KR20200057048A - 전기적 접속 장치 - Google Patents

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Abstract

관형상의 배럴(11), 및 배럴(11)의 양단부의 개구단에서 각각 선단부가 노출된 상태에서 배럴(11)에 접합된 막대 형상의 탑측 플런저(121)와 바텀측 플런저 (122)를 갖는 프로브(10)와, 프로브(10)의 축 방향을 따라서 서로 이격해서 배치되고, 배럴(11)의 본체부가 관통하는 관통홀이 각각 형성된 가이드판(211~212)을 갖는 프로브 헤드(20)를 구비하고, 배럴(11)의 본체부보다도 외경이 큰 돌기(13)가 프로브(10)의 외주에 배치되고, 가이드판(211~212)에, 돌기(13)의 외경보다도 관통홀의 구경이 작은 지지 가이드판을 포함하고, 지지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 돌기(13)의 하부가 맞닿은 상태에서, 프로브(10)가 탑측 플런저(121)를 위로 해서 지지 가이드판에 의해 지지되어 있다.

Description

전기적 접속 장치
본 발명은, 피검사체의 특성의 측정에 사용되는 전기적 접속 장치에 관한 것이다.
집적 회로 등의 피검사체의 특성을 측정하기 위해서 피검사체에 접촉시키는 프로브를 갖는 전기적 접속 장치가 이용되고 있다. 이 전기적 접속 장치를 이용한 측정에서는, 프로브의 한쪽 단부를 피검사체에 접촉시키고, 프로브의 다른 쪽 단부를, 기판에 배치되어 테스터와 전기적으로 접속된 단자(이하에서, 「랜드」라고 한다)에 접촉시킨다.
프로브를 유지하기 위해서, 프로브의 축 방향을 따라서 복수의 가이드판을 배치한 프로브 헤드가 사용된다. 각각의 가이드판에 설치된 관통홀에 프로브를 관통시킨 상태에서 프로브가 프로브 헤드에 의해 유지된다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본 특허공개공보 제2010-281583호
그러나, 프로브 헤드의 가이드판의 매수가 많을수록 전기적 접속 장치의 제조 비용이 증대한다. 또한, 가이드판에 관통홀을 형성하기 위해 드는 비용은, 프로브의 개수가 많을수록 증대한다. 따라서, 특히 프로브의 개수가 많은 경우에 프로브 헤드의 가이드판의 매수가 많으면 전기적 접속 장치의 제조 비용이 증대되는 문제점이 있었다.
상기 문제점을 감안하여, 본 발명은, 프로브 헤드의 가이드판의 매수를 억제할 수 있는 전기적 접속 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 관형상의 배럴(barrel), 및 배럴의 양단부의 개구단에서 각각 선단부가 노출한 상태에서 배럴에 접합된 막대 형상의 탑측 플런저(plunger)와 바텀측 플런저를 갖는 프로브(probe)와, 프로브의 축 방향을 따라서 서로 이격해서 배치되고, 배럴의 본체부가 관통하는 관통홀이 각각 형성된 복수의 가이드판을 갖는 프로브 헤드(probe head)를 구비하고, 배럴의 본체부보다도 외경이 큰 돌기가 프로브의 외주에 배치되고, 복수의 가이드판에 돌기의 외경보다도 관통홀의 구경이 작은 지지 가이드판을 포함하고, 지지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부(緣部)에 돌기의 하부가 맞닿은 상태에서, 프로브가 탑측 플런저를 위로 해서 지지 가이드판에 의해 지지되어 있는 전기적 접속 장치가 제공된다.
본 발명에 따르면, 프로브 헤드의 가이드판의 매수를 억제할 수 있는 전기적 접속 장치를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 제1의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 모식도로서, 도 1(a)는 전기적 접속 장치의 전체의 구성을 나타내며, 도 1(b)는 프로브의 구성을 나타내고,
도 2는, 본 발명의 제1의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치의 바텀측 플런저의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 3은, 비교 예의 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 모식도로서, 도 3(a)는 전기적 접속 장치의 전체의 구성을 나타내며, 도 3(b)는 프로브의 구성을 나타내고,
도 4는, 본 발명의 제1의 실시 형태의 변형 예에 관련한 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 5는, 본 발명의 제2의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 모식도로서, 도 5(a)는 전기적 접속 장치의 전체의 구성을 나타내며, 도 5(b)는 프로브의 구성을 나타내고,
도 6은, 본 발명의 제2의 실시 형태의 변형 예에 관련한 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 7은, 본 발명의 제2의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치의 프로브에 돌기를 배치하는 방법의 예를 나타내는 모식도이고,
도 8은, 본 발명의 제2의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치의 프로브에 돌기를 배치하는 다른 방법의 예를 나타낸 모식도로서, 도 8(a)는 돌기의 배치 방법을 나타내고, 도 8(b)는 돌기를 배치한 상태를 나타낸다.
이어서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 이하의 도면의 기재에 있어서, 동일 또는 유사한 부분에는 동일 또는 유사한 부호를 붙인다. 다만, 도면은 모식적인 것으로, 각 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다르다는 것에 유의해야 한다. 또한, 도면 상호간에 있어서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되어 있는 것은 물론이다. 다음에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술적 사상을 구체화하기 위한 장치나 방법을 예시하는 것으로서, 본 발명의 실시의 형태는, 구성 부품의 재질, 형상, 구조, 배치 등을 하기의 것에 특정하는 것이 아니다.
(제1의 실시 형태)
본 발명의 제1의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치는, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 프로브(10)와 프로브(10)를 유지하는 프로브 헤드(20)를 구비한다. 프로브(10)의 한쪽 단부가 기판(3)에 배치된 랜드(31)에 접촉하고, 다른쪽 단부가 피검사체(2)에 접촉한다. 또한, 도 1에서는 프로브(10)와 피검사체(2)가 접촉하고 있는 상태를 나타내고 있으며, 검사 전후에는 피검사체(2)를 탑재한 스테이지(도시생략)가 하강하는 등 해서, 프로브(10)와 피검사체(2)가 비접촉된다. 랜드(31)는 테스터 등의 검사 장치와 전기적으로 접속되어 있으며, 전기적 접속 장치는 피검사체(2)의 전기적 특성을 판단할 때에 사용된다.
프로브(10)는, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 관 형상의 배럴(11), 및 배럴 (11)의 양단부의 개구단에서 각각 선단부가 노출된 상태에서 배럴(11)에 접합된 막대형상의 탑측 플런저(121)와 바텀측 플런저(122)를 갖는다. 탑측 플런저(121)와 바텀측 플런저(122)는, 배럴(11)의 내부에 삽입된 부분이 접합개소(14)에 있어서 배럴(11)에 접합되어 있다.
탑측 플런저(121) 및 바텀측 플런저(122)와 배럴(11)은, 스폿 용접에 의해 용접해도 좋고, 접착제에 의해 접착해도 좋다. 또한, 랜드(31)와 피검사체(2)를 전기적으로 접속하는 프로브(10)에는, 도전성의 재료가 사용된다. 예를 들면, 배럴 (11)에 Ni재 등이 사용되며, 탑측 플런저(121) 및 바텀측 플런저(122)에 AgPdCu재 등이 사용된다.
자세한 내용은 후술하겠지만, 프로브 헤드(20)에 의해 프로브(10)를 유지하기 위해 배럴(11)의 본체부보다 외경이 큰 돌기(13)가, 프로브(10)의 외주에 배치되어 있다. 도 1(b)에 나타낸 프로브(10)에서는, 탑측 플런저(121)의 선단부에 돌기(13)가 배치되어 있다. 즉, 탑측 플런저(121)의 선단부가 돌기(13)로서 기능한다. 또한, 배럴(11)의 본체부란, 돌기(13)를 제외한, 외경이 대략 일정한 부분이다.
프로브 헤드(20)는, 프로브(10)의 축 방향을 따라서 서로 이격되어 배치되고, 배럴(11)의 본체부가 관통하는 관통홀이 각각 형성된 복수의 가이드판을 갖는다. 도 1(a)에 나타낸 프로브 헤드(20)는, 탑측 플런저(121)가 삽입된 부분의 배럴(11)이 관통하는 관통홀을 갖는 가이드판(211)과, 바텀측 플런저(122)가 삽입된 부분의 배럴(11)이 관통하는 관통홀을 갖는 가이드판(212)을 갖는다. 프로브 헤드(20)는 절연성의 재료로 이루어지며, 예를 들면 세라믹 등이 프로브 헤드(20)에 적합하게 사용된다.
프로브 헤드(20)의 복수의 가이드판에는, 프로브(10)의 돌기(13)의 외경보다도 관통홀의 구경이 작은 지지 가이드판이 포함된다. 그리고, 지지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 프로브(10)의 돌기(13)의 하부가 맞닿은 상태에서 프로브(10)가 탑측 플런저(121)를 위로 해서 지지 가이드판에 의해 지지된다.
도 1(a)에 나타낸 전기적 접속 장치에서는, 가이드판(211)이 지지 가이드판으로서 기능한다. 즉, 탑측 플런저(121)의 선단부의 외경이 최대인 부분보다도 가이드판(211)의 관통홀의 구경이 작다. 따라서, 탑측 플런저(121)의 선단부의 하단이 가이드판(211)의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 맞닿아 있다.
상기와 같이, 프로브(10)는 지지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 돌기(13)가 걸려서 프로브 헤드(20)에 지지되어 있다. 프로브(10)는 지지 가이드판에 의해서만 지지되어 있고, 배럴(11)의 하단은 프로브 헤드(20)에 의해 하방에서 지지되어 있지 않다. 즉, 도 1에 도시된 전기적 접속 장치에서는, 탑측 플런저 (121)가 지지 가이드판에 걸린 상태에서 프로브(10)가 프로브 헤드(20)의 내부에 매달려 있다. 이와 같이, 프로브(10)는, 탑측 플런저(121)를 위로 해서 대략 수직으로 지지되어 있다.
또한, 바텀측 플런저(122)의 선단부의 외경은, 배럴(11)의 본체부의 외경과 동등하다. 즉, 도 2에 나타내는 바와 같이, 바텀측 플런저(122)의 배럴(11)의 외측에 노출된 선단부의 외경은, 배럴(11)의 내부에 삽입된 부분보다 크다. 이와 같이 바텀측 플런저(122)의 선단부를 두껍게 함으로써 프로브(10)를 피검사체(2)에 대었을 때에 응력이 걸리기 쉬운 바텀측 플런저(122)의 선단부를 강화할 수 있다. 또한, 바텀측 플런저(122)의 선단부를 두껍게 함으로써 프로브(10)의 위치가 다소 어긋나도 선단부를 피검사체(2)의 측정용 패드와 접촉시킬 수 있다. 따라서, 프로브 (10)의 위치 정밀도의 규격을 완화할 수 있다.
또한, 프로브(10)와 피검사체(2)나 랜드(31)와의 전기적 접속을 확보할 필요가 있다. 따라서, 프로브(10)를 강하게 피검사체(2)에 밀어붙이도록 오버드라이브(overdrive)(OD)를 걸거나, 프로브(10)와 랜드(31)에 프리로드(preroad)를 걸거나 하는 것이 효과적이다.
이때문에 프로브(10)는 축 방향으로 신축 자유롭게 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 배럴(11)의 측면을 관통하는 나선상의 절입(cut)이 형성되어 있다. 이 절입이 형성된 영역이 스프링부가 되고, 프로브(10)는 축 방향으로 신축 자유롭다. 이와 같이, 프로브(10)에 스프링부를 형성함으로써 일정한 크기로 OD나 프리로드를 거는 것이 가능하다.
아래에서, 탑측 플런저(121)의 선단부가 노출되는 개구단에 가까운 스프링 부를 「탑측 스프링부」라고 한다. 또한, 바텀측 플런저(122)의 선단부가 노출되는 개구단에 가까운 스프링부를 「바텀측 스프링부」라고 한다. 또한, 도면을 알기 쉽게 하기 위해 탑측 플런저(121) 및 바텀측 플런저(122)의 배럴(11)의 내부에 삽입 된 부분은 도시를 생략한다.
도 3(a)에 비교 예의 전기적 접속 장치를 나타내고, 도 3(b)에 비교 예의 전기적 접속 장치에 사용하는 프로브(10A)를 나타낸다. 도 3(b)에 나타낸 프로브(10A)는, 외주에 돌기가 형성되어 있지 않다.
도 3(a)에 나타낸 프로브 헤드(20A)가 가지는 가이드판은, 탑측 가이드판 (21A), 상부측 미들 가이드판(22A), 하부측 미들 가이드판(23A), 바텀측 가이드판(24A)이다. 탑측 가이드판(21A)은, 프로브(10A)의 탑측 플런저(121A)의 선단부에 근접해서 배치되어 있다. 상부측 미들 가이드판(22A)은, 프로브(10A)의 배럴(11A)의 탑측 스프링부에 근접해서 배치되어 있다. 하부측 미들 가이드판(23A)은, 배럴(11A)의 바텀측 스프링부에 근접해서 배치되어 있다. 바텀측 가이드판(24A)은, 프로브(10A)의 바텀측 플런저(122A)의 선단부에 근접해서 배치되어 있다.
상기와 같이 4장의 가이드판을 갖는 프로브 헤드(20A)를 구비하는 비교 예의 전기적 접속 장치에 대해서 도 1(a)에 나타낸 전기적 접속 장치에서는, 프로브 헤드(20)가 가지는 가이드판은 2장이다. 즉, 도 1(a)에 나타낸 전기적 접속 장치는, 비교 예의 전기적 접속 장치에 비해 가이드판의 매수가 적고, 전기적 접속 장치의 제조 비용을 억제할 수 있다.
또한, 도 3(a)에 나타낸 비교 예의 전기적 접속 장치에서는, 프로브(10A)의 배럴(11A)의 하단이, 프로브 헤드(20A)의 바텀측 가이드판(24A)에 의해 하방에서 지지되어 있다. 이를 위해서는, 배럴(11A)의 개구단에서 노출된 바텀측 플런저 (122A)의 선단부의 일부를, 바텀측 가이드판(24A)을 관통시킬 필요가 있다. 이에 의해 프로브(10A)의 전체 길이의 단축화가 저해된다.
한편, 도 1에 도시된 전기적 접속 장치에서는, 돌기(13)에 의해 프로브(10)가 프로브 헤드(20)에 지지되어 있으며, 배럴(11)의 하단은 프로브 헤드(20)에 의해 지지되어 있지 않다. 이때문에, 바텀측 플런저(122)의 선단부를 가이드판에 관통시킬 필요가 없으며, 프로브(10)의 천체 길이의 단축화가 가능하다.
그리고 또한, 프로브(10)의 배럴(11)을 하방에서 지지하는 가이드판이 불필요하기 때문에, 프로브(10)의 축 방향에 따른 프로브 헤드(20)의 높이를 억제할 수 있다. 이에 따라, 프로브(10)의 전체 길이를 단축할 수 있다.
프로브(10)에 흐르게 한 전류의 허용값(이하에서 「허용 전류」라 한다)이 작으면, 피검사체(2)에 인가할 수 있는 전류의 한계가 작아지고, 피검사체(2)에 관해서 충분한 검사를 할 수 없는 사태가 생길 수 있다. 그러나, 프로브(10)의 전체 길이를 단축함으로써, 프로브(10)의 허용 전류를 증대시킬 수 있다. 또한, 도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 바텀측 플런저(122)의 선단부가 굵은 것도, 허용 전류를 증가 시키는데 유리하다.
<변형 예>
프로브(10)의 전체 길이가 긴 경우나, 피검사체(2)나 랜드(31)에 프로브(10)을 바싹 댐으로써 프로브(10)에 강한 굽힘 응력이 걸리는 경우 등에는, 프로브 헤드(20)의 가이드판의 매수를 증가시켜도 좋다.
예를 들면, 도 4에 나타낸 변형 예의 전기적 접속 장치의 프로브 헤드(20)에서는, 지지 가이드판인 가이드판(221), 탑측 스프링부에 근접해서 배치된 가이드판(222), 바텀측 스프링부에 근접해서 배치된 가이드판(223)을 갖는다. 이 구성에 의해, 예를 들면, 프로브(10)의 전체 길이가 긴 경우 등에도 피검사체(2)의 특성을 안정적으로 측정할 수 있다.
(제2의 실시 형태)
도 5(a)에, 본 발명의 제2의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치를 나타낸다. 도 5(a)에 나타낸 전기적 접속 장치에 사용되는 프로브(10)는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 배럴(11)의 외주에, 배럴(11)의 본체부보다도 외경을 크게 한 플랜지 형상의 돌기(13)가 배치되어 있다. 탑측 플런저(121)의 선단부의 외경은, 배럴(11)의 본체부의 외경과 동등하다. 그리고, 배럴(11)에 있어서 프로브(10)가 지지 가이드판에 의해 지지되는 점이 도 1에 나타낸 전기적 접속 장치와 다르다. 그 밖의 구성에 관해서는 제1의 실시 형태와 동일하다.
상기와 같이, 도 5(a)에 나타낸 프로브 헤드(20)에서는, 바텀측 스프링부에 근접해서 배치된 가이드판(233)이 지지 가이드판이다. 즉, 가이드판(233)의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 배럴(11)의 돌기(13)의 하부가 맞닿은 상태에서, 프로브(10)가 프로브 헤드(20)의 내부에 매달려 있다.
프로브 헤드(20)는, 또한, 탑측 플런저(121)의 주변에 배치된 가이드판 (231), 돌기(13)를 사이에 두고 가이드판(233)의 상방에 배치된 가이드판(232), 가이드판(233)의 하방에 배치된 가이드판(234)을 갖는다. 또한, 배럴(11)의 바텀측 플런저(122)가 노출되는 단부에 근접해서 배치된 가이드판(234)은, 측정시에 프로브(10)를 안정적으로 유지할 수 있는 경우에는 배치하지 않아도 좋다.
프로브(10)를 피검사체(2)나 랜드(31)와 안정적으로 접촉시키기 위해서, OD나 프리로드의 크기에는 적정한 범위가 있다. 따라서, 탑측 플런저(121)의 스프링 기능과 바텀측 플런저(122)의 스프링 기능은, 독립적으로 기능시키는 것이 바람직하다.
따라서, 도 5(a)에 나타낸 전기적 접속 장치에서는, 프로브 헤드(20)가 갖는 복수의 가이드판의 하나로서, 관통홀의 개구부의 가장자리부에 돌기(13)의 상부가 맞닿도록 지지 가이드판의 상방에 배치된 정지 가이드판이 포함된다. 즉, 도 5에 나타낸 가이드판(232)이 정지 가이드판이다.
도 5(a)에 나타낸 전기적 접속 장치에서는, 스프링 기능에 의해 프로브(10)가 축 방향으로 신축했을 때에 프로브(10)의 돌기(13)가 지지 가이드판 또는 정지 가이드판에 압착한다. 예를 들면, 탑측 플런저(121)와 랜드(31) 사이에 걸리는 프리로드보다 바텀측 플런저(122)와 피검사체(2) 사이에 걸리는 OD쪽이 큰 경우에, 정지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 돌기(13)의 상부가 압착된다. 한편, OD보다 프리로드 쪽이 큰 경우에, 지지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에, 돌기(13)의 하부가 압착된다.
이와 같이, 탑측 스프링부의 신축과 바텀측 스프링부 각각의 신축이, 돌기 (13)와 가이드판의 접촉에 의해 제동된다. 따라서, 프로브(10)가 랜드(31)에 접촉하는 압력에 영향하는 탑측 스프링부의 스프링 기능과, 프로브(10)가 피검사체(2)에 접촉하는 압력에 영향하는 바텀측 스프링부의 스프링 기능을, 독립적으로 기능시킬 수 있다.
그 결과, 목적대로 프리로드나 OD를 걸 수 있다. 즉, 프로브(10)를 피검사 체(2) 및 기판(3)에 배치된 랜드(31)와 안정적으로 접촉시킬 수 있다. 따라서, 과도한 압력으로 랜드(31)나 피검사체(2)에 손상이 발생하거나, 접촉이 불안정해져 접촉 저항이 불균형하거나 하는 문제가 회피된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시형태에 관련한 전기적 접속 장치에서는, 지지 가이드판과 정지 가이드판에 의해 돌기(13)가 상하 방향에서 사이에 끼워져 있다. 이에 따라, 프로브(10)가 피검사체(2)나 랜드(31)와 안정적으로 접촉해서 피검사체(2)의 특성을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 정지 가이드판의 관통홀의 구경은, 돌기(13)의 외경보다 크게 해두는 것이 바람직하다. 그리고, 프로브(10)의 축 방향과 수직인 평면을 따라서 도 5(a)에 화살표로 나타낸 바와 같이 정지 가이드판이 슬라이드함으로써 정지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 돌기(13)의 상부가 맞닿는 위치에 정지 가이드판이 이동하게 해 둔다.
상기와 같이 정지 가이드판을 슬라이드하도록 구성해 둠으로써, 프로브 헤드 (20)에 프로브(10)를 삽입하는 작업을 용이하게 할 수 있다. 즉, 프로브 헤드(20)에 프로브(10)를 삽입하는 단계에서는, 정지 가이드판의 관통홀의 중심 위치를 다른 가이드판의 관통홀의 중심 위치와 일치시켜 둔다. 그리고, 정지 가이드판의 관통홀에 프로브(10)를 관통시킨 후에 정지 가이드판을 슬라이드시킨다. 이에 따라, 프로브(10)가 축 방향으로 신축했을 때에, 정지 가이드판의 관통홀의 개구부의 가장자리부에 돌기(13)의 상부가 압착된다.
<변형 예>
도 6에, 본 발명의 제2의 실시형태의 변형 예에 관련한 전기적 접속 장치의 변형 예를 나타낸다. 도 6에 나타내는 프로브 헤드(20)는, 탑측 스프링부에 근접해서 배치되어 있는 가이드판(241), 바텀측 스프링부에 근접해서 배치되어 있는 가이드판(242), 바텀측 플런저(122)가 노출된 단부에 근접해서 배치된 가이드판(243)을 갖는다.
도 6에 나타낸 전기적 접속 장치에서는, 가이드판(241)이 정지 가이드판이며, 가이드판(242)이 지지 가이드판이다. 즉, 프로브(10)의 축 방향을 따라서 적층된 복수의 가이드판의 최상단이 정지 가이드판이다.
또한, 도 6에 화살표로 나타낸 바와 같이, 가이드판(241)을 슬라이드하도록 구성해도 좋다. 이에 따라, 전술과 같이 프로브 헤드(20)에 프로브(10)를 삽입하는 작업을 용이하게 할 수 있다.
도 6에 나타낸 전기적 접속 장치에서는, 도 5(a)에 나타낸 전기적 접속 장치보다 가이드판의 매수를 적게 할 수 있다. 그리고 또한, 가이드판(243)은, 측정시에 프로브(10)를 안정적으로 유지할 수 있는 경우에는 배치하지 않아도 된다.
또한, 도 6에 나타낸 전기적 접속 장치에 따르면, 지지 가이드판이나 정지 가이드판의 판 두께가 두꺼워진다. 이 때문에, 프리로드에 따른 하중에 의해 가이드판의 상면이 부풀어오르는 벤딩(bending) 현상을 억제할 수 있다.
또한, 도 5(a)나 도 6에 나타낸 프로브(10)는, 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이 배럴(11)에 링형상의 돌기(13)를 끼움에 따라 제조 가능하다. 이에 따라 배럴(11)의 외주에 플랜지 형상의 돌기(13)를 배치할 수 있다.
혹은, 도 8(a)에 나타내는 바와 같이, 배럴(11)의 본체부에 축 방향과 수직으로 관통홀(110)을 형성하고, 이 관통홀(110)에 화살표로 나타내는 바와 같이 막대형상의 돌기(13)를 삽입한다. 이에 따라, 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 배럴(11)의 외주에 돌기(13)를 배치할 수 있다. 관통홀(110)은, 예를 들면 탑측 스프링부와 바텀측 스프링부 사이에 형성된다.
(기타 실시 형태)
상기와 같이 본 발명은 실시 형태에 의해 기재했지만, 이 개시의 일부를 이루는 논술 및 도면은 본 발명을 한정하는 것이라고 이해해서는 안 된다. 이 개시로부터 당업자에게는 다양한 대체 실시형태, 실시 예 및 운용 기술이 명확해질 것이다.
예를 들면, 프로브(10)의 단면의 형상이 원형상이어도 좋고, 사각형 등의 다각형이어도 좋다.
이와 같이, 본 발명은 여기서는 기재하고 있지 않은 다양한 실시 형태 등을 포함하는 것은 물론이다.
산업상의 이용 가능성
본 실시 형태의 전기적 접속 장치는, 피검사체의 전기적 특성의 측정 분야에 이용 가능하다.

Claims (10)

  1. 관형상의 배럴(barrel), 및 상기 배럴의 양단부의 개구단에서 각각 선단부가 노출된 상태에서 상기 배럴에 접합된 막대 형상의 탑측 플런저(top-side plunger)와 바텀측 플런저(bottom-side plunger)를 갖는 프로브(probe)와,
    상기 프로브의 축 방향을 따라서 서로 이격해서 배치되고, 상기 배럴의 본체부가 관통하는 관통홀이 각각 형성된 복수의 가이드판을 갖는 프로브 헤드(probe head)를 구비하고,
    상기 배럴의 상기 본체부보다 외경이 큰 돌기가 상기 프로브의 외주에 배치되고,
    상기 복수의 가이드판에, 상기 돌기의 외경보다도 상기 관통홀의 구경이 작은 지지 가이드판을 포함하며,
    상기 지지 가이드판의 상기 관통홀의 개구부의 가장자리부(緣部)에 상기 돌기의 하부가 맞닿은 상태에서, 상기 프로브가 상기 탑측 플런저를 위(上)로 해서 상기 지지 가이드판에 의해 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배럴의 하단이 상기 프로브 헤드에 의해 하방에서 지지되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 탑측 플런저의 상기 선단부에 상기 돌기가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 배럴의 외주에 상기 돌기가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 가이드판에, 상기 관통홀의 개구부의 가장자리부에 상기 돌기의 상부가 맞닿도록 상기 지지 가이드판의 상방에 배치된 정지 가이드판을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 정지 가이드판의 상기 관통홀의 구경(口徑)이 상기 돌기의 외경보다도 크고,
    상기 정지 가이드판이 상기 프로브의 축 방향과 수직인 평면을 따라서 슬라이드함으로써 상기 정지 가이드판의 상기 관통홀의 개구부의 가장자리부에 상기 돌기의 상부가 맞닿는 위치로 상기 정지 가이드판이 이동하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 프로브의 축 방향을 따라서 적층된 상기 복수의 가이드판의 최상단이, 상기 정지 가이드판인 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 프로브가 축 방향으로 신축 자유롭게 구성되고,
    상기 프로브가 상기 축 방향으로 신축했을 때에, 상기 지지 가이드판의 상기 관통홀의 개구부의 가장자리부 또는 상기 정지 가이드판의 상기 관통홀의 개구부의 가장자리부에, 상기 돌기가 압착되는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 배럴이, 측면에 나선형상의 절입(cut)이 형성된 스프링부에 의해 신축 자유롭게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 바텀측 플런저의 상기 배럴의 외측에 노출된 상기 선단부의 외경이, 상기 바텀측 플런저의 상기 배럴의 내부에 삽입된 부분보다도 큰 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
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