JP2007117794A - 基板表面洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム基板表面洗浄装置(1)において、動力であるモーター(M)と各粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)との間において、回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)等に軸着された非接触回転体(A1…)(B1…)(C1…)(D1…)を組み合わせて構成される非接触回転伝達機構(X)により回転を伝達させることで、回転を伝達させる部品の接触がなく、フィルム基板の表面洗浄に際して新たな塵埃、微粒子等を発生させず、フィルム基板を破損させることもなく、しかも作業における静粛性を向上させるので、クリーンルーム内等の閉鎖空間内でのフィルム基板の製造に適するものとなる。
【選択図】図5
Description
その内部に磁石を内装するものであって、回転することで該磁石の発生する磁界が変化して、該回転を順次伝達してなる非接触回転体を、上下左右方向に一定の間隔を持って互いに隣接するように配置しながら、動力、粘着ラバーロール等の回転軸に回転自在に軸着して構成する非接触回転伝達機構を介して、動力と粘着ラバーロールとを、回転方向、速度を調和させつつ回転させてなるものである。
その結果、基板の表面洗浄において、回転の伝達が非接触で行われるため、新たな塵埃、微粒子を発生させることがない。また、非接触回転体の発生する磁界の変化は均一であるため、隣接する該非接触回転体の回転は一定となり、洗浄する基板に対して過剰な負荷を与えることがなく、特に非常に薄いフィルム基板であっても破損を防止できる。そして、回転を伝達する非接触回転体は互いに非接触であるため、回転伝達に際しては騒音を発生することがなく、静粛性を向上させることができる。
基板表面洗浄装置においては、被洗浄物である基板あるいはシートの厚さに応じて粘着ラバーロールが該被洗浄物の表面に対して最適に接触するよう、粘着ラバーロールの回転軸がフレームに対して上下方向に可動自在となっているが、被洗浄物である基板又はシートの厚さの変化によって、非接触回転体を軸着した粘着ラバーロールの回転軸がフレームに対して上下動することとなっても、動力からの回転を粘着ラバーロールの回転軸に一体に軸着される非接触回転体に対して最終的に伝達することとなる非接触回転体が、粘着ラバーロールの回転軸に一体に軸着される非接触回転体に対して左右いずれかの方向に隣接して配置されることによって、粘着ラバーロールの回転軸に一体に軸着される非接触回転体と、それに隣接して最終的に動力を伝達する非接触回転体との軸間距離の変動、更には、両非接触回転体間の距離の変動が最小限に抑制され、その距離の変動による各非接触回転体に内装される磁石の吸引や反発作用への影響を最小限とすることができ、粘着ラバーロールの回転を常に一定に制御することができる。
ここで、被洗浄物であるフィルム基板(6)は、上下の粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)間において、その位置を調整することにより形成される空隙(7)に対してベルト搬送部(8)により搬送されることで、その両面に該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)を当接させつつ通過するものである。その結果、該フィルム基板(6)の表面に付着している塵埃、微粒子等は、まずこの粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)に転写、吸着されるものとなる。そして、該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)に転写、吸着されたフィルム基板(6)の表面に付着していた塵埃、微粒子等は、該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)に上下方向から密着している粘着テープロール(5)(5)へと最終的に転写、吸着されることで、フィルム基板(6)の表面の洗浄は終了する。
そのため、該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)を回転させるため、該回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)に配置される非接触回転伝達機構(X)は、図5乃至図8において示すように、内部に磁石を内装することによって、回転することで該磁石に発生する磁界を変化させて該回転を順次伝達する多数の非接触回転体(A1)乃至(D2)によって構成されている。なお、該非接触回転伝達機構(X)は、該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)の一端だけに配置するものであっても足りるが、該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)の円滑且つより正確な回転のために、該該粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)の両端において配置しても良いものである。
その上で第1に、図5において示すように、粘着ラバーロール(A)の回転軸(RA)に回転を伝達するために、モーター(M)と一体である回転軸(RM)と同軸上に軸着される2個の非接触回転体(M1)(M2)それぞれに対して、粘着ラバーロール(A)の設置方向とは逆方向側斜め上方に、一定の間隔をもって隣接するよう2個の非接触回転体(A1)(A2)が同軸となる回転軸(RA1)に軸着されると共に、前記非接触回転体(A2)から、該粘着ラバーロール(A)の回転軸(RA)に軸着される非接触回転体(A4)へ回転を伝達するように、その間において一定の間隔を持って回転軸(RA3)に軸着される非接触回転体(A3)が互いに隣接するように横方向に配置されている。
第2に、図6において示すように、粘着ラバーロール(B)の回転軸(RB)に回転を伝達するために、モーター(M)と一体である回転軸(RM)と同軸上に軸着される非接触回転体(M3)に対して、該粘着ラバーロール(B)の設置方向側斜め下方に、また同時に、粘着ラバーロール(B)の回転軸(RB)に軸着される非接触回転体(B2)に対しては横方向に、それぞれ一定の間隔を持って隣接するよう、回転軸(RB1)に軸着される非接触回転体(B1)が配置されている。
第3に、図5において示すように、粘着ラバーロール(C)の回転軸(RC)に回転を伝達するために、モーター(M)と一体である回転軸(RM)と同軸上に軸着される非接触回転体(M3)に対して、一定の間隔を持って非接触回転体(C1)が上方に隣接するように配置されると共に、該非接触回転体(C1)と同一の回転軸上に非接触回転体(C2)が軸着されている。そして、該非接触回転体(C2)から、該粘着ラバーロール(C)の回転軸(RC)に軸着される非接触回転体(C4)へ回転を伝達するように、その間において一定の間隔を持って回転軸(RC3)に軸着される非接触回転体(C3)が互いに隣接するように横方向に配置されている。
第4に、図6において示すように、粘着ラバーロール(D)の回転軸(RD)に回転を伝達するために、モーター(M)と一体である回転軸(RM)と同軸上に軸着される非接触回転体(M2)に対して、該粘着ラバーロール(D)の設置方向側斜め下方に、また同時に、粘着ラバーロール(D)の回転軸(RD)に軸着される非接触回転体(D2)に対しては横方向に、それぞれ一定の間隔を持って隣接するよう、回転軸(RD1)に軸着される非接触回転体(D1)が配置されている。
ここで、上記非接触回転伝達機構(X)において、用いられる非接触回転体(A1…)(B…)(C…)(D…)は、いずれも同一寸法、同一形状であるので、モーター(M)からの回転はいずれにおいても等速で伝達されていくものである。又、上側となる2連の粘着ラバーロール(A)(C)並びに下側となる2連の粘着ラバーロール(B)(D)は、各連毎に上下が面一となるように位置調整がなされるとともに、被洗浄物の搬入側となる上下に一対の粘着ラバーロール(A)(B)並びに搬出側となる上下に一対の粘着ラバーロール(C)(D)は、各対毎に左右が面一となるように位置調整されている。
そのため、例えば被洗浄物であるフィルム基板(6)の厚さが何らかの原因により増大することによって、スライダー(SA)(SC)を介した上側の粘着ラバーロール(A)(C)が押し上げられ、その各粘着ラバーロール(A)(C)の回転軸(RA)(RC) に一体に軸着される非接触回転体(A4)(C4)が上方向に移動したとしても、該非接触回転体(A4)(C4)と、その回転体(A4)(C4)に対してモーター(M)からの回転を最終的に伝達することとなる非接触回転体(A3)(C3)との距離(すなわち、非接触回転体(A4)と非接触回転体(A3)間の距離及び非接触回転体(C4)と非接触回転体(C3)間の距離)の変動は、その両者の非接触回転体(A4)(C4)及び(A3)(C3)が上下に隣接して設置されている場合に比して、著しく小さくすることができ、その距離の変動による各非接触回転体(A4)(C4)及び(A3)(C3)間の磁力への影響を最小限度に抑制することで、当該非接触回転体(A4)(C4)及び(A3)(C3)による回転の伝達を常に一定に制御できることとなる。
そして図4に示すように、該フィルム基板押勢ユニット(9)は、一つの支持部材(10)に対して、フィルム基板押勢部(11)とフィルム基板ガイド体(12)から構成されるものであって、 該フィルム基板押勢部(11)は、L字形ステー(11a)上において、互いに当接するように配置される、粘着テープロール(5)に当接する接触動力輪(11b)、フィルム基板(6)を密着しつつ押勢してなる鎮圧輪(11c)及び該接触動力輪(11b)と鎮圧輪(11c)との間で両輪に対して同時に当接する動力伝達輪(11d)からなるものであって、該L字形ステー(11a)は、支持部材(10)の先端とL字形ステー(11a)の角部(11a’)とを一体に貫通する鎮圧輪(11c)の回転軸(11c’)により回転自在に、且つ、支持部材(10)の略中央部とL字形ステー(11a)の横部(11a”)先端に回転自在に保持されたガイド動力輪(12a)の回転軸とに掛け渡されたバネにより弾撥自在に一体に取り付けられている。又、接触動力輪(11b)はL字形のステー(11a)の上部先端に回転自在に保持される。
一方、該フィルム基板ガイド体(12)は、前記動力伝達輪(11d)に当接するとともに、前記L字形ステー(11a)の横部(11a”)先端に回転自在に保持されたガイド動力輪(12a)と、該ガイド動力輪(12a)の回転軸によって前記L字形ステー(11a)と一体となったステー(12b)の先端に回転自在に保持された案内輪(12c)並びに、該ガイド動力輪(12a)と案内輪(12c)との間をガイド動力輪(12a)と案内輪(12c)各々の円周方向に設けられた嵌合溝(12a’)(12c’)内に嵌着される輪状の案内体(12d)よりなるものである。
この結果、各フィルム基板押勢ユニット(9)(9)のフィルム基板ガイド体(12)が粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の前後方向へ突出して、その案内体(12d)が粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の回転速度と同期して同一方向へ回転していることから、ベルト搬送部(8)により搬送されてきたフィルム基板(6)に湾曲が生じていたとしても、粘着ラバーロール体(A’)(B’)の前側に設置されたフィルム基板押勢ユニット(9)(9)の案内体(12d)がフィルム基板(6)を搬送しつつ損傷することなく粘着ラバーロール(A)(B)へ正確に導き、更に、粘着ラバーロール体(A’)(B’)より前側へ突出するように配置され、しかも粘着ラバーロール(A)(B)と同期して同一方向へ回転する前側のフィルム基板押勢ユニット(9)(9)の鎮圧輪(11c)が、フィルム基板(6)が湾曲していても、それを押勢して平面にしつつ粘着ラバーロール体(A’)(B’)へ導き、又、同時に、粘着ラバーロール体(A’)(B’)より後側へ突出するように配置され、しかも粘着ラバーロール(A)(B)と同期して同一方向へ回転する後側のフィルム基板押勢ユニット(9)(9)の鎮圧輪(11c)が、フィルム基板(6)を粘着ラバーロール体(A’)(B’)から剥離する方向へ押勢することにより、粘着ラバーロール(A)(B)によってフィルム基板(6)の表面を洗浄しても、該フィルム基板(6)が粘着ラバーロール(A)(B)に巻き付くことが防止される。しかも、後側の粘着ラバーロール(C)(D)より排出されたフィルム基板(6)は、後側の粘着ラバーロール(C)(D)と同期して同一方向へ回転する後側のフィルム基板押勢ユニット(9)(9)の案内体(12d)により、何等の損傷を受けることなく次工程へ搬送するベルト搬送部(8)へ導かれるものとなる。
まず、動力であるモーター(M)に対して通電を行うことで、上述した非接触回転伝達機構(X)により各々回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)に軸着された各粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)がその回転軸(RA)(RB)(RC)(RD)と共に回転を始めるものである。
第1に、粘着ラバーロール(A)の回転軸(RA)への伝達は次のように行われる。即ち、モーター(M)の回転を、モーター方向から見てモーター(M)の回転軸(RM)に対して右回りに回転すると、モーター(M)の回転軸(RM)に軸着される非接触回転体(M1)及び(M2)から、斜め上方に向けて一定に間隔を持って隣接するように配置される非接触回転体(A1)及び(A2)に対して、その回転方向を反転〔モーター(M)方向から見て左回りの回転となる〕させながら回転が伝達される。そして、該非接触回転体(A2)に一定の間隔を持って隣接するように配置される非接触回転体(A3)及び、該非接触回転体(A3)に対して一定に間隔を持って隣接するように配置される粘着ラバーロール(A)の回転軸(RA)の軸着された非接触回転体(A4)においても、同様にそれぞれ回転方向の反転を行いながら、モーター(M)の回転が伝達されて行く。その結果、粘着ラバーロール(A)の回転軸(RA)は、上記モーター(M)の回転軸(RA)の回転方向とは反転した方向に回転することとなる(図9参照)。
第2に、粘着ラバーロール(B)の回転軸(RB)への伝達は次のように行われる。即ち、上記の場合と同様に、モーター(M)の回転軸(RM)が右回転すると、該モーター(M)の回転軸(RM)と同軸上に軸着される非接触回転体(M3)から、その回転を反転しつつ、一定の間隔を持って隣接するように配置される非接触回転体(B1)へ回転が伝達される。そして、再度その回転を反転、即ちモーター(M)の回転軸(RM)と同方向に回転させるものとして、粘着ラバーロール(B)の回転軸(RB)と同軸上に軸着され、一定の間隔を持って隣接するように配置される非接触回転体(B2)へ回転が伝達されて行く。その結果、粘着ラバーロール(B)の回転軸(RB)は、上記モーターの回転軸(RM)の回転方向と同方向に回転することとなる(図10参照)。
第3に、粘着ラバーロール(C)の回転軸(RC)への伝達は、次にように行われる。即ち、上記の場合と同様に、モーター(M)の回転軸(RM)が右回転すると、該モーター(M)の回転軸(RM)と同軸上に軸着される非接触回転体(M3)から、一定の間隔をもって隣接するように配置される非接触回転体(C1)に対してその回転方向を反転させつつ回転が伝達されると共に、該非接触回転体(C1)と同軸上に軸着される非接触回転体(C2)から、同様に一定の間隔をもって隣接するように配置される非接触回転体(C3)に対してその回転方向を再度反転させつつ回転が伝達される。そして、最終的に粘着ラバーロール(C)の回転軸(RC)と同軸上に軸着され、該非接触回転体(C3)に対して一定の間隔をもって隣接するように配置される非接触回転体(C4)へとその回転方向を反転させながら回転が伝達されて行く。その結果、粘着ラバーロール(C)の回転軸(RC)は、上記モーターの回転軸(RM)の回転方向とは反転した方向に回転することとなる。
第4に、粘着ラバーロール(D)の回転軸(RD)への伝達は、次のように行われる。即ち、上記の場合と同様に、モーター(M)の回転軸(RM)が右回転すると、モーター(M)の回転軸(RM)に軸着される非接触回転体(M2)から、その回転方向を反転させながら、一定の間隔を持って隣接するように配置される非接触回転体(D1)を経て、同様に該非接触回転体(D1)に一定の間隔を持って配置され、粘着ラバーロール(D)の回転軸(RD)と同軸上に軸着される非接触回転体(D2)へと回転が伝達されて行く。その結果、粘着ラバーロール(D)の回転軸(RD)は、上記モーター(M)の回転軸(RM)の回転方向と同方向に回転することとなる。
以上より、上下方向に互いに対向して配置されることとなる粘着ラバーロール(A)(B)及び(C)(D)における回転方向は、互いに逆方向となるので、該粘着ラバーロール(A)(B)及び(C)(D)間の空隙(7)を通過することとなるフィルム基板(6)の導入・送出を円滑に行うことができるものとなる。
このとき、各粘着ラバーロール(A)(B)(C)(D)の回転軸に対して、互いに接触することがない非接触回転体(A1…)(B1…)(C1…)(D…)によりモーター(M)の回転が伝達されるので、フィルム基板(6)の表面洗浄に当たって新たな塵埃、微粒子の発生が防止できると共に、回転の伝達を行う非接触回転体(A1…)(B1…)(C1…)(D…)の回転が磁界の変化を利用して行うため円滑且つ正確となり、洗浄物であるフィルム基板(6)に対して過剰な負荷を与えることもなく、しかも静粛性を十分に確保できるものである。
そして、該フィルム基板押勢ユニット(9)(9)を構成するフィルム基板押勢部(11)の鎮圧輪(11c)間を通過したフィルム基板(6)は、該鎮圧輪(11c)によって押勢されて平面化しつつ、そのまま前側の粘着ラバーロール(A)(B)の空隙(7)へと導かれるものとなる。その場合、前側の粘着ラバーロール(A)(B)によって一旦表面洗浄を終了したフィルム基板(6)は、この粘着ラバーロール(A)(B)の粘着ラバーロール体(A’)(B’)と径方向にその一部が重複するように、後側のフィルム基板押勢ユニット(9)(9)を構成するフィルム基板押勢部(11)の鎮圧輪(11c)が配置されているので、該鎮圧輪(11c)が、フィルム基板(6)が粘着ラバーロール体(A’)(B’)に沿って巻回しようとするのを押勢することにより防止して、フィルム基板(6)を粘着ラバーロール体(A’)(B’)から引き剥がすので、フィルム基板(6)が元のように変形してしまうことを積極的に抑制することができるものである。
そして、前側の粘着ラバーロール(A)(B)によってその表面を除塵・洗浄されたフィルム基板(6)が、粘着ラバーロール(A)(B)から排出された際に再び湾曲することがあっても、その前側の粘着ラバーロール(A)(B)の分割溝(A”)(B”)に設置された後側のフィルム基板押勢ユニット(9)(9)を構成するフィルム基板ガイド体(12)の回転している輪状の案内体(12d)に当接することで、その排出並びに後側の粘着ラバーロール(C)(D)への搬送が円滑になされることとなる。
このように、フィルム基板(6)は前側の粘着ラバーロール(A)(B)によって、その分割溝(A”)(B”)部分を除いて除塵されるので、引き続きその分割溝(C”)(D”)部分を前側の粘着ラバーロール(A)(B)とはずらせた後側の粘着ラバーロール(C)(D)により同様の作業を繰り返し、最終的に後側の粘着ラバーロール(C)(D)から後側へ排出されて、該表面洗浄装置(1)の後側のベルト搬送部(8)により次工程の装置へと搬送されることとなる。
2 フレーム
3 操作パネル
4 アダプター
5 粘着テープロール
6 フィルム基板
7 空隙
8 ベルト搬送部
9 フィルム基板押勢ユニット
10 支持部材
11 フィルム基板押勢部
11a L字形ステー
11a’ 角部
11a” 横部
11b 接触動力輪
11c 鎮圧輪
11c’ 回転軸
11c” 空隙
11d 動力伝達輪
12 フィルム基板ガイド体
12a ガイド動力輪
12a’ 嵌合溝
12b ステー
12c 案内輪
12c’ 嵌合溝
12d 案内体
X 非接触回転伝達機構
A、B、C、D 粘着ラバーロール
A’、B’、C’、D’ 粘着ラバーロール体
A”、B”、C”、D” 分割溝
M モーター
RM (モーターの)回転軸
A1…、B1…、C1…、D1… 非接触回転体
RA、RB、RC、RD (粘着ラバーロールの)回転軸
RA1…、RB1…、RC1…、RD1… (非接触回転体の)回転軸
SA、SC スライダー
Claims (2)
- フレームにおいて、動力により駆動し回転自在に保持される粘着ラバーロール、及びこの粘着ラバーロールの表面に対して密着して回転自在に保持される粘着テープロールから構成され、基板を、その両面のうち少なくとも一面に対して粘着ラバーロールを当接させつつ搬送して通過させることによって、該基板の面に付着した塵埃、微粒子等を粘着ラバーロールに転写、除去させ、更にこの粘着ラバーロールに転写、除去された塵埃、微粒子等を最終的に粘着テープロールに転写、除去することで除塵を行う基板表面洗浄装置において、
その内部に磁石を内装するものであって、回転することで該磁石の発生する磁界が変化して、該回転を順次伝達してなる非接触回転体を、上下左右方向に一定の間隔を持って互いに隣接するように配置しながら、動力、粘着ラバーロール等の回転軸に回転自在に軸着して構成する非接触回転伝達機構によって、動力の発生する回転を順次伝達して該粘着ラバーロールを回転させてなる基板表面洗浄装置。 - 上記粘着ラバーロールの回転軸に一体に軸着される非接触回転体に対して、該非接触回転体に隣接するように配置され、動力からの回転を最終的に伝達することとなる非接触回転体が、前記非接触回転体の左右いずれかの方向に隣接して配置されてなる請求項1記載の基板表面洗浄装置。
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Cited By (1)
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JPH1155932A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非接触式動力伝達機構 |
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2005
- 2005-10-25 JP JP2005309582A patent/JP2007117794A/ja active Pending
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