JPS62287134A - 表面欠陥検出方法 - Google Patents

表面欠陥検出方法

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Publication number
JPS62287134A
JPS62287134A JP13065586A JP13065586A JPS62287134A JP S62287134 A JPS62287134 A JP S62287134A JP 13065586 A JP13065586 A JP 13065586A JP 13065586 A JP13065586 A JP 13065586A JP S62287134 A JPS62287134 A JP S62287134A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
displayed
black
defect
normal
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Pending
Application number
JP13065586A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhisa Tsuruta
和久 鶴田
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
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Publication of JPS62287134A publication Critical patent/JPS62287134A/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は小形精密加工品の表面欠陥を光学的に検出する
方法に関するものである。
〔従来の技術〕
精密加工品の表面欠陥は、反射照明法が主として用いら
れている。この証明法のうち、第1図に示すように、I
TVカメラ1の光軸上から落射照明し、被検物体4から
反射される光のうち、正常面8からでは正反射し、欠陥
部6からの光は乱反射や、正常部8と反射率の違いによ
り、TTVカメラ1で受ける光量の差により、正常面8
を白く欠陥部6を黒く表示する方法が一般によく用いら
れている、この照明法によりITVカメラ1で撮像した
画像を2値化処理した画像は第3図のようになる。この
ような2値化画像において、欠陥が存在する場合の画像
としては2つのパターンが考えられる。即ち、被検物体
4の正常面8の白領域内に背景5の黒領域と接しない場
所に存在する場合と、背景5の黒領域と接する場所に存
在する場合がある。前者の場合は、欠陥数及び欠陥寸法
は画素数(面積)をカウントして容易に求めることがで
きるが、後者の場合これができない。
境界に欠陥部6が存在する場合には、背景5と接してお
り、同じく黒<表示されているので単純に画素数のカウ
ントができず、寸法を求めるためには以下の方法によら
ざるを得ない。即ち輪郭走査法と呼ばれるもので4辺の
直線の弐を第3図に示すように、ITVカメラ1の判定
領域11の視群内に境界線を入れ、領域と境界の交わる
点を夫夫11a、llbとし、この2点より直線の式を
求める。この方法で4辺の式を求め、この直線式より仮
想上の角座標を求め、この直線より内側にあり、しかも
境界と接している黒領域の画素数をカウントすることに
より、寸法及び数が求められる。このように正常部8内
にある欠陥部6aと境界に接する場所に存在する欠陥6
b、ダレ7とは別のアルゴリズムで求めなければならず
、手数がかかっていた。またITVカメラ1の判定領域
11と境界との交点11a、llbに欠陥がある場合は
、直線の式が正確には求められず、信頼性にも乏しかっ
た。
〔発明が解決しようとする問題点3 以上のような従来技術に対し、本発明では、2値化処理
後の画像を欠陥のみを黒で表示し、従って、寸法も簡単
に求められる方法を提供しようとするものである。
〔問題点を解決するための手段] 精密加工された被検物体4をその表面と同じ性状(例え
ば同物質で同加工度のもの或いは異物質でも反射率の同
じもの)を持つ背景反射板5上に置くことにより、IT
Vカメラ1に写った画像を2値化処理したときに、反射
が同じのため、被検物体4と背景5は同一平面即ち同じ
白領域として表示され、欠陥があれば、欠陥部分6又は
ダレ7のみが黒く表示される。
〔実施例〕
本発明の実施例1を第1図に示している。第1図におい
て、被検物体4は偏心油圧ロータリーポンプのベーンチ
ップである。形状としては縦横×long、厚さ2龍の
金属製で、表面は精密加工しである。欠陥としては大き
さQ、l ms、周辺のダレは高さの寸法差5μm以上
のものを不良とする。
被検物体4を同じ表面性状を持つ背景反射板5の上に置
く。真上にハーフミラ−2が光’jQ 3からの光を受
は被検物体4及び背景反射板5に垂直に光線が当るよう
な角度をもって設置されている。
更にその上方で、被検物体4及び背景反射tri 5か
ら反射された垂直光を受ける位置にITVカメラlが設
置されている。これと連結されて、別位置に処理部10
が設置されている。
反射光はITVカメラ1内で全視野をライン分割され、
ライン毎で走査場所の光量に応じアナログ出力波形に変
換される。途中に欠陥6がある場合には、反射光が乱反
射され、正常面8より光量が少なくなる。その時の波形
を示すと第2図(alの如くなる。この出力波形を処理
部10で正常面8と欠陥部6とを識別できる適切なしき
い値で2値化した波形が第2図(b)である。これを全
視野で示すと、第4図のようになり、欠陥部6は黒く、
正常面8は白く表示される。又端部が面取り、又はR面
であれば第4図の9に示すように直線で表示される。
〔発明の効果] 本発明により、以下の効果が生じた。
従来、被検物体4と背景5を2値化した際、白と黒とに
別れており、境界に接する欠陥については、寸法を知る
ためには、前述の輪郭走査法などを併用しなければなら
ず、精度的にもやや劣り、判定も2つのアルゴリズムを
使用するため、処理時間がかかっていたが、背景反射板
5が被検物体4と同し性状を持つため、正常面8と背景
5が共に白く表示され、欠陥部6やダレ7のみが黒く表
示され、非常に判定が容易になったと同時に、1つのア
ルゴリズムで抽出できるため、検査時間も大幅に短縮さ
れた。
又端部が面取りあるいはR面であれば、直線で黒く表示
され、その直線性、寸法も判別できる。
本実施例の被検物体4をベーンチップで金属製としたが
、小形精密加工品であれば、材質は金属にとどまらずセ
ラミック等にも適用可能なことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の全体の斜視図を示す。 第2図(alは[TVカメラのライン走査のアナログ出
力波形を示した図である。 (blは同上アナログ出力波形を適切なしきい値で2値
化した図である。 第3図は従来技術で得られる画像を示す図である。 第4図は本発明により得られた画像を示す図である。 1 ; rTVカメラ、2:ハ−7ミラー、4:被検物
体、5:背景反射板、6:欠陥部、7:ダレ、8;正常
部、11:判定領域。 第1図 第2図 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ITVカメラにより、対象物を撮像し、カメラの光軸上
    から落射照明して得られた映像信号を、画像処理装置に
    より、2値化し、欠陥を検出する方法において、対象物
    を対象物表面と同じ性状をもつ平面上に置くことにより
    、2値化処理後、欠陥と正常部とを明暗にて区別し、欠
    陥のみを抽出することを特徴とする表面欠陥検出方法。
JP13065586A 1986-06-05 1986-06-05 表面欠陥検出方法 Pending JPS62287134A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13065586A JPS62287134A (ja) 1986-06-05 1986-06-05 表面欠陥検出方法

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JP13065586A JPS62287134A (ja) 1986-06-05 1986-06-05 表面欠陥検出方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62287134A true JPS62287134A (ja) 1987-12-14

Family

ID=15039442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13065586A Pending JPS62287134A (ja) 1986-06-05 1986-06-05 表面欠陥検出方法

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JP (1) JPS62287134A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345386A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Tdk Corp チップ部品の検査方法及びその検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345386A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Tdk Corp チップ部品の検査方法及びその検査装置

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