KR20200124277A - 실장 장치 및 필름 공급 장치 - Google Patents

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KR20200124277A
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유이치로 노구치
카츠토시 노무라
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가부시키가이샤 신가와
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Abstract

실장 헤드의 바닥면과 전자 부품 사이에 필름을 개재시켜 전자 부품의 실장을 행하는 실장 장치(10)는, 송출 릴로부터 권취 릴(26)에 걸쳐진 필름을 권취 릴(26)을 회전시켜 권취하는 필름 권취 기구(18)로서, 실장시마다, 새로운 필름이 실장 헤드의 바닥면에 배치되도록 권취하는 필름 권취 기구(18)와, 필름 권취 기구(18)에 의한 권취 후에 있어서의 필름의 장력을 검출하는 장력 검출부(38)와, 장력 검출부(38)에 의해 검출된 장력에 기초하여 권취 모터(30)에 의해 권취 릴(26)을 회전시켜 장력을 조정하는 제어부(20)를 갖춘다. 이것에 의해 실장 헤드의 바닥면의 필름에 소망의 장력을 발생시킬 수 있다.

Description

실장 장치 및 필름 공급 장치
본 발명은 실장 헤드의 바닥면과 전자 부품 사이에 필름을 개재시켜 전자 부품의 실장을 행하는 실장 장치 및 필름 공급 장치에 관한 것이다.
종래부터 반도체 칩(전자 부품)을 와이어를 통하지 않고 기판에 실장하는 플립 칩 본더 기술이 널리 알려져 있다. 이러한 플립 칩 본더에서는, 기판에 미리 열경화성 수지로 이루어지는 접착 재료를 도포해 두고, 이 접착 재료를 통하여 반도체 칩을 기판에 고착하는 일이 있다. 이 경우, 실장 헤드로 반도체 칩을 가열 및 가압할 때, 반도체 칩에서 밀려나온 접착 재료가 상방으로 기어올라 실장 헤드에 부착되는 일이 있었다. 또 실장 헤드에 부착되지 않는 경우라도, 가열된 접착 재료로부터 발생하는 흄 가스가 실장 헤드 내에 침입하는 일이 있었다.
특허문헌 1에는, 이러한 접착 재료의 열 압착 툴(실장 헤드)로의 부착을 방지하기 위해서, 열 압착 툴의 바닥면을 필름 부재(필름)로 덮은 실장 장치가 개시되어 있다. 즉, 특허문헌 1의 실장 장치에서는, 실장 헤드의 바닥면과 칩 부품(전자 부품) 사이에 개재시키는 필름을 순차적으로 공급하는 필름 부재 반송 기구(필름 공급 장치)를 설치하고 있다. 칩 부품의 실장시마다, 새로운 필름 부재가 열 압착 툴의 바닥면에 공급된다. 이러한 실장 장치에 의하면, 열 압착 툴로의 접착 재료의 부착이 효과적으로 방지된다.
일본 특개 2015-35493호 공보
종래기술에 있어서, 전자 부품은 실장 헤드의 바닥면에 흡인 유지된다. 이 흡인면은 필름으로 덮이기 때문에, 전자 부품의 흡인에 앞서, 침을 사용하여 필름에 흡인용의 구멍을 형성한다.
종래에 필름의 장력이 작은 경우에는, 실장 헤드의 바닥면의 필름에 느슨함이 생겨, 필름에 침을 찌르기 어렵다는 문제가 있다. 또 실장 헤드의 바닥면의 필름에 느슨함이 있으면, 실장 헤드에 필름을 통하여 전자 부품을 흡착했을 때, 실장 헤드와 전자 부품과의 밀착도가 나빠진다. 한편, 필름의 장력이 큰 경우에는, 실장 헤드의 바닥면의 필름에 주름이 생겨, 이 경우에도 실장 헤드에 전자 부품을 흡착했을 때, 실장 헤드와 전자 부품과의 밀착도가 나빠진다.
본 발명의 목적은, 실장 헤드의 바닥면과 전자 부품 사이에 필름을 개재시켜 전자 부품의 실장을 행하는 실장 장치 및 필름 공급 장치에 있어서, 필름에 소망의 장력을 발생시키는 것에 있다.
본 발명의 실장 장치는, 실장 헤드의 바닥면과 전자 부품 사이에 필름을 개재시켜 전자 부품의 실장을 행하는 실장 장치로서, 송출 릴로부터 권취 릴에 걸쳐진 필름을 권취 릴을 회전시켜 권취하는 필름 권취 기구로서, 실장시마다, 새로운 필름이 실장 헤드의 바닥면에 배치되도록 권취하는 필름 권취 기구와, 필름 권취 기구에 의한 권취 후에 있어서의 필름의 장력을 검출하는 장력 검출부와, 장력 검출부에 의해 검출된 장력에 기초하여 권취 모터에 의해 권취 릴을 회전시켜 장력을 조정하는 제어부를 갖추는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실장 장치에 있어서, 필름 권취 기구는, 권취 모터의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 일정 방향으로 뻗은 모터 아암과, 권취 릴의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 모터 아암에 대응하는 방향으로 뻗고, 모터 아암과 동일 중심에서 회전하는 릴 아암과, 일단이 모터 아암에 연결되고, 타단이 릴 아암에 연결되어, 모터 아암에 릴 아암을 추종시키는 탄성 부재를 갖추고, 장력 검출부는, 모터 아암과 릴 아암의 회전 방향에 있어서의 간격에 기초하여 장력을 검출하는 것으로 해도 적합하다.
본 발명의 실장 장치에 있어서, 장력 검출부는, 상기 간격이 제1 소정값 미만인 경우에는 장력이 과소하다고 검출하고, 상기 간격이 제1 소정값보다 큰 제2 소정값을 넘는 경우에는 장력이 과대하다고 검출하는 것으로 해도 적합하다.
본 발명의 실장 장치에 있어서, 모터 아암 또는 릴 아암의 일방에는, 타방을 향하여 뻗고, 타방 또는 타방에 연결된 피검출체의 적어도 1개를 사이에 두도록 배치된 한 쌍의 검출 아암이 직접 또는 간접적으로 연결되어 있고, 한 쌍의 검출 아암은, 검출 아암의 사이의 상기 타방 또는 피검출체를 검지 가능한 제1 센서와 제2 센서를 갖추고, 제1 센서는 한 쌍의 검출 아암의 상기 일방측에 배치되고, 제2 센서는 한 쌍의 검출 아암에 있어서 제1 센서와 소정 간격을 두고 상기 타방측에 배치되어 있고, 장력 검출부는, 제1 센서가 상기 타방 또는 피검출체를 검지한 경우에는 장력이 과소하다고 검출하고, 제1 센서가 상기 타방 및 피검출체를 검지하지 않고, 또한 제2 센서가 상기 타방 및 피검출체를 검지하지 않은 경우에는 장력이 과대하다고 검출하는 것으로 해도 적합하다.
본 발명의 실장 장치에 있어서, 제어부는, 장력이 과소하다고 검출되었을 때는, 권취 모터를 통하여 권취 릴을 권취하는 방향으로 회전시키고, 장력이 과대하다고 검출되었을 때는, 권취 모터를 통하여 권취 릴을 권취하는 방향과는 역방향으로 회전시키는 것으로 해도 적합하다.
본 발명의 실장 장치에 있어서, 제어부는, 장력이 과소 또는 과대하다고 검출되었을 때, 제1 센서가 상기 타방 및 피검출체를 검지하지 않고, 또한 제2 센서가 상기 타방 또는 피검출체를 검지할 때까지, 권취 모터를 통하여 권취 릴을 회전시키는 것으로 해도 적합하다.
본 발명의 필름 공급 장치는, 송출 릴로부터 권취 릴에 걸쳐진 필름을 권취 릴을 회전시켜 권취하는 필름 권취 기구와, 필름 권취 기구에 의해 필름을 소정량 권취한 후에 있어서의 필름의 장력을 검출하는 장력 검출부와, 장력 검출부에 의해 검출된 장력에 기초하여 권취 모터에 의해 권취 릴을 회전시켜 장력을 조정하는 제어부를 갖추고, 필름 권취 기구는, 권취 모터의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 일정 방향으로 뻗은 모터 아암과, 권취 릴의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 모터 아암에 대응하는 방향으로 뻗고, 모터 아암과 동일 중심에서 회전하는 릴 아암과, 일단이 모터 아암에 연결되고, 타단이 릴 아암에 연결되어, 모터 아암에 릴 아암을 추종시키는 탄성 부재를 갖추고, 장력 검출부는, 모터 아암과 릴 아암의 회전 방향에 있어서의 간격이 제1 소정값 미만인 경우에는 장력이 과소하다고 검출하고, 상기 간격이 제1 소정값보다 큰 제2 소정값을 넘는 경우에는 장력이 과대하다고 검출하고, 제어부는, 장력이 과소하다고 검출되었을 때는, 권취 모터를 통하여 권취 릴을 권취하는 방향으로 회전시키고, 장력이 과대하다고 검출되었을 때는, 권취 모터를 통하여 권취 릴을 권취하는 방향과는 역방향으로 회전시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 필름에 소망의 장력을 발생시킬 수 있다.
도 1은 실장 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 실장의 모습을 나타내는 측면도이다.
도 3은 실장 장치의 처리의 흐름을 나타내는 플로우차트이다.
도 4는 필름 공급 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.
도 5는 필름 권취 기구의 사시도이다.
도 6A는 필름의 장력이 적정한 경우의 보조 아암에 대한 릴 아암의 위치를 나타내는 도면이다.
도 6B는 필름의 장력이 과소한 경우의 보조 아암에 대한 릴 아암의 위치를 나타내는 도면이다.
도 6C는 필름의 장력이 과대한 경우의 보조 아암에 대한 릴 아암의 위치를 나타내는 도면이다.
<실장의 개략>
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 실시형태의 실장 장치(10)의 구성을 나타내는 도면이다. 도 1에 있어서의 화살표 X는 장치 좌우 방향, 화살표 Y는 장치 전후 방향, 화살표 Z는 장치 상하 방향을 나타내고 있으며, 이후 설명하는 도면에 있어서도 마찬가지이다.
실장 장치(10)는 복수의 반도체 칩(100)(전자 부품)을 기판(104)에 실장함으로써 반도체 장치를 제조하는 장치이다. 반도체 칩(100)은 플립 칩 본더 기술로 기판(104)에 실장된다. 구체적으로는, 각 반도체 칩(100)의 바닥면에는 범프(102)라고 불리는 도전성 재료로 이루어지는 돌기가 형성되어 있고, 이 범프(102)를 기판(104)의 표면에 형성된 전극(106)에 접합함으로써, 반도체 칩(100)과 기판(104)이 전기적으로 접속된다.
기판(104)에는 반도체 칩(100)의 실장 위치에 미리 비도전성 페이스트(NCP) 또는 비도전성 필름(NCF)이라고 불리는 접착 재료(108)가 도포되어 있다. 접착 재료(108)는 절연성을 가짐과 아울러 열경화성을 가지는 열경화성 수지로 이루어진다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 접착 재료(108) 상에 반도체 칩(100)을 재치하고, 기판(104)에 누름과 아울러 반도체 칩(100)을 가열한다. 그것에 의해, 접착 재료(108)가 경화하여 반도체 칩(100)이 기판(104)에 기계적으로 고정된다. 반도체 칩(100)에 대한 가열에 의해 범프(102)가 용융되고, 반도체 칩(100)에 대한 가열이 멈추면, 용융된 범프(102)가 응고하여 기판(104)(회로 기판)의 전극(106)에 전기적으로 접합된다.
<실장 장치의 구성>
도 1에 나타내는 바와 같이, 실장 장치(10)는 본딩 스테이지(14)와, 기대(16)와, 실장 헤드(12)와, 필름 공급 장치(90)를 갖춘다.
본딩 스테이지(14)는 기판(104)이 재치되는 스테이지이다. 이 본딩 스테이지(14)에는 예를 들면 기판(104)을 흡인 유지하는 흡인 구멍(도시하지 않음)이나, 기판(104)을 가열하기 위한 히터(도시 생략) 등이 설치되어 있다. 이 본딩 스테이지(14)는 기대(16)에 의해 지지되어 있다. 기대(16)에는 실장 헤드(12)의 바닥면을 덮는 필름(110)(후술)에 흡인용의 구멍을 형성하기 위한 침(88)이 설치되어 있다. 기대(16)는 XY 방향(수평 방향)으로 이동 가능하도록 되어 있다.
실장 헤드(12)는 본딩 스테이지(14)와 대향하여 설치되어 있고, Z 방향(수직 방향)으로 이동 가능하도록 되어 있다. 실장 헤드(12)의 바닥면에는 반도체 칩(100)을 흡인 유지하기 위한 흡인 구멍(22)이 형성되어 있다. 이 흡인 구멍(22)은 도시하지 않는 흡인 펌프에 연통되어 있고, 당해 흡인 펌프에 의해 발생하는 부압에 의해, 반도체 칩(100)이 실장 헤드(12)의 바닥면에 필름(110)을 통하여 흡인 유지된다. 또 실장 헤드(12)에는 실장시에 반도체 칩(100)을 가열하기 위해서, 히터(도시하지 않음)가 내장되어 있다.
필름 공급 장치(90)는 일방향으로 긴 띠 형상의 필름(110)을 실장 헤드(12)의 바닥면에 공급한다. 이 필름(110)은 실장 헤드(12)의 바닥면에서 가열되고, 접착 재료(108)와 접할 수 있으므로, 필름(110)의 소재로서는 내열성이 우수하고, 접착 재료(108)의 박리성이 높은 소재가 적합하다. 따라서, 필름(110)의 소재로서는 예를 들면 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌·퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA) 등의 불소 수지를 사용할 수 있다.
필름 공급 장치(90)는 프레임(37)과, 실장 헤드(12)를 사이에 끼우고 설치된 송출 릴(24) 및 권취 릴(26)과, 필름(110)을 송출 릴(24)로부터 권취 릴(26)을 향하여 보내는 롤러(32, 34)를 회전시키는 송출 모터(28)와, 권취 릴(26)을 회전시키는 권취 모터(30)를 갖춘다. 필름 공급 장치(90)는 실장 헤드(12)와 일체화되어 있어, 실장 헤드(12)와 함께 이동한다.
송출 릴(24) 및 권취 릴(26)은 프레임(37)에 회전 가능하게 유지되어 있다. 송출 릴(24)의 외주에는 사용 전(실장 헤드(12)의 바닥면에 배치 전)의 필름(110)이 감겨 있고, 마찬가지로 권취 릴(26)의 외주에는 사용이 끝난(실장 헤드(12)의 바닥면에 배치 후) 필름(110)이 감겨 있다. 또한 송출 릴(24), 권취 릴(26)의 각각에 필름(110)이 직접 감겨 있어도 되는데, 본 실시형태에서는 원환 형상의 코어재를 통하여 송출 릴(24), 권취 릴(26)의 각각에 필름(110)이 감겨 있다. 필름(110)이 감긴 2개의 코어재의 각각이 송출 릴(24), 권취 릴(26)의 각각의 외주에 압입된 구성이다.
송출 모터(28)는 스테핑 모터이며, 그 회전력은 벨트(36)를 통하여 롤러(32)에 전해지고 있다. 롤러(32)와 대향하여 롤러(34)가 설치되어 있고, 롤러(32, 34) 사이에 필름(110)이 끼워넣어져 있다. 송출 모터(28)가 구동하여 롤러(32)가 회전함으로써 롤러(34)도 회전하고, 그들 사이로부터 필름(110)을 송출한다. 권취 모터(30)는 스테핑 모터이며, 권취 릴(26)의 이측(실장 장치(10)의 후측)에 배치되어 있다. 또한 본 실시형태에서는 송출 릴(24)을 회전 구동시키는 모터를 설치하고 있지 않지만, 그것을 설치한 구성이어도 된다.
<실장 동작>
여기서, 실장 장치(10)의 실장 동작에 대해 설명한다. 도 3은 실장 장치(10)에 의한 처리의 흐름을 나타내는 플로우차트이다. 우선, S100에서, 필름 공급 장치(90)의 송출 모터(28)와 권취 모터(30)를 회전시켜 필름(110)을 소정량 보내고, S102에서, 송출 모터(28)와 권취 모터(30)를 정지시킨다. 또한 송출 릴(24)을 회전 구동시키는 모터를 설치하고 있는 경우에는, 그 모터도 동일하게 회전시켜, 그 후에 정지시킨다. 이것에 의해, 새로운 필름(110)이 실장 헤드(12)의 바닥면에 배치된다. 그리고, S104에서, 필름(110)의 장력 조정이 행해진다. 본 실시형태에서는 이 장력 조정에 특징을 가지고, 이 상세에 대해서는 후술한다.
S104의 장력 조정 후, S106에서, 침(88)을 사용하여, 실장 헤드(12)의 바닥면에 위치하는 필름(110)에 흡인용의 구멍을 형성한다. 이것은 도 1에 나타내는 본딩 스테이지(14)의 기대(16)가 수평 이동하여, 실장 헤드(12)의 바로 아래에 침(88)을 세트하고, 그 후, 실장 헤드(12)가 침(88)을 향하여 하강(수직 이동)함으로써 행해진다. 그리고, 실장 헤드(12)를 상승시킨다.
이어서, S108에서, 반도체 칩(100)을 기판(104)에 실장한다. 구체적으로는, 다음과 같이 행해진다. 반도체 칩(100)이 놓인 대좌(도시하지 않음)가 수평 이동해 와서, 실장 헤드(12)는 실장 헤드(12)를 하강시켜, 그곳으로부터 반도체 칩(100)을 픽업한다. 그리고, 실장 헤드(12)를 상승시킨 후, 본딩 스테이지(14)의 기대(16)가 수평 이동해 와서, 실장 헤드(12)의 바로 아래에 기판(104) 상의 반도체 칩(100)의 실장 위치가 세트된다. 또한 이 실장 위치에는 도 1에 나타내는 바와 같이 접착 재료(108)가 도포되어 있다. 그리고, 실장 헤드(12)는 기판(104)을 향하여 하강하고, 반도체 칩(100)을 기판(104) 상의 실장 위치(접착 재료(108))에 재치한 다음 가열 및 가압하여 실장한다.
이 때, 실장 헤드(12)가 반도체 칩(100)을 가압함으로써, 도 2에 나타내는 바와 같이, 반도체 칩(100)에 의해 외측으로 밀려나온 접착 재료(108)의 일부가 밀려나와 기어오르는 일이 있다. 이 기어오른 접착 재료(108)가 실장 헤드(12)에 부착되면, 그 후의 실장 처리를 적절하게 행할 수 없을 우려가 있다. 또 실장 헤드(12)에 접착 재료(108)가 부착되지 않는 경우라도, 가열된 접착 재료(108)로부터 발생하는 흄 가스가 실장 헤드(12)의 흡인 구멍(22)에 들어가고, 이것에 의해 실장 헤드(12)가 오염되는 경우가 있다.
본 실시형태에서는 실장 헤드(12)와 반도체 칩(100) 사이에 필름(110)을 개재시키고 있기 때문에, 도 2에 나타내는 바와 같이, 실장 헤드(12)로의 접착 재료(108)의 부착, 및 실장 헤드(12)의 흡인 구멍(22)으로의 흄 가스의 침입이 방지되어 있다.
반도체 칩(100)의 실장 후, 실장 헤드(12)를 상승시키고, 일련의 처리가 종료된다. 이상 설명한 실장 처리를 반도체 칩(100)마다 행한다. 반도체 칩(100)의 실장시마다, 필름(110)이 권취 릴(26)에 권취되고, 새로운 필름(110)이 실장 헤드(12)의 바닥면에 배치된다.
<장력 조정의 개략>
이어서, 필름(110)의 장력 조정에 대해 설명한다. 필름(110)의 장력이 작은 경우에는, 실장 헤드의 바닥면의 필름(110)에 느슨함이 생긴다. 그 경우에는 흡인용의 구멍을 형성하기 위한 침(88)을 찌르기 어려워져, 소망 형상의 구멍을 형성할 수 없게 된다. 또 실장 헤드의 바닥면의 필름(110)의 느슨함에 의해, 실장 헤드(12)의 바닥면에 반도체 칩(100)을 흡착했을 때, 실장 헤드(12)와 반도체 칩(100)의 밀착도가 나빠진다. 또 한편, 필름(110)의 장력이 큰 경우에는, 실장 헤드(12)의 바닥면의 필름(110)에 주름이 생기고, 이 경우에도 실장 헤드(12)와 반도체 칩(100)의 밀착도가 나빠진다.
그래서, 본 실시형태의 실장 장치(10)는 필름(110)의 장력 조정을 행하여, 그러한 것들을 효과적으로 억제한다. 실장 장치(10)의 필름 공급 장치(90)는 필름(110)의 장력을 검출하고, 검출된 장력에 기초하여 권취 모터(30)에 의해 권취 릴(26)을 회전시켜 필름(110)의 장력을 조정한다.
<필름 공급 장치의 개략 구성>
도 4는 필름 공급 장치(90)의 개략 구성을 나타내는 블록도이다. 필름 공급 장치(90)는 실장시마다 새로운 필름(110)이 실장 헤드(12)의 바닥면에 배치되도록 권취하는 필름 권취 기구(18)와, 필름 권취 기구(18)에 의한 권취 후에 있어서의 필름(110)의 장력을 검출하는 장력 검출부(38)와, 장력 검출부(38)에 의해 검출된 장력에 기초하여 권취 모터(30)에 의해 권취 릴(26)을 회전시켜 장력을 조정하는 제어부(20)를 갖춘다.
필름 권취 기구(18)는 상기 서술한 송출 모터(28), 권취 모터(30) 및 권취 릴(26)을 포함한다. 필름 권취 기구(18)는 필름(110)의 장력 검출 및 조정을 위한 특징적인 구조를 가지고 있으며, 이 상세에 대해서는 후술한다.
장력 검출부(38)는 제1 광전 센서(40)(제1 센서), 제2 광전 센서(42)(제2 센서) 및 제어부(20)의 일부인 판정부(39)를 포함한다. 제1 광전 센서(40), 제2 광전 센서(42)의 각각의 검출 신호가 판정부(39)에 입력되어 있고, 판정부(39)는 입력된 검출 신호로부터, 필름(110)의 장력의 과대, 과소 또는 적정을 판정한다. 구체적인 제1 광전 센서(40), 제2 광전 센서(42)의 배치나 기능, 및 그들 센서의 검출 신호에 기초하는 판정부(39)의 판정 방법에 대해서는 후술한다.
제어부(20)는 프로세서를 포함하고, 기억부(21)에 기억되어 있는 프로그램에 따라 처리를 실행함으로써 필름 권취 기구(18)를 제어하여 반도체 칩(100)의 실장 후의 필름(110)의 권취를 행하며, 권취 후의 필름(110)의 장력 조정을 행하고, 또한 장력 검출부(38)의 판정부(39)로서도 기능한다. 또한 이 필름 공급 장치(90)의 제어부(20)는 실장 장치(10)의 제어부(실장 헤드(12)나 본딩 스테이지(14) 등을 제어하는 제어부)와 동일한 것이어도 되고, 다른 것이어도 된다. 다른 것인 경우에는, 실장 장치(10)의 제어부의 지령에 따라 동작한다.
<필름 권취 기구>
이어서, 필름 권취 기구(18)의 구조에 대해 설명한다. 도 5는 필름 권취 기구(18)의 사시도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 필름 권취 기구(18)는 권취 모터(30)의 회전축(50)에 접속되어 권취 릴(26)의 반경 방향(일정 방향)으로 뻗은 모터 아암(52)과, 권취 릴(26)의 회전축(64)에 접속되어 권취 릴(26)의 반경 방향(모터 아암(52)에 대응하는 방향)으로 뻗은 릴 아암(62)과, 인장 스프링(56)(탄성 부재)을 갖춘다.
권취 모터(30)는 권취 릴(26)의 후측에 배치되어, 프레임에 고정되어 있고, 전력 공급선 등의 배선(44)이 접속되어 있다. 권취 모터(30)의 회전축(50)은 전방을 향하여 뻗고, 그 선단에 모터 아암(52)이 연결되어 있다.
권취 릴(26)에는 코어재(66)를 개재시켜 사용이 끝난 필름(110)이 감겨 있다. 또한 도 5의 굵은선의 검은 화살표가 필름(110)의 권취 방향이다. 권취 릴(26)에는 후측 개구를 막는 원형 덮개(68)가 고착되어 있다. 권취 릴(26)의 회전축(64)은 원형 덮개(68)의 후측 표면으로부터 후측을 향하여 돌출되어 있고, 프레임에 고정된 도시하지 않는 베어링에 회전 가능하게 지지되어 있다. 권취 릴(26)의 회전축(64)의 선단에 릴 아암(62)이 연결되어 있다.
권취 모터(30)의 회전축(50)과 권취 릴(26)의 회전축(64)은 동일 직선 상에 배치되어 있다. 즉, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)은 동일 중심(C)에서 회전하도록 배치되어 있다. 인장 스프링(56)은 일단이 모터 아암(52)의 선단 근방에 연결되어 있고, 타단이 릴 아암(62)의 선단 근방에 연결되어 있다.
또한 도 5에 나타내는 바와 같이, 필름 권취 기구(18)는 추가로 모터 아암(52)의 선단 근방에 연결된 보조 아암(54)과, 보조 아암(54)에 연결된 한 쌍의 검출 아암(58)과, 릴 아암(62)에 연결된 피검출체(60)를 갖추는데, 이들 부재의 상세는 후술한다. 또한 도 5에 있어서, 보조 아암(54)과 릴 아암(62)은 결합되어 있지 않고, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)은 인장 스프링(56)만으로 이어진 구조이다.
또 본 실시형태에서는 권취 모터(30)의 회전축(50)에 모터 아암(52)이 직접 접속되어 있는데, 그들은 기어나 보조 아암 등을 통하여 간접적으로 접속되어도 된다. 마찬가지로, 권취 릴(26)의 회전축(64)에 릴 아암(62)이 직접 접속되어 있는데, 그들은 기어나 보조 아암 등을 통하여 간접적으로 접속되어도 된다. 그리고, 모터 아암(52)이 일정 방향으로 뻗고, 릴 아암(62)이 모터 아암(52)에 대응하는 방향으로 뻗고, 그들이 동일 중심(C)에서 회전하도록 구성되며, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)이 인장 스프링(56) 등의 탄성 부재로 이어져 있으면 된다.
도 5에 있어서, 권취 모터(30)의 회전축(50)이 반시계 방향으로 회전하면, 모터 아암(52)이 회전하여 인장 스프링(56)을 통하여 릴 아암(62)을 잡아당기고, 권취 릴(26)의 회전축(64)이 반시계 방향(굵은선의 검은 화살표 방향)으로 회전하여, 권취 릴(26)에 필름(110)이 권취된다. 이와 같이, 모터 아암(52)에 릴 아암(62)을 추종시키는 구성이다.
<장력 검출부>
이어서, 장력 검출부(38)에 대해 설명한다. 필름(110)을 권취한 후, 도 1에 나타내는 송출측의 롤러(32, 34)는 로크되어, 롤러(32, 34) 사이의 필름(110)은 고정된다. 그들 롤러로부터 권취 릴(26)까지의 필름(110)에는 소정의 장력이 작용한다.
필름(110)의 장력이 큰 경우에는, 도 5에 나타내는 인장 스프링(56)이 크게 늘어나, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)의 회전 방향에 있어서의 간격(α)이 커진다. 한편, 필름(110)의 장력이 작은 경우에는, 인장 스프링(56)이 작게 늘어나거나 또는 늘어나지 않아, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)의 회전 방향에 있어서의 간격(α)이 작아진다. 이 간격(α)을 검출함으로써, 필름(110)의 장력을 검출하는 것이 가능하다. 이 간격(α)은 모터 아암(52)과 릴 아암(62) 사이의 거리에 한정되지 않고, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)이 이루는 각도, 또는 그들의 한쪽 또는 양쪽에 보조 아암 등이 연결되어 있는 경우에는 보조 아암 등으로부터 모터 아암(52), 릴 아암(62) 또는 다른 보조 아암 등까지의 거리, 각도일 수 있다. 장력 검출부(38)로서, 간격(α)을 검출할 수 있는 적절한 센서를 설치함으로써, 예를 들면 간격(α)이 제1 소정값(미리 정한 값) 미만인 경우에는 장력이 과소하다고 검출할 수 있고, 간격(α)이 제1 소정값보다 큰 제2 소정값(미리 정한 값)을 넘는 경우에는 장력이 과대하다고 검출할 수 있다.
여기서, 구체적인 본 실시형태의 장력 검출부(38)에 대해 설명한다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 릴 아암(62)의 선단 근방이며 모터 아암(52)과는 반대측의 측면에는 봉 형상의 피검출체(60)가 고착되어 있다. 한편, 모터 아암(52)의 선단 근방에는 보조 아암(54)이 연결되어 있고, 보조 아암(54)은 모터 아암(52)의 전측 측면으로부터 돌출되어, 도중에 굴곡되어 릴 아암(62)측으로 뻗어 있다. 보조 아암(54)의 전후 측면에는 한 쌍의 검출 아암(58)이 연결되어 있다. 한 쌍의 검출 아암(58)은 릴 아암(62)과 피검출체(60)를 사이에 두도록 배치되어 있다.
도 6A에는 보조 아암(54), 한 쌍의 검출 아암(58), 릴 아암(62) 및 피검출체(60)를 상측으로부터 본 도면이 나타나 있다. 도 6A에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 검출 아암(58)은 발광부(40a) 및 수광부(40b)를 가지는 제1 광전 센서(40)와, 발광부(42a) 및 수광부(42b)를 가지는 제2 광전 센서(42)를 갖춘다. 발광부(40a, 42a)의 각각은 검출 아암(58a)의 내면에 배치되어 있고, 수광부(40b, 42b)의 각각은 발광부(40a, 42a)의 각각과 대향하여 설치되어, 검출 아암(58b)의 내면에 배치되어 있다. 제1 광전 센서(40)는 한 쌍의 검출 아암(58)의 보조 아암(54)측(모터 아암측)에 배치되고, 제2 광전 센서(42)는 한 쌍의 검출 아암(58)에 있어서 제1 광전 센서(40)와 소정 간격을 두고 릴 아암(62)측에 배치되어 있다.
제1 광전 센서(40)는 발광부(40a)로부터 수광부(40b)에 이르는 광의 차단(차광)을 검지 가능하며, 제2 광전 센서(42)는 발광부(42a)로부터 수광부(42b)에 이르는 광의 차단(차광)을 검지 가능하다. 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)는 각각의 위치에 있어서의 한 쌍의 검출 아암(58)의 사이에 릴 아암(62) 또는 피검출체(60)가 들어가면 차광을 검지하고, 그들의 존재를 검지한다. 도 6A~도 6C에 나타내는 바와 같이, 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)의 각각의 차광 유무의 조합에 의해, 보조 아암(54)(모터 아암)에 대한 릴 아암(62)(피검출체(60))의 위치를 3단계로 검지할 수 있도록 되어 있다. 즉, 상기한 간격(α)을 3단계로 검지할 수 있도록 되어 있다. 판정부(39)(도 4 참조)에 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)의 검지 신호(검지 결과)가 입력되고, 판정부(39)는 검지 결과인 차광 유무의 조합에 기초하여 필름(110)의 장력의 과대, 과소 또는 적정을 판정한다.
또한 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)는 도 5에 나타내는 모터 아암(52)이 회전함으로써 회전하는 검출 아암(58a, 58b)(회전체)에 배치되어 있기 때문에, 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)에 외부로부터 전력 공급하고, 또 그들로부터의 검지 신호를 외부로 전하기 위한 배선을 궁리할 필요가 있다. 본 실시형태에서는, 도 5에 나타내는 검출 아암(58a, 58b), 보조 아암(54), 모터 아암(52) 및 권취 모터(30)의 회전축(50)이 중공의 구조로 되어 있어, 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)의 배선이 그들 안에 배치되고, 검출 아암(58a, 58b)으로부터 권취 모터(30)의 회전축(50)까지 이끌어져 있다. 그리고, 회전축(50)에 슬립 링(46)이라고 불리는 회전축 안의 배선과 외부의 배선(48)(고정된 배선)을 전기적으로 접속 가능한 부재를 설치하고 있다. 이것에 의해, 회전하는 제1 광전 센서(40)와 제2 광전 센서(42)에 외부로부터의 전력 공급을 가능하게 하고, 그들로부터의 검지 신호를 외부로 전하는 것을 가능하게 하고 있다.
<장력 조정>
이어서, 본 실시형태의 장력 조정에 대해 설명한다. 도 3의 플로우의 S104가 장력 조정의 스텝이다. 상기 서술한 바와 같이 S100, S102에서, 실장 헤드(12)의 바닥면에 새로운 필름(110)을 배치하기 위해서 필름(110)을 권취하고, S104에서, 필름(110)의 장력 조정을 행한다.
우선, 도 3의 S200에서, 장력 검출부(38)의 판정부(39)는 제1 광전 센서(40)(제1 센서)의 차광(릴 아암(62) 또는 피검출체(60)의 검지)의 유무를 확인한다. 차광이 있는 경우(S200:No)에는 S208로 진행한다. 이 상태가 도 6B에 나타내는 상태이며, 보조 아암(54)(모터 아암)에 대한 릴 아암(62)의 위치가 가까운 상태, 즉, 인장 스프링(56)이 작게 늘어나 있거나 또는 늘어나 있지 않은 상태이다. 이 경우, 도 3의 S208에서, 판정부(39)는 필름(110)의 장력이 과소하다고 판정한다. 그리고, S212에서, 제어부(20)는 권취 모터(30)를 필름(110)을 권취하는 방향(순방향)으로 회전시켜, 권취 릴(26)을 권취하는 방향(도 5의 굵은선 검은 화살표의 방향)으로 회전시킨다. 이것에 의해, 인장 스프링(56)이 이전보다 늘어난 상태가 됨과 아울러, 필름(110)의 장력이 증가한다.
한편, 도 3의 S200에서, 차광 없음인 경우(S200:Yes)에는 S202로 진행한다. S202에서, 판정부(39)는 제2 광전 센서(42)(제2 센서)의 차광(릴 아암(62) 또는 피검출체(60)의 검지)의 유무를 확인한다. 차광이 있는 경우(S202:No)에는 S206으로 진행한다. 이 상태가 도 6A에 나타내는 상태이며, 보조 아암(54)(모터 아암)에 대한 릴 아암(62)의 위치가 적정한 상태, 즉, 인장 스프링(56)의 늘어남이 소망의 상태이다. 이 경우, 도 3의 S206에서, 판정부(39)는 필름(110)의 장력이 적정하다고 판정하고, 장력 조정의 처리를 종료하고, S106으로 진행한다.
한편, S202에서, 차광 없음인 경우(S202:Yes)에는 S204로 진행한다. 이 상태가 도 6C에 나타내는 상태이며, 보조 아암(54)(모터 아암)에 대한 릴 아암(62)의 위치가 먼 상태, 즉, 인장 스프링(56)이 크게 늘어나 있는 상태이다. 이 경우, 도 3의 S204에서, 판정부(39)는 필름(110)의 장력이 과대하다고 판정한다. 그리고, S210에서, 제어부(20)는 권취 모터(30)를 필름(110)을 권취하는 방향과는 역방향으로 회전시킴으로써 권취 릴(26)을 역방향(도 5의 굵은선의 파선 검은 화살표의 방향)으로 회전시킨다. 이것에 의해, 인장 스프링(56)이 이전보다 줄어든 상태가 됨과 아울러, 필름(110)의 장력이 감소한다.
제어부(20)는 장력이 과소 또는 과대라고 판정(S208 또는 S204)되어, 장력의 조정(S212 또는 S210)을 행했을 때는 다시 S200으로 되돌아가, 장력 적정이 되었는지를 확인하고, 장력 적정이라고 판정(S206)될 때까지 장력의 조정을 계속한다. 구체적으로는, 제어부(20)는 제1 광전 센서의 차광(릴 아암(62) 또는 피검출체(60)의 검지) 없음, 또한 제2 광전 센서의 차광(릴 아암(62) 또는 피검출체(60)의 검지) 있음이 될 때까지, 권취 모터(30)를 통하여 권취 릴(26)을 회전시켜, 장력 조정을 행한다. 이와 같이, 피드백 제어를 행한다.
<작용 효과>
이어서, 본 실시형태의 실장 장치(10)의 작용 효과에 대해 설명한다. 본 실시형태의 실장 장치(10)는 필름(110)의 장력을 검출하고, 그 검출 결과에 기초하여 필름(110)의 장력을 조정한다. 그 때문에 실장 헤드(12)의 바닥면에 배치된 필름(110)에 소망의 장력을 발생시킬 수 있다. 이것에 의해, 흡인용의 구멍을 형성하기 위한 침(88)이 필름(110)에 원활하게 찔리게 되어, 소망 형상의 구멍을 형성할 수 있다. 또 실장 헤드(12)의 바닥면에 필름(110)을 통하여 반도체 칩(100)을 흡착했을 때의 실장 헤드(12)와 반도체 칩(100)의 밀착도를 향상시킬 수 있다. 이것에 의해, 밀착도가 나빠, 실장 헤드(12)로부터 반도체 칩(100)이 떨어져버리는 것 같은 사태를 적확하게 방지할 수 있다.
또 본 실시형태는, 송출 모터(28)와 권취 모터(30)로 스테핑 모터를 사용하고 있기 때문에, 그들의 회전축을 작은 회전 각도의 단위로 회전시킬 수 있어, 필름(110)의 권취량의 미조정이 가능하다. 특히, 장력 조정시에, 권취 모터(30)의 회전축을 작은 회전 각도의 단위로 회전시킬 수 있으므로, 필름(110)의 장력의 미조정이 가능하다. 또 스테핑 모터를 사용함으로써, 권취 모터(30)의 역회전이 가능하게 되어 있다.
<기타>
이상 설명한 실시형태에서는, 장력 검출부(38)로서 2개의 광전 센서를 사용했지만, 도 5에 나타내는 모터 아암(52)과 릴 아암(62)의 간격(α)을 직접 또는 간접적으로 검출할 수 있는 한, 어떠한 센서가 사용되어도 된다. 또 센서의 위치에 대해서도 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 모터 아암(52) 또는 릴 아암(62)의 일방에 레이저 거리 센서를 설치하여, 타방을 향하여 레이저 조사함으로써, 간격(α)을 검출할 수 있다. 또 간격(α)으로서 인장 스프링(56) 자체의 길이를 센서로 검출해도 된다.
또 이상 설명한 실시형태와 같이 한 쌍의 검출 아암(58)에 광전 센서를 설치하는 경우에는, 광전 센서의 수는 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다. 한 쌍의 검출 아암(58)에 3개 이상의 광전 센서의 각각을 소정 간격을 두고 배치하면, 모터 아암(52)에 대한 릴 아암(62)의 위치를 보다 세세하게 파악할 수 있게 되어, 장력 조정에 있어서의 권취 모터(30)의 회전량을 보다 세세하게 조정할 수 있게 된다.
또 이상 설명한 실시형태에서는, 모터 아암(52)에 보조 아암(54)을 통하여 간접적으로 한 쌍의 검출 아암(58)이 연결되어 있었지만, 모터 아암(52)에 직접 한 쌍의 검출 아암(58)이 연결되어 있어도 된다. 또 이상 설명한 실시형태에서는, 모터 아암(52)에 (간접적으로) 한 쌍의 검출 아암(58)이 연결되고, 릴 아암(62)에 피검출체(60)가 고착된 구성이었다. 그러나, 릴 아암(62)에 직접 또는 간접적으로 한 쌍의 검출 아암(58)이 연결되고, 모터 아암(52)에 피검출체(60)가 고착된 구성이어도 된다.
또 이상 설명한 실시형태에서는, 한 쌍의 검출 아암(58)이 릴 아암(62)과 피검출체(60)를 사이에 두는 구성이었지만, 한 쌍의 검출 아암(58)은 릴 아암(62)과 피검출체(60)의 적어도 1개를 사이에 두는 구성이면 된다. 즉, 릴 아암(62)이 회전 방향으로 큰 폭을 가지고 형성되어 있으면, 릴 아암(62)이 피검출체(60)를 겸할 수 있기 때문에, 피검출체(60)가 불필요하게 되고, 한 쌍의 검출 아암(58)은 릴 아암(62)만을 사이에 두게 된다. 한편, 예를 들면 피검출체(60)가 릴 아암(62)의 전측(도 5의 우측) 측면으로부터 돌출되어, 도중에 굴곡되어 모터 아암(52)측으로 뻗은 형상(도 5에 나타내는 보조 아암(54)과 마찬가지의 형상)이면, 한 쌍의 검출 아암(58)은 릴 아암(62)이 아니라, 피검출체(60)만을 사이에 두도록 구성할 수 있다.
또 이상 설명한 실시형태에서는, 필름(110)의 권취 후, 송출측의 롤러(32, 34)를 로크하여, 롤러(32, 34) 사이의 필름(110)을 고정하고 있었다. 그리고, 그 상태에서 필름(110)의 장력 검출과 장력 조정을 행했다. 그러나, 롤러(32, 34)의 로크는 필수는 아니다. 예를 들면 송출측에 다수의 롤러를 갖추고, 그들이 필름(110)을 꼬불꼬불 구부러지게 하여 송출하도록 배치되어 있는 경우에는, 롤러가 완전히 로크되어 있지 않아도, 송출측에 있어서 필름(110)은 고정된 상태가 될 수 있다.
또 이상 설명한 실시형태에서는, 모터 아암(52)과 릴 아암(62) 사이에, 탄성 부재로서 인장 스프링(56)을 설치했다. 그러나, 탄성 부재로서 고무 등을 설치해도 된다.
또 상기 서술한 바와 같이, 장력 검출부(38)로서, 모터 아암(52)과 릴 아암(62)의 간격(α)을 검출할 수 있는 적절한 센서를 설치하면, 간격(α)이 제1 소정값(미리 정한 값) 미만인 경우에 장력이 과소하다고 검출하고, 간격(α)이 제1 소정값보다 큰 제2 소정값(미리 정한 값)을 넘는 경우에는 장력이 과대하다고 검출할 수 있다. 이 제1 소정값과 제2 소정값은 권취 릴(26)에 필름(110)이 감겨 있는 양에 따라 변화시켜도 된다. 권취 릴(26)에 감겨 있는 필름(110)의 양이 많은 경우에는, 권취 릴(26)의 필름(110)을 합친 반경이 커지기 때문에, 필름(110)의 장력이 동일해도, 릴 아암(62)에는 보다 큰 토크가 발생한다. 그것에 의해, 실제로는 필름(110)의 장력이 과소해도 장력이 적정하다고 검출하고, 실제로는 필름(110)의 장력이 적정해도 장력이 과대하다고 검출해버릴 가능성이 있다. 그래서, 감겨 있는 필름(110)의 양이 많아질수록, 제1 소정값과 제2 소정값을 보다 큰 값으로 해도 된다.
또 마찬가지로, 권취 릴(26)에 감겨 있는 필름(110)의 양에 따라, 장력 조정할 때의 권취 모터(30)의 회전량을 변화시켜도 된다. 권취 릴(26)에 감겨 있는 필름(110)의 양이 많을수록, 권취 릴(26)의 권취 방향으로의 회전으로 보다 많은 필름(110)이 권취되고, 필름(110)의 장력이 보다 커진다. 마찬가지로, 권취 릴(26)에 감겨 있는 필름(110)의 양이 많을수록, 권취 릴(26)의 역방향으로의 회전으로 보다 많은 필름(110)이 권취 릴(26)로부터 송출되고, 필름(110)의 장력이 보다 작아진다. 그래서, 감겨 있는 필름(110)의 양이 많아질수록, 장력 조정할 때의 권취 모터(30)의 권취 방향 또는 역방향으로의 회전량을 보다 작게 하도록 해도 된다.
또 이상 설명한 실시형태의 실장 장치(10)는 플립 칩 본딩을 행하는 장치(플립 칩 본더)였지만, 실장 장치(10)는 반도체 다이의 기판으로의 전기적 접속은 하지 않고, 반도체 다이를 기판에 접착 재료에 의해 고착하는 장치(다이 본더) 등이어도 된다. 또 이상 설명한 실시형태의 실장 장치(10)는 기판(104)에 미리 접착 재료를 도포해 두는 방식(선도포 방식)이었지만, 기판(104)에 접착 재료를 도포해 두는 것이 아니라, 반도체 칩(100)의 이면에 NCF 등의 접착 재료를 첩부해 두고, 이 NCF 등을 가열 경화시켜 반도체 칩(100)을 기판(104)에 실장하는 것이어도 된다.
또 이상 설명한 실시형태의 실장 장치(10)는 반도체 칩(100)을 기판(104)에 실장했지만, 반도체 칩(100) 이외의 전자 부품(예를 들면 트랜지스터나 콘덴서 등)을 기판(104) 또는 기판(104) 이외의 피실장 부재(웨이퍼, 유리, 수지 등)에 실장하는 것이어도 된다.
이상 설명한 실시형태의 필름 공급 장치(90)는 실장 장치(10) 이외의 용도에도 사용할 수 있는 것이다. 상기한 장력 검출 및 장력 조정의 기술은 필름, 끈, 실 등을 송출 릴로부터 권취 릴에 권취하는 모든 장치에 적용하는 것이 가능하다.
이상, 본 발명에 대해 설명했는데, 본 발명은 이러한 실시형태에 하등 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 각종 형태로 실시할 수 있는 것은 물론이다.
10…실장 장치, 12…실장 헤드, 14…본딩 스테이지, 16…기대, 18…필름 권취 기구, 20…제어부, 21…기억부, 22…흡인 구멍, 24…송출 릴, 26…권취 릴, 28…송출 모터, 30…권취 모터, 32, 34…롤러, 36…벨트, 37…프레임, 38…장력 검출부, 39…판정부, 40…제1 광전 센서(제1 센서), 40a…발광부, 40b…수광부, 42…제2 광전 센서(제2 센서), 42a…발광부, 42b…수광부, 44…배선, 46…슬립 링, 48…배선, 50…회전축, 52…모터 아암, 54…보조 아암, 56…인장 스프링(탄성 부재), 58…1쌍의 검출 아암, 58a, 58b…검출 아암, 60…피검출체, 62…릴 아암, 64…회전축, 66…코어재, 68…원형 덮개, 88…침, 90…필름 공급 장치, 100…반도체 칩(전자 부품), 102…범프, 104…기판, 106…전극, 108…접착 재료, 110…필름.

Claims (7)

  1. 실장 헤드의 바닥면과 전자 부품 사이에 필름을 개재시켜 상기 전자 부품의 실장을 행하는 실장 장치로서,
    송출 릴로부터 권취 릴에 걸쳐진 필름을 상기 권취 릴을 회전시켜 권취하는 필름 권취 기구로서, 상기 실장시마다, 새로운 필름이 상기 실장 헤드의 바닥면에 배치되도록 권취하는 필름 권취 기구와,
    상기 필름 권취 기구에 의한 권취 후에 있어서의 필름의 장력을 검출하는 장력 검출부와,
    상기 장력 검출부에 의해 검출된 상기 장력에 기초하여 권취 모터에 의해 상기 권취 릴을 회전시켜 상기 장력을 조정하는 제어부를 갖추는
    것을 특징으로 하는 실장 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름 권취 기구는,
    상기 권취 모터의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 일정 방향으로 뻗은 모터 아암과,
    상기 권취 릴의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 상기 모터 아암에 대응하는 방향으로 뻗고, 상기 모터 아암과 동일 중심에서 회전하는 릴 아암과,
    일단이 상기 모터 아암에 연결되고, 타단이 상기 릴 아암에 연결되어, 상기 모터 아암에 상기 릴 아암을 추종시키는 탄성 부재를 갖추고,
    상기 장력 검출부는,
    상기 모터 아암과 상기 릴 아암의 회전 방향에 있어서의 간격에 기초하여 상기 장력을 검출하는
    것을 특징으로 하는 실장 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 장력 검출부는,
    상기 간격이 제1 소정값 미만인 경우에는 상기 장력이 과소하다고 검출하고,
    상기 간격이 상기 제1 소정값보다 큰 제2 소정값을 넘는 경우에는 상기 장력이 과대하다고 검출하는
    것을 특징으로 하는 실장 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 모터 아암 또는 상기 릴 아암의 일방에는, 타방을 향하여 뻗고, 타방 또는 타방에 연결된 피검출체의 적어도 1개를 사이에 두도록 배치된 한 쌍의 검출 아암이 직접 또는 간접적으로 연결되어 있고,
    상기 한 쌍의 검출 아암은, 검출 아암 사이의 상기 타방 또는 상기 피검출체를 검지 가능한 제1 센서와 제2 센서를 갖추고,
    상기 제1 센서는 상기 한 쌍의 검출 아암의 상기 일방측에 배치되고, 상기 제2 센서는 상기 한 쌍의 검출 아암에 있어서 상기 제1 센서와 소정 간격을 두고 상기 타방측에 배치되어 있고,
    상기 장력 검출부는,
    상기 제1 센서가 상기 타방 또는 상기 피검출체를 검지한 경우에는 상기 장력이 과소하다고 검출하고,
    상기 제1 센서가 상기 타방 및 상기 피검출체를 검지하지 않고, 또한 상기 제2 센서가 상기 타방 및 상기 피검출체를 검지하지 않은 경우에는 상기 장력이 과대하다고 검출하는
    것을 특징으로 하는 실장 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 장력이 과소하다고 검출되었을 때는, 상기 권취 모터를 통하여 상기 권취 릴을 권취하는 방향으로 회전시키고,
    상기 장력이 과대하다고 검출되었을 때는, 상기 권취 모터를 통하여 상기 권취 릴을 상기 권취하는 방향과는 역방향으로 회전시키는
    것을 특징으로 하는 실장 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 장력이 과소 또는 과대하다고 검출되었을 때, 상기 제1 센서가 상기 타방 및 상기 피검출체를 검지하지 않고, 또한 상기 제2 센서가 상기 타방 또는 상기 피검출체를 검지할 때까지, 상기 권취 모터를 통하여 상기 권취 릴을 회전시키는
    것을 특징으로 하는 실장 장치.
  7. 필름 공급 장치로서,
    송출 릴로부터 권취 릴에 걸쳐진 필름을 상기 권취 릴을 회전시켜 권취하는 필름 권취 기구와,
    상기 필름 권취 기구에 의해 필름을 소정량 권취한 후에 있어서의 필름의 장력을 검출하는 장력 검출부와,
    상기 장력 검출부에 의해 검출된 상기 장력에 기초하여 권취 모터에 의해 상기 권취 릴을 회전시켜 상기 장력을 조정하는 제어부를 갖추고,
    상기 필름 권취 기구는,
    상기 권취 모터의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 일정 방향으로 뻗은 모터 아암과,
    상기 권취 릴의 회전축에 직접 또는 간접적으로 접속되어 상기 모터 아암에 대응하는 방향으로 뻗고, 상기 모터 아암과 동일 중심에서 회전하는 릴 아암과,
    일단이 상기 모터 아암에 연결되고, 타단이 상기 릴 아암에 연결되어, 상기 모터 아암에 상기 릴 아암을 추종시키는 탄성 부재를 갖추고,
    상기 장력 검출부는,
    상기 모터 아암과 상기 릴 아암의 회전 방향에 있어서의 간격이 제1 소정값 미만인 경우에는 상기 장력이 과소하다고 검출하고,
    상기 간격이 상기 제1 소정값보다 큰 제2 소정값을 넘는 경우에는 상기 장력이 과대하다고 검출하고,
    상기 제어부는,
    상기 장력이 과소하다고 검출되었을 때는, 상기 권취 모터를 통하여 상기 권취 릴을 권취하는 방향으로 회전시키고,
    상기 장력이 과대하다고 검출되었을 때는, 상기 권취 모터를 통하여 상기 권취 릴을 상기 권취하는 방향과는 역방향으로 회전시키는
    것을 특징으로 하는 필름 공급 장치.
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