KR890001413A - 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사방법 및 그 장치 - Google Patents

다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 스루 홀 보이드 검사장치의 개략적인 설명도.
제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 스루 홀 보이드 검사장치의 개략적인 설명도.
제4도 및 본 발명의 제3실시예에 따른 스루 홀 보이드 검사장치의 개략적인 설명도.

Claims (26)

  1. 프린트 배선 기판(1)의 스루 홀(2)내에 있는 스루 홀 보이드(4)에 노출된 층재료(la)에서 발광성 빔(14)를 여진시킬수 있는 특정의 파장대역에 해당하는 파장의 빔을 가지고, 상기 프린트 배선기판(1)의 상층의 배선패턴과 하층의 배선 패턴사이에 상호접속 하도록 전기적 도전체로 형성된 스루 홀(2)를 조명하는 공정, 발광성 빔(14)를 전기적 신호로 변환하기위한 광 전자 변환수단상에서, 상기 스루 홀(2)내의 상기 스루 홀 보이드(4)를 거쳐서 상기 층재료(la)에 충돌하는 조명빔에 의해 여진된 발광성 빔(14)를 초점조정용광시스템의 수단으로 초점을 맞추는 공정, 전기적 신호에 따라 상기 스루 홀 보이드(4)의 존재를 검사하는 공정을 포함하는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사방법.
  2. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 초점 조정용 광시스템은 개구수 NA=sinθ가 sinlO°이상의 값을 갖는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사방법.
  3. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 전기적 도전체는 상기 프린트 배선 기판의 한면의 전체에 형성되는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사방법.
  4. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 스루 홀이 형성되는 패드보다 작은 크기의 조명 빔으로 부분적인 빔 조명을 행하는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사방법.
  5. 특허청구의 범위 제4항에 있어서, 스루 홀 보이드(4)의 위치는 설계 데이터에따라 정해지고, 그후 셔터(22)가 열리고 상기 초점조정용 광시스템용 광시스템을 허락하여, 상기 광전자 변환 수단위에 위치한 스루 홀에서 나오는 발광성 빔의 초점을 맞추는 다층 프린트 배선기관의 스루 홀 보이드의 검사방법.
  6. 특허청구의 범위 제4항에 있어서, 스루 홀 보이드(4)의 위치는 설계 데이터에따라 정해지고, 그후 셔터(22)가 열리고 상기 초점조정용 광시스템을 허락하여, 상기 광전자 변환 수단위에 위치한 스루 홀에서 나오는 발광성 빔의 초점을 맞추는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사방법.
  7. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 영상 증강장치형 검출기는 상기 광전자 변환 수단으로써 사용되는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사방법.
  8. 특허 청구의 범위 제1항에 있어서, 영상 증강장치 TV카메라는 상기 광 전자 변환수단으로써 사용되는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사방법.
  9. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 실리콘 증강장치 타겟 TV카메라는 상기 광전자 변환 수단으로써 사용되는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사방법.
  10. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 조명빔은 스루 홀 입구의 전체 영역에 비스듬히 조사되는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사방법.
  11. 프린트 배선 기판(1)의 스루 홀(2)내에 있는 스루 홀 보이드(4)에 노출된 층재료(la)에서 발광성 빔을 여진시킬 수 있는 특정의 파장대역에 해당하는 파장을 갖는 빔으로써, 상기 프린트 배선기판(1)의 상층의 배선패턴과 하층의 배선패턴사이에 상호 접속하도록 전기적 도전체로 형성된 스루 홀(2)를 조명하기 위한 조명용 광시스템, 발광성 빔(14)를 전기적 신호로 변환하기 위한 광전자 변환기상에서, 사익 스루 홀(2)내의 상기 스루 홀 보이드(4)를 거쳐서 상기 층재료(la)에 충돌하는 조명 빔에의해 여진된 발광성 빔(14)으 초점을 맞추기 위한 발광성 빔 검출용 광시스템, 상기 광전자변환 수단에서 발생되고 스루 홀 보이드(4)의 존재를 검사하는데 사용되는 상기 전기적 신호를 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  12. 특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 조명용 광시스템은 고강도의 여진 빔(13)을 방사시키기위한 광원, 여진 빔을 반사시키고 발광성 빔(14)를 통과시키는 색선별 거울(9), 여진 빔과 발광성 빔의 초점을 맞추기위한 대물렌즈를 포함하고, 사익 발광성 빔 검출용 광시스템은 상기 대물렌즈, 상기 색선별 거울, 상기 색선별 거울을 통해 통과한 상기 발관성빔에 속하는 상기 특정의 파장대역의 빔의 약한 강도를 흡수하고 상기 발광성 빔만을 통과시키기위한 흡수 필터(11)을 포함하는 다층 프린트 배선 기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  13. 특허청구의 범위 제12항에 있어서, 상기 광원은 초고압 수은 아크 램프를 포함하는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  14. 특허청구의 범위 제12항에 있어서, 상기 광원은 레이저소오스원(16)을 포함하는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  15. 특허청구의 범위 제12항에 있어서, 또, 상기 조명용 광시스템은 상기 광원과 상기 색선별거울(9)사이에 삽입되고 상기 여진 빔의 파장을 통과시키기위한 여진 필터(18)을 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  16. 특허 청구의 범위 제11항에 있어서, 또, 상기 조명용 광시스템은 고강도의 여진 빔을 방사시키기위한 광원, 상기 광원에서 방사된 여진 빔을 집광시키고 상기 여진빔을 스루 홀의 한쪽 끝에 조명시키기위한 큰 개구수의 조명용 및 집광용 광시스템을 포함하고, 상기 발광성 빔 검출용 광시스템은 여진 빔의 초점을 맞추기위한 큰 개구수의 검출용 및 초점 조정용 광시스템, 상기 스루 홀의 다른쪽 끝에서 나오는 발과성 빔, 상기 검출용 및 초점 조정용 광시스템에 의해 초점을 맞춘 발광성 빔만 통과시키기위한 흡수 필터(8)을 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  17. 특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 조명용 광시스템은 고강도의 여진 빔(13)을 방사시키기 위한 광원, 상기 여진 빔을 스루 홀에 비스듬히 조명하도록 여진 빔의 초점을 맞추기위한 큰 개구수의 조명용 및 초점조정용 광시스템을 포함하고, 상기 발광성 빔 검출용 광시스템은 여진 빔의 초점을 맞추기위한 큰 개구수의 검출용 및 초점조정용 광시스템, 상기 스루 홀에서 나오는 발광성 빔(14), 상기 검출용 및 초점조정용 광시스템에 의해 초점을 맞춘 발광성 빔만 통과시키기 위한 흡수 필터(11)을 포함하는 다층 프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  18. 특허청구의 범위 제17항에 있어서, 또, 상기 조명용 광시스템은 상기 광원과 상기 색샌별거울 사이에 삽입되고 상기 여진 빔의 파장을 통과시키기위한 여진 필터(8)을 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  19. 특허청구의 범위 제17항에 있어서, 상기 조명용 및 초점조정용 광시스템은 회전포물면거울(17,18)등을 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  20. 특허청구의 범위 제19항에 있어서, 상기 조명용 및 초점조정용 광시스템과 상기 발광성 빔 검출용 광시스템은 상기 프린트 배선기판의 동일측에 배치되는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  21. 특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 조명용 광시스템은 스루 홀이 형성되는 패드의 크기보다 작은 조명팀의 크기로 만드는 부분적인 빔 조명을 조리개를 포함하는 다층 프린트 배선 기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  22. 특허청구의 범위 제21항에 있어서, 또, 위치가 결정된 스루 홀에 부분적 빔 조명을 제공하도록 여는 셔터(22)를 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드 검사장치.
  23. 특허청구의 범위 제21항에 있어서, 상기 발광성빔 검출용 광시스템은 위치가 결정된 스루 홀에서 나온 발광성 빔을 검출하도록 상기 광전자 변환 수단을 허락하기위해 여는 셔터(22)를 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  24. 특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 광전자 변환 수단은 영상 증강장치를 포함하는 다층프린트 배선기판의 스루 홀 보이드의 검사장치.
  25. 특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 광전자 변환 수단은 영상 증강장치 TV카메라를 포함하는 다층프린트 배선기관의 스루 홀 보이드 검사장치.
  26. 특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 광전자 변환 수단은 실리콘 증강장치 타겟 TV카메라를 포함하는 다층프린트 배선기관의 스루 홀 보이드 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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