JP6639915B2 - 半導体実装装置および半導体実装方法 - Google Patents
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Description
このため、図12に示すフリップチップ実装装置100を、半導体チップCを基板S上に仮配置するために用い、加熱圧着には図14に示すような本圧着装置1を用いる方法が提案されている(例えば特許文献1)。このような仮配置と本圧着を行う方式では、高温加熱を要しない仮配置で半導体チップ1つに要するタクトタイムを短縮している。
半導体チップCの基板Sへの実装では、図17(a)のように、バンプBが溶融することにより、基板Sの電極ESと半導体チップCの電極ECが電気的にも機械的にも接合され、その周囲を接着剤Rが硬化して封止される。これに対して、接着剤Rの硬化が先行した場合には、図17(b)のように、バンプBが溶融する温度に達しても、バンプBは流動することが出来ず、さらにバンプBが基板Sの電極ESに接触することすら妨げられることがあり、半導体チップCと基板Sとの電気的な接合が不完全となり、実装後の半導体装置が動作不良となる。
基板上に仮配置された半導体チップを、熱伝導制御部材を介して加熱圧着する半導体実装装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、前記熱伝導制御部材を供給し、前記半導体チップを覆う位置に配置するとともに、前記熱伝導制御部材の面方向に対して垂直方向に移動可能な熱伝導制御部材供給機構と、前記熱伝導制御部材に加わる張力を測定する張力計と、
前記熱伝導制御部材の半導体チップと接触する面と反対側の面に接触可能なアタッチメントツールを有し、前記熱伝導制御部材を介して前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドと、前記熱伝導制御部材供給機構と前記ボンディングヘッドを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記張力計の測定値の変化により前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触有無を判定する接触判定部と、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触時間を計測するカウンタを有している半導体実装装置である。
基板上に仮配置された半導体チップを、熱伝導制御部材を介して加熱圧着する半導体実装装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、前記熱伝導制御部材を供給し、前記半導体チップを覆う位置に配置するとともに、前記熱伝導制御部材の面方向に対して垂直方向に移動可能な熱伝導制御部材供給機構と、前記熱伝導制御部材の半導体チップと接触する面と反対側の面に接触可能なアタッチメントツールを有し、前記熱伝導制御部材を介して前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドと、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの画像を取得するカメラと、前記熱伝導制御部材供給機構と前記ボンディングヘッドを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記カメラが同時に観察する前記熱伝導制御部材上面と前記アタッチメントツール下面の距離により前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触有無を判定する接触判定部と、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触時間を計測するカウンタを有している半導体実装装置である。
前記制御部は、前記熱伝導制御部材が前記半導体チップから離れている状態で、前記熱伝導制御部材供給機構に対して前記ボンディングヘッドを相対移動させることで、前記アタッチメントツールを前記熱伝導制御部材に接触させる機能と、前記接触後の時間が所定値に達してから、前記ボンディングヘッドにより、前記アタッチメントツールが接触した状態の前記熱伝導制御部材を前記半導体チップに接触させ、前記熱伝導制御部材を介して半導体チップを加熱圧着する機能を有している半導体実装装置である。
基板上に仮配置された半導体チップを、熱伝導制御部材を介して加熱圧着する半導体実装装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、前記熱伝導制御部材を供給し、前記半導体チップを覆う位置に配置するとともに、前記熱伝導制御部材の面方向に対して垂直方向に移動可能な熱伝導制御部材供給機構と、前記熱伝導制御部材の半導体チップと接触する面と反対側の面に接触可能なアタッチメントツールを有し、前記熱伝導制御部材を介して前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドと、前記熱伝導制御部材の、前記半導体チップ側の面の温度を測定する温度測定手段と、前記フィルム供給機構と前記ボンディングヘッドを制御するとともに、前記温度測定手段の測定値を入力する機能を有している制御部とを備え、
前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触有無を判定する接触判定部を有している半導体実装装置である。
前記制御部は、前記熱伝導制御部材が前記半導体チップから離れている状態で、前記熱伝導制御部材供給機構に対して前記ボンディングヘッドを相対移動させることで、前記アタッチメントツールを前記熱伝導制御部材に接触させる機能と、前記温度測定手段の測定値が所定の値以上になったら、前記ボンディングヘッドにより、前記アタッチメントツールが接触した状態の前記熱伝導制御部材を前記半導体チップに接触させ、前記熱伝導制御部材を介して半導体チップを加熱圧着する機能を有している半導体実装装置である。
基板上に未硬化の接着剤を介して仮配置された半導体チップを加熱圧着して、前記基板の電極パッドと前記半導体チップを接合させるとともに前記接着剤を硬化させる、半導体実装方法であって、
前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドを前記半導体チップに向けて移動させる工程において、前記ボンディングヘッドの先端部にあるアタッチメントツールを、前記接着剤が前記アタッチメントツールに付着することを防止する熱伝導制御部材に接触させ、前記熱伝導制御部材に加わる張力の変化により、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触を検知し、前記アタッチメントツールが前記熱伝導制御部材に接触後の経過時間が所定値に達してから、前記ボンディングヘッドが、前記熱伝導制御部材を介して、前記半導体チップを加熱圧着する半導体実装方法である。
基板上に未硬化の接着剤を介して仮配置された半導体チップを加熱圧着して、前記基板の電極パッドと前記半導体チップを接合させるとともに前記接着剤を硬化させる、半導体実装方法であって、
前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドを前記半導体チップに向けて移動させる工程において、前記ボンディングヘッドの先端部にあるアタッチメントツールを、前記接着剤が前記アタッチメントツールに付着することを防止する熱伝導制御部材に接触させ、前記熱伝導制御部材の、前記半導体側の面の測定温度が所定の値以上になってから、
前記ボンディングヘッドが、前記熱伝導制御部材を介して、前記半導体チップを加熱圧着する半導体実装方法である。
前記半導体チップのバンプがはんだからなり、前記所定の値が前記はんだの溶融温度であることを特徴とする半導体実装方法である。
本発明に係る半導体実装装置は、図14に示した本圧着装置1を基本構成とするが、この構成に、図1に示した熱伝導制御部材供給機構2を更に備えたものである。
2 熱伝導制御部材供給機構
4 基板ステージ
6 ボンディングユニット
7 ボンディングヘッド
8 本圧着用ヒータ
9 アタッチメントツール9
10 画像認識装置
11 制御部
12 接触判定部
13 カウンタ
14 接触検知手段
C 半導体チップ
F 熱伝導制御部材
R 接着剤
S 基板
Claims (8)
- 基板上に仮配置された半導体チップを、熱伝導制御部材を介して加熱圧着する半導体実装装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記熱伝導制御部材を供給し、前記半導体チップを覆う位置に配置するとともに、前記熱伝導制御部材の面方向に対して垂直方向に移動可能な熱伝導制御部材供給機構と、
前記熱伝導制御部材に加わる張力を測定する張力計と、
前記熱伝導制御部材の半導体チップと接触する面と反対側の面に接触可能なアタッチメントツールを有し、前記熱伝導制御部材を介して前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドと、
前記熱伝導制御部材供給機構と前記ボンディングヘッドを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記張力計の測定値の変化により前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触有無を判定する接触判定部と、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触時間を計測するカウンタを有している半導体実装装置。 - 基板上に仮配置された半導体チップを、熱伝導制御部材を介して加熱圧着する半導体実装装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記熱伝導制御部材を供給し、前記半導体チップを覆う位置に配置するとともに、前記熱伝導制御部材の面方向に対して垂直方向に移動可能な熱伝導制御部材供給機構と、
前記熱伝導制御部材の半導体チップと接触する面と反対側の面に接触可能なアタッチメントツールを有し、前記熱伝導制御部材を介して前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドと、
前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの画像を取得するカメラと、
前記熱伝導制御部材供給機構と前記ボンディングヘッドを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記カメラが同時に観察する前記熱伝導制御部材上面と前記アタッチメントツール下面の距離により前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触有無を判定する接触判定部と、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触時間を計測するカウンタを有している半導体実装装置。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体実装装置であって、
前記制御部は、
前記熱伝導制御部材が前記半導体チップから離れている状態で、前記熱伝導制御部材供給機構に対して前記ボンディングヘッドを相対移動させることで、前記アタッチメントツールを前記熱伝導制御部材に接触させる機能と、
前記接触後の時間が所定値に達してから、前記ボンディングヘッドにより、前記アタッチメントツールが接触した状態の前記熱伝導制御部材を前記半導体チップに接触させ、前記熱伝導制御部材を介して半導体チップを加熱圧着する機能を有している半導体実装装置。 - 基板上に仮配置された半導体チップを、熱伝導制御部材を介して加熱圧着する半導体実装装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記熱伝導制御部材を供給し、前記半導体チップを覆う位置に配置するとともに、前記熱伝導制御部材の面方向に対して垂直方向に移動可能な熱伝導制御部材供給機構と、
前記熱伝導制御部材の半導体チップと接触する面と反対側の面に接触可能なアタッチメントツールを有し、前記熱伝導制御部材を介して前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドと、
前記熱伝導制御部材の、前記半導体チップ側の面の温度を測定する温度測定手段と、
前記熱伝導制御部材供給機構と前記ボンディングヘッドを制御するとともに、前記温度測定手段の測定値を入力する機能を有している制御部とを備え、
前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触有無を判定する接触判定部を有している半導体実装装置。 - 請求項4に記載の半導体実装装置であって、
前記制御部は、
前記熱伝導制御部材が前記半導体チップから離れている状態で、前記熱伝導制御部材供給機構に対して前記ボンディングヘッドを相対移動させることで、前記アタッチメントツールを前記熱伝導制御部材に接触させる機能と、
前記温度測定手段の測定値が所定の値以上になったら、前記ボンディングヘッドにより、前記アタッチメントツールが接触した状態の前記熱伝導制御部材を前記半導体チップに接触させ、前記熱伝導制御部材を介して半導体チップを加熱圧着する機能を有している半導体実装装置。 - 基板上に未硬化の接着剤を介して仮配置された半導体チップを加熱圧着して、前記基板の電極パッドと前記半導体チップを接合させるとともに前記接着剤を硬化させる、半導体実装方法であって、
前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドを前記半導体チップに向けて移動させる工程において、
前記ボンディングヘッドの先端部にあるアタッチメントツールを、前記接着剤が前記アタッチメントツールに付着することを防止する熱伝導制御部材に接触させ、
前記熱伝導制御部材に加わる張力の変化により、前記熱伝導制御部材と前記アタッチメントツールの接触を検知し、
前記アタッチメントツールが前記熱伝導制御部材に接触後の経過時間が所定値に達してから、
前記ボンディングヘッドが、前記熱伝導制御部材を介して、前記半導体チップを加熱圧着する半導体実装方法。 - 基板上に未硬化の接着剤を介して仮配置された半導体チップを加熱圧着して、前記基板の電極パッドと前記半導体チップを接合させるとともに前記接着剤を硬化させる、半導体実装方法であって、
前記半導体チップを加熱圧着するボンディングヘッドを前記半導体チップに向けて移動させる工程において、
前記ボンディングヘッドの先端部にあるアタッチメントツールを、前記接着剤が前記アタッチメントツールに付着することを防止する熱伝導制御部材に接触させ、
前記熱伝導制御部材の、前記半導体側の面の測定温度が所定の値以上になってから、
前記ボンディングヘッドが、前記熱伝導制御部材を介して、前記半導体チップを加熱圧着する半導体実装方法。 - 請求項7に記載の半導体実装方法であって、
前記半導体チップもしくは基板のバンプにはんだを有し、前記所定の値が前記はんだの溶融温度であることを特徴とする半導体実装方法。
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