KR20210127708A

KR20210127708A - 이물 제거 장치

Info

Publication number: KR20210127708A
Application number: KR1020217026263A
Authority: KR
Inventors: 키요타카 츠츠미; 타쿠야 토쿠오카; 유키 미야하라; 노리히로 나카무라
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2019-02-20
Filing date: 2019-12-09
Publication date: 2021-10-22
Also published as: TW202031392A; JP2020131128A; WO2020170561A1; CN113474095A; JP2024045340A

Abstract

효율적으로 워크에 부착된 이물을 제거할 수 있는 이물 제거 장치를 제공한다.
본 발명의 이물 제거 장치는 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크(W)의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 이물 제거 장치(100)로서, 상기 워크(W)를 외주면이 노출되도록 유지하는 상기 유지 유닛(10)과, 점착 테이프(30)를 조출하는 조출 롤러(21)와, 상기 조출 롤러(21)로부터 조출된 상기 점착 테이프(30)를 권취하는 권취 롤러(22)와, 상기 조출 롤러(21)와 상기 권취 롤러(22)와의 사이에 배치되고 상기 점착 테이프(30)를 상기 워크(W)에 압부하는 것이 가능하도록 구성된 당접 롤러(23)를 포함하는 이물 제거 유닛(100)을 구비한다.

Description

이물 제거 장치

본 발명은 이물 제거 장치에 관한 것이다.

종래, 필름을 복수 매 겹친 워크의 단면을, 엔드 밀 등의 절삭 가공하는 것이 알려져 있지만, 상기 필름으로서 점착제층 부착 필름을 이용한 경우, 절삭 가공 후에 이물(절삭 부스러기)이 피절삭면에 부착된다는 문제가 있다. 종래에는 이와 같은 이물이 생겼을 경우, 점착 테이프 등을 이용한 수작업으로 이물의 제거를 행하고 있지만, 이와 같은 작업은 번잡하고, 효율성에 문제가 있다. 또한, 점착 테이프를 과잉하게 필요로 한다는 점에서도 불리하다.

일본 특허 제6277150호

본 발명은 상기 종래의 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 그 주된 목적은 효율적으로 워크에 부착된 이물을 제거할 수 있는 이물 제거 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 이물 제거 장치는, 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 이물 제거 장치로서, 해당 워크를 외주면이 노출되도록 유지하는 해당 유지 유닛과, 점착 테이프를 조출하는 조출 롤러와, 해당 조출 롤러로부터 조출된 해당 점착 테이프를 권취하는 권취 롤러와, 해당 조출 롤러와 해당 권취 롤러와의 사이에 배치되고 해당 점착 테이프를 해당 워크에 압부(押付)하는 것이 가능하도록 구성된 당접 롤러를 포함하는 이물 제거 유닛을 구비한다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크가 회전하는 것이 가능하도록 구성되어 있다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크의 형상 및 회전에 추종하여 상기 당접 롤러가 전후운동 가능하도록 구성되어 있다.

하나의 실시형태에서는, 상기 당접 롤러가 표면에 탄성층을 갖는 탄성 롤러이다.

하나의 실시형태에서는, 상기 탄성 롤러의 탄성 표면층의 두께가 4mm 이상이다.

하나의 실시형태에서는, 상기 당접 롤러의 압부력이 0.2MPa∼0.5MPa이다.

본 발명의 다른 국면에 따르면, 이물 제거 방법이 제공된다. 이 이물 제거 방법은 상기 이물 제거 장치를 이용하여 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 방법으로서, 상기 유지 유닛에 해당 워크를 세트하는 것, 해당 워크를, 해당 워크의 수직 축 주위로 회전시키는 것, 상기 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를 해당 워크의 외주면에 압부하면서 해당 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 것을 포함한다.

하나의 실시형태에서는, 상기 이물 제거 방법은, 워크를 세트한 후, 해당 워크의 수직 축 주위로 회전시키면서, 상기 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를 해당 워크의 외주면에 압부하는 것을 포함한다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크가 상기 적층체를 수직 축 주위로 회전시키면서, 절삭 수단을 해당 적층체의 외주면에 당접시킴으로써, 해당 외주면을 절삭하여 얻어진 워크이고, 상기 워크의 회전 속도가 해당 외주면을 절삭할 때의 적층체의 회전 속도보다도 빠르다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크의 회전 방향이, 상기 외주면을 절삭할 때의 상기 적층체의 회전 방향과는 반대 방향이다.

본 발명에 따르면, 효율적으로 워크에 부착된 이물을 제거할 수 있는 이물 제거 장치를 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 이물 제거 장치의 개략 사시도이다.
도 2는,　본 발명의 하나의 실시형태에 따른 이물 제거 장치의 이물 제거 유닛의 개략 측면도이다.
도 3(a)은, 실시예 1에서의 이물 제거 전 워크의 외주의 모습을 나타내는 사진도이고, 도 3(b)은, 실시예 1에서의 이물 제거 후 워크의 외주의 모습을 나타내는 사진도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태에 관하여 설명하지만, 본 발명은 이들 실시형태로는 한정되지 않는다. 또한, 보기 쉽게 하기 위하여 도면 은 모식적으로 나타나 있고, 더욱이 도면에서의 길이, 폭, 두께 등의 비율, 및 각도 등은 실제와는 상이하다.

A. 이물 제거 장치

도 1은, 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 이물 제거 장치의 개략 사시도이다. 도시예의 이물 제거 장치(100)는 유지 유닛(10)과, 이물 제거 유닛(20)을 구비한다.

유지 유닛(10)은 워크(W)를 유지하는 요소이고, 워크(W)의 외주면이 노출되도록 하여 워크(W)를 유지한다. 워크(W)는 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻을 수 있다. 당해 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크(W)는, 그 외주면에 이물(절삭 부스러기)이 많이 부착되어 있다. 본 발명의 이물 제거 장치(10)는, 유지 유닛(10)에 유지된 워크(W)의 외주면으로, 이물 제거 유닛(20)에 의해 주행하고, 임의의 적절한 점착력을 갖는 점착 테이프(30)의 점착면을 당해 외주면에 압부함으로써, 워크(W)의 외주면에 부착된 이물을 제거할 수 있다. 본 발명의 이물 제거 장치에 의하면, 점착 테이프(30)의 점착면의 새로운 부분(이물 제거에 제공되지 않은 부분)을 순차 워크(W)의 외주면의 오염 부분에 공급할 수 있고, 상기 이물을 효율적으로, 자동적으로 제거하는 것이 가능하게 된다.

하나의 실시형태에서는, 유지 유닛(10)은 샤프트(11)와 샤프트(11)의 선단에 배치된 압부부(12)를 포함하는 2개의 유지 수단으로 구성된다. 워크(W)는 압부부(12)를 대향시키도록 하여 배치된 유지 수단에 의해 가압되어 유지될 수 있다.

하나의 실시형태에서는, 워크(W)는 당해 워크(W)의 수직 축 주위로 회전시켜질 수 있다. 본 실시형태에서는, 워크(W)의 외주 전체 둘레를 효율적으로 자동적으로 세정할 수 있다. 또한, 점착 테이프(30)의 점착면의 새로운 부분(이물 제거에 제공되지 않은 부분)을 항상 워크(W)의 외주면의 오염 부분에 공급할 수 있다는 점에서도 유리하다.

이물 제거 유닛(20)은 장척상의 점착 테이프(30)를 연속적으로 주행시키는 기능을 갖고, 조출 롤러(21)와, 권취 롤러(22)와, 당접 롤러(23)를 포함한다. 조출 롤러(21), 권취 롤러(22) 및 당접 롤러(23)는 하나의 대좌(24) 위에 배치될 수 있다.

조출 롤러(21)에는 금속 롤러나 고무 롤러, 수지 롤러 등의 롤러 부재(테이프 홀더)를 사용할 수 있다. 조출 롤러(21)는 구동원을 갖는 롤러이어도 되고, 구동원을 갖지 않는 롤러이어도 된다. 하나의 실시형태에서는, 조출 롤러(21)는 그 자체로는 구동원을 가지지 않고, 점착 테이프(30)의 주행에 따라 회전하도록 구성된다. 조출 롤러(21)는 파우더 브레이크 등의 수단에 의해, 점착 테이프(30)에 백 텐션을 부여하는 것이어도 된다.

권취 롤러(22)에는 금속 롤러나 고무 롤러, 수지 롤러 등의 롤러 부재를 사용할 수 있다. 권취 롤러(22)는 구동원을 갖고, 회전하여 점착 테이프(30)를 권취한다. 하나의 실시형태에서는, 권취 롤러(22)는 회전하는 워크(W)에 압부되어 함께 회전하는 당접 롤러(23)에 의해 조출되어 주행하는 점착 테이프(30)를, 그 조출된 만큼 권취한다. 이와 같이 하면, 점착 테이프(30)의 사용량을 저감할 수 있다. 권취 롤러(22)는 파우더 브레이크 등의 수단에 의해 점착 테이프(30)에 백 텐션을 부여하는 것이어도 된다.

당접 롤러(23)는 조출 롤러(21)와 권취 롤러(22)와의 사이(점착 테이프(30)의 주행 경로 도중)에 배치된다. 당접 롤러(23)는 당접 롤러(23)에 의해 점착 테이프(30)의 주행 방향이 변화하도록 배치될 수 있다. 또한, 당접 롤러(23)는 점착 테이프(30)의 포위각이 45°∼200°가 되도록 배치되는 것이 바람직하고, 90°∼180°가 되도록 배치되는 것이 보다 바람직하다.

당접 롤러(23)는 전후운동 가능하게 구성될 수 있고, 이물 제거 동작 전 및 이물 제거 동작 후에는 워크(W)로부터 이간되어 위치할 수 있고, 또한 이물 제거 동작시에는 워크(W)의 외주면에 당접하도록 이동할 수 있다. 또한, 당접 롤러(23)는 소정의 구동 수단에 의해 가세되어, 워크(W)의 형상 및 회전에 추종하여 당접 롤러가 전후운동 가능하도록 구성된다. 이와 같이 하면, 이물 제거시 워크(W)의 회전 최외 궤적에 대응하여, 당접 롤러를 위치시킬 수 있고, 이물 제거 동작 중 상시, 당접 롤러(23)에 의해 점착 테이프(30)를 워크(W)에 압부할 수 있다. 당접 롤러(23)는 구동원을 갖지 않고, 회전하는 워크(W)에 압부되어 함께 회전하도록 구성될 수 있다. 당접 롤러(23)는 회전축이 워크(W)의 적층 방향으로 연장하도록 배치될 수 있다.

당접 롤러(23)의 전후운동은, 임의의 적절한 수단으로 행할 수 있다. 당접 롤러(23)의 전후운동은, 예컨대 실린더(에어 실린더, 유압 실린더 등), 스프링, 모터 등의 구동 수단을 이용하여 행할 수 있다. 바람직하게는, 조출 롤러(21), 권취 롤러(22) 및 당접 롤러(23)를 하나의 대좌(24) 위에 배치하여 당해 대좌(24)를 전후운동시킴으로써, 당접 롤러(23)를 전후운동시킨다.

하나의 실시형태에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 실린더(25)와 스프링(26)을 조합하여 당접 롤러(23)(또는, 롤러(23)가 배치된 대좌(24))를 전후운동시킨다. 하나의 실시형태에서는, 스프링(26)이 당접 롤러(23)의 전방 이동(워크(W)로 향하는 이동), 및 당접 롤러(23)의 워크(W)로의 압부에 이용되고, 실린더(25)(바람직하게는 에어 실린더)가 당접 롤러(23)의 후방 이동에 이용된다. 당접 롤러(23)의 워크(W)로의 압부에 스프링(26)을 이용하여도 된다.

하나의 실시형태에서는, 당접 롤러(23)는 표면에 탄성층을 갖는 탄성 롤러이다. 탄성 롤러를 이용하면, 당접 롤러(23)를 워크(W)에 압부할 때에 롤러 표면이 변형되어 워크 외주면의 미소한 요철에 당접 롤러(23)를 양호하게 추종시킬 수 있고, 또한, 당접 롤러(23)를 기울인 워크에 추종시킬 수도 있다. 그 결과, 당접 롤러(23)(실질적으로는 점착 테이프(30))와 워크(W)와의 사이의 틈새 발생을 방지할 수 있다.

당접 롤러(23)의 압부력은 바람직하게는 0.2MPa∼0.5MPa이고, 보다 바람직하게는 0.3MPa∼0.4MPa이다. 이와 같은 압부력으로 당접 롤러(23)를 워크(W)에 압부하고, 당접 롤러(23)와 워크(W)와의 사이에 점착 테이프(30)를 주행시킴으로써, 워크(W)의 외주에 부착된 이물을 보다 양호하게 제거할 수 있으며, 또한, 외주면의 품질을 양호하게 유지할 수 있다.

상기 탄성층의 경도(JIS A)는 바람직하게는 60° 미만이고, 보다 바람직하게는 50° 미만이며, 더욱 바람직하게는 20°∼40°이고, 특히 바람직하게는 20°∼40°이다. 이와 같은 범위이면, 워크(W)의 외주에 부착된 이물을 보다 양호하게 제거할 수 있다.　

상기 탄성층은 임의의 적절한 재료에 의해 형성될 수 있다. 탄성층을 형성하는 재료로서는, 예컨대, 부틸 고무, 불소계 고무, 아크릴 고무, 에틸렌프로필렌 고무(EPDM), 니트릴부타디엔 고무(NBR), 아크릴로니트릴부타디엔스티렌 고무, 천연 고무, 이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 고무, 부타디엔 고무, 에틸렌-프로필렌 고무, 에틸렌-프로필렌 터폴리머, 클로로프렌 고무, 클로로설폰화 폴리에틸렌, 염소화 폴리에틸렌, 우레탄 고무, 신디오택틱 1,2-폴리부타디엔, 에피클로로히드린계 고무, 실리콘 고무, 불소 고무, 다황화 고무, 폴리노보넨 고무, 수소화 니트릴 고무, 열가소성 엘라스토머(예컨대 폴리스티렌계, 폴리올레핀계, 폴리염화비닐계, 폴리우레탄계, 폴리아미드계, 폴리우레아, 폴리에스테르계, 불소 수지계), 및 그들의 혼합물 등을 들 수 있다.

상기 탄성층의 두께는 바람직하게는 4mm 이상이고, 보다 바람직하게는 5mm 이상이며, 더욱 바람직하게는 7mm 이상이다. 이와 같은 범위이면, 워크(W)의 외주에 부착된 이물을 보다 양호하게 제거할 수 있다.

당접 롤러(23)의 외경은 바람직하게는 10mm∼100mm이고, 더욱 바람직하게는 20mm∼60mm이다. 당접 롤러(23)의 폭은 워크(W)의 두께 이상인 것이 바람직하다.

B. 이물 제거 방법

본 발명의 이물 제거 방법은 상기 이물 제거 장치를 이용하여 소정의 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 방법이다.

본 발명의 이물 제거 방법은 상기 워크를 이물 제거 장치의 유지 유닛에 세트하는 것, 및 상기 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를 해당 워크의 외주면에 압부하면서, 해당 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 것을 포함한다.

상기 워크는 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크이다. 점착제층 부착 필름으로서는, 임의의 적절한 필름이 이용될 수 있다. 예컨대, 점착제층 부착 수지 필름(예컨대, 광학 필름), 점착제층 부착 유리 필름, 이들의 복합 필름 등을 들 수 있다. 상기 적층체는 워크 형성시 대표적으로는 임의의 적절한 형상으로 절단되어 있다. 구체적으로는, 광학 적층체는 직사각형 형상으로 절단되어 있어도 되고, 직사각형 형상과 유사한 형상으로 절단되어 있어도 되며, 목적에 따라 적절한 형상(예컨대, 원형)으로 절단되어 있어도 된다.

워크의 외주는 임의의 적절한 절삭 수단에 의해 절삭되어 있다. 절삭은 절삭 수단의 절삭 날을 상기 적층체의 외주면에 당접시킴으로써 행하여질 수 있다. 절삭은 상기 적층체의 외주면의 전체 둘레에 걸쳐서 행하여도 되고, 소정의 위치에만 행하여도 된다. 절삭 수단으로서는, 예컨대, 엔드 밀을 들 수 있다. 하나의 실시형태에서는, 상기 워크는 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체를 수직 축 주위로 회전시키면서, 절삭 수단을 해당 적층체의 외주면에 당접시킴으로써 얻어진 워크이다. 하나의 실시형태에서는, 이와 같은 절삭이 상기 유지 유닛에 상기 적층체를 유지하여 행하여진다. 절삭 후에 얻어진 워크는 당해 유지 유닛에 유지된 채로, 이물 제거 장치에 투입되어 이물 제거 공정에 제공될 수 있다.

상기 절삭시 워크의 회전 속도(rps)는 예컨대, 0.02rps∼0.04rps이다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크를 유지 유닛에 세트한 후, 상기와 같이 워크를 수직 축 주위로 회전시키면서 상기 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를, 해당 워크의 외주면에 압부한다. 대표적으로는 이물 제거 유닛의 당접 롤러를 전방 이동시켜, 당접 롤러를 당해 워크에 압부한다. 이 때, 이물 제거 유닛에서는, 이물 제거 유닛이 구비하는 조출 롤러로부터 권취 롤러에 걸쳐, 점착 테이프가 세트되어 있고 당접 롤러의 전방 이동에 의해 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프가 워크의 외주면에 압부되도록 된다. 이에 따라, 워크에 접촉한 점착 테이프의 점착면에 의해, 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거할 수 있다. 하나의 실시형태에서는, 점착 테이프는 워크의 회전에 맞춰 함께 회전하는 당접 롤러에 의해 주행한다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크의 회전 속도는 외주면을 절삭할 때의 적층체의 회전 속도보다도 빠르다. 워크의 회전 속도(rps)는 예컨대, 0.05rps∼0.5rps이다.

워크의 회전 속도는 일정하지 않아도 된다. 예컨대, 직사각형상의 워크를 이물 제거에 제공하는 경우, 당해 워크의 각부(角部)가 점착 테이프에 접촉하기 전후에, 워크의 회전 속도를 느리게 하여도 된다. 이와 같이 하면, 워크의 회전 최외 궤적의 갑작스러운 변화에, 당접 롤러를 추종시키는 것이 용이하게 된다. 특히, 당접 롤러가 갑자기 전진할 때, 예컨대 점착 테이프의 접촉 위치가 단변으로부터 장변으로 절환하는 각부(이물 제거 유닛이 전진하면서 각도가 급격하게 변하는 방식으로 청소하는 경우)에서 워크의 회전 속도를 느리게 하는 것이 바람직하다. 하나의 실시형태에서는, 워크의 각부가 점착 테이프에 접촉할 때의 워크의 회전 속도가, 워크의 직선 부분이 점착 테이프에 접촉할 때의 워크의 회전 속도에 대하여 50%∼90%로 설정된다.

상기 당접 롤러의 워크에 대한 압부력은 바람직하게는 0.2MPa∼0.5MPa이고, 보다 바람직하게는 0.3MPa∼0.4MPa이다. 이와 같은 압부력으로, 당접 롤러를 워크에 압부하고, 당접 롤러와 워크와의 사이에 점착 테이프를 주행시킴으로써, 워크의 외주에 부착된 이물을 보다 양호하게 제거할 수 있고, 또한, 워크를 구성하는 필름의 층간 박리, 점착제층의 결여 등을 방지하여 외주면의 품질을 양호하게 유지할 수 있다.

하나의 실시형태에서는, 상기 워크의 회전 방향이, 외주면을 절삭할 때의 적층체의 회전 방향과는 반대 방향이다. 이와 같이 하면, 보다 양호하게 워크 외주에 부착된 이물을 제거할 수 있다.

상기의 이물 제거 방법에서, 이물 제거 동작 개시로부터 종료까지 워크의 회전수는 바람직하게는 1회전∼10회전이고, 보다 바람직하게는 1회전∼5회전이며, 더욱 바람직하게는 1회전이다. 본 발명에 따르면, 단시간에 워크 외주의 이물을 제거할 수 있다. 워크의 단면(외주)을 한바퀴 청소하여도 되고, 두바퀴 청소하여도 되며, 세바퀴 이상 청소하여도 된다.

[ 실시예 ]

이하, 실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예로는 한정되지 않는다.

<실시예 1>

도 1에 나타내는 이물 제거 장치를 이용하고, 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크(총 두께 약 10mm)를 회전시키면서, 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를 당해 워크의 외주에 압부하여 당해 워크의 외주에 부착된 이물을 제거하였다.

당접 롤러는 철심(φ15mm)의 외주에 탄성층(우레탄 고무, 두께: 7.5mm)을 마련한 구성으로 하고, 탄성층의 경도(JIS A)는 50°로 하였다. 또한, 워크의 회전 속도는 0.2rps로 하고, 회전 방향은 외주면을 절삭하였을 때의 적층체의 회전 방향과는 반대의 방향으로 하였다.　

워크 1회전으로 이물 제거 조작을 종료하고, 워크 외주의 외관을 육안으로 확인하였더니, 이물의 부착은 보이지 않았다. 이물 제거 조작 전의 워크 외주의 외관을 도 3(a)에, 이물 제거 조작 후의 워크의 외주의 외관을 도 3(b)에 나타낸다.

<실시예 2∼8>

당접 롤러의 철심 직경, 탄성층의 두께 및 탄성층의 경도를, 표 1에 나타내는 값으로 한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여 워크 외주의 이물 제거를 행하였다.

이물 제거 조작 후의 외관을 육안으로 확인하고, 이하의 기준으로 평가하였다.

△: 이물(점착제층 성분)의 감소는 확인되었지만, 이물의 잔존도 보여져서 수작업으로의 또 다른 이물 제거를 할 필요가 있었다.

○: 이물이 상당수 감소하여 있고, 수작업으로의 또 다른 이물 제거의 수고는 적었다.

◎: 이물이 확인되지 않고, 수작업으로의 또 다른 이물 제거는 필요가 없었다.

[표 1]

산업상 이용 가능성

본 발명의 이물 제거 장치는 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거할 때에 적합하게 이용될 수 있다.

10: 유지 유닛
20: 이물 제거 유닛
21: 조출 롤러
22: 권취 롤러
23: 당접 롤러
25: 실린더
26: 스프링
30: 점착 테이프
100: 이물 제거 장치

Claims

점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 이물 제거 장치로서,
상기 워크를 외주면이 노출되도록 유지하는 유지 유닛과,
점착 테이프를 조출하는 조출 롤러와, 상기 조출 롤러로부터 조출된 상기 점착 테이프를 권취하는 권취 롤러와, 상기 조출 롤러와 상기 권취 롤러와의 사이에 배치되고 상기 점착 테이프를 상기 워크에 압부하는 것이 가능하도록 구성된 당접 롤러를 포함하는 이물 제거 유닛을 구비하는,
이물 제거 장치.
제1항에 있어서,
상기 워크가 회전하는 것이 가능하도록 구성되어 있는, 이물 제거 장치.
제2항에 있어서,
상기 워크의 형상 및 회전에 추종하여, 상기 당접 롤러가 전후운동 가능하도록 구성되어 있는, 이물 제거 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 당접 롤러가, 표면에 탄성층을 갖는 탄성 롤러인, 이물 제거 장치.
제4항에 있어서,
상기 탄성 롤러의 탄성 표면층의 두께가 4mm 이상인, 이물 제거 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 당접 롤러의 압부력이 0.2MPa∼0.5MPa인, 이물 제거 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 이물 제거 장치를 이용하여, 점착제층 부착 필름을 복수 매 적층하여 구성된 적층체의 외주면을 절삭하여 얻어진 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 방법으로서,
상기 유지 유닛에 상기 워크를 세트하는 것, 및
상기 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를, 상기 워크의 외주면에 압부하면서 상기 워크의 외주면에 부착된 이물을 제거하는 것을 포함하는,
이물 제거 방법.
제7항에 있어서,
상기 워크를 세트한 후, 상기 워크의 수직 축 주위로 회전시키면서, 상기 이물 제거 유닛을 주행하는 점착 테이프를, 상기 워크의 외주면에 압부하는 것을 포함하는, 이물 제거 방법.
제8항에 있어서,
상기 워크가 상기 적층체를 수직 축 주위로 회전시키면서, 절삭 수단을 상기 적층체의 외주면에 당접시킴으로써, 상기 외주면을 절삭하여 얻어진 워크이고,
상기 워크의 회전 속도가 상기 외주면을 절삭할 때의 적층체의 회전 속도보다도 빠른,
이물 제거 방법.
제9항에 있어서,
상기 워크의 회전 방향이 상기 외주면을 절삭할 때의 상기 적층체의 회전 방향과는 반대 방향인, 이물 제거 방법.