KR920017212A - 트렌치 형성방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 공정 단면도.
Claims (1)
- 기판위에 통상의 방법으로 트렌치를 형성하는 단계, 트렌치상에 얇은 산화막을 형성하고 그 위에 트렌치가 소정폭의 구멍을 갖도록 스텝 커버리지가 불량하게 질화막을 증착하는 단계, 상기 구멍 사이로 비등방성 에치를 실시하여 트렌치 밑면의 상기 산화막과 질화막을 소정폭만큼 제거하는 단계, 상기 소정폭만큼 오픈된 기판상에 다시 비등방성 에치를 실시하여 트렌치 밑면을 큰 곡률을 갖는 형태로 형성하는 단계, 상기 산화막과 질화막을 잔여부분을 제거하는 단계가 차례로 포함됨을 특징으로 하는 트렌치 형성방법.※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910002389A KR100205436B1 (ko) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 트렌치 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910002389A KR100205436B1 (ko) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 트렌치 형성방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920017212A true KR920017212A (ko) | 1992-09-26 |
| KR100205436B1 KR100205436B1 (ko) | 1999-07-01 |
Family
ID=19311072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910002389A KR100205436B1 (ko) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 트렌치 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100205436B1 (ko) |
-
1991
- 1991-02-13 KR KR1019910002389A patent/KR100205436B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100205436B1 (ko) | 1999-07-01 |
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