JP2720734B2 - ボンダー用ボンディングツールのクリーニング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品の内部リード接
合、外部リード接合、ペレット接合等を行う際に使用さ
れるボンダーに付随して使用されるボンダー用ボンディ
ングツールのクリーニング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より周知の如く、電子部品の内部リ
ード接合に使用されるボンダーは、フィルムキャリアの
内部リードと半導体ペレットの電極とを一括して接合す
るものであり、また外部リード接合に使用されるボンダ
ーは、前記のようにフィルムキャリアの内部リードに接
合された半導体ペレットを外部リードと共に打ち抜き、
この半導体ペレットを取付けられた外部リードをリード
フレーム等に一括して接合するものであり、また、ペレ
ット接合ボンダーは、半導体ペレットのみをリードフレ
ーム等に接合するものである。

【０００３】以下、内部リード接合に使用されるボンダ
ーの場合について図３を用いて説明する。

【０００４】内部リード接合ボンダー（図示せず）に用
いるボンディングツール４１はカートリッジヒーター等
で常に高温に加熱されているために接合の際に種々の異
物がその表面に付着すると付着した異物は非常に早く硬
化し、硬化した異物はもろく、またボンディングツール
４１の熱を内部リード、半導体ペレットに伝えにくくす
る性質を持っている。

【０００５】このように、内部リード接合ボンダーで
は、接合を繰り返すことによってボンディングツール４
１の表面に酸化物等の汚れが堆積し、この硬化した異物
をクリーニングせずにそのまま接合を続けるとボンディ
ングツール４１の表面の熱伝導効率が悪化して内部リー
ドと半導体ペレットとの接合状態が悪くなるものであっ
た。そのために、一般には５０〜２００回の接合作業毎
にボンディングツール４１の表面を定期的にクリーニン
グすることが行われていた。

【０００６】従来のボンディングツール４１のクリーニ
ング装置としては、図３に示すように内部リード接合ボ
ンダーに装着された砥石４２を図中Ａ方向に回転させ、
この砥石４２の上面にボンディングツール４１の下面を
押し当てて密着させてボンディングツール４１の接合面
を研磨することによりボンディングツール４１のクリー
ニングを行っているものであった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の砥石４２を回転させることによるボンディングツール
のクリーニング装置においては、砥石４２の回転中心と
回転中心から離れた外周方向の位置とでは、ボンディン
グツール４１に対する砥石４２面の回転速度に差ができ
るためにボンディングツール４１の下面のクリーニング
状態にばらつきが出やすく、均一なクリーニングが保証
できないという問題があった。

【０００８】また、砥石４２の同一の場所を使用してで
のクリーニングのため、砥石４２の上面に段差がおきや
すくい、そのためにボンディングツール４１のエッジを
削り込んでしまうというおそれがあり、このような状態
になると砥石４２を取外して段差を修正するか、あるい
は新しい砥石４２に取替えることが必要となり、コスト
アップと同時に生産性の悪いものであった。

【０００９】本発明は上記従来の課題を解決し、クリー
ニングのばらつきをなくし、安定したクリーニングが行
えるボンダー用ボンディングツールのクリーニング装置
を提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明によるボンダー用ボンディングツールのクリー
ニング装置は、固定フレームに摺動可能に取付けられた
スライドベースと、このスライドベースに結合され巻装
されたクリーニングテープを供給する供給リールと、同
じくスライドベースに結合され上記供給リールから供給
されるクリーニングテープを巻取る巻取りリールと、上
記クリーニングテープの搬送経路に設けられスライドベ
ースに上下動可能に取付けられたスライドブロックと、
このスライドブロックに上記クリーニングテープの搬送
方向と直交する方向に摺動可能に取付けられ上部にクリ
ーニングテープと密着するクリーニングテーブルを有し
たテーブル台からなり、上記密着したクリーニングテー
プと連動してクリーニングテーブルが摺動することによ
りボンダーのボンディングツールのクリーニングを行う
構成としたものである。

【００１１】

【作用】この構成によりクリーニングテープがクリーニ
ングテーブルと共に水平方向に摺動してボンディングツ
ールをクリーニングすることができ、ボンディングツー
ルの下面に対するクリーニングテーブルの摺動速度が常
に、どの場所でも一定であることからボンディングツー
ルのクリーニングのばらつきが出にくくなり、均一なク
リーニングが保証できる。

【００１２】また、クリーニングテープを順次送ること
により、常に水平なクリーニング面を提供することが可
能となり、ボンディングツールのエッジを削り込んでし
まうというおそれがなくなる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例によるボンダー用ボ
ンディングツールのクリーニング装置について図１及び
図２を用いて説明する。図１は本発明のボンダー用ボン
ディングツールのクリーニング装置を示す斜視図、図２
は同装置の要部正面図である。

【００１４】図１において１はスライドベースであり、
ボンダー（図示せず）に結合された固定フレーム２の側
面にスライドレール３を介して図中矢印Ｂ方向に摺動可
能に取りつけられている。このスライドベース１は固定
フレーム２に取りつけられたシリンダ４とスライドベー
ス１に取りつけられたノッチ５により連結されている。

【００１５】前記スライドベース１上には、研磨テープ
あるいはラッピングテープなどと呼ばれるクリーニング
テープ１８を巻装した供給リール６と、これを巻取る巻
取りリール７が取りつけられており、各リール６，７は
ベベルギア８，９を介して駆動モータ１０，１１によっ
てそれぞれ駆動される。

【００１６】またスライドベース１上の各リール６，７
の近傍にはレバー１２，１３によって上下動可能のロー
ラ１４，１５が取りつけられており、前記レバー１２，
１３は引張バネ１６，１７によって引っぱられクリーニ
ングテープ１８に一定の張力を与えている。

【００１７】前記供給リール６及びローラ１４から供給
されたクリーニングテープ１８は、クリーニングテーブ
ル１９上を通った後スライドベース１上に取りつけられ
た送りローラ２０によって定寸送りされる。送りローラ
２０はレバー２１を介したシリンダ２２によって回転す
ることができ、またクリーニングテープ１８は押えロー
ラ２３によって送りローラ２０に押しつけられており、
送りローラ２０の回転によってクリーニングテープ１８
が送り出される機構となっている。

【００１８】次にクリーニングテーブル１９の近傍につ
いて図２を用いて説明する。クリーニングテーブル１９
はボンディングツール２９の下方向に位置し、圧縮バネ
２４を介してテーブル台２５に取りつけられており、ク
リーニング時にボンディングツール２９の下面に平行に
当るようになっている。

【００１９】２５はテーブル台であり、スライドブロッ
ク２７にスライドシャフト２６およびシリンダ２８を介
して図１の矢印Ｃ方向に摺動可能なように取りつけら
れ、シリンダ３１によって摺動される。前記スライドブ
ロック２７はユニット取付ブラケット３０に取付けら
れ、このユニット取付ブラケット３０は図１におけるス
ライドベース１に固定されており、スライドベース１の
摺動時に共に摺動することができる。

【００２０】次に以上のように構成されたボンダー用ボ
ンディングツールのクリーニング装置の動作について説
明する。クリーニングを行う時はボンディングツール２
９が下降すると共に、シリンダ３１によりクリーニング
テーブル１９が上昇し、ボンディングツール２９の下面
とクリーニングテーブル１９の上面に張られたクリーニ
ングテープ１８が密着状態となる。この時クリーニング
テーブル１９の上面は、前記構成によりボンディングツ
ール２９の下面に沿う様になっている。

【００２１】次にシリンダ２８を出し入れすることによ
り、クリーニングテーブル１９を図１の矢印Ｃ方向に摺
動させ、さらにシリンダ４を出し入れすることにより、
クリーニングテーブル１９を図１の矢印Ｂ方向に摺動さ
せ、この動作によって、ボンディングツール２９の下面
のクリーニングを行うものである。

【００２２】また、クリーニング終了後はシリンダ３１
によりクリーニングテーブル１９を下降させた後、送り
ローラ２０をシリンダ２２でレバー２１を介して回転さ
せることにより、クリーニングテープ１８を一定量送る
ことができる。なお、送りローラ２０の内部の保持はワ
ンウェイクラッチを使用することにより逆回転しない構
造となっている。

【００２３】また、クリーニングテープ１８の供給はレ
バー１２に取りつけられたセンサ（図示せず）にて駆動
モータ１０を駆動し供給リール６を回転させることによ
り行い、同様にクリーニングテープ１８の巻取りレバー
１３に取りつけられたセンサ（図示せず）によって駆動
モータ１１を駆動し巻取りリール７を回転させることに
より行う。さらに、スレイドベース１はノッチ５をはず
し、取手３２を手前に引っぱって装置全体を引き出すこ
とにより、クリーニングテープ１９の交換を容易に行え
るようになっている。

【００２４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によればクリーニングテープを水平方向に移動させるこ
とによってボンディングツールのクリーニングを行うこ
とが可能となり、安定したクリーニングが行える。ま
た、クリーニングテープの取りかえが大変容易な構成で
あり、従来必要であった研磨砥石の取りかえあるいは再
加工などのメンテナンスも不要であるため、生産性を向
上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるボンダー用ボンディン
グツールのクリーニング装置の構成を示す斜視図

【図２】図１の要部正面図

【図３】従来のボンダー用ボンディングツールのクリー
ニング装置の構成を示す要部斜視図

【符号の説明】

１ スライドベース ２ 固定フレーム ３ スライドレール ４，２２，２８，３１ シリンダ ５ ノッチ ６ 供給リール ７ 巻取りリール ８，９ ベベルギア １０，１１ 駆動モータ １２，１３，２１ レバー １４，１５ ローラ １６，１７ 引張バネ １８ クリーニングテープ １９ クリーニングテーブル ２０ 送りローラ ２３ 押えローラ ２６ スライドシャフト ２７ スライドブロック ２９ ボンディングツール ３０ ユニット取付ブラケット ３２ 取手

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原薗 講平 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 別所 義夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−367242（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−16956（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−250829（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−64937（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−150853（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定フレームに摺動可能に取付けられた
   スライドベースと、このスライドベースに結合され巻装
   されたクリーニングテープを供給する供給リールと、同
   じくスライドベースに結合され上記供給リールから供給
   されるクリーニングテープを巻取る巻取りリールと、上
   記クリーニングテープの搬送経路に設けられスライドベ
   ースに上下動可能に取付けられたスライドブロックと、
   このスライドブロックに上記クリーニングテープの搬送
   方向と直交する方向に摺動可能に取付けられ上部にクリ
   ーニングテープと密着するクリーニングテーブルを有し
   たテーブル台からなり、上記密着したクリーニングテー
   プと連動してクリーニングテーブルが摺動することによ
   りボンダーのボンディングツールのクリーニングを行う
   ボンダー用ボンディングツールのクリーニング装置。