JPS62287134A - 表面欠陥検出方法 - Google Patents
表面欠陥検出方法Info
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- JPS62287134A JPS62287134A JP13065586A JP13065586A JPS62287134A JP S62287134 A JPS62287134 A JP S62287134A JP 13065586 A JP13065586 A JP 13065586A JP 13065586 A JP13065586 A JP 13065586A JP S62287134 A JPS62287134 A JP S62287134A
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Links
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は小形精密加工品の表面欠陥を光学的に検出する
方法に関するものである。
方法に関するものである。
精密加工品の表面欠陥は、反射照明法が主として用いら
れている。この証明法のうち、第１図に示すように、Ｉ
ＴＶカメラ１の光軸上から落射照明し、被検物体４から
反射される光のうち、正常面８からでは正反射し、欠陥
部６からの光は乱反射や、正常部８と反射率の違いによ
り、ＴＴＶカメラ１で受ける光量の差により、正常面８
を白く欠陥部６を黒く表示する方法が一般によく用いら
れている、この照明法によりＩＴＶカメラ１で撮像した
画像を２値化処理した画像は第３図のようになる。この
ような２値化画像において、欠陥が存在する場合の画像
としては２つのパターンが考えられる。即ち、被検物体
４の正常面８の白領域内に背景５の黒領域と接しない場
所に存在する場合と、背景５の黒領域と接する場所に存
在する場合がある。前者の場合は、欠陥数及び欠陥寸法
は画素数（面積）をカウントして容易に求めることがで
きるが、後者の場合これができない。
れている。この証明法のうち、第１図に示すように、Ｉ
ＴＶカメラ１の光軸上から落射照明し、被検物体４から
反射される光のうち、正常面８からでは正反射し、欠陥
部６からの光は乱反射や、正常部８と反射率の違いによ
り、ＴＴＶカメラ１で受ける光量の差により、正常面８
を白く欠陥部６を黒く表示する方法が一般によく用いら
れている、この照明法によりＩＴＶカメラ１で撮像した
画像を２値化処理した画像は第３図のようになる。この
ような２値化画像において、欠陥が存在する場合の画像
としては２つのパターンが考えられる。即ち、被検物体
４の正常面８の白領域内に背景５の黒領域と接しない場
所に存在する場合と、背景５の黒領域と接する場所に存
在する場合がある。前者の場合は、欠陥数及び欠陥寸法
は画素数（面積）をカウントして容易に求めることがで
きるが、後者の場合これができない。
境界に欠陥部６が存在する場合には、背景５と接してお
り、同じく黒＜表示されているので単純に画素数のカウ
ントができず、寸法を求めるためには以下の方法によら
ざるを得ない。即ち輪郭走査法と呼ばれるもので４辺の
直線の弐を第３図に示すように、ＩＴＶカメラ１の判定
領域１１の視群内に境界線を入れ、領域と境界の交わる
点を夫夫１１ａ、ｌｌｂとし、この２点より直線の式を
求める。この方法で４辺の式を求め、この直線式より仮
想上の角座標を求め、この直線より内側にあり、しかも
境界と接している黒領域の画素数をカウントすることに
より、寸法及び数が求められる。このように正常部８内
にある欠陥部６ａと境界に接する場所に存在する欠陥６
ｂ、ダレ７とは別のアルゴリズムで求めなければならず
、手数がかかっていた。またＩＴＶカメラ１の判定領域
１１と境界との交点１１ａ、ｌｌｂに欠陥がある場合は
、直線の式が正確には求められず、信頼性にも乏しかっ
た。
り、同じく黒＜表示されているので単純に画素数のカウ
ントができず、寸法を求めるためには以下の方法によら
ざるを得ない。即ち輪郭走査法と呼ばれるもので４辺の
直線の弐を第３図に示すように、ＩＴＶカメラ１の判定
領域１１の視群内に境界線を入れ、領域と境界の交わる
点を夫夫１１ａ、ｌｌｂとし、この２点より直線の式を
求める。この方法で４辺の式を求め、この直線式より仮
想上の角座標を求め、この直線より内側にあり、しかも
境界と接している黒領域の画素数をカウントすることに
より、寸法及び数が求められる。このように正常部８内
にある欠陥部６ａと境界に接する場所に存在する欠陥６
ｂ、ダレ７とは別のアルゴリズムで求めなければならず
、手数がかかっていた。またＩＴＶカメラ１の判定領域
１１と境界との交点１１ａ、ｌｌｂに欠陥がある場合は
、直線の式が正確には求められず、信頼性にも乏しかっ
た。
〔発明が解決しようとする問題点３
以上のような従来技術に対し、本発明では、２値化処理
後の画像を欠陥のみを黒で表示し、従って、寸法も簡単
に求められる方法を提供しようとするものである。
後の画像を欠陥のみを黒で表示し、従って、寸法も簡単
に求められる方法を提供しようとするものである。
〔問題点を解決するための手段］
精密加工された被検物体４をその表面と同じ性状（例え
ば同物質で同加工度のもの或いは異物質でも反射率の同
じもの）を持つ背景反射板５上に置くことにより、ＩＴ
Ｖカメラ１に写った画像を２値化処理したときに、反射
が同じのため、被検物体４と背景５は同一平面即ち同じ
白領域として表示され、欠陥があれば、欠陥部分６又は
ダレ７のみが黒く表示される。
ば同物質で同加工度のもの或いは異物質でも反射率の同
じもの）を持つ背景反射板５上に置くことにより、ＩＴ
Ｖカメラ１に写った画像を２値化処理したときに、反射
が同じのため、被検物体４と背景５は同一平面即ち同じ
白領域として表示され、欠陥があれば、欠陥部分６又は
ダレ７のみが黒く表示される。
本発明の実施例１を第１図に示している。第１図におい
て、被検物体４は偏心油圧ロータリーポンプのベーンチ
ップである。形状としては縦横×ｌｏｎｇ、厚さ２龍の
金属製で、表面は精密加工しである。欠陥としては大き
さＱ、ｌ ｍｓ、周辺のダレは高さの寸法差５μｍ以上
のものを不良とする。
て、被検物体４は偏心油圧ロータリーポンプのベーンチ
ップである。形状としては縦横×ｌｏｎｇ、厚さ２龍の
金属製で、表面は精密加工しである。欠陥としては大き
さＱ、ｌ ｍｓ、周辺のダレは高さの寸法差５μｍ以上
のものを不良とする。
被検物体４を同じ表面性状を持つ背景反射板５の上に置
く。真上にハーフミラ−２が光’ｊＱ ３からの光を受
は被検物体４及び背景反射板５に垂直に光線が当るよう
な角度をもって設置されている。
く。真上にハーフミラ−２が光’ｊＱ ３からの光を受
は被検物体４及び背景反射板５に垂直に光線が当るよう
な角度をもって設置されている。
更にその上方で、被検物体４及び背景反射ｔｒｉ ５か
ら反射された垂直光を受ける位置にＩＴＶカメラｌが設
置されている。これと連結されて、別位置に処理部１０
が設置されている。
ら反射された垂直光を受ける位置にＩＴＶカメラｌが設
置されている。これと連結されて、別位置に処理部１０
が設置されている。
反射光はＩＴＶカメラ１内で全視野をライン分割され、
ライン毎で走査場所の光量に応じアナログ出力波形に変
換される。途中に欠陥６がある場合には、反射光が乱反
射され、正常面８より光量が少なくなる。その時の波形
を示すと第２図（ａｌの如くなる。この出力波形を処理
部１０で正常面８と欠陥部６とを識別できる適切なしき
い値で２値化した波形が第２図（ｂ）である。これを全
視野で示すと、第４図のようになり、欠陥部６は黒く、
正常面８は白く表示される。又端部が面取り、又はＲ面
であれば第４図の９に示すように直線で表示される。
ライン毎で走査場所の光量に応じアナログ出力波形に変
換される。途中に欠陥６がある場合には、反射光が乱反
射され、正常面８より光量が少なくなる。その時の波形
を示すと第２図（ａｌの如くなる。この出力波形を処理
部１０で正常面８と欠陥部６とを識別できる適切なしき
い値で２値化した波形が第２図（ｂ）である。これを全
視野で示すと、第４図のようになり、欠陥部６は黒く、
正常面８は白く表示される。又端部が面取り、又はＲ面
であれば第４図の９に示すように直線で表示される。
〔発明の効果］
本発明により、以下の効果が生じた。
従来、被検物体４と背景５を２値化した際、白と黒とに
別れており、境界に接する欠陥については、寸法を知る
ためには、前述の輪郭走査法などを併用しなければなら
ず、精度的にもやや劣り、判定も２つのアルゴリズムを
使用するため、処理時間がかかっていたが、背景反射板
５が被検物体４と同し性状を持つため、正常面８と背景
５が共に白く表示され、欠陥部６やダレ７のみが黒く表
示され、非常に判定が容易になったと同時に、１つのア
ルゴリズムで抽出できるため、検査時間も大幅に短縮さ
れた。
別れており、境界に接する欠陥については、寸法を知る
ためには、前述の輪郭走査法などを併用しなければなら
ず、精度的にもやや劣り、判定も２つのアルゴリズムを
使用するため、処理時間がかかっていたが、背景反射板
５が被検物体４と同し性状を持つため、正常面８と背景
５が共に白く表示され、欠陥部６やダレ７のみが黒く表
示され、非常に判定が容易になったと同時に、１つのア
ルゴリズムで抽出できるため、検査時間も大幅に短縮さ
れた。
又端部が面取りあるいはＲ面であれば、直線で黒く表示
され、その直線性、寸法も判別できる。
され、その直線性、寸法も判別できる。
本実施例の被検物体４をベーンチップで金属製としたが
、小形精密加工品であれば、材質は金属にとどまらずセ
ラミック等にも適用可能なことはいうまでもない。
、小形精密加工品であれば、材質は金属にとどまらずセ
ラミック等にも適用可能なことはいうまでもない。
第１図は本発明の全体の斜視図を示す。
第２図（ａｌは［ＴＶカメラのライン走査のアナログ出
力波形を示した図である。 （ｂｌは同上アナログ出力波形を適切なしきい値で２値
化した図である。 第３図は従来技術で得られる画像を示す図である。 第４図は本発明により得られた画像を示す図である。 １ ； ｒＴＶカメラ、２：ハ−７ミラー、４：被検物
体、５：背景反射板、６：欠陥部、７：ダレ、８；正常
部、１１：判定領域。 第１図 第２図 第３図 第４図
力波形を示した図である。 （ｂｌは同上アナログ出力波形を適切なしきい値で２値
化した図である。 第３図は従来技術で得られる画像を示す図である。 第４図は本発明により得られた画像を示す図である。 １ ； ｒＴＶカメラ、２：ハ−７ミラー、４：被検物
体、５：背景反射板、６：欠陥部、７：ダレ、８；正常
部、１１：判定領域。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- ＩＴＶカメラにより、対象物を撮像し、カメラの光軸上
から落射照明して得られた映像信号を、画像処理装置に
より、２値化し、欠陥を検出する方法において、対象物
を対象物表面と同じ性状をもつ平面上に置くことにより
、２値化処理後、欠陥と正常部とを明暗にて区別し、欠
陥のみを抽出することを特徴とする表面欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13065586A JPS62287134A (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 | 表面欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13065586A JPS62287134A (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 | 表面欠陥検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62287134A true JPS62287134A (ja) | 1987-12-14 |
Family
ID=15039442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13065586A Pending JPS62287134A (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 | 表面欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62287134A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005345386A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Tdk Corp | チップ部品の検査方法及びその検査装置 |
-
1986
- 1986-06-05 JP JP13065586A patent/JPS62287134A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005345386A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Tdk Corp | チップ部品の検査方法及びその検査装置 |
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