KR880013032A - 액티브 매트릭스 액정의 제조방법 - Google Patents

액티브 매트릭스 액정의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR880013032A
KR880013032A KR870004256A KR870004256A KR880013032A KR 880013032 A KR880013032 A KR 880013032A KR 870004256 A KR870004256 A KR 870004256A KR 870004256 A KR870004256 A KR 870004256A KR 880013032 A KR880013032 A KR 880013032A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bus line
gate
gate bus
photoresist
redundant
Prior art date
Application number
KR870004256A
Other languages
English (en)
Other versions
KR940009148B1 (ko
Inventor
권순길
김근희
Original Assignee
김정배
삼성전관 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김정배, 삼성전관 주식회사 filed Critical 김정배
Priority to KR1019870004256A priority Critical patent/KR940009148B1/ko
Publication of KR880013032A publication Critical patent/KR880013032A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR940009148B1 publication Critical patent/KR940009148B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

액티브 매트릭스 액정의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2도는 본 발명의 액티브 매트릭스 액정의 단면도.

Claims (1)

  1. 한층의 게이트 버스라인(3)으로 된 액티브 매트릭스 액정에 있어서, 2층의 게이트 버스라인이 되도록 상기의 게이트 버스라인(3) 밑에 용장성 게이트 버스라인(2)을 형성하여 단선에 의한 선결함을 방지하돌고 하기의 스텝(가-자)으로 제조되어지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정의 제조방법.
    (가)알칼리 프리기판(1)위에 용장성 게이트 버스라인(2)을 형성하기 위해 투명도전막을 스퍼터링으로 중착하고; (나) 게이트 버스라인(3)을 형성하기 위해 용장성 게이트 버스라인(2) 위에 게이트 금속을 스퍼터링으로 증착하며; (다) 게이트 금속이 증착된 게이트 버스라인(3) 위에 포토레지스트를 전체적으로 코팅하고; (라) 사진식각술을 이용해서 게이트 메탈과 투명도전막을 차례로 에칭한 후 포토 레지스트를 제거하여 용장성 게이트 버스라인(2)과 게이트 버스라인(3)를 만들며; (마) 만들어진 용장성 게이트 버스라인(2)과 게이트 버스라인(3)위에 게이트 절연체(4)와 반도체소자(5)와 옴 접촉층(9)을 차례로 증착한 후 포토레지스트를 코팅하고 ; (바) 사진식각술을 이용해 실리콘 아일랜드(5)를 만든 후 포토레지스트를 제거하며; (사) 만들어진 실리콘 아일랜드(5) 위에 소오스(6)와 드레인 금속(7)을 전체적으로 증착한 후 포토레지스트를 코팅하고; (아)사진식각술을 이용해 소오스-드레인의 패턴을 형성한 후 포토레지스트를 제거하고, 채널부분에 남아있는 옴 접촉층(9)을 에칭하며; (자)옴 접촉층(9)위에 광차폐층(10)을 형성하고, 광차폐층
    (10)위에 비활성층(11)을 형성한다.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870004256A 1987-04-30 1987-04-30 액티브 매트릭스 액정의 제조방법 KR940009148B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019870004256A KR940009148B1 (ko) 1987-04-30 1987-04-30 액티브 매트릭스 액정의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019870004256A KR940009148B1 (ko) 1987-04-30 1987-04-30 액티브 매트릭스 액정의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR880013032A true KR880013032A (ko) 1988-11-29
KR940009148B1 KR940009148B1 (ko) 1994-10-01

Family

ID=19261106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019870004256A KR940009148B1 (ko) 1987-04-30 1987-04-30 액티브 매트릭스 액정의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR940009148B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100394027B1 (ko) * 2000-12-27 2003-08-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 저저항 배선을 갖는 액정 디스플레이 패널 및 그 제조방법
KR100462381B1 (ko) * 1997-12-29 2005-06-07 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시소자의 제조 방법
KR100489872B1 (ko) * 1997-11-21 2005-08-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 박막트랜지스터매트릭스기판및그제조방법
KR100488927B1 (ko) * 1997-12-08 2005-10-14 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 스테거드타입박막트렌지스터액정표시소자및그의제조방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100489872B1 (ko) * 1997-11-21 2005-08-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 박막트랜지스터매트릭스기판및그제조방법
KR100488927B1 (ko) * 1997-12-08 2005-10-14 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 스테거드타입박막트렌지스터액정표시소자및그의제조방법
KR100462381B1 (ko) * 1997-12-29 2005-06-07 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시소자의 제조 방법
KR100394027B1 (ko) * 2000-12-27 2003-08-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 저저항 배선을 갖는 액정 디스플레이 패널 및 그 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR940009148B1 (ko) 1994-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR880001179A (ko) 박막트랜지스터 배열기판의 제조방법
KR890015050A (ko) 박막형성방법 및 액티브매트릭스 표시장치와 그 제조방법
KR900002110A (ko) 액티브 매트릭스 패널의 제조 방법
KR100192347B1 (ko) 액정표시장치의 구조 및 제조방법
KR970072480A (ko) 박막 트랜지스터의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조되는 박막 트랜지스터의 구조
KR980003736A (ko) 액정표시장치의 제조방법
KR880013032A (ko) 액티브 매트릭스 액정의 제조방법
KR950021728A (ko) 박막트랜지스터 제조방법
JP2877363B2 (ja) 薄膜トランジスタの製造方法
KR910009039B1 (ko) 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법
KR970072497A (ko) 액티브 매트릭스 기판의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조되는 액티브 매트릭스 기판
JPH01165127A (ja) 表面平坦化法
KR100488927B1 (ko) 스테거드타입박막트렌지스터액정표시소자및그의제조방법
KR910002194B1 (ko) 액티브 매트릭스 액정표시소자
KR20020028014A (ko) 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조방법
KR940001454A (ko) 박막트랜지스터 구조 및 제조방법
KR200148540Y1 (ko) 박막트랜지스터
KR940003088A (ko) 박막트랜지스터의 제조방법
KR950004583A (ko) 박막 트랜지스터 제조방법
KR970004085A (ko) 박막 트랜지스터 및 그의 제조방법
KR940015588A (ko) 액티브 매트릭스 액정 디스플레이(lcd) 및 그의 제조방법
KR950021763A (ko) 박막트랜지스터 제조방법
KR900017199A (ko) 박막 반도체 소자 및 제조방법
KR910001933A (ko) Tft 제조방법
KR930024190A (ko) 액정표시장치의 박막트랜지스터 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060927

Year of fee payment: 13

EXPY Expiration of term