JP2930830B2 - ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置 - Google Patents
ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置Info
- Publication number
- JP2930830B2 JP2930830B2 JP5099301A JP9930193A JP2930830B2 JP 2930830 B2 JP2930830 B2 JP 2930830B2 JP 5099301 A JP5099301 A JP 5099301A JP 9930193 A JP9930193 A JP 9930193A JP 2930830 B2 JP2930830 B2 JP 2930830B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide film
- buff
- power supply
- glass plate
- terminal portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Description
【産業上の利用分野】本発明は、主として車両用窓ガラ
スにプリント等により形成された防曇用熱線のブスバー
部やガラスアンテナ線等のターミナル部を引出線条と接
続、半田付けする際に、予め該部の表面酸化膜を除去
し、更に半田付け用フラックスを塗布する装置に関す
る。
スにプリント等により形成された防曇用熱線のブスバー
部やガラスアンテナ線等のターミナル部を引出線条と接
続、半田付けする際に、予め該部の表面酸化膜を除去
し、更に半田付け用フラックスを塗布する装置に関す
る。
【0002】
【従来技術とその問題点】従来前記給電・端子部の酸化
膜除去には手操作でグラインダーやスチールウールを用
いて該部を擦過したり、さらに手操作で半田付け用フラ
ックスを塗布したりするのが通例である。しかし、擦過
むらなく均一に酸化膜を除去するのは困難であり、従っ
て導電性能が不均一、不安定であったりする等、問題点
が多い。
膜除去には手操作でグラインダーやスチールウールを用
いて該部を擦過したり、さらに手操作で半田付け用フラ
ックスを塗布したりするのが通例である。しかし、擦過
むらなく均一に酸化膜を除去するのは困難であり、従っ
て導電性能が不均一、不安定であったりする等、問題点
が多い。
【0003】公知の例では、本出願人の発明にかかる特
開昭54−23号において、プリント導電線等の抵抗値を調
整する目的で、スチールウールを外周に貼着した研磨デ
ィスクを回転し、該部に沿って手動等により走査させ研
磨することを提唱した。しかし、半田付けの前処理とし
ての、極めて薄い表面酸化膜を除去すべく所要局所をバ
フ摩擦すること、ましてやバフ圧力を調整すべく設計す
ることや、ディスクを湾曲ガラスの三次元的曲面に沿
い、面に垂直に押圧すること等については開示示唆して
いない。
開昭54−23号において、プリント導電線等の抵抗値を調
整する目的で、スチールウールを外周に貼着した研磨デ
ィスクを回転し、該部に沿って手動等により走査させ研
磨することを提唱した。しかし、半田付けの前処理とし
ての、極めて薄い表面酸化膜を除去すべく所要局所をバ
フ摩擦すること、ましてやバフ圧力を調整すべく設計す
ることや、ディスクを湾曲ガラスの三次元的曲面に沿
い、面に垂直に押圧すること等については開示示唆して
いない。
【0004】本発明は先述の問題点を解消したものであ
り、自動的に、容易かつ安定して酸化膜除去、フラック
ス塗布を行うことができ、安定して良好な導電性能のも
のを得ることができるガラス板面の給電・端子部表面の
酸化膜除去装置を提供するものである。
り、自動的に、容易かつ安定して酸化膜除去、フラック
ス塗布を行うことができ、安定して良好な導電性能のも
のを得ることができるガラス板面の給電・端子部表面の
酸化膜除去装置を提供するものである。
【0005】
【問題点を解決するための手段】本発明は、湾曲ガラス
板面に形成した導電線条の給電・端子部を引出線条等と
接続、半田付けする際に、予め該部の表面の酸化膜を除
去する装置であって、円盤状のバフを回転して該部の表
面にバフの回転外周面を接触させるバフ摩擦手段と、ガ
ラス板面へのバフ押圧力を湾曲ガラスの曲面に応じて調
整する圧力調整手段と、更に給電・端子部に半田付け用
フラックスを塗布するフラックス塗布手段とを前記給電
・端子部に沿って往復動させるようにした昇降・移動手
段を備えたこと、前記昇降手段として、多関節ロボット
ハンドを採用したこと、からなる。
板面に形成した導電線条の給電・端子部を引出線条等と
接続、半田付けする際に、予め該部の表面の酸化膜を除
去する装置であって、円盤状のバフを回転して該部の表
面にバフの回転外周面を接触させるバフ摩擦手段と、ガ
ラス板面へのバフ押圧力を湾曲ガラスの曲面に応じて調
整する圧力調整手段と、更に給電・端子部に半田付け用
フラックスを塗布するフラックス塗布手段とを前記給電
・端子部に沿って往復動させるようにした昇降・移動手
段を備えたこと、前記昇降手段として、多関節ロボット
ハンドを採用したこと、からなる。
【0006】本発明によれば、車両用窓ガラスにプリン
ト等により形成された防曇用熱線のブスバー部やガラス
アンテナ線等のターミナル部を引出線条と接続、半田付
けする際に適用され、予め該部の表面酸化膜をバフ摩擦
により除去し、更に半田付け用フラックスを塗布するも
ので、上記したバフ摩擦手段、圧力調整手段、フラック
ス塗布手段、それらの移動・昇降手段を組み合わせて自
動的、効率的に無理なく均一に上記操作が行えるので、
常に同一最良の導電性能等品質性能を維持できるという
作用効果を奏するものである。
ト等により形成された防曇用熱線のブスバー部やガラス
アンテナ線等のターミナル部を引出線条と接続、半田付
けする際に適用され、予め該部の表面酸化膜をバフ摩擦
により除去し、更に半田付け用フラックスを塗布するも
ので、上記したバフ摩擦手段、圧力調整手段、フラック
ス塗布手段、それらの移動・昇降手段を組み合わせて自
動的、効率的に無理なく均一に上記操作が行えるので、
常に同一最良の導電性能等品質性能を維持できるという
作用効果を奏するものである。
【0007】
【実施例】以下本発明の一実施例を添付の図面に基づき
説明する。図1は本発明の全体概略側面図、図2は本発
明におけるバフ摩擦手段、圧力調整手段、フラックス塗
布手段を一体的に担持した担持手段の斜視図であり、図
3Aは例えばプリント法により導電線条およびブスバー
を形成した防曇ガラスの平面図、図3Bは図3Aのブス
バー形成部分の断面図で、バフの走行状態を示したもの
である。
説明する。図1は本発明の全体概略側面図、図2は本発
明におけるバフ摩擦手段、圧力調整手段、フラックス塗
布手段を一体的に担持した担持手段の斜視図であり、図
3Aは例えばプリント法により導電線条およびブスバー
を形成した防曇ガラスの平面図、図3Bは図3Aのブス
バー形成部分の断面図で、バフの走行状態を示したもの
である。
【0008】図3Aにおいて1 が防曇ガラスであり、そ
の表面 (上面) にはプリント工程、熱処理工程において
導電線条2 、ブスバー部3 、3'が形成される。これら工
程を経た防曇ガラス1 は、前記プリント部2 、3 、3'表
面に必然的に薄い酸化膜が生ずるが、特に引出線条と接
続するブスバー部3 、3'は、酸化膜が導通を妨げ、導電
性能を不安定にするので、これを除去する必要がある。
すなわち、酸化膜はnmオーダーの極めて薄い膜であっ
て、勿論バフ摩擦により除去しないと引出線条との導通
を妨げ、あるいは不安定にし、他方上記バフ摩擦、除去
が過剰であると導通断面積を減少させて導電性能を変化
させるという不具合が生ずる。
の表面 (上面) にはプリント工程、熱処理工程において
導電線条2 、ブスバー部3 、3'が形成される。これら工
程を経た防曇ガラス1 は、前記プリント部2 、3 、3'表
面に必然的に薄い酸化膜が生ずるが、特に引出線条と接
続するブスバー部3 、3'は、酸化膜が導通を妨げ、導電
性能を不安定にするので、これを除去する必要がある。
すなわち、酸化膜はnmオーダーの極めて薄い膜であっ
て、勿論バフ摩擦により除去しないと引出線条との導通
を妨げ、あるいは不安定にし、他方上記バフ摩擦、除去
が過剰であると導通断面積を減少させて導電性能を変化
させるという不具合が生ずる。
【0009】しかして、防曇ガラス1 は半田付け工程に
移送され、該工程での引出線条との半田付けに先立ち、
ブスバー部3 、3'の表面酸化膜の好適なバフ摩擦による
除去、さらに該部の半田付け用フラックスの塗布が施さ
れるものである。図1において、4 は防曇ガラス1 を載
架した搬送台車で、防曇ガラス1 は吸着パッド4'で所定
位置に固定され、図示しないが搬送台車4 の下部には車
輪を付設して軌道上を走行し、半田付け前処理工程にお
いて一旦停止して、ブスバー部の表面酸化膜のバフ摩擦
による除去、さらに該部の半田付け用フラックスの塗布
が施される状態を示した。
移送され、該工程での引出線条との半田付けに先立ち、
ブスバー部3 、3'の表面酸化膜の好適なバフ摩擦による
除去、さらに該部の半田付け用フラックスの塗布が施さ
れるものである。図1において、4 は防曇ガラス1 を載
架した搬送台車で、防曇ガラス1 は吸着パッド4'で所定
位置に固定され、図示しないが搬送台車4 の下部には車
輪を付設して軌道上を走行し、半田付け前処理工程にお
いて一旦停止して、ブスバー部の表面酸化膜のバフ摩擦
による除去、さらに該部の半田付け用フラックスの塗布
が施される状態を示した。
【0010】図中5は多関節ロボットハンドで、その先
端は昇降、前後、左右、および回転の三次元的移動・回
転を可能とする。6は前記先端部に配した担持手段で、
研磨手段、半田付け用フラックス塗布手段8を擁する。
すなわち多関節ロボットハンド5は防曇ガラス1の各ブ
スバー部3、3' に沿って担持手段6、具体的にはバフ
の回転外周面の接触、摩擦によるバフ摩擦手段7、およ
び半田付け用フラックス塗布手段8を移動させ、夫々の
処理を施す。
端は昇降、前後、左右、および回転の三次元的移動・回
転を可能とする。6は前記先端部に配した担持手段で、
研磨手段、半田付け用フラックス塗布手段8を擁する。
すなわち多関節ロボットハンド5は防曇ガラス1の各ブ
スバー部3、3' に沿って担持手段6、具体的にはバフ
の回転外周面の接触、摩擦によるバフ摩擦手段7、およ
び半田付け用フラックス塗布手段8を移動させ、夫々の
処理を施す。
【0011】図2のロボットハンド5 先端部の担持手段
6 において、バフ摩擦手段7 における7'がバフで、モー
ター12の駆動によりプーリーベルト12' を介して回転駆
動しつつ、ブスバー部3 、3'上を走行する。担持手段6
の上板9 と下板9'はバフ圧力調整手段10、具体的には精
密空圧シリンダー10' 、シャフト10" により一体化され
て相互に近接、離隔可能とし、上、下板9 、9'の四隅部
は杆体と嵌合筒体とからなるガイド11を介在せしめて相
互の横ずれを抑制する。前記バフ圧力調整手段10はバフ
7'とガラス板面 (ブスバー部3 、3') 間圧力を予め設定
した一定値を保持しつつ該部を走行せしめる。
6 において、バフ摩擦手段7 における7'がバフで、モー
ター12の駆動によりプーリーベルト12' を介して回転駆
動しつつ、ブスバー部3 、3'上を走行する。担持手段6
の上板9 と下板9'はバフ圧力調整手段10、具体的には精
密空圧シリンダー10' 、シャフト10" により一体化され
て相互に近接、離隔可能とし、上、下板9 、9'の四隅部
は杆体と嵌合筒体とからなるガイド11を介在せしめて相
互の横ずれを抑制する。前記バフ圧力調整手段10はバフ
7'とガラス板面 (ブスバー部3 、3') 間圧力を予め設定
した一定値を保持しつつ該部を走行せしめる。
【0012】半田付け用フラックス塗布手段8 におい
て、8'がフラックス供給タンク、13が太径塗布ノズル、
13' がその昇降空圧シリンダー、14が細径塗布ノズル、
14' がその昇降空圧シリンダーで、局部の酸化膜除去
後、該部を適宜フラックス塗布ノズル13または14により
フラックスを塗布する。なお、前記ノズル13、14は被塗
領域の太さ、広さ等により使い分ける。
て、8'がフラックス供給タンク、13が太径塗布ノズル、
13' がその昇降空圧シリンダー、14が細径塗布ノズル、
14' がその昇降空圧シリンダーで、局部の酸化膜除去
後、該部を適宜フラックス塗布ノズル13または14により
フラックスを塗布する。なお、前記ノズル13、14は被塗
領域の太さ、広さ等により使い分ける。
【0013】図3Bの断面図には、防曇ガラス1 のブス
バー、例えば3 上をバフ7'が回転しつつ走行する状態を
示したが、ロボットハンド5 の操作により、バフ7'の押
圧方向Xは常にガラス板面に垂直にかかるようにし、か
つバフ圧力調整手段10により押圧力を調整するようにし
たので、ブスバー表面の酸化膜の除去を無理なく均一に
行うことができ、従って同一品質性能を維持できる。
バー、例えば3 上をバフ7'が回転しつつ走行する状態を
示したが、ロボットハンド5 の操作により、バフ7'の押
圧方向Xは常にガラス板面に垂直にかかるようにし、か
つバフ圧力調整手段10により押圧力を調整するようにし
たので、ブスバー表面の酸化膜の除去を無理なく均一に
行うことができ、従って同一品質性能を維持できる。
【0014】ロボットハンド5 の操作は、前記押圧方向
を調整するのみならず、予めガラスサイズ、湾曲具合を
勘案してコンピュータープログラミングにより昇降、走
行、回転するようにし、勿論バフ圧力調整手段10による
押圧力も予め所定の圧力となるように設定しておくもの
である。ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装
置の動作手順を示せば、まず防曇ガラス1 を載架した搬
送台車4 が軌道上所定の前処理位置に到達したところ
で、光電センサーあるいは近接センサー等公知の手段で
検知され停止する。次いでロボットハンド5 の動作によ
り担持手段6 が上方より防曇ガラス1 の一方のブスバー
3 の一端に近接し、さらに該部にバフ7'が当接し、モー
ター12の駆動により回転しつつブスバー3 上を走行すべ
くロボットハンド5 が動作し、その間バフ圧力調整手段
10により押圧力を一定とし、ブスバー3 の他端側に達し
たところで停止し、一旦担持手段6 が上昇する。
を調整するのみならず、予めガラスサイズ、湾曲具合を
勘案してコンピュータープログラミングにより昇降、走
行、回転するようにし、勿論バフ圧力調整手段10による
押圧力も予め所定の圧力となるように設定しておくもの
である。ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装
置の動作手順を示せば、まず防曇ガラス1 を載架した搬
送台車4 が軌道上所定の前処理位置に到達したところ
で、光電センサーあるいは近接センサー等公知の手段で
検知され停止する。次いでロボットハンド5 の動作によ
り担持手段6 が上方より防曇ガラス1 の一方のブスバー
3 の一端に近接し、さらに該部にバフ7'が当接し、モー
ター12の駆動により回転しつつブスバー3 上を走行すべ
くロボットハンド5 が動作し、その間バフ圧力調整手段
10により押圧力を一定とし、ブスバー3 の他端側に達し
たところで停止し、一旦担持手段6 が上昇する。
【0015】次にロボットハンド5 の動作により担持手
段6 が下降するとともに、シリンダー13' の駆動により
半田付け用フラックス塗布ノズル、例えば13が下降して
前記ブスバー3 の他端上に当接し、前記逆の走行動作で
フラックスを吐出しつつブスバー3 の一端まで走査し、
該一端に到達したところで半田付け用フラックス塗布ノ
ズル13が上昇し、かつ担持手段6 が上昇して塗布を完了
する。
段6 が下降するとともに、シリンダー13' の駆動により
半田付け用フラックス塗布ノズル、例えば13が下降して
前記ブスバー3 の他端上に当接し、前記逆の走行動作で
フラックスを吐出しつつブスバー3 の一端まで走査し、
該一端に到達したところで半田付け用フラックス塗布ノ
ズル13が上昇し、かつ担持手段6 が上昇して塗布を完了
する。
【0016】他方のブスバー3'においても同様な処理が
施され、それが完了すると搬送台車4 は防曇ガラス1 を
半田付け装置に向けて搬送するものである。本実施例に
おいてはこのようにして防曇ガラスのブスバー部の表面
酸化膜の除去、フラックス塗布を行うもので、自動的、
効率的に無理なく均一にこれら操作を行えるので、常に
同一最良の導電性能等品質性能を維持できるものであ
り、アンテナ線ターミナル部の半田付け等、同類の前処
理においても同様な作用効果を奏するものである。
施され、それが完了すると搬送台車4 は防曇ガラス1 を
半田付け装置に向けて搬送するものである。本実施例に
おいてはこのようにして防曇ガラスのブスバー部の表面
酸化膜の除去、フラックス塗布を行うもので、自動的、
効率的に無理なく均一にこれら操作を行えるので、常に
同一最良の導電性能等品質性能を維持できるものであ
り、アンテナ線ターミナル部の半田付け等、同類の前処
理においても同様な作用効果を奏するものである。
【0017】
【発明の効果】本発明においては防曇ガラスのブスバー
部、アンテナ線ターミナル部等の半田付けに際しての該
部の極めて薄い酸化膜の除去、フラックス塗布を、自動
的、効率的に無理なく均一に行えるので、常に同一最良
の導電性能等品質性能を維持できるという効果を奏する
ものである。
部、アンテナ線ターミナル部等の半田付けに際しての該
部の極めて薄い酸化膜の除去、フラックス塗布を、自動
的、効率的に無理なく均一に行えるので、常に同一最良
の導電性能等品質性能を維持できるという効果を奏する
ものである。
【図1】ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装
置の全体概略側面図である。
置の全体概略側面図である。
【図2】給電・端子部表面の酸化膜除去装置における担
持手段の斜視図である。
持手段の斜視図である。
【図3】図3Aは熱線およびブスバーを形成した防曇ガ
ラスの平面図、図3Bは図3Aのブスバー形成部分の断
面図で、バフの走行状態を示したものである。
ラスの平面図、図3Bは図3Aのブスバー形成部分の断
面図で、バフの走行状態を示したものである。
1 ----防曇ガラス 3 、3'----ブスバー 5 ----ロボットハンド6 ----担持手段 7 ----バフ摩擦手段 8 ----フラックス塗布手段 10 ----バフ圧力調整手段
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−172665(JP,A) 特開 昭61−65762(JP,A) 特開 昭59−37040(JP,A) 特開 平3−149171(JP,A) 特開 平3−149173(JP,A) 実開 平3−65654(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B24B 27/00 B24B 29/00 B24B 9/08
Claims (2)
- 【請求項1】湾曲ガラス板面に形成した導電線条の給電
・端子部を引出線条等と接続、半田付けする際に、予め
該部の表面の酸化膜を除去する装置であって、円盤状の
バフを回転して該部の表面にバフの回転外周面を接触さ
せるバフ摩擦手段と、ガラス板面へのバフ押圧力を湾曲
ガラスの曲面に応じて調整する圧力調整手段と、更に給
電・端子部に半田付け用フラックスを塗布するフラック
ス塗布手段とを前記給電・端子部に沿って往復動させる
ようにした昇降・移動手段を備えたことを特徴とするガ
ラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置。 - 【請求項2】昇降手段が、多関節ロボットハンドである
ことを特徴とする請求項1記載のガラス板面の給電・端
子部表面の酸化膜除去装置。 【0001】
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5099301A JP2930830B2 (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5099301A JP2930830B2 (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06312360A JPH06312360A (ja) | 1994-11-08 |
JP2930830B2 true JP2930830B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=14243810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5099301A Expired - Fee Related JP2930830B2 (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2930830B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160017274A (ko) | 2014-08-01 | 2016-02-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 및 디스플레이 장치의 제조 방법 |
JP6881301B2 (ja) * | 2015-06-12 | 2021-06-02 | Agc株式会社 | ガラス板の製造方法 |
CN108098556A (zh) * | 2016-11-21 | 2018-06-01 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种3d玻璃板的抛光装置及抛光方法 |
CN107627184A (zh) * | 2017-09-11 | 2018-01-26 | 敏实汽车技术研发有限公司 | 一种自动打磨机构 |
CN108340273A (zh) * | 2018-02-27 | 2018-07-31 | 芜湖起岩智能装备有限公司 | 一种超薄玻璃机器人高速磨边上下料系统 |
CN113909678B (zh) * | 2021-11-18 | 2024-08-20 | 哈焊国创(青岛)焊接工程创新中心有限公司 | 一种用于铝合金激光焊接的焊接系统及表面处理方法 |
CN114161301A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-03-11 | 深圳科鑫泰电子有限公司 | 一种石英晶片生产用伺服机器人 |
CN118786588A (zh) * | 2022-01-28 | 2024-10-15 | Agc株式会社 | 车辆用前窗玻璃及其制造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6165762A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 板状体の端面研磨装置 |
JP2666447B2 (ja) * | 1988-12-27 | 1997-10-22 | スズキ株式会社 | 研摩装置 |
-
1993
- 1993-04-26 JP JP5099301A patent/JP2930830B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06312360A (ja) | 1994-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6685539B1 (en) | Processing tool, method of producing tool, processing method and processing apparatus | |
JP2930830B2 (ja) | ガラス板面の給電・端子部表面の酸化膜除去装置 | |
JPH04300162A (ja) | 表面仕上げ方法および装置 | |
US6464571B2 (en) | Polishing apparatus and method with belt drive system adapted to extend the lifetime of a refreshing polishing belt provided therein | |
US6468139B1 (en) | Polishing apparatus and method with a refreshing polishing belt and loadable housing | |
KR100519640B1 (ko) | 로타리식 자동버핑기 | |
JP4282159B2 (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
JPH08192348A (ja) | 研削研磨方法および装置 | |
JPH0640751A (ja) | ラミネートウィンドウ製造方法及び過剰プラスチック内部層材料除去装置 | |
JP2001096444A (ja) | バリ取り方法及びその装置 | |
TWI580522B (zh) | 拋光設備 | |
JP3935572B2 (ja) | 液晶パネル端子クリーニング方法及び装置 | |
CN210878962U (zh) | 一种用于圆柱形工件磨削式倒角去毛边的装置 | |
JP2651479B2 (ja) | ウエハの鏡面加工装置 | |
JP2857817B2 (ja) | ガラス基板角縁面研磨装置 | |
JP3230854B2 (ja) | 研磨方法及びその装置 | |
JPH02248055A (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
CN218697181U (zh) | 一种具有定位结构的打磨抛光机 | |
JP2004114239A (ja) | スキージ研磨装置およびスキージ研磨方法 | |
CN221020407U (zh) | 电极打磨装置 | |
CN220762190U (zh) | 一种外圆抛光装置 | |
JP2000141205A (ja) | ウェーハ研磨装置及び研磨定盤調整装置 | |
CN115938704B (zh) | 一种压敏电阻片的喷铝留边系统及工艺 | |
JPH08354B2 (ja) | 硝子体糸面取装置 | |
JPH06226602A (ja) | 研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |