JP2004259917A - ボンディング方法および装置 - Google Patents
ボンディング方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004259917A JP2004259917A JP2003048731A JP2003048731A JP2004259917A JP 2004259917 A JP2004259917 A JP 2004259917A JP 2003048731 A JP2003048731 A JP 2003048731A JP 2003048731 A JP2003048731 A JP 2003048731A JP 2004259917 A JP2004259917 A JP 2004259917A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resin
- mounting member
- heating
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】整列した複数個のチップ4を覆うように、これらチップ4とヘッド12との間に弾性材6を介在し、弾性材6の上方からヘッド12で加圧する。このとき、弾性材6がチップ4ごとの厚みのバラツキを吸収して均等に加圧するとともに、基板2の下方の加熱手段から加熱されてチップ4の実装された基板2の裏面部分のみ加熱して樹脂を加熱硬化する。したがって、複数個のチップ4を同時に基板2に実装することができるとともに、基板全体に与えるストレスを回避することができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、樹脂基板などの基板上に半導体素子や表面実装部品などの実装部材を実装するためのボンディング方法およびその装置に係り、とくに基板上に実装部材を効率よく実装する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、基板(例えば、液晶、EL(Electro Luminescence)、プラズマディスプレイなどのフラット表示パネル)の製造工程において、実装部材(例えば、半導体チップなど)を基板に実装している。実装部材(以下、単に「チップ」という)を基板に実装するボンディング方法としては、基板とチップの間に樹脂、例えば異方導電性膜(ACF:Anisotropic Conductive Film)や非導電性樹脂(NCP:Non−Conductive Paste)などを介在させ、加熱圧着手段をチップ上方から押圧させながら、樹脂を加熱硬化してチップを基板に加熱圧着している。
【0003】
ボンディング方法としては、実装部材の仮圧着工程と加熱圧着させる本圧着工程に分かれ、本圧着工程では、具体的には、図5に示すように、マルチヘッドでチップ4ごとに個々のヘッド31とバックアップ7とで挟み込んで加熱圧着している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなボンディング装置の場合には、次のような問題がある。
【0005】
すなわち、実装部材(例えば、ICチップ、半導体チップ、光素子、表面実装部品、チップ、ウエハ、TCP(Tape Carrier Package)、FPC(Flexible Printed Circuit)など)には個々に厚みのバラツキがあり、チップごとにヘッドを押圧しなければ精度よく基板に固着させることができないという不都合がある。
【0006】
また、隣接するチップ同士のピッチが狭いために、チップ形状よりも大型のヘッドで隣接するチップを同時に加熱圧着することができない。そのため、図5に示すように、例えばチップ4を1個飛ばしで加熱圧着するようにヘッド31を配備しなければならない。つまり、複数個のチップ4を一度に加熱圧着することができないので、作業効率が悪いといった不都合がある。
【0007】
基板を一括加熱することができれば基板とチップの熱膨張差を軽減できるが、1個飛ばしでは、基板が十分に伸びない。つまり、実装部材を含んだ加圧エリア全体を一括して全面加熱することができないといった不都合がある。
【0008】
また、このとき、下方から加熱硬化のための加熱をするとヘッドが押圧していないチップ部分については、その箇所の樹脂が加圧されることなく硬化してしまい、例えばACFを使用した場合、樹脂内の導電粒子がチップ側のバンプと基板電極に接触しない、結果、導通不良が発生するといった問題がある。
【0009】
また、チップを高温で加熱した状態では、樹脂がガラス転移点(Tg)以上であるために完全に硬化していない。前記状態のまま加圧解除すると、高温によるチップと基板の熱膨張差による歪み・反りをもったまま加圧解除されることになり、その歪み・反りにより押し付けられていた電極とバンプ間に隙間が生じ、抵抗値の増大、接合不良を起こすといった問題もある。
【0010】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板に実装部材を効率よく実装するボンディング方法およびその装置を提供することを主たる目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、請求項1に記載の発明は、実装部材と基板の間に樹脂を介在させて実装部材を基板に実装するボンディング方法において、基板上の複数個の実装部材と加圧手段との間に弾性材を介在させた状態で、加圧手段と基板を支持する支持部材とにより挟み込んで複数個の実装部材を同時に加圧する加圧工程と、前記加圧状態にある前記樹脂に、前記支持部材に含まれる下部からの基板側加熱手段により加熱し加熱硬化する加熱工程とを備えたことを特徴とするものである。
【0012】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記実装部材が、厚み誤差が1μm以上である、ことを特徴とするものである。
(作用・効果)基板上の複数個の厚み誤差が1μm以上ある実装部材を覆うように弾性材を介在させ、この弾性材の上方から加圧手段により同時に加圧することにより、チップの厚みバラツキが弾性材により吸収されてチップが均等に加圧される。この状態では、弾性材がツールとの間に入っているので、チップ側からの加熱は難しい。このとき、基板側からの加熱手段が基板を透過して樹脂を加熱硬化させる。また、チップと基板の線膨張係数を考えたとき、特にガラスの場合チップより基板側が小さいので、チップより基板側温度が高い方が冷却後の反りを緩和することができる。よって下部から加熱することが有効である。したがって、基板上に複数個の厚み誤差が1μm以上ある実装部材を一度に効率よく実装することができる。
【0013】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、下部からの加熱手段が実装部材を含む加圧エリアを一括して加熱することを特徴とするものである。
【0014】
また、請求項4に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記実装部材が、メッキバンプ付きチップであることを特徴とするものである。
(作用・効果)ボンディング方法は、電極を押圧した状態で樹脂を硬化させる方法であるが、多バンプの場合はメッキ方式が有利である。スタッドバンプの場合は、バンプのつぶし代でチップ厚み誤差を緩和できるが、メッキバンプの場合は難しいが、特にACF工法では、粒子の弾性変形量を均一にする必要性から数μm以内の平行度が要望され平坦なメッキバンプが使用される。この場合、スタッドバンプの様にバンプのつぶし代でチップ厚みを緩和できないので、本方式が好適である。
【0015】
また、請求項5に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記加熱工程では、前記加圧手段の温度が前記基板側温度より低く、かつ前記樹脂の硬化温度より低い範囲であることを特徴とする。
(作用・効果)支持部材を加熱することにより、支持部材からの熱が基板に伝達される。したがって、チップと基板の両方が加熱されて両部材が略同じ温度になることから、両部材の熱膨張係数の差により発生する反りを緩和することができる。特に、基板がフラット表示パネルのように線膨張係数が小さいガラスである場合、支持部材の温度を上げて基板側から熱を伝達するのが好ましい。
【0016】
また、請求項6に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記弾性材の厚みが20μm以上であることを特徴とする。
【0017】
また、請求項7に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記樹脂が、導電粒子を混入した樹脂であることを特徴とするものである。
(作用・効果)導電粒子を含んだ樹脂を介在させて実装部材が基板に加熱圧着される。したがって、複数個の実装部材が均一に加圧されるので樹脂に含まれる導電粒子の均等に弾性変形する、結果、実装部材および基板に対する導電粒子の接触面積を十分に確保できるので、抵抗値不良を回避できる。
【0018】
また、請求項8に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記樹脂を加熱硬化した後にガラス転移点近傍以下まで冷却してから実装部材の加圧を解除する冷却工程を備えたことを特徴とするものである。
(作用・効果)実装部材を基板に加熱圧着した後に、その樹脂に応じたガラス転移点近傍以下まで冷却される。したがって、樹脂が略完全に硬化状態となり、かつ低温になってから加圧を解除するため、基板とチップの熱膨張差などからなる歪み・反りを防止でき、全ての電極で良好な接続を得ることができる。
【0019】
また、請求項9に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記冷却工程は、樹脂をガラス転移点近傍に冷却するとき、樹脂の温度がガラス転移点近傍であって、かつ基板と実装部材の常温までの収縮量が略等しくなるように基板側の加熱温度を調節することを特徴とするものである。
(作用・効果)冷却時に樹脂がTg点にて、そこからチップと基板が常温にて収縮する量を略同じとなるように、基板側加熱温度を設定することで、反りなくボンディングできる。
【0020】
また、請求項10に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、前記基板は、フラット表示パネルであることを特徴とするものである。
(作用・効果)基板上の実装部材が一度に加熱圧着されるので、マルチヘッドのように複数回にわたる加熱処理を行う必要がない。したがって、熱に対するストレスを受けやすいフラット表示パネルについて請求項1に記載の方法を好適に実施することができる。また、基板はチップより線熱膨張係数が小さいため本方式が好適である。
【0021】
また、請求項11に記載の発明は、請求項1に記載のボンディング方法において、チップ仮圧着時に本圧圧力以上の圧力で加圧したものを使用することを特徴とするものである。
(作用・効果)弾性材を介して複数チップを押し込むにあたり弾性材の変形にともないZ方向以外にも分力が加わるためチップをずらすことになる。これを防ぐためにチップ仮圧着時にチップを押込んでおき、本圧時に分力が働いたとしてもずれが発生しなくなる。
【0022】
また、請求項12に記載の発明は、実装部材と基板の間に樹脂を介在させて実装部材を基板に実装するボンディング装置において、前記基板を載置保持する保持テーブルと、前記載置された基板上の複数個の実装部材と加圧手段と、前記複数個の実装部材を加圧するとき実装部材と加圧手段との間に介在させる弾性材と、前記基板の前記実装部材を実装する部分を下方から支持する支持手段と、前記基板の下方から加熱して樹脂を加熱硬化させる加熱手段とを備えたことを特徴とするものである。
(作用・効果)保持テーブルに載置保持された基板上の複数個の実装部材が、弾性材を介して単一の加圧手段により上方から同時に加圧されるとともに、支持部材により下方から基板を介して支持される。このとき、基板下方から加圧エリア全体を一括して加熱して樹脂が加熱硬化される。したがって、請求項1に記載の方法が好適に実現される。
【0023】
また、請求項13に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記実装部材が、厚み誤差が1μm以上であることを特徴とするものである。
【0024】
また、請求項14に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、下部からの加熱手段が実装部材を含む加圧エリア全面を一括して加熱することを特徴とするものである。
【0025】
また、請求項15に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記実装部材が、メッキバンプ付きチップであることを特徴とするものである。
【0026】
また、請求項16に記載の発明は、請求項12〜14のいずれかに記載のボンディング装置において、前記加熱手段は、前記加圧手段の温度が前記基板加熱手段温度より低く、かつ前記樹脂の硬化温度より低い範囲で作用することを特徴とするものである。
【0027】
また、請求項17に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記弾性材の厚みが20μm以上であることを特徴とするものである。
【0028】
また、請求項18に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記樹脂が、導電粒子を混入した樹脂であることを特徴とするものである。
【0029】
また、請求項19に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記加熱硬化した樹脂をガラス転移点近傍以下まで冷却する冷却手段を備えたことを特徴とするものである。
(作用・効果)実装部材を基板に加熱硬化した後にエアブロー等の冷却手段で冷却することにより、請求項8に記載の方法を好適に実現することができる。
【0030】
また、請求項20に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記冷却工程は、樹脂をガラス転移点近傍に冷却するとき、樹脂の温度がガラス転移点近傍であって、かつ基板と実装部材の常温までの収縮量が略等しくなるように基板側の加熱温度を調節することを特徴とするものである。
【0031】
また、請求項21に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、前記基板は、フラット表示パネルであることを特徴とするものである。
【0032】
また、請求項22に記載の発明は、請求項12に記載のボンディング装置において、チップ仮圧着時に本圧圧力以上の圧力で加圧したものを使用することを特徴とするものである。
【0033】
【発明の実施の形態】
本実施例ではNCP、NCF(Non−Conductive Film)などの樹脂中で圧接実装させる方法と、ACP(Anisotropic Conductive paste)、ACFのみにて導電粒子を含めたものなどの樹脂を使用して、実装部材であるチップを基板に実装する場合を例に採って説明する。
【0034】
なお、本発明における「実装部材」としては、例えば、ICチップ、半導体チップ、光素子、表面実装部品、チップ、ウエハ、TCP(Tape Carrier Package)、FPC(Flexible Printed Circuit)などの種類や大きさに関係なく、基板と接合させる側の全ての形態を示し、フラット表示パネルへのチップボンディングであるCOG(Chip On Glass)やTCP、およびFPCのボンディングであるOLB(Outer Lead Bonding)が考えられる。
【0035】
また、本発明における「基板」とは、例えば、樹脂基板、ガラス基板、フィルム基板などを示す。
【0036】
先ず、本実施例に使用する装置について図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明に係るボンディング装置である本圧着装置1の概略構成を示した斜視図、図2は実施例装置の要部構成を示した側面図、図3は実施例装置の概略構成を示した側面図である。
【0037】
図1に示すように、本発明における本圧着装置1は、図示しない実装部材を基板に仮圧着する仮圧着ユニットから搬送されてくる基板2を、水平保持する可動テーブル3と、チップ4を上方から加圧する加圧手段5と、チップ4と加圧手段5との間に介在させる弾性材6と、基板2の下方から加圧手段5とでチップ4を挟み込んで支持するバックアップヒータ7と、樹脂を加熱硬化させる加熱手段8と、基板2および/またはチップ4を冷却する冷却手段9とを備えている。
【0038】
可動テーブル3は、図1に示すように、基板2を吸着保持する基板保持ステージ10を備え、この基板保持ステージ10が水平2軸(X,Y)方向、上下(Z)方向、およびZ軸周り(θ)方向に、それぞれ移動自在に構成されている。
【0039】
加圧手段5は、この手段5の上方に配設されたシリンダー11と連結し、上下動可能なヘッド12を備えている。このヘッド12は、凸形状であって基板2のチップ4整列方向に伸びている。つまり凸部先端で弾性材6を介して複数個のチップ4を同時に加圧する。
【0040】
弾性材6は、加圧手段5とチップ4との間に介在するように、待機位置にあるヘッド12を挟み込むように配備された巻取ローラ13と繰り出しローラ14とに懸架されている。なお、この弾性材6を巻き取ることにより、繰り出しローラ14から新たな弾性材6が供給されるようになっている。なお、弾性材6には、例えばガラスクロス入りのシリコンシートなどが使用される。また、弾性材6の厚みは、使用する実装部材などによって適宜に変更される。
【0041】
冷却手段9は、図2に示すように、バックアップヒータ7の側部に配備され、バックアップヒータ7の傾斜部15と基板2の裏面側の間にエアーを供給するようになっている。つまり、加熱される基板裏面部分の表面を冷却する。
【0042】
図3に示す制御部20は、樹脂の加熱硬化処理が終了すると、冷却手段9および/または基板保持ステージ10からエアーを大量に供給させて基板2および/またはチップ4を冷却させるとともに、基板温度が樹脂のガラス転移点(Tg)に到達するとエアーの供給を停止するようにしている。また、その時点での基板2とチップ4の常温からの伸び量を略等しくするために基板2側および/またはチップ4側ヒータの温度をコントロールする。
【0043】
また、従来は仮圧着時に1kgf程度(バンプ面積で割ると10MPa程度)で加圧しており、ACF上部にチップ4を仮接合するに留まり、本圧着時に10kgf(バンプ面積で割ると100MPa程度)押圧することによりバンプを押しつけ粒子を変形させて電気的接続を行っていたが、本発明では、チップ4仮圧着時に本圧着時の圧力以上の圧力で加圧する方法を採用している。本圧着時に弾性材6を介して複数チップを押し込むにあたり弾性材6の変形にともないZ方向以外にも分力が加わるためチップ4をずらすことになる。これを防ぐためにチップ4仮圧着時にチップ4を押込んでおくと、本圧着時に分力が働いたとしてもずれが発生しなくなる。
【0044】
次に上述の実施例装置を用いてACFでチップ4を基板2に実装する一巡の動作について図を参照しながら説明する。なお、本実施例では、前工程の仮圧着工程でチップ4が基板2に予め仮圧着された状態で搬送されたものに対し、基板2にチップ4を完全に本圧着する場合を例に採って説明する。
【0045】
前段の仮圧着工程で樹脂を介してチップ4が仮圧着された基板2が、図示しない搬送手段により、本圧着装置1へと搬送される。この基板2は、可動テーブル3の基板保持ステージ10に移載されて吸着保持される。基板保持ステージ10は図示しない駆動機構によって、前方(図1のY方向)である、ヘッド12とバックアップヒータ7との間に向かって移動し、ヘッド12とバックアップヒータ7とでチップ4を上下方向から挟み込めるように基板4の位置あわせを行う。
【0046】
基板2の位置合わせがが終了すると、図示しない駆動機構によりヘッド12が下降し、このヘッド12と基板2の下側にあるバックアップヒータ7とで複数個のチップ4が同時に挟み込まれる。このとき、チップ4とヘッド12との間に介在する弾性材6がヘッド12によって同時下降させられ、基板2上に整列して実装された複数個のチップ4を同時に覆う。すなわち、加圧時に弾性材6が、図4に示すように、チップ4の厚みのバラツキを吸収し、各チップ4には略均一な圧力が加わる。
【0047】
したがって、チップ4側のバンプ21と基板電極22の間に在る導電粒子23も均一に弾性変形し、両電極間の接触抵抗を十分に確保する。
【0048】
ヘッド12とバックアップヒータ7とでチップ4が挟み込まれると、加熱手段8から、加圧エリア全面が一括して加熱される。
【0049】
所定時間、加熱されると加熱を終了し、冷却手段9からエアーを供給して基板2を裏面および/または上面から冷却する。
【0050】
ガラス転移点(Tg)近辺以下になったところで、加圧を解除してヘッド12を上方の待機位置に復帰させ、基板保持ステージ10を基板受け渡し位置まで移動する。受け渡し位置に移動した基板2は、図示しない基板搬送機構によって基板収納ユニットに搬送されて基板回収マガジンに収納される。以上で1枚の基板2についてチップ4のボンディングが終了する。
【0051】
上述のように、複数個のチップ4とヘッド12の間に弾性材6を介在させて加熱圧着することにより、チップ4ごとの厚みのバラツキを弾性材6が吸収し、複数個のチップ4を一度に基板2に均一に加熱圧着することができ、加熱圧着時間の短縮、つまり、作業効率の向上を図ることができる。
【0052】
また、基板2への加熱時間の短縮および基板2全体の温度上昇を回避するこができることから、熱ストレスに弱いフラット表示パネルのような基板について、本実施例を有効に利用することができる。
【0053】
さらに、樹脂を加熱硬化した後、ガラス転移点まで冷却してからヘッド12による加圧を解除することにより、樹脂が略完全に硬化した状態となる。つまり、低温で加圧を解除するため、基板2とチップ4の熱膨張差により歪み・反りをなくすことができる、結果、チップ4が確実に実装された基板2を取り扱うことができる。
【0054】
特に、フラット表示パネルのようなガラス基板を用いた場合、チップ4よりガラス基板の線膨張係数が小さいことから、ガラス基板側から加熱することにより、反りの発生を一層緩和することができる。
【0055】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、複数個の厚み誤差が1μm以上ある実装部材と加圧手段との間に弾性材を介在させて、複数個の実装部材を覆う弾性材の部分を加圧手段で加圧することにより、実装部材を基板に同時に加熱圧着することができる。このとき、弾性材が実装部材の厚みのバラツキを吸収した状態で下部から加熱手段により実装部材を含んだ加圧エリア全体を一括して樹脂の加熱硬化を行うため、実装部材を基板に均一に加熱圧着することができる。また、ガラス転移点(Tg)近辺以下まで冷却した後に加圧解除することで、信頼性の高いチップの接合が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に係る本圧着装置の概略構成を示した斜視図である。
【図2】実施例装置に係るヘッド周辺の要部構成を示した断面図である。
【図3】実施例装置の要部構成を示した断面図である。
【図4】チップを基板に加熱圧着する状態を示した断面図である。
【図5】従来の本圧着装置の概略構成を示した斜視図である。
【符号の説明】
1 … 本圧着装置
2 … 基板
3 … 可動テーブル
4 … チップ
5 … 加圧手段
6 … 弾性材
7 … バックアップヒータ
Claims (22)
- 実装部材と基板の間に樹脂を介在させて実装部材を基板に実装するボンディング方法において、基板上の複数個の実装部材と加圧手段との間に弾性材を介在させた状態で、加圧手段と基板を支持する支持部材とにより挟み込んで複数個の実装部材を同時に加圧する加圧工程と、前記加圧状態にある前記樹脂に、前記支持部材に含まれる下部からの基板側加熱手段により加熱し加熱硬化する加熱工程とを備えたことを特徴とするボンディング方法。
- 前記実装部材が、厚み誤差が1μm以上である、請求項1のボンディング方法。
- 前記支持部材に含まれる下部からの加熱手段が実装部材を含む加圧エリア全面を一括して加熱する、請求項1のボンディング方法。
- 前記実装部材が、メッキバンプ付きチップである、請求項1のボンディング方法。
- 前記加熱工程では、前記加圧手段の温度が前記基板側加熱手段温度より低く、かつ前記樹脂の硬化温度より低い範囲である請求項1〜4のいずれかに記載のボンディング方法。
- 前記弾性材の厚みが20μm以上である、請求項1に記載のボンディング方法。
- 前記樹脂が、導電粒子を混入した樹脂である、請求項1に記載のボンディング方法。
- 前記樹脂を加熱硬化した後にガラス転移点近傍以下まで冷却してから実装部材の加圧を解除する冷却工程を備えた請求項1に記載のボンディング方法。
- 前記冷却工程は、樹脂をガラス転移点近傍に冷却するとき、樹脂の温度がガラス転移点近傍であって、かつ基板と実装部材の常温までの収縮量が略等しくなるように基板側の加熱温度を調節する、請求項1に記載のボンディング方法。
- 前記基板は、フラット表示パネルである、請求項1に記載のボンディング方法。
- チップ仮圧着時に本圧圧力以上の圧力で加圧したものを使用する、請求項1に記載のボンディング方法。
- 実装部材と基板の間に樹脂を介在させて実装部材を基板に実装するボンディング装置において、前記基板を載置保持する保持テーブルと、前記載置された基板上の複数個の実装部材と加圧手段と、前記複数個の実装部材を加圧するとき実装部材と加圧手段との間に介在させる弾性材と、前記基板の前記実装部材を実装する部分を下方から支持する支持手段と、前記基板の下方から加熱して樹脂を加熱硬化させる加熱手段とを備えたことを特徴とするボンディング装置。
- 前記実装部材が、厚み誤差が1μm以上である、請求項12のボンディング装置。
- 下部からの加熱手段が実装部材を含む加圧エリア全面を一括して加熱する、請求項12のボンディング装置。
- 前記実装部材が、メッキバンプ付きチップである、請求項12のボンディング装置。
- 前記加熱手段は、前記加圧手段の温度が前記基板加熱手段温度より低く、かつ前記樹脂硬化の温度より低い範囲で作用することを特徴とする請求項12〜14のいずれかに記載のボンディング装置。
- 前記弾性材の厚みが20μm以上である、請求項12に記載のボンディング装置。
- 前記樹脂が、導電粒子を混入した樹脂である、請求項12に記載のボンディング装置。
- 前記樹脂を加熱硬化した後にガラス転移点近傍以下まで冷却してから実装部材の加圧を解除する冷却工程を備えた請求項12に記載のボンディング装置。
- 前記冷却工程は、樹脂をガラス転移点近傍に冷却するとき、樹脂の温度がガラス転移点近傍であって、かつ基板と実装部材の常温までの収縮量が略等しくなるように基板側の加熱温度を調節する、請求項12に記載のボンディング装置。
- 前記基板は、フラット表示パネルである、請求項12に記載のボンディング装置。
- チップ仮圧着時に本圧圧力以上の圧力で加圧したものを使用する、請求項12に記載のボンディング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003048731A JP3872763B2 (ja) | 2003-02-26 | 2003-02-26 | ボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003048731A JP3872763B2 (ja) | 2003-02-26 | 2003-02-26 | ボンディング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004259917A true JP2004259917A (ja) | 2004-09-16 |
JP3872763B2 JP3872763B2 (ja) | 2007-01-24 |
Family
ID=33114610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003048731A Expired - Fee Related JP3872763B2 (ja) | 2003-02-26 | 2003-02-26 | ボンディング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3872763B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016162920A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装装置および実装方法 |
CN112485933A (zh) * | 2019-09-11 | 2021-03-12 | 东莞市华慧智能装备有限公司 | 一种手机显示屏邦定设备上的水冷压头 |
CN115148106A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-10-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板及其绑定装置、显示装置 |
-
2003
- 2003-02-26 JP JP2003048731A patent/JP3872763B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016162920A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装装置および実装方法 |
CN112485933A (zh) * | 2019-09-11 | 2021-03-12 | 东莞市华慧智能装备有限公司 | 一种手机显示屏邦定设备上的水冷压头 |
CN115148106A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-10-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板及其绑定装置、显示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3872763B2 (ja) | 2007-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109103117B (zh) | 结合半导体芯片的设备和结合半导体芯片的方法 | |
JP4014481B2 (ja) | ボンディング方法およびその装置 | |
US7985621B2 (en) | Method and apparatus for making semiconductor packages | |
JP2004281460A (ja) | 補強板貼り付け装置および貼り付け方法 | |
JP6234277B2 (ja) | 圧着ヘッド、それを用いた実装装置および実装方法 | |
US20190311964A1 (en) | Method for manufacturing semiconductor device, and mounting device | |
KR20200051608A (ko) | 압착 헤드 및 실장 장치 | |
JP6675356B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
KR20160108196A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP4001341B2 (ja) | ボンディング方法およびその装置 | |
JP2009260379A (ja) | ボンディング装置およびそれを用いたボンディング方法 | |
JP4619209B2 (ja) | 半導体素子実装方法および半導体素子実装装置 | |
JP3872763B2 (ja) | ボンディング方法 | |
TW200824522A (en) | Printed circuit board, printed circuit board assembly, electronic device, manufacturing method of printed circuit board, and warpage correcting method of printed circuit board | |
US20210251112A1 (en) | Mounting device | |
JP2006066566A (ja) | ボンディング装置 | |
JP4289779B2 (ja) | 半導体実装方法および半導体実装装置 | |
JP2003347359A (ja) | ドライバic圧着装置および圧着方法 | |
JP7453035B2 (ja) | 圧着ヘッド、これを用いた実装装置および実装方法 | |
JP6461822B2 (ja) | 半導体装置の実装方法および実装装置 | |
JP4628234B2 (ja) | 圧着装置および圧着方法 | |
JP2006100321A (ja) | 電子部品の実装方法および実装装置 | |
JP4033567B2 (ja) | 電子部品実装用加熱加圧装置及び電子部品実装装置、並びに電子部品実装方法 | |
JP2004031865A (ja) | 液晶表示パネルと駆動回路との接続方法 | |
JP2006100323A (ja) | 電子部品の圧着方法および圧着装置、電気光学装置の製造方法及び製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061013 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061020 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3872763 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131027 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |