JP2006261343A - 電子部品の本圧着装置及び本圧着方法 - Google Patents

電子部品の本圧着装置及び本圧着方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006261343A
JP2006261343A JP2005075837A JP2005075837A JP2006261343A JP 2006261343 A JP2006261343 A JP 2006261343A JP 2005075837 A JP2005075837 A JP 2005075837A JP 2005075837 A JP2005075837 A JP 2005075837A JP 2006261343 A JP2006261343 A JP 2006261343A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
substrate
tape
pressure
bonded
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005075837A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4272634B2 (ja
Inventor
Katsuya Tokunaga
克也 徳永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Mechatronics Corp
Original Assignee
Shibaura Mechatronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibaura Mechatronics Corp filed Critical Shibaura Mechatronics Corp
Priority to JP2005075837A priority Critical patent/JP4272634B2/ja
Publication of JP2006261343A publication Critical patent/JP2006261343A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4272634B2 publication Critical patent/JP4272634B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

【課題】基板に電子部品を本圧着するときに、加圧ツールによって押圧される汚れ防止テープに張力が生じるのを防止した本圧着装置を提供することにある。
【解決手段】供給リール15から供給されて巻き取りリール16に巻き取られるとともに、電子部品4を基板に本圧着するときに加圧ツール11と電子部品との間に介在して加圧ツールに汚れが付着するのを防止する汚れ防止テープ14と、汚れ防止テープの一部が基板に対向するようガイドする一対のガイドローラ17と、加圧ツールによって汚れ防止テープを介して電子部品を基板に本圧着するときに一対のガイドローラの少なくとも一方を弾性的に変位可能な状態にし、加圧ツールによって押圧される汚れ防止テープによってガイドローラを弾性的に変位させて汚れ防止テープの張力が増大するのを防止する伸び防止機構20を具備する。
【選択図】 図1

Description

この発明は基板に仮圧着された電子部品を加圧加熱して本圧着するための電子部品の本圧着装置及び本圧着方法に関する。
基板に半導体チップなどの電子部品を実装する場合、異方性導電部材などの熱硬化性接着部材が用いられることがある。熱硬化性接着部材を用いると、この熱硬化性接着部材を溶融硬化させるのに長い時間が掛かる。
そこで、上記電子部品を上記基板に熱硬化性接着部材を介して仮圧着した後、上記熱硬化性接着部材を溶融硬化させる本圧着を、仮圧着装置よりも多い数の本圧着装置で行うことで、生産性を高めるようにしている。
上記電子部品を上記基板に本圧着する場合、所定方向に間欠搬送される基板の上方に上下方向に駆動可能に設けられた加圧ツールによって、上記基板に仮圧着された電子部品を熱圧着する。上記加圧ツールによって電子部品を熱圧着する際、熱硬化性接着部材が溶融して基板と電子部品との間から押し出されて加圧ツールに付着し、汚れの原因になることがある。
加圧ツールが汚れると、この加圧ツールによって電子部品を加圧する際に、その汚れが加圧ツールと電子部品との間に介在して電子部品を均一に加圧できなくなるため、電子部品が基板に平行に圧着されなかったり、電子部品の破損の原因になるなどのことがある。
そこで、電子部品を本圧着するときに、電子部品と加圧ツールとの間にフッ素樹脂などによって形成された汚れ防止テープを介在させ、本圧着時に生じる汚れが加圧ツールに付着するのを防止するようにしている。
上記汚れ防止テープは供給リールから供給されて巻き取りリールに巻き取られるようになっていて、上記供給リールと巻き取りリールとの間の部分が上記基板と対向するようガイドされる。そして、上記汚れ防止テープは加圧ツールによって電子部品を本圧着するごとに、所定方向に所定長さずつ間欠的に送られる。
上記汚れ防止テープの上記基板に対向する部分は基板に対して所定の間隔で離間している。そのため、上記汚れ防止テープを介して上記加圧ツールによって電子部品を基板に本圧着する際、上記加圧ツールは上記供給リールと上記巻き取りリールとの間に一定の張力で張設された上記汚れ防止テープにさらに張力を加えて引き伸ばしながら上記電子部品を上記基板に本圧着することになる。
しかしながら、本圧着時に汚れ防止テープが大きく引き伸ばされると、汚れ防止テープの張力が基板に仮圧着された電子部品に作用するから、その張力によって本圧着される前の電子部品にずれが生じ、基板に対する実装精度が低下するということがある。
この発明は電子部品を汚れ防止テープを介して基板に実装する際、加圧ツールによって汚れ防止テープが伸ばされることがないようにすることで、電子部品の実装精度を向上させることができる電子部品の本圧着装置及び本圧着方法を提供することにある。
この発明は、基板に仮圧着された電子部品を加圧ツールで加圧して本圧着する電子部品の本圧着装置であって、
供給リールから供給されて巻き取りリールに巻き取られるとともに、上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記加圧ツールと電子部品との間に介在して上記加圧ツールに汚れが付着するのを防止する汚れ防止テープと、
この汚れ防止テープの一部が上記基板に対向するようガイドする一対のガイドローラと、
上記加圧ツールによって上記汚れ防止テープを介して上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記一対のガイドローラの少なくとも一方を弾性的に変位可能な状態にし、上記加圧ツールによって押圧される上記汚れ防止テープによって上記ガイドローラを弾性的に変位させて上記汚れ防止テープの張力が増大するのを防止する伸び防止機構と
を具備したことを特徴とする電子部品の本圧着装置にある。
上記伸び防止機構は、
中途部が支軸によって回動可能に支持され一端に上記ガイドローラが回転可能に設けられたレバーと、
このレバーを所定の回動方向に付勢したばねと、
上記汚れ防止テープの巻き取り時には上記レバーを回動不能に保持し、上記加圧ツールによる本圧着時には上記ガイドローラに加わる上記加圧ツールの押圧力によって上記レバーを上記ばねの付勢力に抗する方向に回動可能とするストッパ手段と
を有することが好ましい。
この発明は、基板に仮圧着された電子部品を加圧ツールで加圧して本圧着する電子部品の本圧着方法であって、
上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記加圧ツールと電子部品との間に上記加圧ツールに汚れが付着するのを防止する汚れ防止テープを介在させる工程と、
上記加圧ツールによって上記汚れ防止テープを介して上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記汚れ防止テープの張力が増大するのを阻止する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の本圧着方法にある。
上記汚れ防止テープを所定長さずつ間欠的に送る工程と、上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記汚れ防止テープの送りを停止する工程とを有し、
上記汚れ防止テープの送りを停止して上記電子部品を上記基板に本圧着するときに、上記汚れ防止テープの張力が増大するのが阻止されることが好ましい。
この発明によれば、汚れ防止テープを介して電子部品を基板に本圧着する際、上記汚れ防止テープの張力が増大することがないから、電子部品が基板上で汚れ防止テープの張力によって位置ずれが生じるのが防止される。
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
図1と図2はこの発明の本圧着装置の概略的構成を示し、この本圧着装置は基板Wの搬送機構1を備えている。この搬送機構1は図3に示すように上記基板Wの幅寸法よりも大きな間隔で平行に離間して配置された一対のガイド部材2を有する。
上記基板Wは矩形枠状或いはコ字状の保持部材3の上面に設けられる。この保持部材3は幅方向の両端部を上記一対のガイド部材2に係合させて保持される。ガイド部材2に保持された保持部材3は、図示しない送り機構によってガイド部材2に沿って図1,2に矢印で示す方向に所定ピッチずつ間欠駆動される。
図4に示すように、上記基板Wには半導体チップなどの電子部品4がテープ状の熱硬化性接着部材5によって仮圧着されている。基板Wが上記ガイド部材2に沿って搬送されて実装位置7に到達すると、基板Wに仮圧着された電子部品4は本圧着されるようになっている。
上記実装位置7には上記ガイド部材2に保持された基板Wの下方にステージ8が配置されている。このステージ8はステージ駆動源9によって上下方向に駆動されるようになっていて、本圧着時に上昇して基板Wの下面を支持するようになっている。ステージ8には図示しないヒータが内蔵され、本圧着時に上記基板Wの上記ステージ8の上面によって支持した部分を加熱するようになっている。
上記実装位置7の上記ガイド部材2の上方には図示しないヒータを内蔵した加圧ツール11が配置されている。この加圧ツール11は加圧駆動源12によって上下方向に駆動されるようになっている。加圧ツール11が下降方向に駆動されると、上記電子部品4を上記ステージ8によって下面が支持された基板Wの上面に熱圧着する。
上記加圧ツール11と上記基板Wとの間にはフッ素樹脂などのように耐熱性を備えた合成樹脂からなる汚れ防止テープ14が設けられている。この汚れ防止テープ14は供給リール15から送り出されて巻き取りリール16に巻き取られるようになっている。
上記汚れ防止テープ14は、上記実装位置7に位置決めされた上記基板Wと対向する部分が一対のガイドローラ17によって上記基板Wと平行に走行するようガイドされている。一対のガイドローラ17はそれぞれL字状のレバー18の一端に回転可能に支持されている。
上記レバー18は中途部が支軸19によって回動可能に支持されている。このレバー18の他端の一側には空圧式のシリンダ21がそのロッド22の先端を対向させて配置されている。さらに、レバー18の他端の他側にはばね23の一端が連結されている。このばね23の他端は装置本体などの固定部24に連結されている。それによって、ばね23はレバー18をその一端に設けられたガイドローラ17が下降する方向に付勢している。
上記ばね23によって所定の回動方向に付勢された上記レバー18は、その他端の他側がストッパ23aに当たって位置決めされている。図5(a)に示すように、ストッパ23aによって位置決めされたレバー18の他端の一側に上記シリンダ21の突出方向に付勢されたロッド22の先端が当接すれば、このレバー18は左右どちらの方向にも回動不能な状態となる。
図5(b)に示すように、上記シリンダ21のロッド22が没入方向に付勢されれば、上記レバー18は図5(b)に矢印で示す方向に回動可能となる。ただし、この状態においては、上記レバー18が回動しないよう、このレバー18の他端に作用するばね23の付勢力と、ガイドローラ17を介してレバー18の一端に加わる汚れ防止テープ14の張力及びレバー18の自重とが釣り合うように上記ばね23の強さと、上記汚れ防止テープ14の張力が設定されている。
図5(b)に示すように上記ロッド22が没入した状態で、上記汚れ防止テープ14が加圧ツール11によって押圧され、この汚れ防止テープ14に加わる張力が増大すると、その張力がガイドローラ17を介してレバー18に作用するから、このレバー18は図5(c)に矢印で示すようにその他端がロッド22の先端に当たるまでばね23の付勢力に抗して回動する。
それによって、上記ガイドローラ17が上昇方向に変位するから、汚れ防止テープ14の供給リール15と巻き取りリール16との間の走行経路の長さが減少する。つまり、汚れ防止テープ14の供給リール15と巻き取りリール16との間の長さが走行経路の長さよりも長くなるから、その長さ分だけ汚れ防止テープ14に余裕が生じることになる。
なお、この発明では上記ガイドローラ17、上記レバー18、上記シリンダ21及び上記ばね23によって汚れ防止テープ14が加圧ツール11によって押圧されたときに、後述するように汚れ防止テープ14に作用する張力が増大してこの汚れ防止テープ14が伸びるのを防止する伸び防止機構20を構成している。
上記供給リール15には汚れ防止テープ14を巻き取りリール16に巻き取るときに、上記汚れ防止テープ14に生じるトルク(張力)を調整するトルク調整機構25が設けられている。このトルク調整機構25は上記汚れ防止テープ14に伸びが生じることのない張力で巻き取りリール16に巻き取ることができるようにトルクを設定することができる。
上記巻き取りリール16には従動プーリ26が一体的に設けられている。この従動プーリ26と巻き取りモータ27の回転軸28に設けられた駆動プーリ29とにはベルト31が張設されている。そして、上記巻き取りモータ27が作動すれば、上記汚れ防止テープ14は所定の張力が与えられながら、上記巻取りリール16に巻き取られるようになっている。
なお、上記ステージ駆動源9、加圧駆動源12、シリンダ21への圧縮空気の供給を制御する制御弁及び巻き取りモータ27は制御装置33によって駆動が制御されるようになっている。
このような構成の本圧着装置によれば、電子部品4が仮圧着された基板Wが実装位置7に搬送されてきて、基板Wに仮圧着された所定の電子部品4が加圧ツール11の下方に位置決めされると、制御装置33はステージ駆動源9を作動させてステージ8を上昇させ、その上面によって基板Wの下面が支持される。このとき、汚れ防止テープ14の間欠送りは停止される。
基板Wの下面がステージ8によって支持されると、制御装置33はシリンダ21のロッド22を図5(a)に示す突出位置から図5(b)に示す没入位置に後退させ、ついで加圧駆動源12を作動させて加圧ツール11を下降させる。
加圧ツール11が下降して汚れ防止テープ14の一対のガイドローラ17によって基板Wと平行に保持された部分の上面が押圧されると、この汚れ防止テープ14に加わる張力が増大する。
汚れ防止テープ14に加わる張力が増大すると、この汚れ防止テープ14が伸ばされて電子部品4に当たるから、その電子部品4が位置ずれを生じることがある。しかしながら、汚れ防止テープ14が加圧ツール11によって押圧されて張力が増加し、その張力の増加がガイドローラ17を介してレバー18に伝わると、弾性的に回動可能に保持されたレバー18は、図5(b)に示す状態から図5(c)に示すようにばね23の付勢力に抗して上記ガイドローラ17を上昇させる方向に回動する。図2は一対のガイドローラ17が上昇方向に変位した状態を示している。
一対のガイドローラ17が上昇方向に変位すると、その変位量に応じて汚れ防止テープ14の供給リール15と巻き取りリール16との間の走行経路の長さが短くなる。汚れ防止テープ14の走行経路の長さが短くなれば、汚れ防止テープ14には走行経路の長さが短くなった分だけ長さに余裕が生じる。
そのため、加圧ツール11が汚れ防止テープ14を介して電子部品4を熱圧着する際、汚れ防止テープ14が加圧ツール11によって押圧されても、一対のガイドローラ17が上昇方向に変位することで、上記加圧ツール11の押圧力によって汚れ防止テープ14の張力が増大することがない。
したがって、本圧着時に基板W上に本圧着される前の電子部品4に汚れ防止テープ14の張力が加わることがほとんどないから、その電子部品4を位置ずれを招くことなく本圧着することができる。
上記加圧ツール11による電子部品4の熱圧着が所定時間行われて熱硬化性接着部材5が溶融硬化すると、加圧ツール11が上昇するとともにステージ8が下降する。加圧ツール11が上昇すると、この加圧ツール11によって汚れ防止テープ14に加えられた押圧力が解除されるから、レバー18はばね23の付勢力によって他端がストッパ23aに当たる位置まで戻る。それによって、一対のガイドローラ17が下降方向に変位するから、汚れ防止テープ14の走行経路長が元の長さになる。
レバー18がばね23の復元力によってストッパ23aに当たる位置まで戻ったならば、シリンダ21のロッド22が突出方向に付勢され、その先端がレバー18の他端の一側に当接する。それによって、レバー18は左右どちらの方向に対しても回動不能に保持される。
レバー18が回動不能に保持されると、基板Wが所定ピッチ送られて加圧ツール11の下方に仮圧着状態の電子部品4が位置決めされるとともに、巻き取りモータ27が作動して巻き取りリール16を所定角度回転させ、汚れ防止テープ14を所定長さ間欠的に送り、その汚れ防止テープ14の未使用の部分が上記電子部品4に対向するよう位置決めされる。そして、汚れ防止テープ14の間欠送りが停止すると、上述した本圧着が繰り返して行われる。
汚れ防止テープ14を間欠送りする際、この汚れ防止テープ14に加わる張力が変動しても、その張力の変動によってガイドローラ17がレバー18とともに上下動することがないから、汚れ防止テープ14の間欠送りを確実に行うことができる。
上記一実施の形態ではガイドローラを変位させるための駆動機構としてレバー及びシリンダを用いたが、レバーを用いず、ガイドローラをシリンダのロッドに設け、このシリンダで直接上昇方向に変位させるようにしてもよい。
また、本圧着時に汚れ防止テープに長さの余裕を持たせるために一対のガイドローラを上昇方向に変位させたが、一対のガイドローラのうちの一方だけを変位させて汚れ防止テープに長さの余裕を持たせるようにしてもよい。
この発明の一実施の形態の本圧着装置の概略的構成図。 図1に示す本圧着装置が電子部品を基板に本圧着する時の概略的構成図。 搬送機構の断面図。 基板に熱硬化性接着部材によって仮圧着された電子部品を示す拡大断面図。 (a)〜(c)はシリンダとレバーの動きを説明した説明図。
符号の説明
1…搬送機構、4…電子部品、8…ステージ、11…加圧ツール、14…汚れ防止テープ、15…供給リール、16…巻き取りリール、17…ガイドローラ、18…レバー(駆動機構)、20…伸び防止機構、21…シリンダ(駆動機構)、33…制御装置。

Claims (4)

  1. 基板に仮圧着された電子部品を加圧ツールで加圧して本圧着する電子部品の本圧着装置であって、
    供給リールから供給されて巻き取りリールに巻き取られるとともに、上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記加圧ツールと電子部品との間に介在して上記加圧ツールに汚れが付着するのを防止する汚れ防止テープと、
    この汚れ防止テープの一部が上記基板に対向するようガイドする一対のガイドローラと、
    上記加圧ツールによって上記汚れ防止テープを介して上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記一対のガイドローラの少なくとも一方を弾性的に変位可能な状態にし、上記加圧ツールによって押圧される上記汚れ防止テープによって上記ガイドローラを弾性的に変位させて上記汚れ防止テープの張力が増大するのを防止する伸び防止機構と
    を具備したことを特徴とする電子部品の本圧着装置。
  2. 上記伸び防止機構は、
    中途部が支軸によって回動可能に支持され一端に上記ガイドローラが回転可能に設けられたレバーと、
    このレバーを所定の回動方向に付勢したばねと、
    上記汚れ防止テープの巻き取り時には上記レバーを回動不能に保持し、上記加圧ツールによる本圧着時には上記ガイドローラに加わる上記加圧ツールの押圧力によって上記レバーを上記ばねの付勢力に抗する方向に回動可能とするストッパ手段と
    を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品の本圧着装置。
  3. 基板に仮圧着された電子部品を加圧ツールで加圧して本圧着する電子部品の本圧着方法であって、
    上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記加圧ツールと電子部品との間に上記加圧ツールに汚れが付着するのを防止する汚れ防止テープを介在させる工程と、
    上記加圧ツールによって上記汚れ防止テープを介して上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記汚れ防止テープの張力が増大するのを阻止する工程と
    を具備したことを特徴とする電子部品の本圧着方法。
  4. 上記汚れ防止テープを所定長さずつ間欠的に送る工程と、上記電子部品を上記基板に本圧着するときに上記汚れ防止テープの送りを停止する工程とを有し、
    上記汚れ防止テープの送りを停止して上記電子部品を上記基板に本圧着するときに、上記汚れ防止テープの張力が増大するのが阻止されることを特徴とする請求項3記載の電子部品の本圧着方法。
JP2005075837A 2005-03-16 2005-03-16 電子部品の本圧着装置 Expired - Fee Related JP4272634B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005075837A JP4272634B2 (ja) 2005-03-16 2005-03-16 電子部品の本圧着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005075837A JP4272634B2 (ja) 2005-03-16 2005-03-16 電子部品の本圧着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006261343A true JP2006261343A (ja) 2006-09-28
JP4272634B2 JP4272634B2 (ja) 2009-06-03

Family

ID=37100254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005075837A Expired - Fee Related JP4272634B2 (ja) 2005-03-16 2005-03-16 電子部品の本圧着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4272634B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5368977B2 (ja) * 2007-05-25 2013-12-18 芝浦メカトロニクス株式会社 電子部品の実装装置及び実装方法
WO2019207858A1 (ja) * 2018-04-26 2019-10-31 株式会社新川 実装装置およびフィルム供給装置
JP2020057790A (ja) * 2017-07-17 2020-04-09 レーザーセル カンパニー リミテッド レーザーリフロー装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5368977B2 (ja) * 2007-05-25 2013-12-18 芝浦メカトロニクス株式会社 電子部品の実装装置及び実装方法
JP2020057790A (ja) * 2017-07-17 2020-04-09 レーザーセル カンパニー リミテッド レーザーリフロー装置
JP7188767B2 (ja) 2017-07-17 2022-12-13 レーザーセル カンパニー リミテッド レーザーリフロー装置
WO2019207858A1 (ja) * 2018-04-26 2019-10-31 株式会社新川 実装装置およびフィルム供給装置
KR20200124277A (ko) * 2018-04-26 2020-11-02 가부시키가이샤 신가와 실장 장치 및 필름 공급 장치
CN112106178A (zh) * 2018-04-26 2020-12-18 株式会社新川 安装装置以及薄膜供应装置
JPWO2019207858A1 (ja) * 2018-04-26 2021-02-12 株式会社新川 実装装置およびフィルム供給装置
KR102362980B1 (ko) 2018-04-26 2022-02-15 가부시키가이샤 신가와 실장 장치 및 필름 공급 장치
US11848219B2 (en) 2018-04-26 2023-12-19 Shinkawa Ltd. Mounting apparatus and film supply apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP4272634B2 (ja) 2009-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016024365A1 (ja) 電子部品の実装装置
JP4272634B2 (ja) 電子部品の本圧着装置
KR102503964B1 (ko) 실장 장치
JP4825654B2 (ja) 粘着性テープの貼着装置及び貼着方法
JP6264537B2 (ja) 記録装置及び記録方法
JP4694924B2 (ja) 電子部品の実装装置
JP6385885B2 (ja) ボンディング装置
JP5285269B2 (ja) 被着体位置決め装置及びラベル取付け装置
WO2012086132A1 (ja) テープ貼着装置及びテープ貼着方法
JP4917994B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP4943936B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP4503448B2 (ja) 電子部品圧着装置に用いる緩衝材テープ供給装置および電子部品圧着装置
DE602005013144D1 (de) Druckgerät und -verfahren für Sparbücher
JP4958817B2 (ja) 電子部品の実装装置
JP5078758B2 (ja) 電子部品の実装装置
JP2894488B2 (ja) エンボステーピング装置
JP2004165615A (ja) テープ送りローラ制御方法および半導体実装装置
JP5368977B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP5788679B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
KR101484643B1 (ko) 열압착용 패드 제조장치 및 제조방법
WO2016125763A1 (ja) 実装装置および実装方法
JP2012174905A (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP2012141468A (ja) Fpdモジュールのacf貼付装置
JP2720734B2 (ja) ボンダー用ボンディングツールのクリーニング装置
JP2002025846A (ja) テーピング方法およびその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070126

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081216

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090224

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090227

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140306

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees