KR920010770A - 필드 산화막 제조방법 - Google Patents
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내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 공정의 단면도,
제2도는 본 발명의 공정단면도,
제3도와 제4도는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 단면도.
Claims (2)
- 기판위에 초기산화막을 성장시키고 P/R을 사용하여 필드 산화막이 형성될 부분을 한정한 후 이온주입하는 공정과, P/R 제거후 초기 산화막을 성장시켜 필드 산화막을 형성하고 P/R을 사용하여 필드 산화막을 선택적 건식식각하는 공정과, 필드 산화막을 습식식각하고 선택적 에피택시를 실시하는 공정을 차례로 실시함을 특징으로 하는 필드 산화막 제조방법.
- 제1항에 있어서, 필드 산화막을 성장시키기 위하여 초기산화막을 1000Å이상 성장시킴을 특징으로 하는 필드 산화막 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900018189A KR920010770A (ko) | 1990-11-10 | 1990-11-10 | 필드 산화막 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900018189A KR920010770A (ko) | 1990-11-10 | 1990-11-10 | 필드 산화막 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920010770A true KR920010770A (ko) | 1992-06-27 |
Family
ID=67537751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900018189A KR920010770A (ko) | 1990-11-10 | 1990-11-10 | 필드 산화막 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920010770A (ko) |
-
1990
- 1990-11-10 KR KR1019900018189A patent/KR920010770A/ko not_active Application Discontinuation
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