JP5229819B2 - 除塵装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置に関する。

従来から、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等のワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

特許文献１に開示されている除塵装置では、粘着ロールを回転駆動させて、ワークの表面に付着した塵埃を除去しており、該粘着ロールへの動力の伝達はモータとの間に配置される伝達機構を介して行われる。図９に示すように、この伝達機構は、モータに連結される大径の駆動側磁気板７０と、上側に配置される２本の粘着ロールに連結される２つの小径の従動側磁気板７１と、下側に配置される２本の粘着ロールに連結される２つの小径の従動側磁気板７２とを有している。従動側磁気板７１は、駆動側磁気板７０と外接噛み合いするように、該駆動側磁気板７０と所定の隙間を有して対向配置され、従動側磁気板７２は、駆動側磁気板７０と内接噛み合いするように、該駆動側磁気板７０と所定の隙間を有して対向配置されている。さらに、駆動側磁気板７０と従動側磁気板７１，７２とには、インボリュート曲線状に形成された永久磁石のＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。このため、対向する永久磁石のＮ極とＳ極との間の吸引力と、Ｎ極とＮ極およびＳ極とＳ極との間の反発力とによって、駆動側磁気板７０側から従動側磁気板７１，７２側に非接触でモータの回転トルクが伝達される。

例えば、図９に示すように、駆動側磁気板７０を反時計方向に回転させると、駆動側磁気板７０と従動側磁気板７１，７２との間に働く磁石の吸引力および反発力によって、従動側磁気板７１，７２は、駆動側磁気板７０の回転に追従して動く。すなわち、駆動側磁気板７０が反時計方向に回転すると、駆動側磁気板７０と内接噛み合いするように配置された従動側磁気板７２は、図９に示すように反時計方向に回転する一方、駆動側磁気板７０と外接噛み合いするように配置された従動側磁気板７１は、図９に示すように時計周りに回転する。すなわち、駆動側磁気板７０の駆動力は、従動側磁気板７１および従動側磁気板７２に、該従動側磁気板７１と従動側磁気板７２の回転方向が逆方向になるように伝達される。

特開２００８−２８９９６１号公報（要約書）

しかしながら、特許文献１に開示されている除塵装置では、対向方向から見て駆動側磁気板７０と従動側磁気板７１，７２とがそれぞれ重なり合う範囲は、図９に示す領域Ｒおよび領域Ｓといった小さな範囲となっている。また、駆動側磁気板７０と従動側磁気板７１，７２とが回転した場合、Ｎ極とＳ極とが重なる領域が変動する。このため、駆動側磁気板７０と従動側磁気板７１，７２との間には充分な磁石が作用せず、駆動側磁気板７０と従動側磁気板７１，７２との間に作用する磁気吸引力も不安定なものとなる。このため、粘着ロールへ伝達される動力は不安定なものとなり、その大きさも小さいものとなってしまう。その結果、ワークやテープ等の条件によっては、塵埃を除去するために必要なトルクを得ることができない場合がある。

本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、従動側に伝達される駆動力の向上を図ると共に、該駆動力の安定化を図ることが可能な除塵装置を提供しようとするものである。

上記課題を解決するために、本発明は、ワークを搬送しながらワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、ワークの表面に当接してワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロールと、粘着ロールを回転駆動する駆動モータと、駆動モータの動力を粘着ロールへ伝達する伝達機構とを備え、伝達機構は、駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、駆動側磁気部材と一対をなすと共に、該駆動側磁気部材と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材とから構成され、駆動側磁気部材は、駆動側磁気部材の回転中心を中心として円板状または円環状に形成される駆動側着磁部を備え、従動側磁気部材は、従動側磁気部材の回転中心を中心として円板状または円環状に形成される従動側着磁部を備え、駆動側磁気部材と従動側磁気部材とは、駆動側磁気部材と従動側磁気部材とを対向方向から見たとき、駆動側着磁部と従動側着磁部との回転中心が一致すると共に該駆動側着磁部と従動側着磁部とが同心円上で重なり合うように配置されているものである。

また、駆動側着磁部および従動着磁部のそれぞれには、永久磁石のＮ極とＳ極とが円周方向に沿って交互に異極配列されており、該永久磁石の磁力を利用して、駆動側磁気部材から従動側磁気部材へ動力を伝達させるのが好ましい。

また、粘着ロールはワークのいずれか一方の表面に当接するように単数もしくは複数設けられており、伝達機構による動力の伝達は、１つの粘着ロールに対して行われるものとするのが好ましい。

また、粘着ロールが複数設けられている場合、動力が伝達された粘着ロールからそれ以外の粘着ロールへの動力の伝達はギアを介して行われるものとするのが好ましい。

また、ギアを円筒状の永久磁石から構成し、互いに隣接する該永久磁石同士の磁気吸引力を利用して動力の伝達を行うのが好ましい。

また、粘着ロールに付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部を備えており、粘着テープロールは、隣接する２つの粘着ロールの双方に外接するように配置され、動力が伝達された粘着ロールからそれ以外の粘着ロールへの動力の伝達は粘着テープロールを介して行うのが好ましい。

本発明によると、除塵装置の従動側に伝達される駆動力の向上を図ると共に、該駆動力の安定化を図ることができる。

本発明の一実施の形態に係る除塵装置の概略構成を透過的に示す側面図である。 図１中の要部の概略構成を正面から透過的に見た図である。 図２に示す回転駆動伝達機構部の構成を上面から透過的に見た図である。 図３に示す伝達機構の周辺の構成を上面から透過的に見た図である。 図２のＡ−Ａ方向から回転駆動伝達機構部の一部の構成を透過的に見た図である。 図４に示す駆動側磁気カップリング部材もしくは従動側磁気カップリング部材を対向方向から見たときの着磁構成を示す図である。 図３中の可動フレームが押し込まれた状態における衝撃吸収機構の構成を示す図である。 図３中の可動フレームが引き抜かれて押出ロッドが飛び出している状態における衝撃吸収機構の構成を示す図である。 従来の除塵装置の駆動側磁気板と従動側磁気板との配置関係を説明するための図である。

以下、本発明の一実施の形態に係る除塵装置１について、図面を参照しながら説明する。

（除塵装置の概略構成）
図１は、本発明の一実施の形態に係る除塵装置１の概略構成を透過的に示す側面図である。図２は、図１中の要部の概略構成を正面から透過的に見た図である。なお、以下の説明では、図１の左を「後（後ろ）」、図１の右を「前」、図１の上を「上」、図１の下を「下」、図１の紙面手前を「左」、図１の紙面奥を「右」とそれぞれ規定する。

本実施の形態に係る除塵装置１は、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等のワーク２の表面に付着した塵埃を除去するための装置である。具体的には、除塵装置１は、ワーク２を前方から後方に向かって搬送しながら、ワーク２の表面に付着した塵埃を除去するための装置である。

この除塵装置１は、図１および図２に示すように、ワーク２の上面に当接して塵埃を吸着する２本の第１粘着ロール４と、ワーク２の下面に当接して塵埃を吸着する２本の第２粘着ロール５と、粘着テープが巻回されるとともに２本の第１粘着ロール４に当接して第１粘着ロール４に付着した塵埃を取り除く第１粘着テープロール６と、粘着テープが巻回されるとともに２本の第２粘着ロール５に当接して第２粘着ロール５に付着した塵埃を取り除く第２粘着テープロール７と、ワーク２を搬送する２つの搬送ローラ８と、ワーク２を安定した状態で搬送するために第１粘着ロール４と搬送ローラ８との間に配置されるローラ部材９と、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５等を回転駆動するための回転駆動伝達機構部１０（図２参照）とを備えている。本実施の形態に係る除塵装置１では、ワーク２の上下両面の塵埃の除去が行われる。なお、以下では、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５をまとめて表す場合には、粘着ロール４，５と表記する。

また、除塵装置１は、第１粘着ロール４が外周面に固定された回転軸１１と、回転軸１１の端部側を回転可能に支持する軸受ブロック１２（図１および図２参照）と、第２粘着ロール５が外周面に固定された回転軸１３と、回転軸１３の端部側を回転可能に支持する軸受ブロック１４（図２参照）と、第１粘着テープロール６が外周面に固定された回転軸１５と、回転軸１５の端部を回転可能に支持するテープ保持部となる軸受ブロック１６と、第２粘着テープロール７が外周面に固定された回転軸１７と、回転軸１７の端部を回転可能に支持するテープ保持部となる軸受ブロック１８と、搬送ローラ８が外周面に固定された回転軸１９と、ローラ部材９が外周面に固定された回転軸２１と、第１粘着テープロール６の上方の位置において、左右方向（図１の紙面手前奥方向）に伸びるように軸受ブロック１６に固定される支持板２２（図１および図２参照）と、支持板２２に固定されるロッド２３ａを介して軸受ブロック１６を上下方向へ移動させるシリンダ部材２３と、第２粘着テープロール７の下方の位置において、左右方向（図１の紙面手前奥方向）に伸びるように軸受ブロック１８に固定される支持板２５（図１参照）と、支持板２５に固定されるロッド２６ａを介して軸受ブロック１８を上下方向へ移動させるシリンダ部材２６と、左右方向（図１の紙面手前奥方向）の両面側に配置される本体フレーム３０と、本体フレーム３０に対して出し入れ可能な可動フレーム３１とを備えている。

粘着ロール４，５は、表面に粘着力を有するシリコンゴム等のゴム部材によって形成されている。第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とは上下方向で対向するように配置されており、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間をワーク２が通過するように構成されている。図１に示すように、本実施の形態では、２本の第１粘着ロール４が所定の間隔をあけた状態で前後方向に隣接するように配置されている。同様に、２本の第２粘着ロール５が前後方向に所定の間隔をあけた状態で隣接するように配置されている。

第１粘着ロール４の回転軸１１を支持する軸受ブロック１２、および、第２粘着ロール５の回転軸１３を支持する軸受ブロック１４は、図２に示すように、左右方向の側面側に配置されている。軸受ブロック１４は、可動フレーム３１に固定されている。また、軸受ブロック１２は、図２に示すように、後述のリニア機構３２に案内されて軸受ブロック１４に対して上下方向に相対移動可能となっている。軸受ブロック１２の詳細な構成については後述する。

第１粘着テープロール６および第２粘着テープロール７には、粘着テープの粘着面が表側を向くように粘着テープが巻回されている。第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７はそれぞれ、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に当接して、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃を取り除くように構成されており、第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７の粘着力が低下すると、粘着テープが順次剥がされていく。なお、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５の粘着力よりも第１粘着テープロール６および第２粘着テープロール７の粘着力の方が大きいものとされている。

第１粘着テープロール６は第１粘着ロール４よりも上側に配置され、第２粘着テープロール７は第２粘着ロール５よりも下側に配置されている。また、前後方向では、２本の第１粘着ロール４の軸中心間の略中心位置と第１粘着テープロール６の軸中心とが一致するように、第１粘着テープロール６が配置され、２本の第２粘着ロール５の軸中心間の略中心位置と第２粘着テープロール７の軸中心とが一致するように、第２粘着テープロール７が配置されている。

軸受ブロック１６，１８は、左右方向の両面側に配置されている。また、スライド機構２３，２６も左右方向の両面側に配置されている。上述したように、支持板２２の端部には、ロッド２３ａの一端が固定されている。また、支持板２２には、軸受ブロック１６の上端部が固定されている（図２参照）。さらに、図２に示すように、シリンダ部材２３には下方に向かって延出する案内軸２７が固定されている。この案内軸２７の外側には、該案内軸２７に対して上下方向に相対移動可能な保持部材２８が配設されており、この保持部材２８には支持板２２の端部が上下方向に相対移動不能に挿通されている。

このため、シリンダ部材２３への空気の供給にともない、ロッド２３ａが上昇もしくは下降すると、それに伴って支持板２２も上下動する。保持部材２８は案内軸２７の軸方向に沿って上下方向に相対移動可能に固定されているため、保持部材２８も支持板２２と共に案内軸２７に沿って上下動することになる。したがって、シリンダ部材２３に空気が供給されると、支持板２２および軸受ブロック１６が上下動し、第２粘着テープロール６が上下方向に移動する。一方、シリンダ部材２６にも、シリンダ部材２３の場合と同様、上方に向かって延出する不図示の案内軸が固定されており、この案内軸の外側には、上下方向に相対移動可能な不図示の保持部材が配設されている。すなわち、第２粘着テープロール７を上下動させる機構の構成は、第１粘着テープロール６と第２粘着ロール５の中心軸線の略中心位置を軸として、第１粘着テープロール６を上下動させる機構の構成と対称構造を有している。

ワーク２の表面に付着した塵埃の除去を行う際には、シリンダ部材２３に空気を供給し、ロッド２３ａおよび支持板２２を下降させる。やがて、図１に破線で示すように、第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４に当接して、第１粘着ロール４は、第１粘着テープロール６とともに、第２粘着ロール５に当接するまで下降する。

また、この際には、シリンダ部材２６にも空気が供給され、ロッド２６ａおよび支持板２５が上方向へ移動する。すると、図１に破線で示すように、第２粘着テープロール７は、第２粘着ロール５に当接するまで、軸受ブロック１８とともに上昇する。

このように、第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４に当接するとともに第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接し、かつ、第２粘着テープロール７が第２粘着ロール５に当接した状態で、ワーク２の表面に付着した塵埃が除去される。具体的には、回転駆動伝達機構部１０によって粘着ロール４，５が駆動されるとともに、搬送ローラ８が駆動され、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間をワーク２が通過することで、ワーク２の表面に付着した塵埃が除去される。このとき、第１粘着ロール４および第１粘着テープロール６は、ワーク２の厚さに応じて上方向に移動する。

また、このときには、シリンダ部材２３，２６からの押圧力により、第１粘着テープロール６は所定の力をもって第１粘着ロール４に当接し、第２粘着テープロール７も所定の力をもって第２粘着ロール５に当接している。したがって、回転駆動伝達機構部１０によって回転する第１粘着ロール４、第２粘着ロール５の回転に伴って、第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７も回転する。第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７が回転すると、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃が第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７によって取り除かれる。

一方、ワーク２の表面に付着した塵埃の除去が終了すると、シリンダ部材２３への空気の供給方向が切り替わり、ロッド２３ａおよび支持板２２が上昇する。支持板２２が上昇すると、軸受ブロック１６とともに第１粘着テープロール６が上昇する（図１の実線参照）。第１粘着テープロール６が上昇すると、第１粘着ロール４は、後述するリニア機構３２から受ける付勢力により上昇する。また、シリンダ部材２６への空気の供給方向が切り替わり、ロッド２６ａおよび支持板２５が下降する。支持板２５が下降すると、軸受ブロック１８とともに第２粘着テープロール７が下降する（図１の実線参照）。

搬送ローラ８は、ワーク２の下面に当接するように、除塵装置１の前端側および後端側に配置されている。この搬送ローラ８は、上述したように、回転駆動伝達機構部１０によって回転駆動される。なお、搬送ローラ８の回転軸１９は、本体フレーム３０に固定される後述の固定フレーム３３に取り付けられた軸受３４によって回転可能に支持されている（図３参照）。ローラ部材９は、ワーク２の下面に当接するように、第２粘着ロール５と搬送ローラ８との間に上下方向に沿った軸を中心にして前後対称に一対に配置されている。なお、ローラ部材９の回転軸２１は、可動フレーム３１に取り付けられた軸受３５によって回転可能に支持されている（図３参照）。

図２に示すように、回転駆動伝達機構部１０は、除塵装置１の右端側に配置されている。この回転駆動伝達機構部１０の構成および回転駆動伝達機構部１０の周辺の構成の詳細を以下に説明する。

（回転駆動伝達機構部およびその周辺の構成）
図３は、図２に示す回転駆動伝達機構部１０の構成を上面から透過的に見た図である。図４は、図３に示す伝達機構３７の周辺の構成を上面から透過的に見た図である。図５は、図２のＡ−Ａ方向から回転駆動伝達機構部１０の一部の構成を透過的に見た図である。図６は、図４に示す駆動側磁気カップリング部材４１もしくは従動側磁気カップリング部材４２を対向方向から見たときの着磁構成を示す図である。図７は、可動フレーム３１が押し込まれた状態における衝撃吸収機構４０の構成を示す図である。図８は、可動フレーム３１が引き抜かれて押出ロッド４０ｂが飛び出している状態における衝撃吸収機構４０の構成を示す図である。なお、図３では、第１粘着ロール４等の図示が省略されている。また、図５では、マグネットギア５６，５７および中間マグネットギア５８の図示が省略されている。

回転駆動伝達機構部１０は、図２および図３に示すように、粘着ロール４，５を回転駆動させる駆動モータ３６と、駆動モータ３６の動力を粘着ロール４，５へ伝達する伝達機構３７と、駆動モータ３６の動力を搬送ローラ８へ伝達するローラ伝達機構３８と、本体フレーム３０に固定される固定フレーム３３と可動フレーム３１との間に配置される２個の衝撃吸収機構４０とを備えている。また、上述したように、除塵装置１は、回転駆動伝達機構部１０の周辺の構成として、回転軸１１の軸方向に直交する上下方向へ第１粘着ロール４を案内するためのリニア機構３２を備えている。さらに、除塵装置１は、伝達機構３７を構成する後述の駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２との間隔を調整するための不図示の間隔調整機構を備えている。

図３および図５に示すように、可動フレーム３１は、左右方向に長手状に伸びる２つの長手フレーム部４３と、第１粘着ロール４を軸支する軸受ブロック１２と、第２粘着ロール５を軸支する軸受ブロック１４が固定される可動フレーム部４４とを有する。図５に示すように、可動フレーム部４４は、側面視して、略矩形状の形態を有しており、前後の両端部近傍には下方に向かって三角状に突出する突出部４４ａ，４４ａが形成されている。図５に示すように、可動フレーム部４４の上方にはリニア機構３２を介して軸受ブロック１２が配設されている。このため、軸受ブロック１２は、長手フレーム部４３および可動フレーム部４４とともに、固定フレーム３３に対して引き出し可能となっている。

固定フレーム３３は、略逆Ｕ字状の形態を有するＵ字フレーム部３３ａ（図３参照）と、Ｕ字フレーム部３３ａのＵ字の内側において前後方向に架け渡される短手フレーム部３３ｂ（図３参照）とを有する。駆動モータ３６は、図２および図３に示すように、出力軸３６ａが粘着ロール４側に向かって突出するように、固定フレーム３３に固定されている。出力軸３６ａは円筒状の継手４５を介して駆動軸４６と連結されている。この駆動軸４６は短手フレーム部３３ｂに配置されるベアリング４７に支持されながら短手フレーム部３３ｂを左右方向に貫通している。

ローラ伝達機構３８は、複数の歯車を備えた歯車輪列から構成されている。具体的には、駆動軸４６に嵌め込まれた小径の駆動歯車５０と、駆動歯車５０と噛み合うように、駆動歯車５０の前方に配置される中径歯車５１と、駆動歯車５０と噛み合うように、駆動歯車５０の後方に配置される大径の大径歯車５２と、中径歯車５１と噛み合うように、中径歯車５１の前方に配置される前ローラ歯車５３と、大径歯車５２と噛み合うように、大径歯車５２の後方に配置される後ローラ歯車５４と、から構成される。また、前ローラ歯車５３および後ローラ歯車５４は、搬送ローラ８の回転軸１９に連結されている。なお、中径歯車５１、大径歯車５２、前ローラ歯車５３および後ローラ歯車５４のそれぞれは、短手フレーム部３３ｂに軸支されている。

このような構成により、駆動モータ３６の駆動力は、駆動軸４６に固定された駆動歯車５０を介して、中径歯車５１および大径歯車５２に伝達される。その後、中径歯車５１および大径歯車５２を介して、前ローラ歯車５３および後ローラ歯車５４にそれぞれ伝達される。その結果、回転軸１９に駆動モータ３６の駆動力が伝達され、搬送ローラ８が回転する。ここで、駆動歯車５０と前ローラ歯車５３との間には中径歯車５１のみが介在されているため、駆動歯車５０が固定されている駆動軸４６の回転方向と、前ローラ歯車５３に連結されている前側の回転軸１９の回転方向は同方向となる。また、駆動歯車５０と後ローラ歯車５４との間には大径歯車５２のみが介在されているため、駆動軸４６の回転方向と、後ローラ歯車５４に連結されている後側の回転軸１９の回転方向は同方向となる。すなわち、駆動モータ３６の駆動によって、駆動軸４６と、前後方向側方に配置されている２つの搬送ローラ９は同方向に回転駆動される。

伝達機構３７は、駆動モータ３６に連結される駆動側磁気部材としての駆動側磁気カップリング部材４１と、前方に配置される第２粘着ロール４に連結される従動側磁気部材としての従動側磁気カップリング部材４２とから構成されている（図２〜図５参照）。この伝達機構３７では、従動側磁気カップリング部材４２と駆動側磁気カップリング部材４１との間に生じる磁力（磁気吸引力）によって、駆動側磁気カップリング部材４１側の動力が従動側磁気カップリング部材４２側へ伝達される。

本実施の形態では、駆動側磁気カップリング部材４１は、駆動モータ３６の出力軸３６ａに連結される駆動軸４６の左端部に固定されている。また、従動側磁気カップリング部材４２は、前方に配置される第２粘着ロール５の回転軸１３の右端に固定されている。なお、伝達機構３７を構成する一対の駆動側磁気カップリング部材４１および従動側磁気カップリング部材４２は、共に略同一の継手状の形態を有している。

駆動側磁気カップリング部材４１は、左端側の端面に磁極が形成された駆動側着磁部４１ａを備えている。駆動側着磁部４１ａは、図６に示すように、駆動側磁気カップリング部材４１の回転中心を中心とする円環状に形成されている。具体的には、駆動側着磁部４１ａは、駆動側磁気カップリング部材４１の径方向の端部側から中心に向かって所定の範囲に配置されるように形成されている。図６に示すように、本実施の形態では、駆動側着磁部４１ａは、周方向に沿って１０分割されており、分割することによって形成された略台形状のそれぞれの領域に、Ｓ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。また、駆動側着磁部４１ａは、駆動側磁気カップリング部材４１の中心軸線から径方向外方に向かって略放射状に着磁されている。なお、駆動側着磁部４１ａは、磁性部材からなる駆動側磁気カップリング部材４１の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を駆動側磁気カップリング部材４１の左端側の面に固定して、駆動側着磁部４１ａとしても良い。

従動側磁気カップリング部材４２は、右端側の端面に磁極が形成された従動側着磁部４２ａを備えている。従動側着磁部４２ａは、図６に示すように、従動側磁気カップリング部材４２の回転中心を中心とする円環状に形成されている。すなわち、駆動側着磁部４１ａと同形状に形成されている。このため、従動側着磁部４２ａは、周方向に沿って１０分割された略台形状のそれぞれの領域を有しており、該領域にＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。また、駆動側着磁部４２ａは、駆動側磁気カップリング部材４２の中心軸線から径方向外方に向かって略放射状に着磁されている。なお、従動側着磁部４２ａは、磁性部材からなる従動側磁気カップリング部材４２の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を従動側磁気カップリング部材４２の右端側の面に固定して、従動側着磁部４２ａとしても良い。

従動側磁気カップリング部材４２と駆動側磁気カップリング部材４１とは、所定の隙間を介して（たとえば、１ｃｍ等の比較的小さな間隔をあけて）互いに対向するように配置されている（図４参照）。具体的には、従動側磁気カップリング部材４２および駆動側磁気カップリング部材４１は、該従動側磁気カップリング部材４２と駆動側磁気カップリング部材４１とを対向方向（すなわち、左右方向）から見たとき、従動側着磁部４２ａと駆動側着磁部４１ａとが全範囲で重なるように配置されている。また、従動側磁気カップリング部材４２および駆動側磁気カップリング部材４１は、従動側着磁部４２ａおよび駆動側着磁部４１ａのそれぞれのＮ極とＳ極との領域が対向するように配置される。なお、従動側着磁部４２ａおよび駆動側着磁部４１ａを構成する永久磁石としては、たとえば、ネオジウム磁石を採用することができる。

このような配置構成により、駆動側着磁部４１ａと従動側着磁部４２ａとのＮ極とＳ極との間の磁気吸引力によって、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側に非接触でモータの回転トルクが伝達される。また、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａにおいて、Ｎ極およびＳ極に着磁された領域は、同じ略台形状を呈しているため、各Ｎ極とＳ極との領域を対向させることができる。このため、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側に向かって、大きな磁気吸引力を作用させることができる。その結果、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側へ効率良く駆動力を伝達することができる。

また、前方に配置される第２粘着ロール５の回転軸１３には、略円筒形状のギアとなるマグネットギア５６が配置されている。具体的には、該マグネットギア５６は、回転軸１３において従動側磁気カップリング部材４２の左側に隣接するように配置されている。マグネットギア５６は、永久磁石から形成されており、その外周面５６ａは滑らかな円周状の面に形成されている。一方、後方に配置される第２粘着ロール５の回転軸１３にも、マグネットギア５６と同形状のマグネットギア５７が配置されている。具体的には、該マグネットギア５７は、回転軸１３の右端側に配置されている。マグネットギア５７も、永久磁石から形成されており、その外周面５７ａは滑らかな円周状の面に形成されている。

図２および図４に示すように、マグネットギア５６，５７の間には、略円筒形状の中間マグネットギア５８が介在されている。中間マグネットギア５８は永久磁石から形成されており、その外周面５８ａは滑らかな円周状の面に形成されている。この中間マグネットギア５８は、可動フレーム３１に固定された支軸５９（図４等参照）に回転可能に軸支されている。中間マグネットギア５８は、マグネットギア５６，５７よりも下側に配置されている。また、前後方向では、マグネットギア５６，５７の軸中心間の略中心位置と中間マグネットギア５８の軸中心とが一致するように、中間マグネットギア５８が配置されている。このように、中間マグネットギア５８はマグネットギア５６，５７よりも下方の位置において支軸５９に軸支されている。なお、マグネットギア５６，５７および中間マグネットギア５８を構成する永久磁石としては、たとえば、ネオジウム磁石を採用することができる。

また、中間マグネットギア５８の外周面５８ａとマグネットギア５６，５７の外周面５６ａ，５６ｂとは近接しており、これらの間には磁気吸引力が作用している。このため、駆動軸４６の駆動力が駆動側磁気カップリング部材４１および従動側磁気カップリング部材４２を介して前方側の回転軸１３に伝達されると、その駆動力は、互いの磁気吸引力によって、マグネットギア５６から中間マグネットギア５８を介してマグネットギア５７に伝達される。そして、マグネットギア５７の回転とともに後ろ側の回転軸１３も回転する。後ろ側の回転軸１３には、前側の回転軸１３の駆動力が、マグネットギア５６，５７の間に配置される１つの中間マグネットギア５８を介して伝達される。このため、後ろ側の第２粘着ロール５は前側の第２粘着ロール５と同方向に回転することになる。

また、ワーク２を搬送させる際は、２本の第２粘着ロール５は第２粘着テープロール７によって下方から押圧されるため、第２粘着ロール５の双方の外周面と第２粘着テープロール７の外周面との間には摩擦力が作用する。したがって、前側の第２粘着ロール５を回転駆動させると、その駆動力は第２粘着テープロール７を介して後ろ側の第２粘着ロール５に伝達される。この第２粘着ロール５へ伝達される駆動力は、マグネットギア５６，５７との間に中間マグネットギア５８を介して行われるものよりも大きなものとされている。

図５に示すように、リニア機構３２は、可動フレーム部４４に固定されるリニアシャフト６０と、リニアシャフト６０が挿通されることで図５における上下方向へ第１粘着ロール４を案内するリニアブッシュ６１とを備えている。

リニアシャフト６０は、たとえば、円柱状に形成された金属製のシャフトであり、可動フレーム部４４に図５における上下方向を長手方向として固定されている。リニアブッシュ６１は、たとえば、円筒状に形成された金属部材であり、内周側にボールを有するいわゆるリニアボールベアリングである。このリニアブッシュ６１の内周側には、リニアシャフト６０が挿通されている。また、このリニアブッシュ６１は、軸受ブロック１２の右方側（図５における紙面手前側）に固定されている。なお、リニアブッシュ６１は、潤滑性を有する金属部材によって円筒状に形成された摺動ベアリングであっても良い。

図５に示すように、リニアブッシュ６１は軸受ブロック１２の右方に固定されると共に、リニアブッシュ６１の内周側にリニアシャフト６０が挿通されている。これより、軸受ブロック１２はリニア機構３２を介して、可動フレーム部４４の上方に取り付けられていることになる。このため、軸受ブロック１２は、リニア機構３２に案内されて上下方向に移動可能となっている。

図５に示すように、軸受ブロック１４は可動フレーム部４４の上端部近傍における前後方向の略中央に固定されている。この軸受ブロック１４には、上述したように、第２粘着ロール５の回転軸１３が回転可能に支持されている。

上述したように、リニアブッシュ６１の内側には、該リニアブッシュ６１の内周面と隙間を有した状態でリニアシャフト６０が挿通されている。リニアシャフト６０の下端は可動フレーム部４４に固定されている。一方、リニアシャフト６０の上端部には大径の円盤状をした当接部６０ａが設けられている。該当接部６０ａはリニアブッシュ６１の上端面に当接可能となっている。これにより、リニアブッシュ６１が案内される上限位置が決められる。すなわち、当接部６０ａの位置により第１粘着ロール４の移動可能な上限位置が決められる。

さらに、リニアブッシュ６１の下方には、圧縮バネ等に代表される弾性部材６３がリニアシャフト６０の外側を覆うように配設されている。すなわち、弾性部材６３は、リニアシャフト６０の外側を覆うようにリニアブッシュ６１と可動フレーム部４４との間に配設されている。このため、第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４に当接していない状態では、弾性部材６３の上側への付勢力により、リニアブッシュ６１がリニアシャフト６０の当接部６１ａと当接する上限位置まで移動した状態となる。また、リニアブッシュ６１と共に移動する軸受ブロック１２も上限位置まで移動した状態となる。このため、第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４に当接していない状態では、第１粘着ロール４はリニアブッシュ６１の案内可能な上限位置に位置保持される。

一方、第１粘着テープロール６を下降させて、該第１粘着テープロール６を第１粘着ロール４と当接させると、第１粘着ロール４および軸受ブロック１２はリニア機構３２によって下方向へ案内される。すると、第１粘着ロール４はワーク２の表面に当接し、その当接状態が維持される。このように、ワーク２の表面の塵埃を除去する際に、ワーク２の厚さに応じて第１粘着ロール４を上下方向へ円滑に移動させることができる。

図３、図７および図８に示すように、２個の衝撃吸収機構４０は、シリンダ４０ａと、押出ロッド４０ｂとを具備している。このうち、シリンダ４０ａは、図示省略の筒状部を有し、エア等の流体によって、押出ロッド４０ｂに所定の押出力を及ぼす、いわゆるアクチュエータ（ショックアブソーバまたはダンパー）である。なお、シリンダ４０ａの内部では、エア以外の流体（例えばオイル等）を用いるようにしても良い。

本実施の形態では、図３に示すように、シリンダ４０ａが固定フレーム３３に固定され、押出ロッド４０ｂの先端が可動フレーム３１の長手フレーム部４３の他端部に当接可能となっている。また、図７に示すように、シリンダ４０ａの外周縁部は、可動フレーム３１の他端部に当接可能となっていて、位置決めとしての機能を有している。以下、かかる位置決めとしての機能を有するシリンダの外周縁部を、位置決め部４０ｃと称呼する。

軸受ブロック１２，１４等を介して可動フレーム３１に取り付けられる粘着ロール４，５のメンテナンスを行うため、上述のように、可動フレーム３１は、本体フレーム３０に対して出し入れ可能となっている。すなわち、可動フレーム３１は、本体フレーム３０に固定された固定フレーム３３に対して出し入れ可能となっている。具体的には、除塵装置１は、可動フレーム３１を引き出すための引出レールやガイドローラ等を備えており、可動フレーム３１は、左端側に向かって引き出すことができるように構成されている。

なお、可動フレーム３１に対して、第１粘着ロール４，４が外周面に固定された回転軸１１，１１を支持する軸受ブロック１２、回転軸１３の端部に固定される従動側磁気カップリング部材４２、第２粘着ロール５，５が外周面に固定された回転軸１３，１３を支持する軸受ブロック１４、軸受ブロック１２と軸受ブロック１４が固定される可動フレーム部４４との間に介在するリニア機構３２が一体的に設けられている。そのため、可動フレーム３１を引き出す場合、これらも一緒に引き出される。なお、以下の説明においては、必要に応じて、可動フレーム３１と共に引き出されるものを、ロールユニットＲＹと称呼する。また、除塵装置１のうち、ロールユニットＲＹ以外の部分は、装置本体に対応する。

この衝撃吸収機構４０は、不図示のスイッチ等を押下することにより作動するような構成となっている。衝撃吸収機構４０を作動させると、衝撃吸収機構４０の押出ロッド４０ｂは、可動フレーム３１の他端部を押し出す。その押し出しにより、ロールユニットＲＹの引き出しを補助する力（アシスト力）が与えられる。すなわち、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２との間には、磁力による大きな吸着力が作用しており、ロールユニットＲＹを引き出す場合、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とを引き離す必要があるので、大きな引き出し力が必要となる。これに対して、押出ロッド４０ｂが可動フレーム３１の他端側を押し込むと、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とを引き離すのが補助されるので、作業者は、ロールユニットＲＹを引き出す際に、より少ない力で、当該ロールユニットＲＹを引き出すことが可能となる。

また、ロールユニットＲＹを差し込む場合、不図示の差込検出センサを介して、制御部が指令を与えると衝撃吸収機構４０が作動する。なお、このように構成せずに、除塵装置１の電源オンの状態であって、駆動モータ３６の停止状態において所定時間が経過したときに、衝撃吸収機構４０を自動的に作動させるようにしても良い。

この衝撃吸収機構４０が作動すると、衝撃吸収機構４０の押出ロッド４０ｂは、所定の押圧力を受けて、図８に示すように飛び出している状態となる。この状態で、作業者がロールユニットＲＹを差し込むと、いずれ可動フレーム３１の他端部に対して、押出ロッド４０ｂの先端が衝突する。このとき、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とは、十分に近接した状態となるので、両者の間には、磁力による吸着力が作用し始める。

その状態でも、さらに作業者がロールユニットＲＹを差し込むと、可動フレーム３１の他端部は、押出ロッド４０ｂを押し込んでいく。すると、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とは、徐々に近接していくので、両者の間の磁力による吸着力は、徐々に増大していく。一方、押出ロッド４０ｂを押し込んでいくと、シリンダ４０ａの内部でエアが圧縮されていくが、押し込みに対する反力（圧縮力）は、一定圧力で維持される。そのため、エアの圧縮力によって、磁力による吸着力が軽減される状態となる。

このような衝撃吸収機構４０の作用により、ロールユニットＲＹを差し込む際に、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２との間の磁力により、ロールユニットＲＹが急激に引き込まれ、除塵装置１に衝撃を及ぼさせる状態となるのを防止できる。

以上のように構成された回転駆動伝達機構部１０では、駆動モータ３６が回転して、駆動側磁気カップリング部材４１が、たとえば、図６の時計方向に回転すると、従動側磁気カップリング部材４２との間に生じる磁気吸引力によって、従動側磁気カップリング部材４２が駆動側磁気カップリング部材４１と同じ回転速度で図６の時計方向（図１の反時計方向）に回転して、駆動モータ３６の動力が第２粘着ロール５へ伝達される。具体的には、従動側磁気カップリング部材４２が回転すると、従動側磁気カップリング部材４２とともにマグネットギア５６および前側の回転軸１３も回転する。また、前側の回転軸１３ととともに前側の第２粘着ロール５が回転する。さらに、マグネットギア５６と中間マグネットギア５７との間に発生する磁気吸引力によって中間マグネットギア５８は、マグネットギア５６の回転方向と逆方向（図１の時計方向）に回転する。また、中間マグネットギア５８が回転すると、中間マグネットギア５８とマグネットギア５７との間の磁気吸引力によってマグネットギア５８は、中間マグネットギア５７の回転方向と逆方向（図１の反時計方向）、すなわちマグネットギア５６と同方向に回転する。このため、後側の回転軸１３ととともに後側の第２粘着ロール５が前側の第２粘着ロール５と同方向（図１の反時計方向）に回転する。また、マグネットギア５６，５８は同じ形状とされているので、第２粘着ロール５，５は同じ回転速度で回転する。

また、ワーク２の塵埃の除去を行っている際には、第２粘着ロール５，５の駆動力がワーク２を介して第１粘着ロール４，４に伝達され、第１粘着ロール４，４は第２粘着ロール５と同じ回転速度で、該第２粘着ロール５と逆方向（図１の時計方向）に回転する。一方、ワーク２の除塵を行う際は、２本の第２粘着ロール５は第２粘着テープロール７によって下方から押圧されるため、第２粘着ロール５の双方の外周面と第２粘着テープロール７の外周面との間には摩擦力が作用する。したがって、前側の第２粘着ロール５の回転駆動力は第２粘着テープロール７を介して後ろ側の第２粘着ロール７に伝達される。このため、該摩擦力によっても、後側の第２粘着ロール５は前側の第２粘着テープロール７と同じ回転速度で同方向に回転駆動される。さらに、２本の第１粘着ロール４は第１粘着テープロール６によって上方から押圧されるため、第１粘着ロール４の双方の外周面と第１粘着テープロール６の外周面との間には摩擦力が作用する。このため、第２粘着ロール５から第１粘着ロール４に伝達された回転駆動力が第１粘着テープロール６に伝達され、該第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４と逆方向（図１の反時計方向）に回転する。

（本実施の形態の主な効果）
以上のように構成された除塵装置１では、駆動モータ３６の動力を第２粘着ロール５へ伝達する伝達機構３７が、一対をなす駆動側磁気カップリング部材４１と、従動側磁気カップリング部材４２とから構成されている。また、駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とは、従動側着磁部４２ａと駆動側着磁部４１ａとが全範囲で重なるように配置されている。このため、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側に向かって、大きな磁気吸引力を作用させることができ、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側へ効率良く駆動力を伝達することが可能となる。したがって、駆動モータ３６から粘着ロール４，５等を備える従動側に伝達される動力を向上させることができると共に、従動側に伝達される動力の安定化を図ることが可能となる。

また、除塵装置１では、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａは、周方向に向かって１０分割され、当該分割された領域にＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。このように、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａは、多数の同じ略台形状を呈する領域に分割され、各Ｎ極とＳ極の領域が互いに対向するように構成されている。このため、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側に向かって、大きな磁気吸引力を作用させることが可能となる。その結果、駆動側磁気カップリング部材４１側から従動側磁気カップリング部材４２側へ大きな駆動トルクを伝達することができ、従動側磁気カップリング部材４２を駆動側磁気カップリング部材４１に追従させて、該駆動側磁気カップリング部材４１と同じ回転速度で回転駆動させることが可能となる。したがって、駆動モータ３６から粘着ロール４，５等を備える従動側に充分な動力を伝達することができると共に、従動側に伝達される動力の安定化を図ることが可能となる。特に、従来の大径の駆動側磁気板７０と小径の従動側磁気板７１，７２とから伝達機構を構成する場合と比較して、広範囲においてＮ極とＳ極を対向させることができるため、たとえば、従来の場合と比較して、約２１倍の大きさの磁気吸引力を従動側磁気カップリング部材４２と駆動側磁気カップリング部材４１との間に作用させることが可能となる。したがって、駆動モータ３６から粘着ロール４，５等へ大きなトルクを安定した状態で伝達させることが可能になる。その結果、ワークやテープ等の条件に影響を受けることなく、塵埃を除去するために必要なトルクを得ることができる。

また、除塵装置１では、前方に配置される第２粘着ロール５に伝達された駆動力は、マグネットギア５６、中間マグネットギア５８およびマグネットギア５７の間に作用する磁気吸引力を利用して後方に配置される第２粘着ロール５に伝達される。このため、後方の第２粘着ロール５に伝達される動力の安定化を図ることが可能となる。

また、除塵装置１では、ワーク２の除塵を行う際は、２本の第２粘着ロール５は第２粘着テープロール７によって下方から押圧される。このため、第２粘着ロール５，５の双方と第２粘着テープロール７との間には摩擦力が作用する。したがって、前側の第２粘着ロール５の回転駆動力を、第２粘着テープロール７を介して後ろ側の第２粘着ロール７に伝達することが可能となる。このため、後側の第２粘着ロール５に、駆動モータ３６の駆動力を確実に伝達することができる。

また、除塵装置１では、駆動モータ３６に連結される駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とは、所定の隙間を有するように対向配置されている。そのため、本実施の形態の伝達機構３７には、塵埃の発生原因となりうる歯車の噛合部分等が存在しないことになる。その結果、除塵装置１では、塵埃の発生を抑制することができる。

また、除塵装置１では、一対の駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とを互いに対向配置させている。そのため、伝達機構３７の構成が簡素化され、除塵装置１の構成を簡素化を図ることが可能となる。

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の形態に限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。

上述の実施の形態では、マグネットギア５６，５７および中間マグネットギア５８は、滑らかな外周面を有する略円筒状のギアとしたが、マグネットギア５６，５７および中間マグネットギア５８の形状は円筒状に限定されるものではなく、たとえば、歯を有するギアとしても良い。また、マグネットギア５６，５７および中間マグネットギア５８を永久磁石から形成せずに、たとえば、金属等の他の部材から形成するようにしても良い。また、第２粘着ロール間の動力の伝達方法は、ギアを用いた方法に限定されることはなく、ベルト等を用いた他の方法を採用しても良い。

また、上述の実施の形態では、伝達機構３７は、隙間を有して配置される駆動側磁気カップリング部材４１と従動側磁気カップリング部材４２とから構成されているが、伝達機構３７は、非接触で配置されるカップリング部材４１，４２から構成することに限定されるものではなく、たとえば、接触式のカップリングを用いて駆動モータ３６の動力を従動側に伝達するようにしても良い。

また、上述の実施の形態では、ローラ部材９には動力が伝達されないような構成とされているが、ローラ部材９を駆動モータ３６等の動力によって駆動するような構成としても良い。また、ローラ部材９の代わりに、たとえば、マグネット式のギアもしくは歯車等の他の部材を用いることにより、搬送ローラ８に伝達される動力を回転軸２１に伝達させるような構成としても良い。また、回転軸１９，２１間にベルトを張設することによって、搬送ローラ８に伝達される動力を回転軸２１に伝達させるような構成としても良い。

また、上述の実施の形態では、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａは、周方向に向かって１０分割されているが、分割数は１０個に限定されるものではない。また、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａは、駆動側磁気カップリング部材４１および従動側磁気カップリング部材４２の対向面の全面に設けられているが、たとえば、当該対向面における同心円上の一部に設けるようにしても良い。また、駆動側着磁部４１ａと従動側着磁部４２ａとは互いに全範囲において重なるように形成されているが、駆動側着磁部４２ａと従動側着磁部４２ａとが一部分において重なるように形成しても良い。

また、上述の実施の形態では、駆動側磁気カップリング部材４１は、継手４５を介して駆動軸４６に固定されているが、継手４５を介することなく、駆動モータ３６の出力軸３６ａに直接固定するような構成としても良い。また、駆動側磁気カップリング部材４１と出力軸３６ａとの間に２つ以上の継手を介するようにしても良い。

また、上述の実施の形態では、伝達機構３７は前側に配置される第２粘着ロール５を駆動させる構成とされているが、このような構成に限定されるものではなく、たとえば、後側に配置される第２粘着ロール５を駆動させるような構成としても良いし、第１粘着ロール４を駆動させる構成としても良い。また、前後に配置される２本の第２粘着ロール５を個別に駆動させるような構成にしても良い。

また、上述の実施の形態では、除塵装置１は、２本の第１粘着ロール４と２本の第２粘着ロール５とを備えている。この他にもたとえば、除塵装置１は、４本の第１粘着ロール４と４本の第２粘着ロール５を備えていても良い。この場合には、除塵装置１が２個の駆動モータ３６を備え、２対の駆動側磁気カップリング部材４１および従動側磁気カップリング部材４２を配置するようにしても良い。

また、上述の実施の形態では、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａは円環状に形成されているが、駆動側着磁部４１ａおよび従動側着磁部４２ａをそれぞれ円板状に形成しても良い。

また、上述の実施の形態では、除塵装置１では、ワーク２の上下両面の塵埃の除去が行われている。この他にもたとえば、除塵装置１が、第１粘着ロール４または第２粘着ロール５のいずれか一方のみを備え、除塵装置１で、ワーク２の片面のみの塵埃の除去が行われても良い。

１…除塵装置
２…ワーク
４…第１粘着ロール（粘着ロール）
５…第２粘着ロール（粘着ロール）
６…第１粘着テープロール（粘着テープロール）
７…第２粘着テープロール（粘着テープロール）
１１…回転軸
１３…回転軸
１３…回転軸
１８…軸受ブロック
３６…駆動モータ
３７…伝達機構
４１…駆動側磁気カップリング部材（駆動側磁気部材）
４１ａ…駆動側着磁部
４１…従動側磁気カップリング部材（従動側磁気部材）
４１ａ…従動側着磁部
５６…マグネットギア
５７…マグネットギア
５８…中間マグネットギア

Claims (6)

1. ワークを搬送しながら上記ワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、
   上記ワークの表面に当接して上記ワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロールと、上記粘着ロールを回転駆動する駆動モータと、上記駆動モータの動力を上記粘着ロールへ伝達する伝達機構と、を備え、
   上記伝達機構は、上記駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、上記駆動側磁気部材と一対をなすと共に、該駆動側磁気部材と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材とから構成され、
   上記駆動側磁気部材は、上記駆動側磁気部材の回転中心を中心として円板状または円環状に形成される駆動側着磁部を備え、上記従動側磁気部材は、上記従動側磁気部材の回転中心を中心として円板状または円環状に形成される従動側着磁部を備え、
   上記駆動側磁気部材と上記従動側磁気部材とは、上記駆動側磁気部材と上記従動側磁気部材とを対向方向から見たとき、上記駆動側着磁部と上記従動側着磁部との回転中心が一致すると共に該駆動側着磁部と従動側着磁部とが同心円上で重なり合うように配置されていることを特徴する除塵装置。
2. 請求項１記載の除塵装置において、
   前記駆動側着磁部および前記従動着磁部のそれぞれには、永久磁石のＮ極とＳ極とが円周方向に沿って交互に異極配列されており、該永久磁石の磁力を利用して、前記駆動側磁気部材から前記従動側磁気部材へ動力を伝達させることを特徴とする除塵装置。
3. 請求項１または２記載の除塵装置において、
   前記粘着ロールは前記ワークのいずれか一方の表面に当接するように単数もしくは複数設けられており、前記伝達機構による動力の伝達は、１つの粘着ロールに対して行われることを特徴とする除塵装置。
4. 請求項３記載の除塵装置において、
   前記粘着ロールが複数設けられている場合、
   前記動力が伝達された前記粘着ロールからそれ以外の前記粘着ロールへの前記動力の伝達はギアを介して行われることを特徴とする除塵装置。
5. 請求項４記載の除塵装置において、
   前記ギアを円筒状の永久磁石から構成し、互いに隣接する該永久磁石同士の磁気吸引力を利用して前記動力の伝達が行われることを特徴とする除塵装置。
6. 請求項３記載の除塵装置において、
   さらに、前記粘着ロールに付着した前記塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部を備えており、
   上記粘着テープロールは、隣接する２つの前記粘着ロールの双方に外接するように配置され、前記動力が伝達された前記粘着ロールからそれ以外の前記粘着ロールへの前記動力の伝達は上記粘着テープロールを介して行われることを特徴とする除塵装置。

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