KR830008552A - 쵸크랄스키 성장 실리콘에서 산소의 농도 와 분포를 조절하는 방법 - Google Patents

쵸크랄스키 성장 실리콘에서 산소의 농도 와 분포를 조절하는 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

쵸크랄스키 성장 실리콘에서 산소의 농도 와 분포를 조절하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도면 제1도 내지 제7도는 시드와 도가니 회전속도의 상대적 방향과 크기의 변화에 따른 효과와 쵸크랄스키 방법을 여러가지로 조정해서 얻은 결과를 나타낸 것이다. 여기에서 산소농도는 쵸크랄스키 막대의 퍼센트 결정길이 또는 퍼센트 후로즌에 대해 나타낸 것으로써,
제1도는 일정한 회전속도에서 직경 60mm 결정성장할 때의 산소량의 축방향 분포도.
제2도는 일정한 회전속도에서 직경 100mm 결정성장할 때에 산소량의 축방향 분포도.
제3도는 도가니 회전속도를 계획적으로 증가시킴으로서 실리콘 결정성장할 때 생기는 산소량 분포도.
제4도는 일정한 회전속도에서 직경 80mm 결정성장할 때의 산소량의 방사방향과 축방향 분포도.
제5도는 도가니 회전속도를 계획적으로 증가시키므로서 직경 80mm 결정성장할 때의 산소량의 축방향과 방사방향의 분포도.
제6도는 도가니 회전속도를 계획적으로 증가시키므로서 직경 100mm 결정성장할 때의 산소량 축방향과 방사방향의 분포도.
제7도는 도가니 회전속도를 계획적으로 증가시키므로서 직경 80mm 결정성장할 때의 산소량의 축방향과 방사방향의 분포도.

Claims (10)

  1. 회전하고 있는 실리카 도가니에 포함된 실리콘 용해물에 대해 시드결정을 회전시킴으로서 얻어진 실리콘 결정막대에서 산소의 분포와 농도를 조절하는 방법으로 다음과 같다.
    (a) 시드결정을 실리콘 용해물을 포함하고 있는 실리카 도가니와 회전시키면서 접촉시킨다.
    (b) 결정막대는 더 큰 초기회전속도로 그리고 용해물 도가니는 이와 반대방향으로 회전시키면서 실리콘 결정시드막대를 용해물로부터 인출시킨다.
    (c) 도가니 용해물 준위가 줄어듬에 따라 용해물 도가니 회전속도를 증가시킨다.
  2. 제1항에 있어서 결정막대내의 산소량의 분포는 축과 방사방향의 농도차가 약 8ppma보다 적을 때 도가니 회전속도를 증가시킴으로서 조절된다.
  3. 제1항에 있어서 산소함유량은 결정시드막대 회전속도와 출발당시 도가니속의 용해물량의 함수로써 약 15ppma부터 40ppma사이의 한계내에서 규제된다.
  4. 제3항에 있어서 실리콘 결정시드막대는 약 5RPM부터 40RPM까지 회전되며 용해물 도가니의 회전속도는 약 1RPM에서 40RPM까지 증가된다.
  5. 제1항에 있어서 산소함유량의 축방향분포는 약 5ppma부터 6ppma보다 적은 농도차내에서 조절된다.
  6. 제1항에 있어서 산소함유량의 방사방향분포는 약 4ppma부터 5ppma보다 적은 농도차내에서 조절된다.
  7. 제1항에 있어서 실리콘 결정시드막대 회전속도는 도달된 용해물 도가니 최대 회전속도보다 더 큰 속도에서 일정하게 유지된다.
  8. 제1항에 있어서 실리콘 결정시드막대는 단결정 실리콘으로 구성된다.
  9. 제1항에 있어서 실리콘 결정시드막대 회전속도는 도가니 용해물 준위가 줄어듬에 따라 증가된다.
  10. 회전하는 실리카 도가니속에 포함된 실리콘 용해물에 대해 단결정 시드를 회전시켜서 얻은 단결정 실리콘 막대에서 산소의 분포를 조절하는 방법은 다음과 같다.
    (a) 단결정 실리콘 시드를 용해물을 포함하고 있는 실리카 도가니를 회전시키면서 접촉시킨다.
    (b) 결정막대를 초기보다 더 큰 속도로 회전시키면서 용해물로부터 단결정 실리콘 시드막대를 확장인출한다.
    (c) 도가니의 용해물 준위가 줄어듬에 따라 도가니 회전속도를 증가시켜서 단결정 실리콘 막대길이의 약 98%까지 축과 방사방향에 따라 산소농도차가 약 10ppma보다 적게 단결정 실리콘 막대를 만들어낸다.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019810005174A 1980-12-29 1981-12-28 쵸크랄스키 성장 실리콘에서 산소의 농도 및 분포를 조절하는 방법 KR850001941B1 (ko)

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