KR930004508A - 커스프자장과, 결정 및 도가니의 회전속도와의 조합에 의한 실리콘 결정의 산소량 조절방법 - Google Patents

커스프자장과, 결정 및 도가니의 회전속도와의 조합에 의한 실리콘 결정의 산소량 조절방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

커스프자장과, 결정 및 도가니의 회전속도와의 조합에 의한 실리콘 결정의 산소량 조절방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 구현예에 따른 쵸크랄스키 결정 성장장치의 단면도,
제2도는 제1도의 확대도로서, 추가로 본발명의 실시예에서 설정한 조건 (1500amp)하에서 발생된 저장을 나타낸다,
제3도는 본 발명의 실시예에서 설정된 바와 같은 150㎜ 실리콘 결정봉의 산소농도에 관한 선형 모델을 나타내는 그래프.

Claims (10)

  1. 도가니에 보유되어 있는 실리콘 융체로부터 상기 도가니와 공통축을 갖는 단결정 실리콘봉을 끌어올림으로써 소정 직경의 단결정 실리콘봉을 제조하기 위한 쵸크랄스키법에 있어서, 상기 방법은 상기 결정의 회전속도가 상기 도가니의 회전속도보다 더 크게 되도록 상기 결정과 도가니를 상기 축에 대해 서로 반대방향으로 회전시키는 단계, 및 시리콘 융체의 일번분률이 응고될때까지, 상기 실리콘봉의 축에 대해 시리질적으로 축방향으로 대칭인 자장을 상기 실리콘융체에 부여하는 단계를 포함하며, 상기 자장은 상기 도가니의 저면과 측벽을 수직으로 절단하는 성분과 실리콘 융체 표면을 수직으로 절단하는 성분을 가지며, 상기 저면과 측벽을 수직으로 절단하는 평균 자장 성분이 상기 실리콘 융체표면을 수직으로 절단으로 평균자장 성분보다 더 크며, 또한 상기 단결정의 직경이 소정길이에 도달한 후에는 도가니의 회전속도를 증가시키고 실리콘 융체의 응고분률이 증가함에 따라 상기 자장 강도를 감소시키는 것을 특징을 하는 초크랄스키법에 의한 실리콘 단결정의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도가니의 저면과 측벽을 수직으로 절단하는 자장성분이 실리콘 융체의 응고분률이 약 0.5를 초과한후에는 0으로 감소됨을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 결정봉이 끌어올려질때 결정보의 회전속도가 도가니의 회전속도보다 약 5RPM 이상 더 큰 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 도가니의 저면과 측벽을 수직으로 절단하는 자장성분이, 실리콘 융체의 응고분률이 약 0.8을 초과한 후에는 0으로 감소됨을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 실리콘 융체와 접촉하고 있는 상기 도가니의 저면과 측벽을 수직으로 절단하는 평균자장성분의 초기치는 약 500 가우스 이상임을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5에 있어서, 상기 도가니의 저면과 측벽을 수직으로 절단하는 자장성분이 실리콘 융체의 응고분률이 약 0.5를 초과한 후에는 0으로 감소됨을 특징으로 하는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 결정봉이 끌어올려질 때 상기 결정봉의 회전속도가 상기 도가니의 회전속도 보다 약 5RPM 이상 더 큰 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 결정봉의 직경은 약 200㎜이고 상기 도가니와 결정봉과의 회전수(RPM)의 합이 약 27를 초과하지 않음을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 결정봉의 직경은 약 150㎜이고 상기 도가니와 결저봉과의 회전수(RPM)의 합이 약 32를 초과하지 않음을 특징으로 하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 결정보의 축을 따른 산소농도 변화율이 약5％룰 초과하지 않음을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019920014595A 1991-08-14 1992-08-13 커스프자장과, 결정 및 도가니의 회전속도와의 조합에 의한 실리콘 결정의 산소량 조절방법 KR960006260B1 (ko)

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