色の顔料などよりなる画素パターン層７を
透明基板８上に形成したカラーフィルタのキズ、ムラな
どの欠陥検査を行う欠陥検査機は、以下の方式のものが
主流となっている。すなわち、光源として白色光または
レーザー光を利用し、その光源からの光をカラーフィル
タ上に照射する。次いで、カラーフィルタより反射、透
過もしくは散乱した光をＣＣＤエリアセンサー等の受光
素子で受ける。次いで受光素子にて光から変換された電
気信号を処理して欠陥検出を行うものである。これらの
方式を用いた検査機は、画素欠け、ピンホール状の色抜
けなどの点欠陥、及び面積の大きな色ムラ等の欠陥を良
く検出するが、画素パターン面または基板裏面の筋状キ
ズ欠陥あるいは線状のムラのような、幅が狭く細長い欠
陥、すなわち方向性を持った面積の小さい欠陥の検出は
難しいものである。特に、図３および図３のＸ−Ｘ′線
における断面図である図４に示すような、例えばストラ
イプ形状のカラーフィルタの画素パターンの端部５から
は筋状の反射光が得られるが、従来技術によればこれを
擬似欠陥として検出してしまう。このような、擬似欠陥
を含む多数の欠陥の中から真の欠陥を検出する検出判断
は、従来より人間の目視によれば容易に判断していたも
のであるが、従来技術では難しかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
に、カラーフィルタのストライプ形状の画素部端部を擬
似欠陥として検出してしまう問題点を解決し、真の欠陥
のみを検出する方法を提供することを目的とする。
に、カラーフィルタのストライプ形状の画素部端部を擬
似欠陥として検出してしまう問題点を解決し、真の欠陥
のみを検出する方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に
着色画素層が形成されたカラーフィルタの検査方法にお
いて、前記カラーフィルタを水平状態にて載置したステ
ージを、カラーフィルタの水平状態を維持しつつ同一方
向に等速度で回転させる手段と、前記の回転するカラー
フィルタの斜め上方向に設け、前記カラーフィルタ表面
に光照射を行う光照射手段と、カラーフィルタ表面より
正反射した反射光の光軸よりずらした位置に設け、カラ
ーフィルタ表面よりの光を受けることでカラーフィルタ
表面の外観を測定する測定手段と、前記の測定結果か
ら、所定のパターンに従ってカラーフィルタに形成され
た繰り返しパターンにより周期的に得られる測定結果を
擬似欠陥エラーとして認識除外し、その他の部分的に現
れる測定結果をカラーフィルタ表面のキズまたはムラ欠
陥の部位と判定検出する欠陥検出手段とを具備すること
を特徴とするカラーフィルタの検査方法である。また本
発明の変形として、カラーフィルタ表面の外観を測定す
る測定手段を、カラーフィルタ表面より正反射した反射
光の光軸よりずらした位置に設けるのに代えて、前記ス
テージの回転中心上に設け、かつ、ステージの回転と同
期して回転させることを特徴とする前段記載のカラーフ
ィルタの検査方法とすることも上記課題の解決手段とし
て有効といえる。
着色画素層が形成されたカラーフィルタの検査方法にお
いて、前記カラーフィルタを水平状態にて載置したステ
ージを、カラーフィルタの水平状態を維持しつつ同一方
向に等速度で回転させる手段と、前記の回転するカラー
フィルタの斜め上方向に設け、前記カラーフィルタ表面
に光照射を行う光照射手段と、カラーフィルタ表面より
正反射した反射光の光軸よりずらした位置に設け、カラ
ーフィルタ表面よりの光を受けることでカラーフィルタ
表面の外観を測定する測定手段と、前記の測定結果か
ら、所定のパターンに従ってカラーフィルタに形成され
た繰り返しパターンにより周期的に得られる測定結果を
擬似欠陥エラーとして認識除外し、その他の部分的に現
れる測定結果をカラーフィルタ表面のキズまたはムラ欠
陥の部位と判定検出する欠陥検出手段とを具備すること
を特徴とするカラーフィルタの検査方法である。また本
発明の変形として、カラーフィルタ表面の外観を測定す
る測定手段を、カラーフィルタ表面より正反射した反射
光の光軸よりずらした位置に設けるのに代えて、前記ス
テージの回転中心上に設け、かつ、ステージの回転と同
期して回転させることを特徴とする前段記載のカラーフ
ィルタの検査方法とすることも上記課題の解決手段とし
て有効といえる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。図１または本発明の変形である図２に示すよう
に、まず検査対象物となるカラーフィルタ３を、360°
一定方向に回転する検査ステージ２上に水平に置き、光
源１を、その光軸とカラーフィルタ３の被検査面とのな
す角θが約30°〜60°となる位置に置く。これは、経験
的に、θが90°に近くなると、小さな欠陥は乱反射しに
くくなり検査しにくく、逆にθが小さすぎると、乱反射
が多くなりすぎて検出が難しいためである。ここで光源
１は、例えばプロジェクター、蛍光灯または白熱球であ
る。検査ステージ２はモーター（図示せず）により1〜5
rpmの回転速度にて等速で回転させ、これによりカラー
フィルタ３も水平状態で回転する。また、カラーフィル
タ３の中心をステージ２の回転軸と一致させることが望
ましい。
する。図１または本発明の変形である図２に示すよう
に、まず検査対象物となるカラーフィルタ３を、360°
一定方向に回転する検査ステージ２上に水平に置き、光
源１を、その光軸とカラーフィルタ３の被検査面とのな
す角θが約30°〜60°となる位置に置く。これは、経験
的に、θが90°に近くなると、小さな欠陥は乱反射しに
くくなり検査しにくく、逆にθが小さすぎると、乱反射
が多くなりすぎて検出が難しいためである。ここで光源
１は、例えばプロジェクター、蛍光灯または白熱球であ
る。検査ステージ２はモーター（図示せず）により1〜5
rpmの回転速度にて等速で回転させ、これによりカラー
フィルタ３も水平状態で回転する。また、カラーフィル
タ３の中心をステージ２の回転軸と一致させることが望
ましい。
【０００６】次いで、光源１からの光がカラーフィルタ
３で正反射した光が直接入射しない位置にセンサー４を
置く。例えば図１のように検査ステージ２の斜め上方に
固定するか、あるいは図２に示すように検査ステージ２
の回転の中心の垂直上方に設置し、検査ステージ２の回
転と同期して回転するようにする。これにより、センサ
ー４は、カラーフィルタの表面の不整面や特異面によっ
て乱反射した光のみを受けることになる。このセンサー
４は、通常ＣＣＤ（電荷結合素子）を受光部に用いたエ
リアセンサーカメラである。センサー４で受けた光は電
気信号に変換された上で、欠陥検出回路部６にて欠陥検
出の処理判断が行われる。上述したように、カラーフィ
ルタ３の着色顔料等よりなる画素パターンはストライプ
状に平行に走っており、検査ステージ２が回転するう
ち、ある回転角度では、カラーフィルタ３のほぼ全域に
わたり形成されている各画素パターンの端部５は、ほぼ
同時に入射光を乱反射する。
３で正反射した光が直接入射しない位置にセンサー４を
置く。例えば図１のように検査ステージ２の斜め上方に
固定するか、あるいは図２に示すように検査ステージ２
の回転の中心の垂直上方に設置し、検査ステージ２の回
転と同期して回転するようにする。これにより、センサ
ー４は、カラーフィルタの表面の不整面や特異面によっ
て乱反射した光のみを受けることになる。このセンサー
４は、通常ＣＣＤ（電荷結合素子）を受光部に用いたエ
リアセンサーカメラである。センサー４で受けた光は電
気信号に変換された上で、欠陥検出回路部６にて欠陥検
出の処理判断が行われる。上述したように、カラーフィ
ルタ３の着色顔料等よりなる画素パターンはストライプ
状に平行に走っており、検査ステージ２が回転するう
ち、ある回転角度では、カラーフィルタ３のほぼ全域に
わたり形成されている各画素パターンの端部５は、ほぼ
同時に入射光を乱反射する。
【０００７】ここで、図３に示すように、ストライプ状
の画素パターン端部５は、カラーフィルタ３のストライ
プの両端の短辺を除き、平行に走る２本の土手状である
ため、それらのパターン端部５の反射により得られる信
号は180°ごとに周期的に発生する。なお、ドットパタ
ーンのカラーフィルタにおいては、図５に示すように、
画素パターン端部５は、各ドット端部が90°ごとに４方
向にほぼ同数ずつ存在するため、それらのパターン端部
５の反射により得られる信号は90°ごとに周期的に発生
する。これらの乱反射光は前述のように、カラーフィル
タ３のほぼ全域にわたる領域から発生するので、一定の
回転周期毎にカラーフィルタ３の検査面の大部分からの
信号が一斉に大きくなる。一方、真の欠陥部位からの乱
反射光は、部分的かつ360°以内では非周期的である。
よって、180°や90°などの周期性をもって検査面の大
部分の部位から発生する信号を無視するよう欠陥検出回
路部６を設定する。これにより、欠陥検出回路部６は、
それ以外の部位での信号のみを選択検査することとな
り、その部位が欠陥と認識されればこれを抽出するもの
である。また、欠陥検出回路部６は、カラーフィルタ３
上に付着したゴミを欠陥と判断させないために、点欠陥
などよりも特に細長い筋状欠陥を選択的に検出するよう
に、すなわち、たとえ信号が検出される領域が島状に集
積している場合は欠陥として認識せず、またたとえ信号
が検出される面積が狭くても長い距離にわたって連続し
て信号が検出される部分を欠陥として認識するように設
定しておくことが望ましい。
の画素パターン端部５は、カラーフィルタ３のストライ
プの両端の短辺を除き、平行に走る２本の土手状である
ため、それらのパターン端部５の反射により得られる信
号は180°ごとに周期的に発生する。なお、ドットパタ
ーンのカラーフィルタにおいては、図５に示すように、
画素パターン端部５は、各ドット端部が90°ごとに４方
向にほぼ同数ずつ存在するため、それらのパターン端部
５の反射により得られる信号は90°ごとに周期的に発生
する。これらの乱反射光は前述のように、カラーフィル
タ３のほぼ全域にわたる領域から発生するので、一定の
回転周期毎にカラーフィルタ３の検査面の大部分からの
信号が一斉に大きくなる。一方、真の欠陥部位からの乱
反射光は、部分的かつ360°以内では非周期的である。
よって、180°や90°などの周期性をもって検査面の大
部分の部位から発生する信号を無視するよう欠陥検出回
路部６を設定する。これにより、欠陥検出回路部６は、
それ以外の部位での信号のみを選択検査することとな
り、その部位が欠陥と認識されればこれを抽出するもの
である。また、欠陥検出回路部６は、カラーフィルタ３
上に付着したゴミを欠陥と判断させないために、点欠陥
などよりも特に細長い筋状欠陥を選択的に検出するよう
に、すなわち、たとえ信号が検出される領域が島状に集
積している場合は欠陥として認識せず、またたとえ信号
が検出される面積が狭くても長い距離にわたって連続し
て信号が検出される部分を欠陥として認識するように設
定しておくことが望ましい。
【０００８】
【発明の効果】本発明の検査方法によれば、カラーフィ
ルタを回転させることで画素パターン端部から周期的に
得られる反射による光を疑似欠陥として判定、除外し、
他の欠陥部位からの光のみを検出するため、欠陥検査が
正確に、効率よく行えるようになり、欠陥のない品質の
良いカラーフィルタを得る上で実用上優れているといえ
る。
ルタを回転させることで画素パターン端部から周期的に
得られる反射による光を疑似欠陥として判定、除外し、
他の欠陥部位からの光のみを検出するため、欠陥検査が
正確に、効率よく行えるようになり、欠陥のない品質の
良いカラーフィルタを得る上で実用上優れているといえ
る。
【０００９】
【図１】本発明による欠陥検査方法の一実施例を示す説
明図である。
明図である。
【図２】本発明による欠陥検査方法の他の実施例を示す
説明図である。
説明図である。
【図３】液晶表示装置用カラーフィルタのパターン形状
の一例を示す斜視説明図である。
の一例を示す斜視説明図である。
【図４】液晶表示装置用カラーフィルタのパターン形状
の一例を示す断面図である。
の一例を示す断面図である。
【図５】液晶表示装置用カラーフィルタのパターン形状
の他の例を示す斜視説明図である。
の他の例を示す斜視説明図である。
１ 光源 ２ 検査ステージ ３ カラーフィルタ ４ センサー ５ 端部 ６ 欠陥検出回路部 ７ 画素パターン層 ８ 透明基板
Claims (2)
- 【請求項１】透明基板上に着色画素層が形成されたカラ
ーフィルタの検査方法において、前記カラーフィルタを
水平状態にて載置したステージを、カラーフィルタの水
平状態を維持しつつ同一方向に等速度で回転させる手段
と、前記の回転するカラーフィルタの斜め上方向より、
前記カラーフィルタ表面に光照射を行う光照射手段と、
カラーフィルタ表面より正反射した反射光の光軸よりず
らした位置に設け、カラーフィルタ表面よりの光を受け
ることでカラーフィルタ表面の外観を測定する測定手段
と、前記の測定結果から、所定のパターンに従ってカラ
ーフィルタに形成された繰り返しパターンにより周期的
に得られる測定結果を擬似欠陥エラーとして認識除外
し、その他の部分的に現れる測定結果をカラーフィルタ
表面のキズまたはムラ欠陥の部位と判定検出する欠陥検
出手段とを具備することを特徴とするカラーフィルタの
検査方法。 - 【請求項２】カラーフィルタ表面の外観を測定する測定
手段を、カラーフィルタ表面より正反射した反射光の光
軸よりずらした位置に設けるのに代えて、ステージの回
転中心上に設け、かつ、ステージの回転と同期して回転
させることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ
の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28722595A JPH09126948A (ja) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | カラーフィルタの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28722595A JPH09126948A (ja) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | カラーフィルタの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126948A true JPH09126948A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17714669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28722595A Pending JPH09126948A (ja) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | カラーフィルタの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09126948A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006126020A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Fujitsu Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
| KR100807460B1 (ko) * | 2006-04-18 | 2008-02-25 | 우 옵트로닉스 코포레이션 | 컬러필터에 사용되는 검측장치 및 검측방법 |
| US7440118B2 (en) | 2005-06-24 | 2008-10-21 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for color filter inspection |
-
1995
- 1995-11-06 JP JP28722595A patent/JPH09126948A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006126020A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Fujitsu Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
| US7440118B2 (en) | 2005-06-24 | 2008-10-21 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for color filter inspection |
| KR100807460B1 (ko) * | 2006-04-18 | 2008-02-25 | 우 옵트로닉스 코포레이션 | 컬러필터에 사용되는 검측장치 및 검측방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4768014B2 (ja) | カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置 | |
| JPH0249148A (ja) | 壜の胴部検査方法及び装置 | |
| JP2004170495A (ja) | 表示用基板の検査方法及び装置 | |
| JP2000018932A (ja) | 被検物の欠点検査方法および検査装置 | |
| JP3935781B2 (ja) | 透明電極膜基板の検査装置 | |
| JP2011196741A (ja) | タイヤの外観検査方法および外観検査装置 | |
| JP3185599B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS6147542A (ja) | 感光フィルムの表面検査方法および装置 | |
| JPH09126948A (ja) | カラーフィルタの検査方法 | |
| JP2003247953A (ja) | 液晶パネル外観検査方法及び検査装置 | |
| KR20110109576A (ko) | 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법 | |
| JPH07128240A (ja) | 電子写真感光体欠陥検査装置 | |
| JPH08304295A (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 | |
| JPH07209199A (ja) | 平面板状被検体の欠陥検出方法とその装置 | |
| JPS6375545A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH07128241A (ja) | 電子写真感光体欠陥検査装置 | |
| KR20030060243A (ko) | 평판 디스플레이 자동 검사장치 | |
| KR100544501B1 (ko) | 냉연강판 표면결함 검출장치 | |
| JPS62274249A (ja) | 板状物表面の自動検査方法 | |
| JPH0755720A (ja) | 透明および不透明フィルムの欠点検査装置 | |
| JPH02103453A (ja) | 透明容器検査装置 | |
| JP2002168611A (ja) | 円筒状被検物の表面凹凸検査方法及び同検査装置 | |
| KR101073330B1 (ko) | 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법 | |
| JP2000055824A (ja) | 穴のある平面プレートの傷検査装置 | |
| JPH05180785A (ja) | 透明シート体の欠陥状態検出方法及びその装置 |