JP4438823B2 - 除塵装置 - Google Patents

Description

本発明は、平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置に関する。

従来から、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等の平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

この特許文献１に記載の除塵装置は、平板状部材の上面に当接して上面に付着した塵埃を吸着する粘着ロールと、平板状部材の下面に当接して下面に付着した塵埃を吸着する粘着ロールと、２本の粘着ロールを回転駆動するモータとを備え、平板状部材を搬送しながら、塵埃の除去を行っている。また、特許文献１に記載の除塵装置では、複数の歯車が組み合わされて構成されたギア集合体を介して、駆動モータの動力が粘着ロールへ伝達されている。

特開２００４−１７００８号公報

特許文献１に記載の除塵装置では、複数の歯車が組み合わされて構成されたギア集合体を介して、駆動モータの動力が粘着ロールへ伝達されている。そのため、歯車の噛合部分から塵埃が発生するおそれがある。また、塵埃の除去を行っている際に、粘着ロール等に想定外の負荷がかかって粘着ロールがロックされた状態になると、ギア集合体等には、モータから過負荷が伝達され、ギア集合体を構成する歯車等の部品の損傷や異常摩耗等の不具合が発生するおそれがある。したがって、装置が長時間停止したり、部品の交換頻度が高くなるといった問題が生じるおそれがある。

そこで、本発明の課題は、塵埃の発生を抑制するとともに、粘着ロール等に想定外の負荷がかかる事態が生じても、部品の損傷や異常摩耗等を防止することが可能な除塵装置を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明は、平板状部材を搬送しながら上記平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、平板状部材の一方の表面に当接して塵埃を吸着する第１粘着ロールと、平板状部材の他方の表面に当接して塵埃を吸着する第２粘着ロールと、第１粘着ロールおよび第２粘着ロールを回転駆動する駆動モータと、駆動モータの動力を第１粘着ロールおよび第２粘着ロールへ伝達する伝達機構とを備え、伝達機構は、略円板状に形成され駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、駆動側磁気部材よりも径の小さな略円板状に形成され駆動側磁気部材と該駆動側磁気部材の中心軸線方向に沿って所定の間隔をあけて対向配置されると共に、第１粘着ロールに連結される第１従動側磁気部材と、駆動側磁気部材よりも径の小さな略円板状に形成され駆動側磁気部材と該駆動側磁気部材の中心軸線方向に沿って所定の間隔をあけて対向配置されると共に、第２粘着ロールに連結される第２従動側磁気部材と、から構成され、駆動側磁気部材は、駆動側磁気部材の回転中心を中心として円板状または円環状に形成されると共にＳ極とＮ極とが円周方向に沿って交互に着磁された駆動側着磁部を備え、第１従動側磁気部材は、第１従動側磁気部材の回転中心を中心として駆動側着磁部よりも径の小さな円板状または円環状に形成されると共にＳ極とＮ極とが円周方向に沿って交互に着磁された第１従動側着磁部を備え、第２従動側磁気部材は、第２従動側磁気部材の回転中心を中心として駆動側着磁部よりも径の小さな円板状または円環状に形成されると共にＳ極とＮ極とが円周方向に沿って交互に着磁された第２従動側着磁部を備え、第１従動側磁気部材は、駆動側磁気部材と第１従動側磁気部材との中心軸線方向に沿った対向方向から見たとき、該第１従動側磁気部材の回転中心が駆動側着磁部の径方向外側に位置し、かつ第１従動着磁部の外周部分の一部の領域が駆動側着磁部の外周部分の一部の領域と重なるように配置され、第２従動側磁気部材は、駆動側磁気部材と第２従動側磁気部材との中心軸線方向に沿った対向方向から見たとき、該第２従動側磁気部材の回転中心が駆動側着磁部の径方向内側に位置し、かつ第２従動着磁部の外周が駆動側着磁部の外周と内接し、もしくは第２従動着磁部が当該内接位置よりも駆動側着磁部の径方向内側に位置する態様で第２従動着磁部と駆動側着磁部とが重なるように配置されていることを特徴とする。

本発明の除塵装置では、駆動モータの動力を粘着ロールへ伝達する伝達機構は、円板状に形成され駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、駆動側磁気部材よりも径の小さな円板状に形成され駆動側磁気部材と所定の間隔をあけて（所定の隙間を介して）対向する第１従動側磁気部材および第２従動側磁気部材とから構成されている。すなわち、本発明の伝達機構には、塵埃の発生原因となりうる歯車の噛合部分等が存在しない。そのため、本発明では、塵埃の発生を抑制することができる。

また、本発明では、所定の隙間を介して対向する駆動側磁気部材と第１従動側磁気部材および第２従動磁気部材とによって伝達機構が構成されているため、粘着ロール等に想定外の負荷がかかる事態が生じると、駆動側磁気部材と従動側磁気部材との間に滑りが生じる。そのため、除塵装置を構成する部品の損傷や異常摩耗等を防止することが可能となる。また、粘着ロール等に想定外の負荷がかかる事態が生じても、搬送中の平板状部材の損傷を防止することが可能になる。

さらに、本発明では、略円板状の駆動側磁気部材と第１従動側磁気部材および第２従動磁気部材とが所定の隙間を介して対向配置されている。そのため、円筒状に形成された駆動側磁気部材と第１従動側磁気部材および第２従動磁気部材とを径方向で対向させて使用する場合と比較して、駆動モータから粘着ロールへ十分な駆動力を伝達することが可能になる。また、第１従動側磁気部材と第２従動側磁気部材とを異なる方向へ回転させることができるため、平板状部材の表面の除塵を行う際には、１個の駆動側磁気部材によって、平板状部材の一方の表面に当接する第１粘着ロールと、平板状部材の他方の表面に当接する第２粘着ロールとを適切に回転させることができる。

本発明において、除塵装置は、２本の第１粘着ロールと２本の第２粘着ロールとを備えるとともに、第１粘着ロールのそれぞれに連結される２個の第１従動側磁気部材と、第２粘着ロールのそれぞれに連結される２個の第２従動側磁気部材とを備え、２個の第１従動側磁気部材および２個の第２従動側磁気部材は、１個の駆動側磁気部材に対向していることが好ましい。このように構成すると、４本の粘着ロールを１個の駆動モータによって駆動することができるため、除塵装置の構成を簡素化できる。

本発明において、従動側磁気部材は、粘着ロールの回転軸に固定されるとともに、除塵装置は、粘着ロールの回転軸の軸方向に直交する方向へ粘着ロールを案内するリニアブッシュを備えることが好ましい。このように構成すると、従動側磁気部材と駆動側磁気部材との間に磁気的な吸引力が発生している状況で、平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する際、あるいは、粘着ロールのメンテナンス等の際に、粘着ロールの回転軸の軸方向に直交する方向へ粘着ロールを移動させる場合であっても、粘着ロールの移動抵抗を軽減して、粘着ロールを円滑に移動させることができる。

本発明において、除塵装置は、駆動側磁気部材と従動側磁気部材との間隔を調整するための間隔調整機構を備えることが好ましい。このように構成すると、駆動側磁気部材から従動側磁気部材へ伝達可能な動力（トルク）を必要に応じて調整することができる。

本発明において、除塵装置は、駆動モータおよび駆動側磁気部材が取り付けられる固定フレームと、粘着ロールおよび従動側磁気部材が取り付けられるとともに固定フレームに対して出し入れ可能な可動フレームと、固定フレームと可動フレームとの間に配置される衝撃吸収機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、たとえば、粘着ロールのメンテナンスを行うために固定フレームから引き出された可動フレームを再び、固定フレーム内に押し込む場合に増加する駆動側磁気部材と従動側磁気部材との間で磁気吸引力、および、可動フレーム側に生じる運動エネルギーを吸収減衰させることができる。

以上のように、本発明の除塵装置では、塵埃の発生を抑制するとともに、粘着ロール等に想定外の負荷がかかる事態が生じても、部品の損傷や異常摩耗等を防止することが可能になる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

（除塵装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる除塵装置１の概略構成を正面から説明するための図である。図２は、図１のＥ−Ｅ断面の概略構成を説明するための図である。なお、以下の説明では、図１の左を「左」、図１の右を「右」、図１の上を「上」、図１の下を「下」、図１の紙面手前を「前」、図１の紙面奥を「後（後ろ）」とする。

本形態の除塵装置１は、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等の平板状部材２の表面に付着した塵埃を除去するための装置である。具体的には、除塵装置１は、平板状部材２を右から左に向かって搬送しながら、平板状部材２の表面に付着した塵埃を除去するための装置である。

この除塵装置１は、図１、図２に示すように、平板状部材２の上面に当接して塵埃を吸着する４本の第１粘着ロール４と、平板状部材２の下面に当接して塵埃を吸着する４本の第２粘着ロール５と、粘着テープが巻回されるとともに２本の第１粘着ロール４に当接して第１粘着ロール４に付着した塵埃を取り除く２本の第１粘着テープロール６と、粘着テープが巻回されるとともに２本の第２粘着ロール５に当接して第２粘着ロール５に付着した塵埃を取り除く２本の第２粘着テープロール７と、平板状部材２を搬送する複数の搬送ローラ８と、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５等を回転駆動するための回転駆動伝達機構部９とを備えている。本形態の除塵装置１では、平板状部材２の上下両面の塵埃の除去が行われる。なお、以下では、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５をまとめて表す場合には、粘着ロール４、５と表記する。

また、除塵装置１は、第１粘着ロール４が外周面に固定された回転軸１１と、回転軸１１の端部側を回転可能に支持する軸受ブロック１２（図２参照）と、第２粘着ロール５が外周面に固定された回転軸１３と、回転軸１３の端部側を回転可能に支持する軸受ブロック１４（図２参照）と、第１粘着テープロール６が外周面に固定された回転軸１５と、回転軸１５の端部を回転可能に支持する軸受ブロック１６と、第２粘着テープロール７が外周面に固定された回転軸１７と、回転軸１７の端部を回転可能に支持する軸受ブロック１８と、搬送ローラ８が外周面に固定された回転軸１９と、第１粘着テープロール６を上下方向へ移動させるエアシリンダ２１と、第２粘着テープロール７を上下方向へ移動させるエアシリンダ２２と、前後方向の両面側に配置される本体フレーム２３と、本体フレーム２３に対して出し入れ可能な可動フレーム２４とを備えている。

粘着ロール４、５は、表面に粘着力を有するシリコンゴム等のゴム部材によって形成されている。第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とは上下方向で対向するように配置されており、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間を平板状部材２が通過するように構成されている。図１に示すように、本形態では、４本の第１粘着ロール４が所定の間隔をあけた状態で左右方向に隣接するように配置されている。同様に、４本の第２粘着ロール５が左右方向に所定の間隔をあけた状態で隣接するように配置されている。

第１粘着ロール４の回転軸１１を支持する軸受ブロック１２、および、第２粘着ロール５の回転軸１３を支持する軸受ブロック１４は、図２に示すように、前後方向の両面側に配置されている。軸受ブロック１４は、可動フレーム２４に固定されている。軸受ブロック１２は、図２に示すように、圧縮コイルバネ２５を介して軸受ブロック１４に連結されている。また、軸受ブロック１２は、後述のリニアガイド３６に案内されて上下方向に移動可能となっている。軸受ブロック１２の詳細な構成については後述する。

第１粘着テープロール６および第２粘着テープロール７には、粘着テープの粘着面が表側を向くように粘着テープが巻回されている。第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７はそれぞれ、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に当接して、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃を取り除くように構成されており、第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７の粘着力が低下すると、粘着テープが順次剥がされていく。

第１粘着テープロール６は第１粘着ロール４よりも上側に配置され、第２粘着テープロール７は第２粘着ロール５よりも下側に配置されている。また、左右方向では、除塵装置１の左右方向の中心位置よりも右側あるいは左側に配置される２本の第１粘着ロール４の軸中心間の略中心位置と第１粘着テープロール６の軸中心とが一致するように、第１粘着テープロール６が配置され、除塵装置１の左右方向の中心位置よりも右側あるいは左側に配置される２本の第２粘着ロール５の軸中心間の略中心位置と第２粘着テープロール７の軸中心とが一致するように、第２粘着テープロール７が配置されている。

軸受ブロック１６、１８は、前後方向の両面側に配置されている。また、エアシリンダ２１、２２も前後方向の両面側に配置されている。軸受ブロック１６には、エアシリンダ２１のロッドが取り付けられ、軸受ブロック１８には、エアシリンダ２２のロッドが取り付けられている。

平板状部材２の表面に付着した塵埃の除去を行う際には、エアシリンダ２１のヘッド側に圧縮空気が供給され、エアシリンダ２１のロッドが下方向へ突出して、軸受ブロック１６とともに第１粘着シートロール６が下降する。やがて、図１の実線で示すように、第１粘着シートロール６が第１粘着ロール４に当接して、第１粘着ロール４は、第１粘着シートロール６とともに、第２粘着ロール５に当接するまで下降する。

また、この際には、エアシリンダ２２のヘッド側に圧縮空気が供給され、エアシリンダ２２のロッドが上方向へ突出する。すると、図１の実線で示すように、第２粘着シートロール７は、第２粘着ロール５に当接するまで、軸受ブロック１８とともに上昇する。

このように、第１粘着シートロール６が第１粘着ロール４に当接するとともに第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接し、かつ、第２粘着シートロール７が第２粘着ロール５に当接した状態で、平板状部材２の表面に付着した塵埃が除去される。具体的には、回転駆動伝達機構部９によって粘着ロール４、５が駆動されるとともに、図示を省略する駆動モータによって搬送ローラ８が駆動され、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間を平板状部材２が通過することで、平板状部材２の表面に付着した塵埃が除去される。このとき、第１粘着ロール４および第１粘着シートロール６は、平板状部材２の厚さに応じて上方向に移動する。

また、このときには、エアシリンダ２１、２２のヘッド側には圧縮空気が供給されている。そのため、第１粘着シートロール６は所定の力で第１粘着ロール４に当接し、第２粘着シートロール７は所定の力で第２粘着ロール５に当接している。したがって、回転駆動伝達機構部９によって回転する第１粘着ロール４、第２粘着ロール５の回転に伴って、第１粘着シートロール６、第２粘着シートロール７も回転する。第１粘着シートロール６、第２粘着シートロール７が回転すると、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃が第１粘着シートロール６、第２粘着シートロール７によって取り除かれる。

一方、平板状部材２の表面に付着した塵埃の除去が終了すると、エアシリンダ２１のロッド側に圧縮空気が供給され、エアシリンダ２１のロッドが引っ込む。ロッドが引っ込むと、軸受ブロック１６とともに第１粘着シートロール６が上昇する（図１の二点鎖線参照）。第１粘着シートロール６が上昇すると、第１粘着ロール４は、圧縮コイルバネ２５の付勢力で上昇する。また、エアシリンダ２２のロッド側に圧縮空気が供給され、エアシリンダ２２のロッドが引っ込む。ロッドが引っ込むと、軸受ブロック１８とともに第２粘着シートロール７が下降する（図１の二点鎖線参照）。

搬送ローラ８は、平板状部材２の下面に当接するように、除塵装置１の右端側および左端側に配置されている。この搬送ローラ８は、図示を省略する駆動モータに連結されており、この駆動モータによって回転駆動される。なお、搬送ローラ８の回転軸１９は、本体フレーム２３に固定される後述の固定フレーム３２に取り付けられた軸受２６によって回転可能に支持されている（図３参照）。

回転駆動伝達機構部９は、除塵装置１の後面側に配置されている。この回転駆動伝達機構部９の構成および回転駆動伝達機構部９の周辺の構成の詳細を以下に説明する。

（回転駆動伝達機構部およびその周辺の構成）
図３は、図２に示す回転駆動伝達機構部９の構成を上面から説明するための図である。図４は、図２のＦ−Ｆ方向から回転駆動伝達機構部９の一部の構成を説明するための図である。図５は、図４に示す駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８、３９との配置関係を説明するための図であり、（Ａ）は前後方向から見たときの配置関係を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＧ−Ｇ方向から見たときの配置関係を示す。図６は、図４に示す軸受ブロック１２およびリニアブッシュ４２を抜き出して示す図である。なお、図３では、右から１本目および２本目の第１粘着ロール４等の図示が省略され、図４では、第２粘着ロール５等の図示が省略されている。

回転駆動伝達機構部９は、図３、図４に示すように、粘着ロール４、５を回転駆動する２個の駆動モータ２９と、駆動モータ２９の動力を粘着ロール４、５へ伝達する２個の伝達機構３０と、伝達機構３０を構成する後述の駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８、３９との間隔を調整するための２個の間隔調整機構３１と、本体フレーム２３に固定される固定フレーム３２と可動フレーム２４との間に配置される２個の衝撃吸収機構３３とを備えている。また、除塵装置１は、回転駆動伝達機構部９の周辺の構成として、回転軸１１の軸方向に直交する上下方向へ第１粘着ロール４を案内するためのリニアガイド３６を備えている。

可動フレーム２４には、図４に示すように、軸受ブロック１２、１４の一部が配置される略Ｕ形状の配置溝２４ａが形成されている。本形態では、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５の左右方向の配置間隔に応じて４本の配置溝２４ａが形成されている。また、配置溝２４ａが形成された部分の両側は、上方向へ突出する突出部２４ｂとなっている。

２個の駆動モータ２９は、左右方向に所定の間隔をあけた状態で、固定フレーム３２に固定されている。具体的には、出力軸２９ａが前方向に向かって突出するように、２個の駆動モータ２９は、固定フレーム３２に固定されている。

伝達機構３０は、駆動モータ２９に連結される駆動側磁気部材としての駆動側磁気板３７と、第１粘着ロール４に連結される第１従動側磁気部材としての第１従動側磁気板３８と、第２粘着ロール５に連結される第２従動側磁気部材としての第２従動側磁気板３９とから構成されている。この伝達機構３０では、第１従動側磁気板３８または第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７との間に生じる磁力（磁気的な吸引力）によって、駆動側磁気板３７側の動力が第１従動側磁気板３８側および第２従動側磁気板３９側へ伝達される。なお、以下では、第１従動側磁気板３８と第２従動側磁気板３９とをまとめて表す場合には、従動側磁気板３８、３９と表記する。

本形態では、駆動側磁気板３７は、駆動モータ２９の出力軸２９ａの前端に固定されている。また、第１従動側磁気板３８は、第１粘着ロール４の回転軸１１の後端のそれぞれに固定され、第２従動側磁気板３９は、第２粘着ロール５の回転軸１３の後端のそれぞれに固定されている。すなわち、伝達機構３０は、１枚の駆動側磁気板３７と２枚の第１従動側磁気板３８と２枚の第２従動側磁気板３９とから構成されている。

駆動側磁気板３７は、出力軸２９ａに固定するための鍔部を有する略円板状に形成されている。この駆動側磁気板３７は、磁極が形成された駆動側着磁部３７ａを備えている。

駆動側着磁部３７ａは、図５（Ａ）に示すように、駆動側磁気板３７の回転中心を中心とする円環状に形成されている。具体的には、駆動側着磁部３７ａは、駆動側磁気板３７の径方向の端部側から中心に向かって所定の範囲に配置されるように形成されている。また、駆動側着磁部３７ａは、駆動側磁気板３７の前面側に配置されている。本形態では、駆動側着磁部３７ａには、たとえば、インボリュート曲線状に形成されたＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。なお、駆動側着磁部３７ａは、磁性部材からなる駆動側磁気板３７の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を駆動側磁気板３７の前面に固定して、駆動側着磁部３７ａとしても良い。

第１従動側磁気板３８は、回転軸１１に固定するための鍔部を有する略円板状に形成されている。また、第１従動側磁気板３８は、駆動側磁気板３７よりも径の小さな略円板状に形成されている。本形態では、たとえば、第１従動側磁気板３８の径は、駆動側磁気板３７の径の約４割〜５割程度となっている。また、第１従動側磁気板３８は、磁極が形成された第１従動側着磁部３８ａを備えている。

第１従動側着磁部３８ａは、図５（Ａ）に示すように、第１従動側磁気板３８の回転中心を中心とするとともに駆動側着磁部３７ａよりも径が小さな円環状に形成されている。具体的には、第１従動側着磁部３８ａは、第１従動側磁気板３８の後面の、回転軸１１が固定される固定孔３８ｂを除く部分のほぼ全域に配置されるように形成されている。なお、第１従動側着磁部３８ａは、磁性部材からなる第１従動側磁気板３８の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を第１従動側磁気板３８の後面に固定して、第１従動側着磁部３８ａとしても良い。

本形態では、第１従動側着磁部３８ａには、後述のように、駆動側磁気板３７の回転に伴って駆動側磁気板３７の回転方向と逆方向へ回転する第１従動側磁気板３８が円滑に回転するように着磁されている。具体的には、第１従動側着磁部３８ａには、たとえば、流線形状に形成されたＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。

第２従動側磁気板３９は、第１従動側磁気板３８とほぼ同様に形成されている。すなわち、第２従動側磁気板３９は、回転軸１３に固定するための鍔部を有する略円板状に形成されるとともに、駆動側磁気板３７よりも径の小さな略円板状に形成されている。本形態では、たとえば、第２従動側磁気板３９の径は、第１従動側磁気板３８の径と同じになっている。また、第２従動側磁気板３９は、磁極が形成された第２従動側着磁部３９ａを備えている。なお、以下では、第１従動側着磁部３８ａと第２従動側着磁部３９ａとをまとめて表す場合には、従動側着磁部３８ａ、３９ａと表記する。

第２従動側着磁部３９ａは、第１従動側着磁部３８ａと同様に、第２従動側磁気板３９の回転中心を中心とするとともに駆動側着磁部３７ａよりも径が小さな円環状に形成されている。具体的には、第２従動側着磁部３９ａは、第２従動側磁気板３９の後面の、回転軸１３が固定される固定孔３９ｂを除く部分のほぼ全域に配置されるように形成されている。なお、第２従動側着磁部３９ａは、磁性部材からなる第２従動側磁気板３９の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を第２従動側磁気板３９の後面に固定して、第２従動側着磁部３９ａとしても良い。

本形態では、第２従動側着磁部３９ａには、後述のように、駆動側磁気板３７の回転に伴って駆動側磁気板３７の回転方向と同方向へ回転する第２従動側磁気板３９が円滑に回転するように着磁されている。具体的には、第２従動側着磁部３９ａには、たとえば、インボリュート曲線状に形成されたＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。また、第１従動側磁気板３８と第２従動側磁気板３９とが同じ回転数で回転するように、第２従動側着磁部３９ａに磁極が形成されている。

第１従動側磁気板３８および第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７とは、所定の隙間を介して（すなわち、所定の間隔をあけて）互いに対向するように配置されている。具体的には、第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とは、第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７との対向方向（すなわち、前後方向）から見たとき、第１従動側着磁部３８ａの一部と駆動側着磁部３７ａの一部とが重なるように配置され、第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７とは、前後方向から見たとき、第２従動側着磁部３９ａの一部と駆動側着磁部３７ａの一部とが重なるように配置されている。

より具体的には、前後方向から見たとき、第１従動側磁気板３８の回転中心は駆動側着磁部３７ａの径方向外方に配置されており、第１従動側磁気板３８は、第１従動側着磁部３８ａが駆動側着磁部３７ａの径方向外側から駆動側着磁部３７ａに重なるように配置されている。すなわち、第１従動側磁気板３８は、第１従動側着磁部３８ａの外周が駆動側着磁部３７ａの内周に近づく方向で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとが重なるように配置されている。そのため、第１従動側磁気板３８は、駆動側磁気板３７と逆方向へ回転する。また、本形態では、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態（図５（Ａ）の実線で示す状態）で、第１従動側着磁部３８ａの外周と駆動側着磁部３７ａの内周とがほぼ重なっている。

また、前後方向から見たとき、第２従動側磁気板３９の回転中心は駆動側着磁部３７ａの径方向内方に配置されており、第２従動側磁気板３９は、第２従動側着磁部３９ａが駆動側着磁部３７ａの径方向内側から駆動側着磁部３７ａに重なるように配置されている。すなわち、第２従動側磁気板３９は、第２従動側着磁部３９ａの外周が駆動側着磁部３７ａの外周に近づく方向で第２従動側着磁部３９ａと駆動側着磁部３７ａとが重なるように配置されている。そのため、第２従動側磁気板３９は、駆動側磁気板３７と同方向へ回転する。本形態では、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態で、第２従動側着磁部３９ａの外周と駆動側着磁部３７ａの外周とがほぼ重なっている。

また、本形態では、図４、図５に示すように、２枚の第１従動側磁気板３８および２枚の第２従動側磁気板３９と、１枚の駆動側磁気板３７とが互いに対向するように配置されている。具体的には、除塵装置１の左右方向の中心位置よりも右側に配置される２本の第１粘着ロール４、第２粘着ロール５にそれぞれ連結される２枚の第１従動側磁気板３８および２枚の第２従動側磁気板３９と、右側に配置される駆動モータ２９に連結される１枚の駆動側磁気板３７とが互いに対向するように配置され、除塵装置１の左右方向の中心位置よりも左側に配置される２本の第１粘着ロール４、第２粘着ロール５にそれぞれ連結される２枚の第１従動側磁気板３８および２枚の第２従動側磁気板３９と、左側に配置される駆動モータ２９に連結される１枚の駆動側磁気板３７とが互いに対向するように配置されている。

より具体的には、２枚の第１従動側磁気板３８は、前後方向から見たとき、駆動側磁気板３７の斜め上側に配置された状態で、第１従動側磁気板３８の一部分が１枚の駆動側磁気板３７に対向するように配置されている。また、２枚の第２従動側磁気板３９は、前後方向から見たとき、第２従動側磁気板３９の上下方向の中心位置と駆動側磁気板３７の上下方向の中心位置とがほぼ一致するように、かつ、第２従動側磁気板３９の全部が１枚の駆動側磁気板３７に対向するように配置されている。本形態では、前後方向から見たとき、２枚の第２従動側磁気板３９が１枚の駆動側磁気板３７に内接するように配置されている。

さらに、本形態では、上述のように、平板状部材２の表面の塵埃を除去する際に、平板状部材２の厚さに応じて第１粘着ロール４が上方向に移動した状態、あるいは、一時的に第１粘着ロール４を上方向へ退避させた状態（図５（Ａ）の二点鎖線で示す状態）でも、前後方向から見たとき、第１従動側着磁部３８ａの一部と駆動側着磁部３７ａの一部とが重なっているように、第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とが対向配置されている。具体的には、板状部材２の厚さに応じて第１粘着ロール４が上方向に移動した状態あるいは一時的に第１粘着ロール４を上方向へ退避させた状態で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとの間に生じる磁力が、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとの間に生じる磁力よりも大きく低下しないように第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とが対向配置されている。

リニアガイド３６は、第１粘着ロール４の左右方向両側に配置されるリニアシャフト４１と、リニアシャフト４１に係合して上下方向へ第１粘着ロール４を案内するリニアブッシュ４２とを備えている。なお、図３では、一部のリニアシャフト４１およびリニアブッシュ４２の図示が省略されている。

リニアシャフト４１は、たとえば、円柱状に形成された金属製のシャフトであり、可動フレーム２４の突出部２４ｂに上下方向を長手方向として固定されている。本形態では、５本のリニアシャフト４１が可動フレーム２４に固定されている。

リニアブッシュ４２は、たとえば、円筒状に形成された金属部材であり、内周側にボール有するいわゆるリニアボールベアリングである。このリニアブッシュ４２の内周側には、リニアガイド４１が挿通されている。なお、リニアブッシュ４２は、潤滑性を有する金属部材あるいは樹脂部材によって円筒状に形成された摺動ベアリングであっても良い。

ここで、軸受ブロック１２には、図６に示すように、リニアブッシュ４２を固定するための固定部１２ａが形成されている。この固定部１２ａは、左右方向の両面から左右方向外側へそれぞれ突出するように形成されている。また、一方の面に形成される保持部１２ａは下端側に形成され、他方の面に形成される保持部１２ａは上端側に形成されている。具体的には、図４に示すように、２本の第１粘着ロール４の間の１本のリニアシャフト４１に２個のリニアブッシュ４２が上下方向に配置されて係合するように、固定部１２ａが形成されている。そのため、２本の第１粘着ロール４の間には、１本のリニアシャフト４１に係合した２個のリニアガイド４２が上下方向に配置される。また、右端側あるいは左端側には、１本のリニアシャフト４１に係合した１個のリニアガイド４２が配置される。

上述のように、平板状部材２の表面の塵埃を除去する際には、第１粘着ロール４は、平板状部材２の厚さに応じて上下方向に移動する。また、第１粘着シートロール６の昇降に伴って、第１粘着ロール４は上下方向に移動する。第１粘着ロール４が上下動する際に、リニアガイド３６は、第１粘着ロール４および軸受ブロック１２を上下方向へ案内する。

２個の間隔調整機構３１はそれぞれ、回転駆動伝達機構部９の左端側または右端側に配置されている。また、２個の間隔調整機構３１は、回転駆動伝達機構部９の後端側に配置されている。この間隔調整機構３１は、図３に示すように、固定フレーム３２の後面側に固定された固定ナット４３と、固定ナット４３に螺合する調整ボルト４４と、調整ボルト４４の回止めの機能を果たす回止めナット４５とを備えている。

図３に示すように、調整ボルト４４は、前方向に向かって固定ナット４３にネジ込まれている。また、調整ボルト４４の前端は、可動フレーム２４の後端部に当接している。そのため、固定ナット４３に対する調整ボルト４４のねじ込み量を調整することで、前後方向における可動フレーム２４と固定フレーム３２との相対距離を調整することができる。

ここで、第１粘着ロール４の回転軸１１は軸受ブロック１２に支持され、軸受ブロック１２には、可動フレーム２４に固定されたリニアシャフト４１に係合するリニアブッシュ４２が固定されている。また、第２粘着ロール５の回転軸１３は軸受ブロック１４に支持され、軸受ブロック１４は可動フレーム２４に固定されている。そのため、間隔調整機構３１によって、固定フレーム３２に固定された駆動モータ２９と回転軸１１、１３との前後方向における距離（間隔）を調整することができる。したがって、回転軸１１の後端に固定された第１従動側磁気板３８および回転軸１３の後端に固定された第２従動側磁気板３９と、出力軸２９ａの前端に固定された駆動側磁気板３７との間隔を調整することができる。

なお、後述のように、可動フレーム２４は、固定フレーム３２に対して出し入れ可能となっている。そのため、本形態では、従動側磁気板３８、３９と駆動側磁気板３７との間隔を容易に調整することができる。

２個の衝撃吸収機構３３はそれぞれ、間隔調整機構３１の近傍に配置されている。本形態の衝撃吸収機構３３は、エアやオイル等の流体、あるいは、バネやゴム等の弾性部材等を有するいわゆるショックアブソーバ（ダンパー）である。図３に示すように、本形態では、衝撃吸収機構３３のヘッド側が固定フレーム３２に固定され、衝撃吸収機構３３のロッドの先端が可動フレーム２４の後端部に当接可能となっている。なお、衝撃吸収機構３３は、バネやゴム等の弾性部材であっても良い。

軸受１２、１４等を介して可動フレーム２４に取り付けられる粘着ロール４、５のメンテナンスを行うため、上述のように、可動フレーム２４は、本体フレーム２３に対して出し入れ可能となっている。すなわち、可動フレーム２４は、本体フレーム２３に固定された固定フレーム３２に対して出し入れ可能となっている。具体的には、除塵装置１は、可動フレーム２４を引き出すための引出レールやガイドローラ等を備えており、可動フレーム２４は、前面側に向かって引き出すことができるように構成されている。

本形態では、前面側に引き出された可動フレーム２４を後面側に押し込む際に、必要以上の力で可動フレーム２４が押し込まれても、固定フレーム３２に取り付けられた部品と、可動フレーム２４に取り付けられた部品とが衝突しないように、衝撃吸収機構３３のロッドの先端が可動フレーム２４の後端部に当接する。このように、衝撃吸収機構３３は、固定フレーム３２に取り付けられた部品と、可動フレーム２４に取り付けられた部品との衝突を防止する機能を果たしている。また、衝撃吸収機構３３は、可動フレーム２４が押し込まれる際の可動フレーム２４側の運動エネルギー、および、可動フレーム２４が押し込まれる際に増加する従動側磁気板３８、３９と駆動側磁気板３７との間の磁気吸引力を吸収減衰させる機能を果たしている。

以上のように構成された回転駆動伝達機構部９では、駆動モータ２９が回転して、駆動側磁気板３７が回転すると、従動側磁気板３８、３９と駆動側磁気板３７との間に生じる磁力によって、従動側磁気板３８、３９が回転して、駆動モータ２９の動力が粘着ロール４、５へ伝達される。本形態では、駆動側磁気板３７の回転に伴って、第１従動側磁気板３８は駆動側磁気板３７の回転方向（具体的には、図５の時計方向）と逆方向へ回転し、第２従動側磁気板３９は駆動側磁気板３７の回転方向と同方向へ回転する。すなわち、第１粘着ロール４の回転方向と第２粘着ロール５の回転方向とは逆になる。また、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とは同じ回転数で回転する。

ここで、平板状部材２の塵埃の除去を行っている際に、粘着ロール４、５あるいは搬送ローラ８等に想定外の負荷がかかって粘着ロール４、５がロックされた状態になると、従動側磁気板３８、３９と駆動側磁気板３７との間で滑りが生じて、粘着ロール４、５への駆動モータ２９から動力の伝達が遮断される。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の除塵装置１では、駆動モータ２９の動力を粘着ロール４、５へ伝達する伝達機構３０が、駆動モータ２９に連結される駆動側磁気板３７と、駆動側磁気板３７と所定の隙間を介して対向する従動側磁気板３８、３９とから構成されている。そのため、本形態の伝達機構３０には、塵埃の発生原因となりうる歯車の噛合部分等が存在しない。その結果、本形態では、塵埃の発生を抑制することができる。

また、本形態では、所定の隙間を介して対向する駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８、３９とによって伝達機構３０が構成されている。そのため、粘着ロール４、５等に想定外の負荷がかかる事態が生じても、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８、３９との間に滑りが生じて、粘着ロール４、５への駆動モータ２９から動力の伝達が遮断される。その結果、除塵装置１を構成する部品の損傷や異常摩耗等を防止することが可能となる。また、粘着ロール４、５等に想定外の負荷がかかる事態が生じても、搬送中の平板状部材２の損傷を防止することが可能となる。

さらに、本形態では、略円板状の駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８、３９とが前後方向で対向配置されている。そのため、円筒状に形成された磁石を径方向で対向させて使用する場合と比較して、駆動モータ２９から粘着ロール４、５へ十分な駆動力を伝達することが可能になる。

特に、本形態では、上述のように、平板状部材２の厚さに応じて第１粘着ロール４が上方向に移動する等、第１粘着ロール４が上方向に移動した状態で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとの間に生じる磁力が、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとの間に生じる磁力よりも大きく低下しないように第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とが対向配置されている。そのため、平板状部材２の厚さに応じて第１粘着ロール４が上方向に移動する場合等、第１粘着ロール４が上方向に移動する場合であっても、駆動モータ２９から粘着ロール４へ十分な駆動力を伝達することが可能になる。その結果、粘着ロール４を円滑に回転させることができる。

本形態では、前後方向から見たとき、第１従動側磁気板３８は、第１従動側着磁部３８ａが駆動側着磁部３７ａの径方向外側から駆動側着磁部３７ａに重なるように配置され、第２従動側磁気板３９は、第２従動側着磁部３９ａが駆動側着磁部３７ａの径方向内側から駆動側着磁部３７ａに重なるように配置されている。そのため、第１従動側磁気板３８と第２従動側磁気板３９とを異なる方向へ回転させることができる。その結果、１枚の駆動側磁気板３７によって、平板状部材２の上面に当接する第１粘着ロール４と、平板状部材２の下面に当接する第２粘着ロール５とを適切に回転させることができる。

本形態では、２枚の第１従動側磁気板３８および２枚の第２従動側磁気板３９と、１枚の駆動側磁気板３７とが互いに対向するように配置されている。そのため、４本の粘着ロール４、５を１個の駆動モータ２９で駆動することができる。したがって、除塵装置１の構成を簡素化できる。

本形態では、除塵装置１は、第１粘着ロール４を上下方向へ案内するため、リニアシャフト４１およびリニアブッシュ４２等から構成されるリニアガイド３６を備えている。そのため、駆動側磁気板３７と第１従動側磁気板３８との間に磁気的な吸引力が発生している場合であっても、第１粘着ロール４の移動抵抗を軽減して、第１粘着ロール４を円滑に上下動させることができる。たとえば、平板状部材２の表面の塵埃を除去する際に、平板状部材２の厚さに応じて第１粘着ロール４を上下方向へ円滑に移動させることができる。また、粘着ロール４、５等のメンテナンスを行うため、上下方向に第１粘着ロール４を移動させる場合にも、第１粘着ロール４を上下方向へ円滑に移動させることができる。

本形態では、除塵装置１は、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８、３９との間隔を調整するための間隔調整機構３１を備えている。そのため、駆動側磁気板３７側から従動側磁気板３８、３９側へ伝達可能な動力（トルク）を必要に応じて調整することができる。

本形態では、除塵装置１は、固定フレーム３２と可動フレーム２４との間に配置される衝撃吸収機構３３とを備えている。そのため、粘着ロール４、５のメンテナンスを行うために固定フレーム３２から引き出された可動フレーム２４を再び、固定フレーム３２に押し込む際に、固定フレーム３２に取り付けられた部品と、可動フレーム２４に取り付けられた部品との衝突を防止することができる。また、可動フレーム２４が押し込まれる際の可動フレーム２４側の運動エネルギー、および、可動フレーム２４が押し込まれる際に増加する従動側磁気板３８、３９と駆動側磁気板３７との間の磁気吸引力を吸収減衰させることができる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、駆動側磁気板３７は、駆動モータ２９の出力軸２９ａに固定されている。すなわち、駆動側磁気板３７は、直接、駆動モータ２９に連結されている。この他にもたとえば、出力軸２９ａにカップリング等を介して取り付けられた回転軸等に駆動側磁気板３７が固定されても良い。すなわち、駆動側磁気板３７は、所定の連結部材を介して駆動モータ２９に連結されても良い。

また、上述した形態では、第１従動側磁気板３８は、第１粘着ロール４の回転軸１１に固定され、第２従動側磁気板３９は、第２粘着ロール５の回転軸１３に固定されている。すなわち、従動側磁気板３８、３９は、回転軸１１、１３を介して粘着ロール４、５に連結されている。この他にもたとえば、従動側磁気板３８、３９は、粘着ロール４、５に直接、固定されても良い。また、回転軸１１、１３に取り付けられた所定の連結部材に従動側磁気板３８、３９が固定されても良い。

上述した形態では、除塵装置１は、４本の第１粘着ロール４と４本の第２粘着ロール５とを備えている。この他にもたとえば、除塵装置１は、２本のみの第１粘着ロール４と２本のみの第２粘着ロール５を備えていても良い。この場合には、除塵装置１が２個の駆動モータ２９を備え、１枚の第１従動側磁気板３８および１枚の第２従動側磁気板３９と、１枚の駆動側磁気板３７とが対向配置され、１個の駆動モータ２９によって２本の粘着ロール４、５が駆動されても良い。また、除塵装置１が１個のみの駆動モータ２９を備え、上述した形態と同様に、２枚の第１従動側磁気板３８および２枚の第２従動側磁気板３９と、１枚の駆動側磁気板３７とが対向配置され、１個の駆動モータ２９によって４本の粘着ロール４、５が駆動されても良い。

上述した形態では、駆動側着磁部３７ａは円環状に形成されている。この他にもたとえば、駆動側着磁部３７ａは円板状に形成されても良い。同様に、上述した形態では、従動側着磁部３８ａ、３９ａは円環状に形成されているが、従動側着磁部３８ａ、３９ａは円板状に形成されても良い。

上述した形態では、第１従動側磁気板３８が駆動側磁気板３７と逆方向へ回転し、第２従動側磁気板３９が駆動側磁気板３７と同方向へ回転している。この他にもたとえば、第１従動側磁気板３８が駆動側磁気板３７と同方向に回転し、第２従動側磁気板３９が駆動側磁気板３７と逆方向へ回転するように、伝達機構３０が構成されても良い。また、上述した形態では、第２粘着ロール５の回転軸１３を支持する軸受ブロック１４が可動フレーム２４に固定され、第１粘着ロール５の回転軸１１を支持する軸受ブロック１２が上下動可能となっている。この他にもたとえば、軸受ブロック１２が可動フレーム２４に固定され、軸受ブロック１４が上下動可能に構成されても良い。

上述した形態では、除塵装置１では、平板状部材２の上下両面の塵埃の除去が行われている。この他にもたとえば、除塵装置１が、第１粘着ロール４または第２粘着ロール５のいずれか一方のみを備え、除塵装置１で、平板状部材２の片面のみの塵埃の除去が行われても良い。この場合には、１枚の駆動側磁気板３７から２枚の第１従動側磁気板３８または２枚の第２従動側磁気板３９に駆動モータ２９の動力が伝達されるように、第１従動側磁気板３８または第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７とが配置されれば良い。

本発明の実施の形態にかかる除塵装置の概略構成を正面から説明するための図である。 図１のＥ−Ｅ断面の概略構成を説明するための図である。 図２に示す回転駆動伝達機構部の構成を上面から説明するための図である。 図２のＦ−Ｆ方向から回転駆動伝達機構部の一部の構成を説明するための図である。 図４に示す駆動側磁気板と従動側磁気板との配置関係を説明するための図であり、（Ａ）は前後方向から見たときの配置関係を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＧ−Ｇ方向から見たときの配置関係を示す。 図４に示す軸受ブロックおよびリニアブッシュを抜き出して示す図である。

符号の説明

１ 除塵装置
２ 平板状部材
４ 第１粘着ロール（粘着ロール）
５ 第２粘着ロール（粘着ロール）
１１ 回転軸
２４ 可動フレーム
２９ 駆動モータ
３０ 伝達機構
３１ 間隔調整機構
３２ 固定フレーム
３３ 衝撃吸収機構
３７ 駆動側磁気板（駆動側磁気部材）
３７ａ 駆動側着磁部
３８ 第１従動側磁気板（第１従動側磁気部材、従動側磁気部材）
３８ａ 第１従動側着磁部（従動側着磁部）
３９ 第２従動側磁気板（第２従動側磁気部材、従動側磁気部材）
３９ａ 第２従動側着磁部（従動側着磁部）
４２ リニアブッシュ

Claims (5)

1. 平板状部材を搬送しながら上記平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、
   上記平板状部材の一方の表面に当接して上記塵埃を吸着する第１粘着ロールと、上記平板状部材の他方の表面に当接して上記塵埃を吸着する第２粘着ロールと、上記第１粘着ロールおよび上記第２粘着ロールを回転駆動する駆動モータと、上記駆動モータの動力を上記第１粘着ロールおよび上記第２粘着ロールへ伝達する伝達機構とを備え、
   上記伝達機構は、略円板状に形成され上記駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、上記駆動側磁気部材よりも径の小さな略円板状に形成され上記駆動側磁気部材と該駆動側磁気部材の中心軸線方向に沿って所定の間隔をあけて対向配置されると共に、上記第１粘着ロールに連結される第１従動側磁気部材と、上記駆動側磁気部材よりも径の小さな略円板状に形成され上記駆動側磁気部材と該駆動側磁気部材の中心軸線方向に沿って所定の間隔をあけて対向配置されると共に、上記第２粘着ロールに連結される第２従動側磁気部材と、から構成され、
   上記駆動側磁気部材は、上記駆動側磁気部材の回転中心を中心として円板状または円環状に形成されると共にＳ極とＮ極とが円周方向に沿って交互に着磁された駆動側着磁部を備え、
   上記第１従動側磁気部材は、上記第１従動側磁気部材の回転中心を中心として上記駆動側着磁部よりも径の小さな円板状または円環状に形成されると共にＳ極とＮ極とが円周方向に沿って交互に着磁された第１従動側着磁部を備え、
   上記第２従動側磁気部材は、上記第２従動側磁気部材の回転中心を中心として上記駆動側着磁部よりも径の小さな円板状または円環状に形成されると共にＳ極とＮ極とが円周方向に沿って交互に着磁された第２従動側着磁部を備え、
   上記第１従動側磁気部材は、上記駆動側磁気部材と上記第１従動側磁気部材との中心軸線方向に沿った対向方向から見たとき、該第１従動側磁気部材の回転中心が上記駆動側着磁部の径方向外側に位置し、かつ上記第１従動着磁部の外周部分の一部の領域が上記駆動側着磁部の外周部分の一部の領域と重なるように配置され、
   上記第２従動側磁気部材は、上記駆動側磁気部材と上記第２従動側磁気部材との中心軸線方向に沿った対向方向から見たとき、該第２従動側磁気部材の回転中心が上記駆動側着磁部の径方向内側に位置し、かつ上記第２従動着磁部の外周が上記駆動側着磁部の外周と内接し、もしくは上記第２従動着磁部が当該内接位置よりも上記駆動側着磁部の径方向内側に位置する態様で上記第２従動着磁部と上記駆動側着磁部とが重なるように配置されていることを特徴する除塵装置。
2. ２本の前記第１粘着ロールと２本の前記第２粘着ロールとを備えるとともに、前記第１粘着ロールのそれぞれに連結される２個の前記第１従動側磁気部材と、前記第２粘着ロールのそれぞれに連結される２個の前記第２従動側磁気部材とを備え、
   ２個の前記第１従動側磁気部材および２個の前記第２従動側磁気部材は、１個の前記駆動側磁気部材に対向していることを特徴とする請求項１記載の除塵装置。
3. 前記従動側磁気部材は、前記粘着ロールの回転軸に固定されるとともに、
   前記粘着ロールの回転軸の軸方向に直交する方向へ前記粘着ロールを案内するリニアブッシュを備えることを特徴とする請求項１または２記載の除塵装置。
4. 前記駆動側磁気部材と前記従動側磁気部材との間隔を調整するための間隔調整機構を備えることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の除塵装置。
5. 前記駆動モータおよび前記駆動側磁気部材が取り付けられる固定フレームと、前記粘着ロールおよび前記従動側磁気部材が取り付けられるとともに上記固定フレームに対して出し入れ可能な可動フレームと、上記固定フレームと上記可動フレームとの間に配置される衝撃吸収機構とを備えることを特徴とする請求項１から４いずれかに記載の除塵装置。

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