JP2008130759A

JP2008130759A - シート送り装置及び方法

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Publication number: JP2008130759A
Application number: JP2006313257A
Authority: JP
Inventors: Akiyoshi Takuri; 昭嘉田栗; Hidenari Shinozaki; 英成篠崎; Keiji Fujiwara; 啓二藤原; Kazuo Mori; 一夫森; Noriyuki Kasai; 範之河西
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2006-11-20
Filing date: 2006-11-20
Publication date: 2008-06-05
Anticipated expiration: 2026-11-20
Also published as: JP4779945B2

Abstract

【課題】圧着ツールにてシートを介して部品を基板に圧着する圧着装置において、大型の基板における圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、シートの送り量を必要最少限に制御してコスト低下を図る。
【解決手段】パネル２の部品接合部の長手方向と直交する方向にシート７を送り、圧着ツール１１にてシート７を介して部品３をパネル２の部品接合部に加熱・加圧する部品圧着装置１におけるシート送り装置であって、圧着動作毎にシート７を所要長さ巻き取るシート巻取部１３と、シート７の張りと弛みを調整するシート弛み調整部１４と、シート７を引き出し可能に巻回したシート供給部１２と、シート７の送り量を検出する送り量検出部１７とを備え、圧着ツール１１の押圧動作に伴うシート７の引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量をシート送り検出量に加味してシート巻取部１３による巻き取り量を制御するようにした。
【選択図】図２

Description

本発明は、シート送り装置及び方法に関し、特に圧着ツールにてシートを介して部品を基板に圧着する圧着装置におけるシート送り装置及び方法に関するものである。

例えば、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルの製造工程において、基板としてのパネルにＴＣＰ（ＴａｐｅＣａｒｒｉｅｒＰａｃｋａｇｅ）やＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）やＣＯＧ（ＣｈｉｐＯｎＧｌａｓｓ）などの部品を圧着して実装したり、パネルに実装されたＴＣＰやＦＰＣにプリント回路基板を圧着することでパネルにプリント回路基板を実装したりする工程があり、その圧着工程に部品圧着装置が用いられている。

部品圧着装置で基板に部品を圧着する際には、予め基板に接合部材としての異方性導電材を貼り付け、この異方性導電材を介して部品を基板に仮圧着して部品圧着装置に供給される。部品圧着装置では、基板をバックアップステージで支持した状態で圧着ツールにて部品を加圧して基板に部品を本圧着している。なお、異方性導電材は、熱硬化性樹脂中に樹脂粒子の表面にＮｉ被膜を形成した導電性粒子を分散させて構成され、基板と部品の間で、導電性を得るべき部位を選択的に圧縮させることで、導電性粒子同士が相互に接触してその部位で導電性を確保した状態で基板と部品を接合するものである。

ところで、上記本圧着工程において、はみ出した異方性導電材が圧着ツールの圧着面に付着することがあり、その場合後続する本圧着工程に悪影響を与えることになる。そこで、圧着ツールと部品の間に付着防止用のシートを介して圧着することが知られている。また、基板の平面度や電子部品の厚さ寸法の微小なばらつきを吸収して均一な圧着状態を確保するために緩衝用のシートを介して圧着することも知られている。さらに、これら付着防止用のシートや緩衝用のシートが圧着ツールの熱で損傷するのを防止するため、これらシートと圧着ツールの間に耐熱性シートを介して圧着することも知られている。また、これらのシートの何れかを複合したシートを介して圧着することも知られている。

このように圧着ツールと部品の間に付着防止用のシートを介して圧着する方法におけるシート供給装置として、図８に示すように、シート３１を巻回状態で収納した供給リール３２から引き出したシート３１を圧着ツール３０と部品（図示せず）の間を通して巻取モータ３４にて回転される巻取リール３３に巻き取るように構成し、制御部３５に、巻取モータ３４を駆動する巻取モータ駆動部３６にシート引出し量を指令する引出し量指令部３７と、巻取リール３３の回転量をエンコーダ３８で検出して実際のシート引出し量を演算する引出し量検出部３９を備え、引出し量指令部３７からの指令により巻取モータ駆動部３６を介して巻取モータ３４を作動させてシート３１を必要量づつ引き出すようにし、さらに引出し量検出部３９で検出した実際の引き出し量と指令引出し量とを比較判定部４０で比較して、両者が異なった場合には供給リール３２のシート巻回収容量が無くなって供給リール３２がロックされたものと判断してシート切れを検知するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、供給ロールから繰り出したシートを、電子部品と圧着ツールの間を通して巻取ロールにて巻き取るようにした送り機構を設け、圧着動作ごとにシートを所要量づつ送るように構成し、さらに圧着ツールによる圧着動作に先立って巻取ロールを所定量逆回転させ、シートを繰り出してたるませることで電子部品上にシートを広げた状態とし、その状態で圧着ツールにより圧着することで圧着時にシートにしわがよって圧着不良が発生するのを防止するようにしたものも知られている（例えば、特許文献２参照）。

また、供給ローラと巻取ローラにてテープを所要量づつ送るように構成するとともに、テープのガイドローラをガイドローラ移動手段にて移動させることで上記と同様にテープをたるませるようにしたものも知られている（例えば、特許文献３参照）。
特許第３７４４５０３号明細書特許第３２７９８５３号明細書特開２００６−２１０４６４号公報

ところで、近年、フラットディスプレイパネルの大型化が進行する一方で、コスト低下に対する要求が強くなっており、基板に電子部品を圧着する圧着工程においても、タクトの短縮を図るとともに、コストのかかる消耗品である上記テープの使用量をできる限り少なくすることが要求されている。

そこで、圧着部位の幅寸法に略対応した幅寸法のテープ状のシートをパネルの側端部の長手方向に沿って供給する構成では、パネルの大型化に伴ってシート供給に時間がかかって圧着タクトが長くなってしまうため、上記各特許文献１〜３に記載されているように、パネルの側端部の略全長にわたる幅の帯状のシートをパネルの側端部の圧着部位に供給するように構成されたシート供給装置が多く採用されるようになっている。

このようにパネルの側端部の圧着部位の長手方向に対して直交する方向にシートを供給するようにした構成では、圧着動作毎のシートの送り量は、圧着部位の幅寸法だけでなく、圧着時にシートの耐熱温度よりも高温の圧着ツールによって熱影響を受けることで変形を生じるため、その変形を生じた部分を確実に回避できる長さ分を送る必要があり、さらにその送り量は巻取モータ４による巻取ロール３の回転量によって設定しているので、巻取ロール３の巻取半径が変化することで変化する等、誤差発生要因があるため、少なくとも上記長さ分を確実に送るために巻取ロール３の回転量を余裕をもって大き目に設定せざるを得ず、そのためシートの総面積の内、圧着部位が占める割合が非常に小さくなり、シートの利用率が低く、シートの使用量が多くなるため、コスト低下に対して大きな阻害要因となっている。

本発明は、上記従来の問題に鑑み、圧着ツールにてシートを介して部品を基板に圧着する圧着装置において、大型の基板における圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、シートの送り量を抑制して、精度良く送り制御しコスト低下を図ることができるシート送り装置及び方法を提供することを目的とする。

本発明のシート送り装置は、基板の部品接合部又はその近傍に位置するように部品接合部の長手方向と直交する方向にシートを送り、圧着ツールにてシートを介して部品を基板の部品接合部に加熱・加圧する部品圧着装置におけるシート送り装置であって、圧着動作毎にシートを所要長さ巻き取るシート巻取部と、シートの張りと弛みを調整するシート弛み調整部と、シートを引き出し可能に巻回したシート供給部と、シートの送り量を検出する送り量検出部と、圧着ツールの押圧動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量をシート送り量に加味してシート巻取部による巻き取り量を制御する制御部とを備えたものである。

この構成によれば、シートを部品接合部の長手方向と直交する方向に送ることでシート送り時間を短縮して大型の基板における圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、圧着動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を加味してシートを送ることによって、シートの送り量を精度良く制御することができ、シートの送りに伴なうシートの使用量を抑制して、精度良く送りコスト低下を図ることができる。

また、制御部を、シート巻取部の停止遅れに伴うシート送り過ぎ量発生後にシート送り量検出部の検出量をリセットしてシート巻取部による巻き取り量を制御するようにすると、シート巻取部の停止遅れに伴うシート送り過ぎ量のばらつきやその積算による送り量の誤差の発生を確実に防止することができる。

また、送り量検出部をシート供給部に配置すると、シート供給軸部でシート切れが発生した時点で直ちに検出することができ、シート切れの認識が遅れたまま生産を継続することによる不良品の発生や生産性の低下を防止することができる。

また、本発明のシート送り方法は、基板の部品接合部の長手方向と直交する方向にシートを所定の張り状態で所要長さ送った後、基板の部品接合部又はその近傍に位置するようシートを弛ませ、圧着ツールにてシートを介して部品を基板の部品接合部に加熱・加圧して基板に部品を圧着させ、圧着動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を検出し、圧着後シートを元の張り状態に戻し、所定のシート送り量にシート送り補正量を加味してシート送り量を制御するものである。

この構成によれば、上記のように圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、圧着動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を加味してシートを送ることができ、シートの送りに伴なうシートの使用量を抑制して安定して送り、コスト低下を図ることができる。

また、圧着ツールの圧着動作実行前にシート送り検出量をリセットしてシートを送ることによって、送り検出量の誤差が積算せず、圧着動作毎にシートを精度良く必要最小限の所要量ずつ送ることが可能である。

また、シート送り停止遅れに伴うシート送り過ぎ量発生後にシート送り検出量をリセットしてシートを送ることによって、シート送り停止遅れに伴うシート送り過ぎ量のばらつきやその積算による送り量の誤差の発生を確実に防止することができる。

本発明のシート送り装置及び方法によれば、シートを部品接合部の長手方向と直交する方向に送ることでシート送り時間を短縮して大型の基板における圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、圧着動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を加味してシートを送ることによって、シートの送り量を抑制して、精度良く送り制御しコスト低下を図ることができる。

以下、本発明のシート送り装置及び方法の一実施形態について、図１〜図７を参照しながら説明する。本実施形態は、基板の一例である液晶表示装置などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）におけるパネルに、ＴＣＰやＦＰＣなどの部品を本圧着するものである。

図１、図２において、１は部品圧着装置で、パネル２にＴＣＰなどの部品３が仮圧着された状態で供給され、その部品３を加熱・加圧してパネル２に本圧着する装置である。具体的には、パネル２は、その側端部に接合材としての異方性導電材（ＡＣＦ）（図示せず）を介して部品３が仮圧着された状態で供給され、部品３を加熱・加圧することで、異方性導電材にて部品３の電極とパネル２の電極が電気的に接続された状態で部品３がパネル２に接合される。

部品圧着装置１は、パネル２に本圧着を行う所定位置にパネル２を搬入し、本圧着後搬出するパネル移載装置（図示せず）と、パネル２の圧着部位を下方から支持するバックアップステージ４と、バックアップステージ４と協働してパネル２と電子部品３を本圧着する圧着装置５と、圧着装置５の圧着ヘッド６とバックアップステージ４上の電子部品３との間に帯状のシート７を送給するシート送り装置８とを備えている。２１は、これらの各装置の動作制御を行う制御部である。

本実施形態では、シート７として、圧着時にはみ出した異方性導電材が付着し難い材料としてポリテトラフルオルエチレンのシート７ａと、パネル２や部品３の寸法ばらつきを吸収して均一な圧着状態を確保するためのクッション性を有する材料であるシリコンゴムのシートと圧着ヘッド６の熱による物性の劣化を抑制するため耐熱温度の高い材料であるポリイミドのシートとをラミネートした緩衝シート７ｂの２層のシート７ａ、７ｂを使用し、これらのシート７ａ、７ｂを積層状態でかつ各別に所要量ずつ送給できるように構成されている。なお、使用するシート７は、これに限定されるものではなく、圧着条件によって必要とされる特性に応じて、各種物性のシートの何れか又は複数のシートを重ねた状態で使用し、あるいはこれらのシートの何れかを予めラミネートした複合シートを使用すればよい。また、圧着ヘッド６から部品３への熱伝導性を向上ためには金属箔を積層し、コーティング層を形成しても良い。

シート７の厚さは、０．０５〜０．３ｍｍ程度のものが好適に用いられるが、その中でポリテトラフルオルエチレンのシートは、熱伝導率が０．２４５Ｗ／（ｍ・Ｋ）と低いので、厚いと熱伝達が悪くなるため、０．０５〜０．１ｍｍ程度の薄いシートが用いられる。一方、シリコンゴムのシートは、熱伝導率が０．４２Ｗ／（ｍ・Ｋ）と比較的高いので、ある程度厚くても熱伝達を確保できるとともに、より高いクッション性を得るように０．２〜０．３ｍｍ程度の厚いシートが用いられる。

バックアップステージ４は、石英やセラミックスからなるステージ部材４ａを台部４ｂ上に設置して構成され、圧着工程で、ステージ部材４ａの上面にパネル２の側端部を載置し、圧着ヘッド６との間でパネル２の側端部と電子部品３を挟み、加熱加圧して圧着するものである。

圧着装置５は、その圧着ヘッド６がバックアップステージ４の直上に対向するように配設され、この圧着ヘッド６を門型のフレーム９に設置されたヘッド駆動部１０にて上下移動及び加圧するように構成されている。圧着ヘッド６は、その下端にシート７を介して部品３の圧着部位を押圧する圧着ツール１１が装着され、かつこの圧着ツール１１を加熱するヒータ（図示せず）が内蔵されている。

シート送り装置８は、圧着装置５の一側に配置したシート供給部１２と、圧着装置５の他側に配置したシート巻取部１３と、シート７の張りと弛みを調整するシート弛み調整部１４と、圧着ツール１１とパネル２に仮圧着された部品３との間に通したシート７を部品３の圧着時に部品３上に沿うように弛ませるシート弛みローラ１５ａ、１５ｂとを備えている。なお、シート供給部１２とシート巻取部１３とシート弛み調整部１４は、各シート７ａ、７ｂに対してそれぞれ各別に設けられているが、実質的に同一の構成であるので、以下の説明ではシート７（７ａ及び７ｂ）として説明する。

シート供給部１２は、シート７を巻回した供給ロール１６を所定の制動力を作用させた状態で回転自在に支持することでシート７を引き出し可能に構成されている。また、供給ロール１６から引き出される直前のシート７に回転自在なローラを弾性的に圧接させ、このローラに連動回転するようにエンコーダを配設して構成された送り量検出部１７にてシート７の送り量を検出するように構成されている。

シート巻取部１３は、シート７を巻回して巻き取る巻取ロール１８と、巻取ロール１８を回転駆動する巻取りモータ１９にて構成され、送り量検出部１７によりシート７の巻取量を検出しつつ巻取ロール１８を回転駆動することで、シート７を所定の送り量づつ送るように構成されている。

シート弛み調整部１４は、一対のガイドローラ２０ａ、２０ｂと、これらのガイドローラ２０ａ、２０ｂ間でガイドローラ２０ａ、２０ｂに対して遠近方向に移動可能に配設された調整ローラ２０ｃから成り、調整ローラ２０ｃをガイドローラ２０ａ、２０ｂ間に位置させたときにシート７に所定の弛みを発生し、ガイドローラ２０ａ、２０ｂに対して所定距離離れた位置に位置させることで、シート７が張られた状態になるように構成されている。

シート弛みローラ１５ａ、１５ｂは、図２に実線で示すように、シート７が張られた状態でその上に位置する上昇位置と、図２に仮想線で示すように、シート７を部品３に沿わせるように位置する下降位置との間で上下移動可能に構成され、下降位置に位置するときにはシート弛み調整部１４にてシート７に弛みを発生させた状態とされる。２２ａ、２２ｂは、各シート７ａ、７ｂのシート供給部１２に配設されたガイドローラ、２３ａ、２３ｂは、シート弛みローラ１５ａ、１５ｂの外側に配設されたガイドローラである。

次に、以上の構成の部品圧着装置１にてパネル２に部品３を圧着する圧着工程を、主として図３の動作フロー図と図４の動作説明図を参照して説明する。

図３、図４において、まず部品３が仮圧着されたパネル２を部品圧着装置１に搬入し、部品３が仮圧着されたパネル２の側端部をバックアップステージ４上に配置し（ステップＳ１）、送り量検出部１７のエンコーダのカウント値をクリアする（ステップＳ２）（図４（ａ）参照）。次に、シート弛み調整部１４の調整ローラ２０ｃをガイドローラ２０ａ、２０ｂ間に移動させて張り状態から弛み状態に変更する（ステップＳ３）（図４（ｂ）参照）。次に、シート弛みローラ１５ａ、１５ｂを下降位置に移動させ、シート７を部品３上に沿うように位置させる（ステップＳ４）（図４（ｃ）参照）。

次に、本圧着動作を行う（ステップＳ５）（図４（ｄ）参照）。この本圧着動作においては、圧着ツール１１を下降させ、圧着ツール１１にてシート７を介して部品３をパネル２に加熱・加圧することで圧着動作を行い、その後圧着ツール１１を上昇させる。次に、シート弛みローラ１５ａ、１５ｂを上昇位置に移動させた後（ステップＳ６）（図４（ｅ）参照）、シート弛み調整部１４の調整ローラ２０ｃをガイドローラ２０ａ、２０ｂから離間した位置に移動させて弛み状態から張り状態に変更する（ステップＳ７）（図４（ｆ）参照）。

次に、パネル２をバックアップステージ４上から取り出して部品圧着装置１から搬出し（ステップＳ８）、シート７の送り動作を行う（ステップＳ９、Ｓ１０）（図４（ｇ）参照）。このシート７の送り動作は、シート７を０．５ｍｍ分送るように巻取りモータ１９を回転させた後（ステップＳ９）、送り量検出部１７のエンコーダによるシート７の送り量の検出値が、シート送り設定値以上となったか否かの判定を行い（ステップＳ１０）、シート７の送り量の検出値がシート送り設定値以上となるまで、以上の０．５ｍｍずつの送り動作を繰り返す。送り量の検出値がシート送り設定値以上となると、生産完了か否かの判定を行い（ステップＳ１１）、生産完了でない場合はステップＳ１にリターンして以上の動作を繰り返し、生産完了の場合はそのまま終了する。

以上のシート７の送り動作において、ステップＳ５の図４（ｄ）に示す本圧着動作時には、図５に拡大して示したように、シート７が高温の圧着ツール１１に接触することで多少の熱伸びを発生するとともに、圧着ツール１１の下降動作に伴ってシート７が引っ張られることで、それらを総合した長さ分だけシート供給部１２からシート７が引き出されることになる。この引き出された長さ分は送り量検出部１７で検出され、その検出値がシート送り補正量とし、次のステップＳ９、Ｓ１０でのシート７の送り動作時におけるシート送り設定値に加味される。このようにしてシート７を送ることによって、シート７の送り量が精度良く制御される。かくして、高温の圧着ツール１１により熱影響を受けた部分を回避するための長さ分を考慮して精度良くシート７を送ることができ、その結果シート７の使用量を低減してコスト低下を図ることができる。

また、ステップＳ９、Ｓ１０でシート７の送り動作を停止する際には、巻取りモータ１９が直ちに停止することはできず、多少の送り過ぎ量の発生は避けることはできない。そこで、この送り過ぎ量がシート送り量設定値に影響を与えて送り量の精度を低下させることがないように、上記の如く、ステップＳ２で送り量検出部のエンコーダカウント値をクリアするようにしている。なお、ステップＳ２の処理は、ステップＳ９、Ｓ１０の処理の直後に行うようにしてもよい。

また、シート７を交換し、あるいはシート送りユニットを用いる場合にはそれを新たにセットしたときに、精度の良い送りを実現するためには、巻取ロール１８の回転駆動系におけるギヤの噛み合わせ部の遊びやシート７の弛みを取る必要がある。そこで、そのような場合には、図６に示すように、スタート後に、まずシート７の交換後や、シート送りユニットのセット後であるかの判定を行い（ステップＳ１２）、判定が肯定的な場合には巻取りモータ１９を適当量回転させてシート７の初期送りを行い（ステップＳ１３）、その後通常のシート送り動作に移行するようにするのが好適である。

以上のシート送り制御によるシート７の送り動作を、図７に縦軸にシート送り量、横軸に時間を取ったグラフで示している。図７において、本圧着動作に伴う引き出し量を検出して巻取りモータ１９によるシート送り時の送り量の設定値を補正していることで、トータルのシート送り量設定値は精度良く一定に保持されている。なお、シート７の実送り量は、そのシート送り量設定値に巻取りモータ１９の停止遅れによるシート送り過ぎ量を付加した量となる。そこで、このシート送り過ぎ量を、毎回送り量検出部１７で検出し、その検出量分だけ、次回のシート送り量設定値を減少して設定するようにしても良い。

以上の実施形態によれば、部品３とパネル２の接合部の長手方向と直交する方向にシート７を送るようにしているので、シート送り時間を短縮して大型のパネル２における圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、圧着動作に伴うシート７の引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を加味してシート７を送るようにしているので、シート７の送り量を精度良く制御することができ、その結果シート７の送り量に伴なうシート７の使用量を抑制できてコスト低下を図ることができる。

また、シート巻取部１３の停止遅れに伴うシート送り過ぎ量発生後に送り量検出部１７の検出量をリセットしてシート巻取部１３による巻き取り量を制御するようにしているので、シート巻取部１３の停止遅れに伴うシート送り過ぎ量のばらつきやその積算による送り量の誤差の発生を確実に防止することができる。

また、送り量検出部１７をシート供給部１２に配置しているので、シート供給部１２でシート切れが発生した時、その時点で直ちに検出することができるため、シート切れの検出が遅れたまま生産を継続することによる不良品の発生や生産性の低下を防止することができる。

以上の実施形態の説明では、パネル２に異方性導電材を介して仮圧着されたＴＣＰなどの部品３を本圧着するようにした例についてのみ説明したが、本発明は、任意の基板に異方性導電材や非導電性接合材などの各種接合材を介して仮固定された電子部品を加熱加圧して接合する部品圧着装置やパネル２に接合されたＴＣＰやＦＰＣなどの部品にプリント基板を異方性導電材を介して直接本圧着（仮圧着せず）して接合する部品圧着装置にも適用することが出来る。

本発明のシート送り装置及び方法によれば、シートを部品接合部の長手方向と直交する方向に送ることでシート送り時間を短縮して大型の基板における圧着工程のタクトの短縮化を図りながら、圧着動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を加味してシートを送ることによって、シートの送り量を抑制して、精度良く制御しコスト低下を図ることができるので、各種基板に部品を圧着する部品圧着装置に好適に利用することができる。

本発明のシート送り装置を適用した部品圧着装置の一実施形態の全体斜視図。同実施形態の概略構成を示す正面図。同実施形態の動作フロー図。同実施形態における各動作状態の説明図。圧着時のシートの挙動の説明図。同実施形態において、シート交換時の初期送り動作処理のフロー図。同実施形態におけるシートの送り動作の説明図。従来例の圧着装置におけるシート送り装置の概略構成図。

符号の説明

１部品圧着装置
２パネル（基板）
３部品
７シート
８シート送り装置
１１圧着ツール
１２シート供給部
１３シート巻取部
１４シート弛み調整部
１７送り量検出部
２１制御部

Claims

基板の部品接合部又はその近傍に位置するように部品接合部の長手方向と直交する方向にシートを送り、圧着ツールにてシートを介して部品を基板の部品接合部に加熱・加圧する部品圧着装置におけるシート送り装置であって、圧着動作毎にシートを所要長さ巻き取るシート巻取部と、シートの張りと弛みを調整するシート弛み調整部と、シートを引き出し可能に巻回したシート供給部と、シートの送り量を検出する送り量検出部と、圧着ツールの押圧動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量をシート送り量に加味してシート巻取部による巻き取り量を制御する制御部とを備えたことを特徴とするシート送り装置。
制御部は、シート巻取部の停止遅れに伴うシート送り過ぎ量発生後にシート送り量検出部の検出量をリセットしてシート巻取部による巻き取り量を制御することを特徴とする請求項１記載のシート送り装置。
送り量検出部をシート供給部に配置したことを特徴とする請求項１又は２記載のシート送り装置。
基板の部品接合部の長手方向と直交する方向にシートを所定の張り状態で所要長さ送った後、基板の部品接合部又はその近傍に位置するようシートを弛ませ、圧着ツールにてシートを介して部品を基板の部品接合部に加熱・加圧して基板に部品を圧着させ、圧着動作に伴うシートの引き出し及び熱伸びによるシート送り補正量を検出し、圧着後シートを元の張り状態に戻し、所定のシート送り量にシート送り補正量を加味してシート送り量を制御することを特徴とするシート送り方法。
圧着ツールの圧着動作実行前にシート送り検出量をリセットしてシートを送ることを特徴とする請求項４記載のシート送り方法。
シート送り停止遅れに伴うシート送り過ぎ量発生後にシート送り検出量をリセットしてシートを送ることを特徴とする請求項４記載のシート送り方法。