JP4611900B2 - ダスト除去装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス基板等のワークに付着したダストを除去するダスト除去装置に関するものである。

従来、搬送されるワークに回転ブラシを接触させて、ワークに付着したダストを掻き出すように除去するダスト除去装置が知られている（例えば特許文献１及び２参照。）。特許文献２に記載のダスト除去装置は、回転専用のモータで回転ブラシをその軸心回りに回転させながら、さらに進退専用のモータで回転ブラシをその軸方向に進退させることで、ダスト除去効果を高めている。回転ブラシを進退させる機構としては、往復スライダクランク機構が用いられている。
特開２００３−３３４４９９号公報 特開２００５−２１１７２２号公報（第３図）

しかし、従来のダスト除去装置は、往復スライダクランク機構の設置スペースが広く、小型化が困難であった。また、回転ブラシの回転及び進退のために二つの専用のモータを設けており、装置全体の大型化及びコストアップとなっていた。

本発明は、ダスト除去を効果的に行えることはもちろんのこと、装置全体を小型化及びコストダウンすることが可能なダスト除去装置を提供することをその目的としている。

本発明のダスト除去装置は、ワークに付着したダストを除去する回転ブラシと、回転ブラシの軸方向に交差する方向にワークを搬送するワーク搬送手段と、ワーク搬送手段に同期して、回転ブラシをその軸心を中心に回転させるブラシ回転手段と、ワーク搬送手段に同期して、回転ブラシをその軸方向に進退させるブラシ進退手段と、を備えたダスト除去装置において、ブラシ回転手段及びブラシ進退手段の共通の駆動源となるモータを備え、ブラシ回転手段は、モータの動力を回転ブラシの回転運動として回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有し、ブラシ進退手段は、モータの動力を回転ブラシの進退運動に変換して回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有するものである。

この構成によれば、一つのモータで回転ブラシの回転用と進退用とを兼ねているので、それぞれ専用のモータを設ける場合に比べて、装置全体の小型化及びコストダウンを図ることができる。

ここで、ワークの種類としては、例えば、印刷配線板、液晶ガラス基板、フレキシブル基板、セラミック基板、プラスチック板、液晶表示パネル、真空トレー、レンズ、導光板、フィルム、および紙等が挙げられる。ワークの外形形状は、矩形形状であってもよいし、ウエハのような後述する円盤形状であってもよい。

好ましくは、ブラシ進退手段の動力伝達手段はカム機構を有し、カム機構は、カムフォロアと、カムフォロアが案内されるカム部を有すると共に、モータの動力により回転する円筒カムと、を備える。円筒カムは、回転ブラシと一体的に同軸で回転し且つ進退するように、回転ブラシに連結される。カムフォロアは、モータが回転したときに円筒カムの回転を許容しながらその回転を円筒カムの進退運動に変換するように、不動の位置に固定される。

この構成によれば、モータが回転すると、回転ブラシ及び円筒カムが回転しつつ、カムフォロアによって円筒カムが回転ブラシと一体的に進退する。このように、円筒カムを用いたカム機構という簡易な機構により、単一のモータで回転ブラシの回転と進退とを行うことができる。なお、カム部は、円筒カムの周面に形成された溝であってもよいし、円筒カムの周面に取り付けられた突起であってもよい。

より好ましくは、ダスト除去装置は、カムフォロアを不動の位置に固定するベースと、円筒カムと回転ブラシとを連結してこれらと一体的に回転し且つ進退する回転軸と、を更に備える。回転軸は、円筒カムの内部に挿通されてこれに固定され、且つ、円筒カムの内部から軸方向外側に出た部位がベースに回転可能に且つ進退可能に支持される。

この構成によれば、カムフォロアを固定するベースを有効に利用して、回転軸を回転可能に且つ進退可能に支持できると共に、この支持された回転軸を介して円筒カムを回転可能に支持した状態にできる。

この場合、回転軸は、互いに同軸に配設された二つの回転軸からなり、二つの回転軸は、円筒カムの内部に挿通されてこれに固定されていることが、好ましい。

この構成によれば、回転軸を二つの回転軸とすることで、回転軸、円筒カム及び回転ブラシの組立て易さを高め得る。また、二つの回転軸を円筒カムの内部に固定しているため、円筒カムを有効に利用して、二つの回転軸を連結するカップリングとして機能させることができる。

本発明に到達した別の観点からすれば、本発明のダスト除去装置は、搬送されるワークのみならず、回転されるワークにも適用することができる。

すなわち、ダスト除去装置は、円盤状のワークの表面に付着したダストを除去する回転ブラシと、ワークをその軸心を中心に回転させるワーク回転手段と、ワーク回転手段に同期して、回転ブラシをその軸心を中心に回転させるブラシ回転手段と、ワーク回転手段に同期して、ワークの径方向に回転ブラシを進退させるブラシ進退手段と、ブラシ回転手段及びブラシ進退手段の共通の駆動源となるモータと、を備え、ブラシ回転手段は、モータの動力を回転ブラシの回転運動として回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有し、ブラシ進退手段は、モータの動力を回転ブラシの進退運動に変換して回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有するものであってもよい。

なお、円盤状のワークとしては、例えばウエハや、ＣＤ（Compact Disk）等のディスク媒体等が挙げられる。

本発明のダスト除去装置によれば、ダスト除去を効果的に行え、装置全体を小型化及びコストダウンすることができる。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態に係るダスト除去装置について説明する。このダスト除去装置は、各種の基板をワークとして、ワークの表面（上面）に付着したゴミ、塵、埃等の塵埃をブラシにより除去するものである。以下では、この種の塵埃の総称を「ダスト」として説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、ダスト除去装置の要部を示す正面図であり、図２は、ダスト除去装置の要部を示す平面図である。
ダスト除去装置１は、図示省略した架台上の下ベース２を有し、下ベース２の上側には、ワークＷ（基板）に対しダスト除去動作を行うワーク処理エリアが構成されている。

ワークＷの種類としては、例えば、印刷配線板、液晶ガラス基板、フレキシブル基板、セラミック基板、プラスチック板、液晶表示パネル、真空トレー、レンズ、導光板、フィルム、および紙等が挙げられる。ここでは、全体として外形が矩形のワークＷが用いられている。

下ベース２には、左右に離間して配置された第１支持スタンド３と第２支持スタンド４とが配設されている。第１支持スタンド３と第２支持スタンド４との間の上部には、これらに架け渡されるように上ベース５が位置している。上ベース５は、左右方向に延在する本体ベース５１を有する。本体ベース５１の下面には、右垂直ベース５２、中央垂直ベース５３及び左垂直ベース５４が垂下している。右垂直ベース５２及び左垂直ベース５４は、第１支持スタンド３及び第２支持スタンド４に対して上下方向にスライド可動に構成されている。

第１支持スタンド３及び第２支持スタンド４は、それぞれ、上端部に取り付けられた高さ調整機構６、６を有している。高さ調整機構６，６は、右垂直ベース５２及び左垂直ベース５４を介して、上ベース５を上下方向に移動させる。これにより、上ベース５に組み付けられた各種部品（例えば後述する回転ブラシ１１）は、ワークＷの厚みに対応して、上下方向の位置を調整できるようになっている。

ワーク処理エリアには、ワークＷに付着したダストを除去する回転ブラシ１１と、ワークＷを一方向に搬送するワーク搬送手段１２と、ワーク搬送手段１２に同期して、回転ブラシ１１をその軸心を中心に回転させるブラシ回転手段１３と、ワーク搬送手段１２に同期して、回転ブラシ１１をその軸方向に進退させるブラシ進退手段１４と、が配設されている。ブラシ回転手段１３及びブラシ進退手段１４は、共通の駆動源となるモータ１５を備えている。

回転ブラシ１１の軸方向、すなわち回転ブラシ１１の進退方向は、ワークＷの搬送方向と直交している。ただし、これら両方向は９０度以外の角度で交差してもよい。

ダスト除去装置１によるダスト除去動作は、搬送されるワークＷの一部に回転ブラシ１１を上側から転動させつつ、この回転ブラシ１１を軸方向に進退させることで行われる。これによって、ワークＷは、その表面全域に亘ってダストが除去される。なお、ダスト除去動作中は、図示省略したブローによりワークＷにエアーが吹き付けられ、吹き付けられたエアーがダストと共にワーク処理エリア外に吸引排出されるようになっている。

回転ブラシ１１は、いわゆる導電ブラシからなり、略円柱からなるブラシ本体の周面に、例えば数１０μｍ程度の直径を有する導電性繊維が植毛されている。回転ブラシ１１は、その植毛部分がワークＷの表面に転接して、ワークＷの表面に付着したダストを掻き出すように除去すると共にワークＷの表面の静電気を除電する。

回転ブラシ１１は、上記の高さ調整機構６，６により高さ（ギャップ）を調整され、ワークＷの異なる厚みに対応可能に構成されている。また、回転ブラシ１１は、幅の広いワークＷに対応できるように左右方向に長く延在している。そして、回転ブラシ１１の突起状の右端部４１には、ブラシ回転手段１３の回転動力が入力され、回転ブラシ１１突起状の左端部４２には、ブラシ進退手段１４の往復運動の動力が入力される。右端部４１及び左端部４２は、回転ブラシ１１の軸心に位置している。

ワーク搬送手段１２は、搬送されるワークＷの両側面をガイドする左右一対のガイド３４，３４を有している。ワーク搬送手段１２は、図示省略したが、ワークＷの両端下部を支持しながらこれを搬送する一対のベルトコンベアと、各ベルトコンベアを駆動する駆動モータと、を有している。一対のベルトコンベアは、ワークＷを上方の回転ブラシ１１に臨ませ、ワークＷを回転ブラシ１１に接触させながらここを通過させるように搬送する。

ワーク搬送手段１２は、下ベース２上に設置した前後一対のレール３６，３６等からなるワーク幅調整機構を有している。ワーク幅調整機構により、一対のベルトコンベアは、幅の異なる各種のワークＷを一対のガイド３４，３４で案内しながら搬送できる。

モータ１５は、整流子・ブラシ付きのＤＣモータやステッピングモータで構成されている。モータ１５の出力軸６１は、回転ブラシ１１と同軸となっており、後述する動力伝達手段７０を介して回転ブラシ１１の軸心に連結されている。モータ１５は、ダスト除去動作の際に、ワーク搬送手段１２の駆動モータに同期して回転する。
モータ１５は、ブラケット６３に取り付けられ、ブラケット６３は、第１支持スタンド３を貫通するようにして上ベース５の右垂直ベース５２に固定されている。このため、上ベース５がギャップ調整のために上下動した場合には、モータ１５及び回転ブラシ１１が一体に上下動するようになっている。

図３は、図１に示すダスト除去装置１の主要部を拡大して模式的に示す断面図である。
ブラシ回転手段１３は、モータ６１の動力を回転ブラシ１１の回転運動として回転ブラシ１１に伝達する動力伝達手段７０を備えている。
ブラシ進退手段１４は、モータ６１の動力を回転ブラシ１１の進退運動に変換して回転ブラシ１１に伝達する動力伝達手段８０を備えている。

動力伝達手段７０は、モータ１５の出力軸６１に連結された主軸７２と、主軸７２と一体に形成されたスプラインボス７３と、スプラインボス７３に嵌合するスプライン軸７４と、で構成されている。スプラインボス７３は、ベアリング７６を介して上ベース５の右垂直ベース５２に回転可能に支持されている。スプライン軸７４は、カップリグ７７を介して回転ブラシ１１の右端部４１に連結されている。

スプラインボス７３及びスプライン軸７４からなる角形スプラインは、モータ１５の回転により一体となって回転する。この角形スプラインにより、モータ１５の回転力が伝達された回転ブラシ１１は回転すると共に、その回転中においてブラシ進退手段１４による回転ブラシ１１の軸方向の進退が許容される。なおもちろん、角形スプラインに代えてボールスプラインを用いてもよい。

動力伝達手段８０は、円筒カム８１及びカムフォロア８２を備えたカム機構を有する。円筒カム８１の周面には、カムフォロア８２が案内されるカム溝（カム部）８３が形成されている。なお、カム溝８３に代えて、円筒カム８１の周面にカムフォロア８２を案内する突起を設けてもよい。

円筒カム８１は、回転ブラシ１１と同軸に配設されている。円筒カム８１の軸心の内部には、回転軸９１が挿通されている。回転軸９１は、互いに同軸に配設された二つの回転軸９１ａ、９１ｂからなり、二つの回転軸９１ａ，９１ｂは、円筒カム８１の内部でこれに固定されている。すなわち、円筒カム８１は、カップリングとしても機能し、二つの回転軸９１ａ，９１ｂを連結している。

回転軸９１ａは、一端が円筒カム８１の内部に右側から挿入されてこれに固定され、他端がカップリング９２を介して回転ブラシ１１の左端部４２に連結されている。また、円筒カム８１の内部から軸方向外側に出た回転軸９１ａの中間部は、ブッシュ９３を介して中央垂直ベース５３に回転可能に且つ進退可能に支持されている。

回転軸９１ｂは、一端が円筒カム８１の内部に左側から挿入されてこれに固定されている。また、回転軸９１ｂは、円筒カム８１の内部から軸方向外側に出た他端側の部位がブッシュ９４を介して左垂直ベース５４に回転可能に且つ進退可能に支持されている。なお、ブッシュ９４に挿通された回転軸９１ｂの他端は、第２支持スタンド４を貫通可能に構成されている。

このような構成により、回転軸９１（回転軸９１ａ，９１ｂ）は、円筒カム８１と回転ブラシ１１とを連結し、これらと一体的に回転し且つ進退するようになっている。本実施形態のように、回転軸９１を二つの回転軸９１ａ，９１ｂで構成することで、回転軸９１、円筒カム８１及び回転ブラシ１１が組立て易くなる。

具体的には、円筒カム８１を中央垂直ベース５３と左垂直ベース５４との間に配置し、これら垂直ベース５３、５４にブッシュ９３、９４を介して回転軸９１を支持させる際の作業性を高めることができる。また、回転ブラシ１１と回転軸９１とをカップリング９２で連結する際の作業性を高めることができる。なお、中央垂直ベース５３及び左垂直ベース５４は、ブッシュ９３、９４を保持するためのブッシュホルダとして機能し、本体ベース５１と一体又は別体で構成される。

カムフォロア８２は、ピン状からなる。カムフォロア８２は、本体ベース５１の下面に固定された取付け具１０１に下向きに取り付けられている。これにより、カムフォロア８２は、モータ１５が回転したとしても動かないように、不動の位置に固定されている。モータ１５が回転したときには、カムフォロア８２は、カム溝８３に案内されて円筒カム８１の回転を許容しながらその回転を円筒カム８１の進退運動に変換する。

つまり、モータ１５が回転すると、固定位置にあるカムフォロア８２によって、円筒カム８１及び回転ブラシ１１が一体的に軸方向に進退しながら回転する。そして、本実施形態のカム溝８３は、円筒カム８１の回転数と進退方向の振幅数（往復回数）とが同じになるように設定されており、円筒カム８１及び回転ブラシ１１は、一回転するごとに進退方向の往復運動を一回行うようになっている。

ここで、円筒カム８１及びカムフォロア８２の材質としては、硬質の樹脂や各種の金属を適用することができる。例えば、円筒カム８１及びカムフォロア８２の両方をナイロンなどのプラスチックで形成してもよく、一方をステンレスなどの金属で形成してもよい。材質にプラスチックを用いれば、装置の作動音を低下することができる。もっとも、カム溝８３の磨耗の抑制という観点からすれば、円筒カム８１及びカムフォロア８２の両方をステンレスとすることが好ましい。

図４は、回転ブラシ１１の進退運動を時間的に示す図であり、図３と同様の模式断面図である。
図４（ａ）に示す初期状態において、モータ１５が１／４回転すると、回転ブラシ１１及び円筒カム８１は、回転しながら左方向に進出し、図４（ｂ）に示す位置へと移動する。モータ１５がさらに１／４回転すると、回転ブラシ１１及び円筒カム８１は、回転しながら左方向に最大限進出し、図４（ｃ）に示す位置へと移動する。そして、モータ１５がさらに１／２回転すると、回転ブラシ１１及び円筒カム８１は、回転しながら右方向に進出を開始して図４（ｄ）に示す位置を経た後、右方向に最大限進出して図４（ａ）に示す位置に戻る。

以上のように、本実施形態のダスト除去装置１によれば、搬送されていくワークＷに対し、その表面に回転ブラシ１１を転接させながら且つ回転ブラシ１１をその軸方向に進退させているため、ワークＷに付着したダストを好適に除去できる。特に、回転ブラシ１１の進退数（往復回数）をその回転数と同じにすることができ、ダスト除去効果を高め得る。

また、一つのモータ１５で回転ブラシ１１の回転と進退とを行うことができるので、回転用及び進退用に専用モータを設ける場合に比べて、モータ数を削減でき、コストダウンできる。さらに、円筒カム８１を含むカム機構を採用しているため、回転ブラシ１１を進退させるのに簡易な機構とでき、設置スペースの低減及び装置全体の小型化を図ることができる。

なお、本実施形態のワークＷを搬送する構成に代えて、ワークＷを所定位置に不動状態でセットしておき、これに対し回転ブラシ１１を進退させながら且つその進退方向に直交する方向に回転ブラシ１１を移動させるようにしてもよい。この場合には、例えば、ブラシ回転手段１３及びブラシ進退手段１４を一体に支持する移動ベースを設け、ブラシ回転手段１３及びブラシ進退手段１４に同期して、この移動ベースをボールねじ駆動等により一方向に（上記したワークＷの搬送方向に）移動させるようにすればよい。

＜参考例＞
次に、図５を参照して、参考例に係る本発明のダスト除去装置１について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。第１実施形態との主な相違点は、ブラシ進退手段１４の動力伝達手段８０の構成を変更したことである。なお、回転ブラシ１１、ワーク搬送手段１２、ブラシ回転手段１３及びモータ１５は第１実施形態と同じであり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

動力伝達手段８０は、円筒カム１２１及びカムフォロア１２２を備えたカム機構を有する。円筒カム１２１の周面には、カムフォロア１２２が案内されるカム溝（カム部）１２３が形成されている。なお、カム溝１２３に代えて、円筒カム１２１の周面にカムフォロア１２２を案内する突起を設けてもよい。

円筒カム１２１は、その軸方向が回転ブラシ１１の軸方向と平行に設けられている。円筒カム１２１の軸心の内部には、支持軸１３０が挿通されている。支持軸１３０は、中央鉛直ベース５３及び左鉛直ベース５４の下側部分に回転可能に保持されている。支持軸１３０の一端には、支持軸１３０を回転するための動力を入力するギア１４０が固着されている。

モータ１５の出力軸６１には、ドライブギア１４１が固着されている。ドライブギア１４１は、例えば三つのギア１４２，１４３，１４４からなるギア列、伝達軸１４５及びギア１４６を介して、このギア１４６に噛合するギア１４０に動力を伝達する。このような構成により、円筒カム１２１は、モータ１５の動力によって回転するようになっている。

カムフォロア１２２は、取付け具１０１を介して進退軸１５０に取り付けられている。進退軸１５０は、回転ブラシ１１と同軸に位置し、左右方向に延在している。進退軸１５０の一端側の部位は、ブッシュ９４を介して左垂直ベース５４に進退可能に支持されている。進退軸１５０の他端は、継ぎ手部１６０に連結されている。

継ぎ手部１６０は、進退軸１５０と回転軸１７０とを同軸に連結するものであり、回転軸１７０から進退軸１５０への回転力の伝達を遮断するように構成されている。すなわち、回転軸１７０が回転したとしても、進退軸１５０は回転しないようになっている。一方、進退軸１５０が左右方向に進退した場合には、回転軸１７０は、継ぎ手部１６０及び進退軸１５０と一体的に左右方向に進退するようになっている。

回転軸１７０は、一端が継ぎ手部１６０に連結され、他端がカップリング９２に連結されている。カップリング９２には、回転ブラシ１１の左端部４２が連結されている。また、回転軸１７０の中間部分は、ブッシュ９３を介して中央垂直ベース５３に回転可能に且つ進退可能に支持されている。

以上の構成により、モータ１５が回転したときには、回転ブラシ１１、回転軸１７０及び円筒カム１２１が回転する。このとき、カムフォロア１２２がカム溝１２３に案内されることにより、カムフォロア１２２及び進退軸１５０が左右方向に進退する。この進退運動が、継ぎ手部１６０及び回転軸１７０等を介して回転ブラシ１１に伝達される。これにより、モータ１５が回転したときには、回転ブラシ１１は、回転しながら、カムフォロア１２２と一体的に進退する。

したがって、参考例のダスト除去装置１によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。特に、参考例によれば、各種のギア（１４０，１４１，１４２，１４３，１４４，１４６）のギア比の設定により、回転ブラシ１１の回転数と進退方向の振幅数（往復回数）とを可変することができ、両者を違う回数にも設定できる。なお、円筒カム１２１及びカムフォロア１２２の材質は、第１実施形態と同様のものを適用することができる。

＜第２実施形態＞
次に、図６を参照して、第２実施形態に係る本発明のダスト除去装置１について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。本実施形態に用いられるワークＷは、その外形形状が円盤状のものであり、例えば、シリコン半導体ウエハやＣＤ（Compact Disk）等のディスク媒体である。そのため、第２実施形態では、第１実施形態のワーク搬送手段１２に代えて、ワークＷをその軸心１７３回りに回転させるワーク回転手段１７１を備えている。なお、ワークＷ及びワーク回転手段１７１以外の他の構成は、第１実施形態と同じであり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

ワーク回転手段１７１は、いずれも図示省略したが、ワークＷの中心軸１７３と同軸上に配置された回転シャフトと、回転シャフトの先端部に取り付けられた回転テーブルとを有し、回転テーブル上にワークＷが載置可能に構成されている。そして、ワーク回転手段１７１の上方に回転ブラシ１１が配置され、回転ブラシ１１に上記したブラシ回転手段１３及びブラシ進退手段１４が接続されている。また、ブラシ回転手段１３及びブラシ進退手段１４が共通の駆動源となるモータ１５を備えている。

本実施形態のダスト除去装置１によるダスト除去動作では、ワーク回転手段１７１によるワークＷの回転に同期してモータ１５が回転する。これにより、回転中のワークＷに対し、回転ブラシ１１が軸心を中心に回転しながら且つその軸方向に進退し、その際、回転ブラシ１１がワークＷに接触してワークＷの表面に付着したダストを除去する。したがって、本実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

なお、上記各実施形態では、回転ブラシ１１をワークＷの表面に直接接触させるようにしているが、回転ブラシ１１がワークＷの表面に対し非接触の状態、すなわち回転ブラシ１１がワークＷの表面に僅かな間隙を存して近接する場合であっても、回転ブラシ１１によりワークＷの表面のダストを除去することができる。

実施形態１に係るダスト除去装置の正面図である。 図１に示すダスト除去装置の平面図である。 図１に示すダスト除去装置の主要部を拡大して模式的に示す断面図である。 図３と同様の模式断面図であり、それぞれ、（ａ）初期状態の図、（ｂ）初期状態からモータが１／４回転したときの図、（ｃ）初期状態からモータが２／４回転したときの図、（ｄ）初期状態からモータが３／４回転したときの図、である。 参考例に係るダスト除去装置の主要部を拡大して模式的に示す断面図である。 実施形態２に係るダスト除去装置の主要部を拡大して模式的に示す断面図である。

符号の説明

１・・・ダスト除去装置、５・・・ベース、１１・・・回転ブラシ、１２・・・ワーク搬送手段、１３・・・ブラシ回転手段、１４・・・ブラシ進退手段、１５・・・モータ、７０・・・動力伝達手段、８０・・・動力伝達手段、８１・・・円筒カム、８２・・・カムフォロア、８３・・・カム溝、９１・・・回転軸、９１ａ，９１ｂ・・・回転軸、Ｗ・・・ワーク

Claims (3)

1. ワークに付着したダストを除去する回転ブラシと、
   前記回転ブラシの軸方向に交差する方向に前記ワークを搬送するワーク搬送手段と、
   前記ワーク搬送手段に同期して、前記回転ブラシをその軸心を中心に回転させるブラシ回転手段と、
   前記ワーク搬送手段に同期して、前記回転ブラシをその軸方向に進退させるブラシ進退手段と、
   を備えたダスト除去装置において、
   前記ブラシ回転手段及び前記ブラシ進退手段の共通の駆動源となるモータを備え、
   前記ブラシ回転手段は、前記モータの動力を前記回転ブラシの回転運動として当該回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有し、
   前記ブラシ進退手段は、前記モータの動力を前記回転ブラシの進退運動に変換して当該回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有し、
   前記ブラシ進退手段の動力伝達手段は、カム機構を有し、
   前記カム機構は、
   カムフォロアと、
   前記カムフォロアが案内されるカム部を有すると共に、前記モータの動力により回転する円筒カムと、を備え、
   前記円筒カムは、前記回転ブラシと一体的に同軸で回転し且つ進退するように、当該回転ブラシに連結され、
   前記カムフォロアは、前記モータが回転したときに前記円筒カムの回転を許容しながらその回転を当該円筒カムの進退運動に変換するように、不動の位置に固定されている、ダスト除去装置。
2. 前記カムフォロアを前記不動の位置に固定するベースと、
   前記円筒カムと前記回転ブラシとを連結し、これらと一体的に回転し且つ進退する回転軸と、を更に備え、
   前記回転軸は、前記円筒カムの内部に挿通されてこれに固定され、且つ、当該円筒カムの内部から軸方向外側に出た部位が前記ベースに回転可能に且つ進退可能に支持されている、請求項１に記載のダスト除去装置。
3. 前記回転軸は、互いに同軸に配設された二つの回転軸からなり、
   前記二つの回転軸は、前記円筒カムの内部に挿通されてこれに固定されている、請求項２に記載のダスト除去装置。

Images