KR910015061A - 이미지 센서의 제조방법 - Google Patents
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-
- H—ELECTRICITY
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 이미지 센서의 외관 평면 설명도, 제2도 (a), (b)는 각각 제1도의 수광소자부분의 평면 설명도와 단면 설명도, 제3도 (a), (b)는 각각 제1도의 전하 전송부의 평면 설명도와 단면 설명도.
Claims (1)
- 금속전극, 광도전층, 투명전극을 차례로 적층시켜 되는 수광소자와 게이트 전극, 소오스 전극, 드레인 전극을 갖는 박막 트랜지스터 스위치 소자와 상하 배선층의 사이에 어스층이 설비되고 상하 배선이 매트릭스 형상인 배선군을 동일 기판위에 형성하는 이미지 센서 제조방법에 있어서, 상기 수광소자의 금속전극부분과 상기 박막 트랜지스터 스위치 소자의 소오스 전극부분, 드레인 전극부분과 상기 배선군의 어스층부분을 동시에 동일 금속으로 착막시키고 패턴닝을 행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002589A JPH03209768A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | イメージセンサ製造方法 |
| JP2-2589 | 1990-01-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910015061A true KR910015061A (ko) | 1991-08-31 |
| KR940005901B1 KR940005901B1 (ko) | 1994-06-24 |
Family
ID=11533568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910000040A KR940005901B1 (ko) | 1990-01-11 | 1991-01-04 | 이미지 센서의 제조방법 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03209768A (ko) |
| KR (1) | KR940005901B1 (ko) |
| TW (1) | TW201365B (ko) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61141173A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-28 | Seiko Epson Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
| JPS62163366A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-20 | Seiko Epson Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
| JPH0682820B2 (ja) * | 1987-06-26 | 1994-10-19 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
| JPH07107930B2 (ja) * | 1987-06-26 | 1995-11-15 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置の製造法 |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP2002589A patent/JPH03209768A/ja active Pending
-
1991
- 1991-01-04 KR KR1019910000040A patent/KR940005901B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-01-11 TW TW080100218A patent/TW201365B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201365B (ko) | 1993-03-01 |
| KR940005901B1 (ko) | 1994-06-24 |
| JPH03209768A (ja) | 1991-09-12 |
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