JP2005085828A

JP2005085828A - 研磨装置における位置決め機構付きウェーハ搬送装置

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Publication number: JP2005085828A
Application number: JP2003313333A
Authority: JP
Inventors: Naoya Naruo; 直也成尾; Hiroyuki Okuyama; 浩之奥山
Original assignee: Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp
Current assignee: Sumco Corp
Priority date: 2003-09-05
Filing date: 2003-09-05
Publication date: 2005-03-31

Abstract

【課題】ウェーハを研磨装置における保持板の中央に確実に配置する。
【解決手段】搬送されてきたウェーハ２１をローディングアーム２４の先端に設けられたウェーハ吸着部２６により吸引固定し、研磨装置１０のワーク定盤１１に自転可能に設けられウェーハと同径以下の保持板１２上に位置決め機構３１により位置決めして配置する。位置決め機構が、保持板に平行になるようにローディングアームの先端に設けられたブラケット２７と、ブラケット中心部から放射状に進退可能に設けられた複数の位置決めアーム３２と、位置決めアームを進退させるアクチュエータ３３と、複数の位置決めアームのそれぞれ先端に設けられたウェーハ位置決め治具３６とを有し、アクチュエータにより位置決めアームを退入させた状態で、位置決め治具がウェーハの周面及び保持板の周面に同時に接触してウェーハを保持板と同一中心になるように構成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、ウェーハをローディングアームの先端に設けられたウェーハ吸着部により吸引固定して搬送する搬送装置に関する。更に詳しくは、その吸引固定したウェーハを研磨装置の保持板上に位置決め機構により位置決めして配置するウェーハ搬送装置に関するものである。

従来のシリコンウェーハの製造にあっては、スライス時の表面破壊層を削り、欠陥の無い単結晶面を得るため、ラッピングやポリッシング等の表面加工工程が不可欠である。この表面加工工程において用いる研磨装置として、ウェーハを真空吸着する保持板を回転するワーク定盤上で更に回転させ、そのワーク定盤と回転軸を偏心させた研磨布定盤をそのワーク定盤に対向させて、公転並びに自転するウェーハ上に懸濁研磨剤を供給して回転する研磨布でウェーハを鏡面に研磨する装置が知られている。そして研磨するウェーハを研磨装置における保持板上に搬送する搬送装置として、搬送されてきたウェーハをローディングアームの先端に設けられたウェーハ吸着部により吸引固定しかつ吸引固定したウェーハを研磨装置の保持板上に配置する装置が知られている。

一方、今日の半導体デバイスの高精度化並びにシリコンウェーハの大口径化の要請が高まり、研磨精度、特に平坦度の向上が強く求められている。そして、ウェーハの最終的な平坦度を決定する鏡面研磨工程では、加工歪を除去して鏡面研磨するため、一般的には研磨布としては、発泡ウレタンやポリエステル不織布等のウェーハよりも軟質な材料が用いられる。一方、ウェーハよりも軟質な材料の研磨布で研磨を行う場合、加工中の研磨布はウェーハより加圧されるため、ウェーハ外周で変形することとなる。この状態で研磨を行うとウェーハ外周部が積極的に加工されることになり、研磨後のウェーハの平坦度が外周部で極端に悪化する不具合がある。

この点を解消するために、ウェーハを保持するための保持板において、その保持板の直径をウェーハの直径より小径にして、その外周部にウェーハヘの接触面積が保持板内周部に比べて減少させる手段を有するウェーハの研磨用保持板が提案されている。具体的には保持板の直径をウェーハの直径の９０％以上１００％未満にしている（例えば、特許文献１参照。）。そして、この保持板では、研磨するウェーハの外周部への加工圧力が低減して外周だれの起こる領域の研磨が遅延され、研磨による除去量はウェーハ面内において均一になり、高精度のウェーハ加工が可能としている。
特開２００２−２２２７８３号公報（請求項２、第１〜２頁、図１及び図２）

しかし、保持板の直径を研磨するウェーハの直径と同等以下にして外周部の加工圧力を低減するためにはその前提として研磨されるウェーハが保持板の中央に配置されていなければならない。しかし、研磨するウェーハを吸着固定して保持板に搬送する従来の搬送装置では、吸着固定する際にウェーハがずれて吸引されることやウェーハを保持板上で解除する際にウェーハがずれてしまうこともあり、研磨するウェーハを保持板の中央に配置することが困難である不具合があった。

また、位置決め精度が比較的正確であったとしても、ローディングアームやウェーハ吸着部等の動作部品に摩耗を生じたとき或いはそれらに緩みが生じたときに後発的に位置決め精度が劣ることもある。それゆえ高精度の位置決めを行う場合には、ローディングアームやウェーハ吸着部等の動作部品及びその動作について保守管理をする必要があり、そのための手間が非常に大きかった。
本発明の目的は、研磨されるウェーハを研磨装置における保持板の中央に確実に配置することのできる研磨装置における位置決め機構付きウェーハ搬送装置を提供することにある。

請求項１に係る発明は、図１及び図７に示すように、搬送されてきたウェーハ２１をローディングアーム２４の先端に設けられたウェーハ吸着部２６により吸引固定しかつ吸引固定したウェーハ２１を研磨装置１０のワーク定盤１１に自転可能に設けられウェーハ２１と同径以下の保持板１２上に位置決め機構３１により位置決めして配置するウェーハ搬送装置である。
その特徴ある点は、位置決め機構３１が、保持板１２上でこの保持板１２に平行になるようにローディングアーム２４の先端に設けられたブラケット２７と、ブラケット中心部から放射状に進退可能にブラケット２７に設けられた複数の位置決めアーム３２，３２と、ブラケット２７に設けられ位置決めアーム３２，３２を進退させるアクチュエータ３３，３３と、複数の位置決めアーム３２，３２のそれぞれ先端に設けられたウェーハ位置決め治具３６，３６とを有し、かつ位置決め機構３１がローディングアーム２４に対して水平移動するように構成され、アクチュエータ３３，３３により位置決めアーム３２，３２を退入させた状態で、位置決め治具３６，３６がウェーハ２１の周面及び保持板１２の周面に同時に接触してウェーハ２１を保持板１２と同一中心になるように構成されたところにある。
請求項１に係る発明では、アクチュエータ３３，３３により位置決めアーム３２，３２を退入させた状態で、ウェーハ２１を保持板１２と同一中心になるように構成したので、その後保持板１２がそのウェーハ２１を保持することにより、ウェーハ２１をその保持板１２の中央に確実に配置させることができる。

請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明であって、ウェーハ位置決め治具３６が段付き円柱状又は円筒状に形成され、治具３６の下端に保持板１２周面に接触可能な大径部３６ａが形成され、大径部３６ａに続く大径部３６ａの上部にウェーハ２１周面に接触可能な小径部３６ｂが形成され、大径部３６ａの半径と小径部３６ｂの半径の差が保持板１２の半径とウェーハ２１の半径との差になるように構成された請求項１記載のウェーハ搬送装置である。
請求項２に係る発明では、アクチュエータ３３，３３により位置決めアーム３２，３２を退入させてウェーハ位置決め治具３６をウェーハ２１等の周囲に接触させると、ウェーハ位置決め治具３６における大径部３６ａの半径と小径部３６ｂの半径の差は保持板１２の半径とウェーハ２１の半径との差であるので、図５に示すようにウェーハ２１が保持板１２と同一中心になり、ウェーハ２１をその保持板１２の中央に確実に配置させることができる。

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明であって、複数の位置決めアーム３２，３２のそれぞれ先端に脚部３４，３４が設けられ、ウェーハ位置決め治具３６，３６が脚部３４，３４を介して設けられたウェーハ搬送装置である。
請求項３に係る発明では、脚部３４，３４を介してウェーハ位置決め治具３６，３６を設けることによりその交換が比較的容易になり、ウェーハ位置決め治具３６，３６の点検等を容易に行うことができる。

請求項４係る発明は、請求項３に係る発明であって、ウェーハ位置決め治具３６が軸方向に脚部３４に変位可能に取付けられたウェーハ搬送装置である。
請求項４係る発明では、ウェーハ位置決め治具３６が軸方向に変位可能であるので、ウェーハ位置決め治具３６の下端をワーク定盤１１等に接触させて軸方向に変位させることにより位置決め治具３６，３６をウェーハ２１の周面及び保持板１２の周面に確実に位置させることができる。

請求項５係る発明は、請求項１ないし４いずれか１項に係る発明であって、ウェーハ位置決め治具３６がポリエーテルエーテルケトン又はポリテトラフルオロエチレンにより作られたウェーハ搬送装置である。
この請求項５に係る発明では、ウェーハ位置決め治具３６をポリエーテルエーテルケトン（polyether ether ketone）又はポリテトラフルオロエチレン（商標名；テフロン）により作ることにより、ウェーハ２１の欠け及び汚染を有効に防止することができる。

以上述べたように、本発明によれば、ウェーハをウェーハより小径の保持板上に配置するウェーハ搬送装置に位置決め機構を設け、その位置決め機構が保持板上でこの保持板に平行になるようにローディングアームの先端に設けられたブラケットと、ブラケット中心部から放射状に進退可能にブラケットに設けられた複数の位置決めアームと、ブラケットに設けられ位置決めアームを進退させるアクチュエータと、複数の位置決めアームのそれぞれ先端に設けられたウェーハ位置決め治具とを有し、アクチュエータにより位置決めアームを退入させた状態で、位置決め治具がウェーハの周面及び保持板の周面に同時に接触してウェーハを保持板と同一中心になるように構成したので、アクチュエータにより位置決めアームを退入させるだけで、ウェーハをその保持板の中央に確実に配置させることができる。

また、ウェーハ位置決め治具を段付き円柱状又は円筒状に形成し、治具の下端に保持板周面に接触可能な大径部を形成し、大径部に続く大径部の上部にウェーハ周面に接触可能な小径部を形成し、大径部の半径と小径部の半径の差が保持板の半径とウェーハの半径との差になるように構成すれば、ウェーハ位置決め治具をウェーハ等の周囲に接触させることによりウェーハをその保持板の中央に確実に配置させることができる。
更に、脚部を介してウェーハ位置決め治具を設ければウェーハ位置決め治具の交換等が比較的容易になり、その点検等を容易に行うことが可能になり、ウェーハ位置決め治具が軸方向に脚部に変位可能に取付ければ、ウェーハ位置決め治具の下端をワーク定盤等に接触させて軸方向に変位させることにより位置決め治具をウェーハの周面及び保持板の周面に確実に位置させることができる。

次に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図６に示すように、本発明は、研磨装置１０のワーク定盤１１に自転可能に設けられた複数の保持板１２上にウェーハ２１を吸引固定して搬送する搬送装置２０である。図７にこの研磨装置１０の構成を示す部分破断斜視図を示す。図７における研磨装置１０では、ワーク定盤１１の定盤面を基台１０ａ上に露出させて、その回転軸１１ａが基台１０ａ内に立設軸支される。ワーク定盤１１の周囲には研磨液の飛散防止カバー１３が配置され、ワーク定盤１１の外周部と飛散防止カバー１３との間には図示しない研磨液回収皿が設けられる。ワーク定盤１１の回転軸１１ａの下部には図示しない駆動用ギアが設けられてモーターの減速機のギアと噛合し、さらに回転軸１１ａの上部には太陽ギア１１ｂが周設される。また、ワーク定盤１１上には５つの保持板１２が等間隔で配置されて回転自在に軸支され、その回転軸１２ａはワーク定盤１１を貫通して先端に設けた遊星ギア１２ｂが上記の太陽ギア１１ｂに噛合している。図示しないが、保持板１２にはウェーハ２１を吸引するためのエア孔が複数形成され、ワーク定盤１１内には保持板１２に接続する吸引配管が設けられ、そして回転軸１１ａ内のロータリージョイントを介して外部の減圧ポンプに接続される。

ワーク定盤１１に対向する研磨布定盤１４はその回転軸１４ａが定盤支持台１６に軸受で回転自在に保持され、定盤支持台１６は基台１０ａ両側に配置した水平台１７上のスライドレール１７ａにスライダ１８を介して水平移動自在に載置される。そしてこのスライダ１８を介して研磨布定盤１４をワーク定盤１１の半径分程度移動することにより、保持板１２の引き抜き点検等が可能になるように構成される。この研磨装置では、ワーク定盤１１の各保持板１２にウェーハ２１（図１及び図６）を載置して吸着を完了すると、研磨布定盤１４が下降してウェーハ２１に当接して所定の加圧力に設定された後、図示しないノズルより研磨剤が噴射されるとともに研磨布定盤１４及びワーク定盤１１が回転駆動され、これらの相対的回転運動とともに研磨が開始される。所定の研磨が完了すると、研磨液の供給、ワーク定盤１１及び研磨布定盤１４の回転が停止して研磨布定盤１４は上昇するように構成される。

図６に戻って、本発明は上述した研磨装置１０の保持板１２上に研磨しようとするウェーハ２１を吸引固定して搬送する装置２０であり、ウェーハ２１を搬入するベルト２２が基台１０ａの近傍に配置される。このベルト２２上には半円形の一対の受け金具２３，２３が円形を描くようにそれぞれの他端が枢支されて設けられる。上流側の受け金具２３を回転させてベルト２２上から外すことによりそのベルト２２により運ばれたウェーハ２１は下流側の受け金具２３により所定位置で停止し、上流側の受け金具２３を再び回転させて下流側の受け金具２３とともにそのウェーハ２１を挟持することによりそのウェーハ２１の水平方向における移動を禁止するように構成される。

搬送装置２０はローディングアーム２４とこのローディングアーム２４との先端に設けられたウェーハ吸着部２６（図１）とを有する。ローディングアーム２４の基端はシリンダ２０ａのロッド２０ｂの先端に固定され、このロッド２０ｂが回転することによりローディングアーム２４は先端が研磨装置１０の保持板１２上と、受け金具２３により移動が禁止されたベルト２２上のウェーハ２１との間を往復するように構成される。またロッド２０ｂがシリンダ２０ａに対して出没することによりローディングアーム２４は上下動可能に構成され、このローディングアーム２４の先端には円板状のブラケット２７が固着される。ブラケットは保持板１２より小径に形成され、保持板１２上でこの保持板１２に平行になるようにローディングアーム２４に固着される。

図１に示すように、ウェーハ吸着部２６は上端がブラケット２７に固定された吸引ノズルであり、この吸引ノズル２６は図示しない真空ポンプに接続されてエアを下端から吸引可能に構成される。そしてエアを下端から吸引することによりウェーハ２１をこの下端に吸引固定可能に構成される。そして、搬送装置２０には、このウェーハ吸着部２６が吸引固定したウェーハ２１をこのウェーハ２１より小径の保持板１２上に位置決めする位置決め機構３１が設けられる。なお、この実施の形態における保持板１２の周囲には研磨液受け板１５が嵌着され、ワーク定盤１１はこの研磨液受け板１５により上面が覆われるように構成される。

図１及び図２に示すように、位置決め機構３１は、上述したブラケット２７と、このブラケット２７中心部から放射状に進退可能にブラケット２７の上部に設けられた複数の位置決めアーム３２，３２と、ブラケット２７に設けられ位置決めアーム３２，３２を進退させるアクチュエータ３３，３３とを備える。この実施の形態では一対の位置決めアーム３２，３２がブラケット２７の上部に設けられ、アクチュエータ３３，３３として一対の複動式のエアシリンダが用いられる。この一対のエアシリンダはブラケット２７の上部中央に出没自在のロッド３３ａ，３３ａを互いに外側に向けて固定され、各ロッド３３ａ，３３ａの先端に位置決めアーム３２，３２の基端がそれぞれ固定される。そして、それぞれの位置決めアーム３２，３２のそれぞれ先端にはブラケット２７の周囲に沿うように湾曲する円弧状の補助板３２ａ，３２ａの中央が取付けられ、この補助板３２ａ，３２ａの両端部にはそれぞれ脚部３４，３４が設けられる。そして、ウェーハ位置決め治具３６，３６はこの補助板３２ａ，３２ａ及び脚部３４，３４を介して位置決めアーム３２，３２のそれぞれ先端に設けられる。

図３に詳しく示すように、ウェーハ位置決め治具３６はポリエーテルエーテルケトン又はポリテトラフルオロエチレンにより段付き円筒状に形成され、治具の下端に保持板１２周面に接触可能な大径部３６ａが形成され、その大径部３６ａに続く大径部３６ａの上部にウェーハ２１周面に接触可能な小径部３６ｂが形成される。位置決めアーム３２の先端に設けられた脚部３４には、ウェーハ２１に直交する被挿入穴３４ａが形成され、被挿入穴３４ａの中央には雌ねじ３４ｂが更に形成される。一方、円筒状のウェーハ位置決め治具３６における小径部３６ｂの上部には、被挿入穴３４ａの深さより短くかつ被挿入穴３４ａに移動可能に挿入される挿入筒部３６ｃが形成され、この挿入筒部３６ｃはスプリング３７を介して被挿入穴３４ａに挿入される。円筒状のウェーハ位置決め治具３６には下方から段付きのねじ３８が挿入されて先端の雄ねじ部３８ａが雌ねじ３４ｂに螺合され、ウェーハ位置決め治具３６は段付きねじ３８の胴部３８ｂのに沿ってその軸方向に脚部３４に変位可能に取付けられる。そして、スプリング３７はウェーハ位置決め治具３６を下方に突出させるように付勢するように構成される。

図５に示すように、ウェーハ位置決め治具３６における大径部３６ａの半径と小径部３６ｂの半径の差は、破線で示す保持板１２の半径とウェーハ２１の半径との差になるように構成される。従って、この位置決め治具は、アクチュエータ３３，３３により位置決めアーム３２，３２を退入させた状態で、ウェーハ２１の周面及び保持板１２の周面に同時に接触してウェーハ２１を保持板１２と同一中心になるように構成される。

このように構成された位置決め機構付きウェーハ搬送装置の動作を説明する。
図６に示すように、まず研磨を必要とするウェーハ２１はベルト２２により基台１０ａの近傍に搬送され、このウェーハ２１は上流側の受け金具２３がベルト２２上から外れていることから下流側の受け金具２３により所定位置で停止される。そして、上流側の受け金具２３を再び回転することによりその上流側の受け金具２３と下流側の受け金具２３とにより挟持されてそのウェーハ２１の水平方向における移動が禁止される。一方、搬送装置２０はローディングアーム２４の先端に設けられたウェーハ吸着部２６をウェーハ２１の上部に位置させ、図示しない真空ポンプを駆動してエアをウェーハ吸着部２６の下端から吸引させる。それとともにウェーハ吸着部２６を下降させてその下端をウェーハ２１に接触させてそのウェーハ２１をウェーハ吸着部２６の下端に吸引固定させる。

このようにウェーハ２１をウェーハ吸着部２６に吸引固定した後、ローディングアーム２４を再び上昇させて回転させ、ローディングアーム２４との先端に設けられたウェーハ吸着部２６を研磨装置１０の保持板１２上に位置させる。そして、ローディングアーム２４を下降させてウェーハ吸着部２６の下端に吸引固定させたウェーハ２１を保持板１２の上に載せる。この状態で、次にアクチュエータ３３，３３により位置決めアーム３２，３２を退入させる。すると、ウェーハ位置決め治具３６はその間隔を狭め、図１に示すように治具３６の下端における大径部３６ａは保持板１２の周面に接触し、大径部３６ａの上部の小径部３６ｂがウェーハ２１の周面に接触する。

ここで、ウェーハ位置決め治具３６は軸方向に脚部３４に変位可能に取付けられているので、ウェーハ位置決め治具３６の下端をワーク定盤１１を被覆する研磨液受け板１５に接触させることにより位置決め治具３６，３６の大径部３６ａ及び小径部３６ｂをウェーハ２１の周面及び保持板１２の周面に確実に位置させることができる。そして、図５に示すようにウェーハ位置決め治具３６における大径部３６ａの半径と小径部３６ｂの半径の差は、破線で示す保持板１２の半径とウェーハ２１の半径との差になるように構成されるので、ウェーハ２１を保持板１２の上に載せた段階で図４に示すようにウェーハ２１と保持板１２の中心がずれていたとしても、ウェーハ位置決め治具３６がウェーハ２１の周面及び保持板１２の周面に同時に接触した状態で図５に示すようにウェーハ２１は保持板１２と同一中心になる。そして、外部の図示しない減圧ポンプを駆動することによりウェーハ２１を保持板１２に吸引固定させる。これにより研磨しようとするウェーハ２１は研磨装置１０における保持板１２の中央に確実に配置される。
そして、その後アクチュエータ３３，３３により位置決めアーム３２，３２を再び突出させてウェーハ位置決め治具３６の間隔を広げ、ローディングアーム２４を再び上昇させて回転させ、その先端を保持板１２の上部から外し、研磨装置１０によりそのウェーハ２１を研磨させる。

なお、上述した実施の形態では、ワーク定盤１１の定盤面を基台１０ａ上に露出させて、ワーク定盤１１上に５つの保持板１２を等間隔で配置し、ワーク定盤１１の上方からそのワーク定盤１１に対向するように研磨布定盤１４を回転自在に保持した研磨装置１０を示したが、図８に示すように、研磨装置１０は、ワーク定盤１１の定盤面を下方に向け、その下方に向かうワーク定盤１１上に複数の保持板１２を配置し、ワーク定盤１１の下方からそのワーク定盤１１に対向するように研磨布定盤１４を回転自在に保持したものであっても良い。但し、この場合における搬送装置２０は、ローディングアーム２４を中心軸を回転中心として回転可能に構成し、ウェーハ２１を下方から吸引固定したウェーハ吸着部２６を反転してそのウェーハ２１を上方に向けて保持板１２の下方に位置させることができるようにすることが好ましい。

本発明のウェーハ搬送装置における位置決め機構を示す図２のＡ−Ａ線断面。その位置決め機構を上から見た平面面。図１のＢ部拡大断面図。ウェーハと保持板の中心がずれている状態を示す平面図。位置決め治具が周面に接触してウェーハと保持板の中心が同一になった状態を示す平面図。その搬送装置と研磨装置との関係を示す斜視図。その研磨装置の構成を示す部分破断斜視図。本発明に使用される別の研磨装置の構成を示す断面図。

符号の説明

１０研磨装置
１１ワーク定盤
１２保持板
２０搬送装置
２１ウェーハ
２４ローディングアーム
２６ウェーハ吸着部
２７ブラケット
３１位置決め機構
３２位置決めアーム
３３アクチュエータ
３４脚部
３６ウェーハ位置決め治具
３６ａ大径部
３６ｂ小径部

Claims

搬送されてきたウェーハ(21)をローディングアーム(24)の先端に設けられたウェーハ吸着部(26)により吸引固定しかつ前記吸引固定したウェーハ(21)を研磨装置(10)のワーク定盤(11)に自転可能に設けられ前記ウェーハ(21)と同径以下の保持板(12)上に位置決め機構(31)により位置決めして配置するウェーハ搬送装置であって、
前記位置決め機構(31)が、前記保持板(12)上でこの保持板(12)に平行になるように前記ローディングアーム(24)の先端に設けられたブラケット(27)と、ブラケット中心部から放射状に進退可能に前記ブラケット(27)に設けられた複数の位置決めアーム(32,32)と、前記ブラケット(27)に設けられ前記位置決めアーム(32,32)を進退させるアクチュエータ(33,33)と、前記複数の位置決めアーム(32,32)のそれぞれ先端に設けられたウェーハ位置決め治具(36,36)とを有し、かつ前記位置決め機構(31)が前記ローディングアーム(24)に対して水平移動するように構成され、
前記アクチュエータ(33,33)により前記位置決めアーム(32,32)を退入させた状態で、前記位置決め治具(36,36)が前記ウェーハ(21)の周面及び前記保持板(12)の周面に同時に接触して前記ウェーハ(21)を前記保持板(12)と同一中心になるように構成されたことを特徴とする研磨装置における位置決め機構付きウェーハ搬送装置。
ウェーハ位置決め治具(36)が段付き円柱状又は円筒状に形成され、前記治具(36)の下端に保持板(12)周面に接触可能な大径部(36a)が形成され、前記大径部(36a)に続く前記大径部(36a)の上部にウェーハ(21)周面に接触可能な小径部(36b)が形成され、前記大径部(36a)の半径と前記小径部(36b)の半径の差が前記保持板(12)の半径と前記ウェーハ(21)の半径との差になるように構成された請求項１記載のウェーハ搬送装置。
複数の位置決めアーム(32,32)のそれぞれ先端に脚部(34,34)が設けられ、ウェーハ位置決め治具(36,36)が前記脚部(34,34)を介して設けられた請求項１又は２記載のウェーハ搬送装置。
ウェーハ位置決め治具(36)が軸方向に脚部(34)に変位可能に取付けられた請求項３記載のウェーハ搬送装置。
ウェーハ位置決め治具(36)がポリエーテルエーテルケトン又はポリテトラフルオロエチレンにより作られた請求項１ないし４いずれか１項に記載のウェーハ搬送装置。