KR20110109576A - 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법 - Google Patents

디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20110109576A
KR20110109576A KR1020100029364A KR20100029364A KR20110109576A KR 20110109576 A KR20110109576 A KR 20110109576A KR 1020100029364 A KR1020100029364 A KR 1020100029364A KR 20100029364 A KR20100029364 A KR 20100029364A KR 20110109576 A KR20110109576 A KR 20110109576A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
image
display panel
defect
panel glass
Prior art date
Application number
KR1020100029364A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101188404B1 (ko
Inventor
김동현
Original Assignee
주식회사 디이엔티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디이엔티 filed Critical 주식회사 디이엔티
Priority to KR20100029364A priority Critical patent/KR101188404B1/ko
Publication of KR20110109576A publication Critical patent/KR20110109576A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101188404B1 publication Critical patent/KR101188404B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 장치의 패널 글라스의 표면을 영상 촬영하여, 글라스 표면에 존재하는 치핑(chipping) 또는 크랙(crack)을 검출하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법은 디스플레이 패널 글라스의 표면에 입사되는 조명부의 입사광에 대한 편광 각도에서 촬영부를 이용하여, 디스플레이 패널 글라스 표면의 영상을 획득하는 글라스 영상 획득 단계 및 상기 디스플레이 패널 글라스 표면의 편광 영상을 분석하여, 상기 글라스 표면의 치핑(chipping) 또는 크랙(crack)을 검출하는 글라스 영상 처리 및 분석 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법{Method for inspecting defect of display panel glass}
본 발명의 글라스 표면의 결함을 검사하는 방법에 관한 것으로, 더 자세히는 디스플레이 장치의 패널 글라스의 표면을 영상 촬영하여, 글라스 표면에 존재하는 치핑(chipping) 또는 크랙(crack)을 검출하는 방법에 관한 것이다.
최근 각종 반도체 부품의 급속한 발전에 따라, 빠른 응답 속도 및 넓은 시야각을 제공하는 경량의 디스플레이 장치, 예컨대 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL(Electronic Light)가 많이 보급되고 있는 실정이다.
이러한 디스플레이 장치의 표면에는 두께가 얇은 글라스(glass)가 설치되고, 상기 글라스에 다양한 패턴을 형성하도록 식각 및 세정 공정을 수행하게 된다.
하지만 세정 공정 이후, 디스플레이 장치의 패널 글라스의 표면에 치핑(chippig) 또는 크랙(crack) 이 존재할 경우, 디스플레이 장치 성능을 저하시키는 문제를 야기하므로, 글라스 표면에 존재하는 결함 존재 여부를 판별하는 검사 공정을 수행하게 된다.
종래 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법은 검사자가 육안으로 검사하거나, 카메라 등의 촬영부를 이용하여, 글라스 영상을 분석하는 방법으로 이루어진다.
[도 1]은 종래 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법(편의상 종래기술 1이라 기재)에 이용되는 검사 장치에 관한 것으로, 종래 기술 1은 정반사 방식으로 글라스 영상을 획득하게 된다.
즉, 글라스 표면과 수직 방향의 기준선을 중심으로 카메라와 조명부의 각을 동일하게 하여, 글라스 영상을 획득하는 방법으로, 조명부에 의한 입사광이 검사대상의 글라스의 표면 및 글라스 내부 패턴 또는 회로부 등에서 반사되는 모든 빛이 카메라 렌즈에 전달되어, [도 2]의 글라스 촬영 영상과 같이, 회로부, 패턴 영역 및 글라스 영역이 뚜렷하게 촬영된다.
하지만 종래기술 1은 불량과 유사한 밝기의 영역이 검사대상인 글라스 자체에서 발생하므로, 결함에 따른 과검출을 유발하는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하고자 검사 영역(ROI)을 분리 구분하여, 영상처리 하지만 이로 인해, 검사 시간이 오래 소요되며, 각 디바이스의 반사계수(Reflective Index)에 따라 검출 설정값 및 검사영역 변경 작업이 불가피한 문제점이 발생한다.
[도 3]은 종래 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법(편의상 종래기술 2이라 기재)에 이용되는 검사 장치에 관한 것으로, 종래 기술 2는 난반사 방식으로 글라스 영상을 획득하게 된다.
상기 종래 기술 2는 조명부(10)와 촬영부(20) 각도를 다르게 설정하여, 글라스(2) 표면에서 반사되는 빛 보다 표면의 돌출부분 또는 함몰부분에서 반사되는 빛을 카메라로 전달하여, 글라스 영상을 획득하게 된다.
하지만 상기 종래 기술 2(난반사 방식)는 상기 종래 기술 1(정반사 방식)과 같이 글라스(5) 표면에서 반사된 빛뿐만 아니라 상부 표면을 투과하여 글라스 내부의 구동회로에서 반사된 빛 또는 하부 표면에서 반사된 빛이 모두 카메라(20)로 입사되기 때문에 불량과 유사한 밝기의 영역이 발생하여, 결함에 따른 과검출을 유발하는 문제점이 있다.
또한 [도 4]에 도시된 바와 같이, 실제 불량의 돌출부분(edge)에 대해서도 일부만 강하게 표현되어, 미검출이 발생하는 문제점이 있다.
그리고 패턴이 형성된 코팅 물질의 반사계수와 그 외 글라스 표면의 반사계수의 차이가 큰 경우, 상기 종래 기술 1(정반사 방식)과 같이, 검사영역(ROI)을 구분하여, 영상처리를 해야 하므로, 검사 시간이 오래 소요되는 등의 검사 효율성 저하의 문제점이 발생한다.
[도 5]는 종래 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법(편의상 종래기술 3이라 기재)에 이용되는 검사 장치에 관한 것으로, 종래 기술 3은 난반사 투과방식으로 글라스 영상을 획득하게 된다.
상기 종래 기술 3(난반사 투과 방식)은 일반적인 난반사 방식 보다 조명부(10)와 촬영부(20)의 각도 차를 크게 하여, 글라스(5) 표면에서 반사되는 빛은 최소화하고, 돌출 또는 함몰된 부분의 빛을 극대화하여, 촬영하는 방식이다.
상기 종래기술 3(난반사 투과 방식)은 표면에 글라스(5) 표면에 의해 반사되는 빛이 적기 때문에 검사대상체인 글라스(5) 전 영역이 매우 어둡게 촬영되어, 상기 종래 기술 1과 종래 기술 2 방식과 다르게 검사영역(ROI)을 설정하지 않아도 되는 장점이 있으나 일반 난반사 방식보다 적은 빛이 입사되므로 적어도 두개 이상의 조명부(10)를 설치해야 한다.
따라서 공정비용이 상승하며, 검사 대상체인 글라스의 이송방향과 평행하고, 두께가 얇은 결함에 대해서 검출이 취약한 문제점이 있다.
또한, [도 6]에 도시된 바와 같이, 검사 대상인 글라스(5)의 에지 부분에서 강한 난반사가 발생하므로, 추가적인 예외 영역의 처리 작업이 불가피한 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로,
본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법의 목적은 디스플레이 패널 글라스의 편광 특성을 이용한 영상 획득하여, 검사영역(ROI)의 구분 없이 글라스 영상에 따른 글라스 표면의 결함 여부를 검사하는데 있다.
다른 목적은, 글라스 영상 획득 시, 입사광에 따른 글라스 표면의 수평 반사광 성분을 획득하기 용이하게 하는데 있다.
또 다른 목적은, 영상 획득 시간 및 주기를 설정하여, 글라스 표면 영상을 획득하는데 있다.
또 다른 목적은, 디스플레이 패널 글라스의 편광 각도에 따라 최적의 조명 각도 및 촬영 각도를 설정하는데 있다.
또 다른 목적은, 디스플레이 패널 글라스의 촬영 영역의 진입 및 통과를 감지하는데 있다.
또 다른 목적은, 데이터 전처리 단계를 포함하여, 검사 대상의 디스플레이 패널 글라스의 정보를 처리하는데 있다.
또 다른 목적은, 디스플레이 패널 글라스의 상세 정보 수신 및 검사 폴더 생성을 용이하게 하는데 있다.
또 다른 목적은, 편광 각도에 따른 글라스 영상요소의 임계치 및 측정치를 비교 분석하는데 있다.
또 다른 목적은, 영상 획득 종료 후, 글라스 영상의 결함 존재 여부를 관리자에 신속하게 통보하는데 있다.
본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법은 디스플레이 패널 글라스의 표면에 입사되는 조명부의 입사광에 대한 편광 각도에서 촬영부를 이용하여, 디스플레이 패널 글라스 표면의 영상을 획득하는 글라스 영상 획득 단계 및 상기 디스플레이 패널 글라스 표면의 편광 영상을 분석하여, 상기 글라스 표면의 치핑(chipping) 또는 크랙(crack)을 검출하는 글라스 영상 처리 및 분석 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법은 디스플레이 패널 글라스의 편광 특성을 이용한 영상 획득 후, 검사영역(ROI)의 구분 없이 글라스 영상에 따른 글라스 표면의 결함 여부를 검사함으로써, 신속하고, 정확한 디스플레이 패널 글라스의 결함 검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 글라스 영상 획득 시, 입사광에 따른 글라스 표면의 수평 반사광 성분을 획득하기 용이하게 하는데 있다.
또한, 영상 획득 시간 및 주기를 설정함으로써, 효율적으로 글라스 표면 영상을 획득하는 효과가 있다.
또한, 디스플레이 패널 글라스의 편광 각도에 따라 최적의 조명 각도 및 촬영 각도를 설정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 디스플레이 패널 글라스의 촬영 영역의 진입 및 통과를 감지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 데이터 전처리 단계를 포함함으로써, 검사 대상의 디스플레이 패널 글라스의 정보를 전처리할 수 있는 효과가 있다.
또한, 디스플레이 패널 글라스의 상세 정보 수신 및 검사 폴더 생성을 용이하게 하는 효과가 있다.
또한, 편광 각도에 따른 글라스 영상요소의 임계치 및 측정치를 비교 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 영상 획득 종료 후, 글라스 영상의 결함 존재 여부를 관리자에 신속하게 통보할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 정반사 방식의 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 장치의 구성도.
도 2는 종래 정반사 방식으로 촬영한 글라스 영상의 일실시예.
도 3은 종래 난반사 방식의 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 장치의 구성도.
도 4는 종래 난반사 방식으로 촬영한 글라스 영상의 일실시예.
도 5는 종래 난반사 투사 방식의 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 장치의 구성도.
도 6은 종래 난반사 투사 방식으로 촬영한 글라스 영상의 일실시예.
도 7은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 장치의 구성도.
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 장치의 측면도.
도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법의 전체흐름도.
도 10은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법의 S10 단계의 상세흐름도.
도 11은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법의 S20 단계의 상세흐름도.
도 12는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법의 S40 단계의 상세흐름도.
도 13은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법의 S50 단계의 상세흐름도.
도 14는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법으로 촬영한 글라스 영상의 일실시예.
이하, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명하면 다음과 같다.
[도 7]은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함을 검사하는 장치를 나타내는 구성도로, 조명부(10)에서 발생한 빛이 글라스(5)표면에 입사되면, 상기 글라스(5) 표면에서 반사된 빛이 카메라(20)로 입사되고, 상기 카메라(20)는 글라스(5) 표면을 촬영하게 된다.
또한 상기 카메라(20)와 연결된 결함분석부(30)는 카메라(20)의 촬영된 글라스 영상을 획득하여 분석하며, 분석된 결과는 실시간모니터링시스템(RTMS, 40)에 표시된다.
본 발명에 있어, 상기 촬영부(20)는 [도 8]에 도시된 바와 같이, 상기 조명부(10)의 입사각에 관한 글라스(5)의 편광 각도에 위치하며, 글라스 표면에 입사되는 광에 대한 반사광의 수평 성분만을 획득하는 편광필터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
[도 9]는 상기와 같은 결함 검사 장치를 이용한 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법을 나타내는 전체 흐름도로, 먼저 검사 장치를 활성화 하는 단계를 수행한다.(S10)
상기 S10 단계는 검사 장치의 모든 구성을 활성화 하는 단계로, [도 10]에 도시된 세부 흐름도와 같이, 각 구성에 전원을 공급하고, 결함분석부(30)의 검사 프로그램을 실행하는 단계를 수행한다.(S11)
다음으로, 결함분석부(30)의 검사 모드를 설정하는 단계를 수행한다.(S13)
다음으로, 결함 검사의 전처리 단계를 수행한다.(S20)
[도 11]은 상기 S20 단계의 상세 흐름도로, 검사 대상체인 글라스(5)의 정보(ID)를 수신하는 단계를 수행한다.(S21)
상기 S21 단계는 글라스(5)의 고유 식별자인(ID) 및 글라스 규격 등의 정보를 관리자 시스템으로부터 전달받는 단계를 말한다.
다음으로, 상기 글라스 정보(ID)에 따른 검사 폴더를 생성하고, 영상 버퍼를 생성하는 단계를 수행한다.(S23)
다음으로, 글라스(5) 진입을 감지하는 단계를 수행한다.(S30)
본 발명에 있어, 결함 검사 장치는 운반부(7)를 포함하여, 글라스(5)를 수평 이동시키게 되며, 상기 S30 단계는 센서부(편의상 도면에는 도시하지 않음)를 포함하여, 상기 운반부(7)에 의해 이동하는 글라스(5)가 촬영부(20)의 촬영 영역에 진입하였는지를 여부를 감지하는 단계이다.
상기 S30 단계에서 상기 글라스(5)의 진입이 감지되지 않을 경우 S30 단계를 반복하여 수행하는 것이 바람직하다.
다음으로, 분석부(30)를 이용하여, 글라스(5) 영상을 획득하는 단계를 수행한다.(S40)
[도 12]는 상기 S40 단계의 상세 흐름도를 나타내는 도면으로, 조명부(10) 및 촬영부(20)의 편광 각도를 조절하는 단계를 수행한다.(S41)
상기 S41 단계는 상기 조명부(10)의 발생하는 입사광의 각도에 따라 촬영부(20)의 촬영 방향을 상기 입사광에 따른 편광 각도로 배치하는 단계를 말한다.
다음으로, 영상획득 타이머를 실행하는 단계를 수행한다.(S43)
상기 S43 단계는 촬영부(20)에서 촬영되는 영상을 획득하는 주기를 및 획득 시간을 설정하는 단계를 말한다.
다음으로, 촬영부(20)를 이용하여, 글라스(5) 표면을 영상 촬영하는 단계를 수행한다.(S45)
본 발명에 따른 상기 S45 단계는 상기 촬영부에 포함된 편광필터에 의해 글라스 표면에 입사되는 광에 대한 반사광의 수평 성분만을 획득하게 되는 것이다.
상기 S45 단계는 경우에 따라 상기 S43 단계 전에 수행할 수 있으며, S43 단계와 동시에 수행이 가능하다.
다음으로, 결함분석부(30)의 영상획득부를 이용하여, 촬영부(20)에서 촬영된 영상을 상기 타이머에 설정된 영상 획득 주기에 따라 획득하는 단계를 수행한다.(S47)
[도 14]는 본 발명에 따른 S47 단계에서 획득한 글라스 영상의 일실시예를 나타내는 도면으로, 본 발명과 같이 편광 반사에 따라 글라스 영상을 획득하게 되면, 글라스(5) 표면에서 반사되는 빛만 촬영부(20)로 입사되므로 글라스 내부의 구동회로 또는 내부 패턴에 대한 영향을 받지 않고, 글라스 표면의 결함을 검출할 수 있는 효과가 있다.
또한, 패턴이 형성된 부분과 패턴이 형성되지 않은 부분의 반사계수가 달라도, 정반사가 이루어지지 않는 불량 에지부분의 표면 보다 어둡게 촬영되어, 종래와 같이 검사영역(ROI)을 설정하여, 분석하지 않아도 되는 장점이 있다.
더불어, 글라스(5) 내부의 구동회로, 또는 내부 패턴의 이미지의 촬상은 최소화되므로, 과검출의 발생 우려를 줄일 수 있는 효과가 있다.
다음으로, 글라스(5)의 영상 처리 및 분석 단계를 수행한다.(S50)
[도 13]은 상기 S50 단계의 상세 흐름도를 나타내는 도면으로, 편광 각도에 따른 글라스 영상 요소의 임계치를 설정하는 단계를 수행한다.(S51)
본 발명에 있어, 상기 영상 요소의 임계치는 디스플레이 패널 글라스의 편광 각도에서 촬영된 영상의 최적 밝기값을 포함하는 것이 바람직하다.
다음으로, 획득된 글라스 영상의 영상 요소의 측정치를 산출하는 단계를 수행한다.(S53)
다음으로, 상기 영상요소의 임계치와 측정치를 비교하는 단계를 수행한다.(S55)
다음으로, 글라스 영상의 결함여부를 판단하는 단계를 수행한다.(S57)
상기 S57 단계는 상기 S55 단계에서 상기 영상 밝기의 임계치에 따른 측정치가 높게 검출 될 경우, 글라스 표면에 결함 요소가 존재하는 것으로 판단하게 된다.
다음으로, 글라스 영상 획득을 종료 여부를 판단하는 단계를 수행한다.(S60)
상기 S60 단계는 상기 영상 획득 타이머의 중단 신호 또는 디스플레이 패널 글라스가 촬영 영역을 벗어남을 감지하는 신호에 의해 판단되며, 상기 영상 획득 타이머의 중단 신호 또는 디스플레이 패널 글라스가 촬영 영역을 벗어남을 감지하는 신호가 감지되지 않을 경우, 상기 S40 단계로 돌아간다.
다음으로, 글라스 영상의 결함 여부에 관한 분석 결과를 관리자 시스템에 전송하는 단계를 수행한다.(S70)
상기 S70 단계는 상기 결함분석부(30)에서 분석된 글라스(5)의 결함에 관한 분석 결과를 상기 실시간모니터링시스템(40)에 전달하는 단계를 말한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법은 디스플레이 패널 글라스의 편광 특성을 이용한 영상 획득 후, 검사영역(ROI)의 구분 없이 글라스 영상에 따른 글라스 표면의 결함 여부를 검사함으로써, 신속하고, 정확한 디스플레이 패널 글라스의 결함 검사를 수행할 수 있는 효과를 누릴 수 있게 되는 것이다.
이상 본 발명의 실시예로 설명하였으나 본 발명의 기술적 사상이 상기 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범주에서 다양한 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법으로 구현할 수 있다.
5 : 디스플레이 패널 글라스(글라스)
7 : 운반부
10 : 조명부 20 : 촬영부
30 : 결함분석부 40 : 실시간모니터링시스템(RTMS)

Claims (10)

  1. 편광 각도로 디스플레이 패널 글라스의 표면에 입사된 조명부의 입사광 대한 반사 각도에서 촬영한 디스플레이 패널 글라스 표면의 영상을 획득하는 글라스 영상 획득 단계 및
    편광 입사 각도에서 획득된 상기 디스플레이 패널 글라스 표면의 영상을 분석하여, 상기 글라스 표면의 치핑(chipping) 또는 크랙(crack)을 검출하는 글라스 영상 처리 및 분석 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 글라스 영상 획득 단계는,
    촬영부에 포함된 편광필터에 의해 글라스 표면에 입사되는 광에 대한 반사광의 수평 성분만을 획득하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 글라스 영상 획득 단계는,
    영상 획득 타이머를 실행하는 단계;
    촬영부를 이용하여, 글라스 표면을 영상 촬영하는 단계 및
    영상획득부를 이용하여, 촬영부에서 촬영된 영상을 상기 타이머에 설정된 영상 획득 주기에 따라 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 영상 획득 타이머를 실행하는 단계 이전에
    편광 각도에 따라 상기 조명부의 입사광 및 촬영부의 렌즈 각도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 글라스 영상 획득 단계 이전에,
    센서부를 이용하여, 디스플레이 패널 글라스가 촬영 영역으로 진입하는 것을 감지하는 글라스 진입 감지 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 글라스 진입 감지 단계 이전에,
    검사 대상인 디스플레이 패널 글라스에 관한 결함 검사 데이터 전처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 결함 검사 데이터 전처리 단계는,
    검사 대상인 디스플레이 패널 글라스의 식별자(ID) 및 규격 정보를 포함하는 글라스 정보를 수신하는 단계 및
    상기 디스플레이 패널 글라스의 식별자(ID)에 따른 검사 폴더 및 영상 버퍼를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 글라스 영상 처리 및 분석 단계는,
    편광 각도에 따른 글라스 영상 요소의 임계치를 설정하는 단계;
    획득된 글라스 영상의 영상 요소의 측정치를 산출하는 단계;
    상기 영상요소의 임계치와 측정치를 비교하는 단계 및
    글라스 영상의 결함여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 영상 요소의 임계치는,
    디스플레이 패널 글라스의 편광 각도에서 촬영된 영상의 최적 밝기값을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 글라스 영상 처리 및 분석 단계 이후에,
    타이머의 중단 신호 또는 디스플레이 패널 글라스가 촬영 영역을 벗어남을 감지하는 신호에 의해 영상 획득 동작을 종료하는 단계 및
    글라스 영상의 결함 여부에 관한 분석 결과를 관리자 시스템에 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법.
KR20100029364A 2010-03-31 2010-03-31 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법 KR101188404B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100029364A KR101188404B1 (ko) 2010-03-31 2010-03-31 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100029364A KR101188404B1 (ko) 2010-03-31 2010-03-31 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110109576A true KR20110109576A (ko) 2011-10-06
KR101188404B1 KR101188404B1 (ko) 2012-10-08

Family

ID=45026753

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20100029364A KR101188404B1 (ko) 2010-03-31 2010-03-31 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101188404B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105241891A (zh) * 2015-08-27 2016-01-13 任红霞 一种基于wifi网络的玻璃缺陷检测方法
CN111724367A (zh) * 2020-06-16 2020-09-29 哈尔滨全感科技有限公司 一种基于图像方法的玻璃面板脱胶识别方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102294899B1 (ko) 2020-05-26 2021-08-27 (주)티엘씨테크퍼스트 딥 러닝을 이용한 ai 기반 자동차용 선루프의 결함 검사 시스템 및 그 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10282014A (ja) 1997-04-10 1998-10-23 Mitsui Chem Inc 偏光板付き表面欠陥検出装置
JP2005189113A (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Jfe Steel Kk 表面検査装置および表面検査方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105241891A (zh) * 2015-08-27 2016-01-13 任红霞 一种基于wifi网络的玻璃缺陷检测方法
CN111724367A (zh) * 2020-06-16 2020-09-29 哈尔滨全感科技有限公司 一种基于图像方法的玻璃面板脱胶识别方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101188404B1 (ko) 2012-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101711073B1 (ko) 딥 러닝 알고리즘을 적용한 플렉서블 터치스크린 패널 미세 크랙 검출 장치 및 방법
US8426223B2 (en) Wafer edge inspection
CN107796825B (zh) 器件检测方法
TWI418779B (zh) 缺陷檢查裝置及方法
TW201310023A (zh) 用於檢測玻璃基板的表面缺陷的設備和方法
WO2014169516A1 (zh) 一种检测装置及检测方法
CN110208269B (zh) 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统
US20120044346A1 (en) Apparatus and method for inspecting internal defect of substrate
WO2019214287A1 (zh) 检测装置及其检测方法、检测设备
JP2004170495A (ja) 表示用基板の検査方法及び装置
JP2010117337A (ja) 表面欠陥検査装置
CN110044931A (zh) 一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测装置
KR100953204B1 (ko) 기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법
KR101188404B1 (ko) 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법
KR20130143226A (ko) 도광판 검사장치
CN115165920B (zh) 一种三维缺陷检测方法及检测设备
KR20100093213A (ko) 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그방법
TW202127012A (zh) 光學檢測設備與光學檢測方法
CN203587517U (zh) 一种用以撷取一物件影像的撷取装置以及影像检测装置
KR20200055208A (ko) 유리기판 검사 장치 및 방법
KR102188568B1 (ko) 인공지능 기반의 디스플레이 패널 검사방법
KR102199314B1 (ko) 디스플레이 패널 검사장치
KR20140031687A (ko) 기판 표면 검사 시스템 및 검사 방법
KR100749954B1 (ko) 편광필름의 검사방법 및 이에 적용되는 편광필름의 검사장치
KR100478448B1 (ko) 액정 패널의 에지면 검사 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150915

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160927

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170927

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180927

Year of fee payment: 7