KR20190127666A - 접착제를 사용하는 마이크로 구조의 물질 이동 - Google Patents

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Abstract

마이크로 구조의 물질 이동은 접착제를 사용하여 한 기판에서 다른 기판으로 이루어진다. 집적된 마이크로 LED 디스플레이와 관련하여, 마이크로 LED 어레이는 본래의 기판 상에 제조되고 대응하는 CMOS 픽셀 드라이버는 별도의 기판 상에 제조된다. 마이크로 LED 기판(예를 들어, 사파이어) 및 CMOS 기판(예를 들어, 실리콘)은 호환되지 않을 수 있다. 예를 들어, 이들은 상이한 열 팽창 계수를 가져서 마이크로 LED를 픽셀 드라이버 회로에 본딩하기 어렵게 만든다. 마이크로 LED 어레이는 접착제를 사용하여 중간 기판(예를 들어, 실리콘)으로 전사된다. 이 중간 기판은 마이크로 LED 어레이를 픽셀 드라이버의 어레이에 본딩하는 공정에 사용될 수 있다. 중간 기판은 접착제를 해제함으로써 마이크로 LED 어레이로부터 분리된다.

Description

접착제를 사용하는 마이크로 구조의 물질 이동
본 출원은 35 U.S.C. §119(e)에 의해 2016 년 12월 13일자로 출원된 미국 임시 특허출원 제62/433,741호, "접착제를 사용하는 마이크로 구조의 물질 이동" 및 2017년 12월 8일에 출원된 미국 특허출원 제15/836,703 호, "접착제를 사용하는 마이크로 구조의 물질 이동"의 우선권을 주장한 출원으로, 그 전체 내용은 여기에 참고로서 포함된다.
본 발명은 일반적으로 집적된 다중-컬러 마이크로 LED 디스플레이 패널을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
박막 트랜지스터(thin-film transistor, TFT) 기술과 결합된 액티브 매트릭스 액정 디스플레이(liquid-crystal displays, LCD) 및 유기발광다이오드(organic light emitting diode, OLED) 디스플레이는 오늘날의 상업용 전자 장치에서 점점 더 널리 보급되고 있다. 이러한 디스플레이는 개인용 랩탑 컴퓨터, 스마트 폰 및 개인용 디지털 단말기에서 널리 사용된다. 수백만 픽셀이 함께 디스플레이 상에 이미지를 만든다. TFT는 각 픽셀을 개별적으로 켜고 끄는 스위치 역할을 하여 픽셀을 밝게 또는 어둡게 만들어 각 픽셀과 전체 디스플레이를 편리하고 효율적으로 제어할 수 있다.
그러나, 종래의 LCD 디스플레이는 광 효율이 낮아서 높은 전력 소모와 한정된 배터리 동작 시간을 초래한다. 능동형 유기발광다이오드(active-matrix organic light-emitting diode, AMOLED) 디스플레이 패널은 일반적으로 LCD 패널보다 적은 전력을 소비하지만, AMOLED 디스플레이 패널은 여전히 배터리 구동 장치에서 지배적인 전력 소비자일 수 있다. 배터리 수명을 연장하기 위해, 디스플레이 패널의 전력 소비를 감소시키는 것이 바람직하다.
종래의 무기 반도체 발광다이오드(lingt emitting diode, LED)는 우수한 광 효율을 나타내며, 이 때문에 액티브 매트릭스 LED 디스플레이가 배터리로 구동되는 전자 장치에 보다 바람직하다. 드라이버 회로(driver circuit) 및 LED 어레이는 수백만 픽셀을 제어하여 이미지를 디스플레이에 표시하는 데 이용된다. 단일-컬러 디스플레이 패널 및 풀-컬러 디스플레이 패널은 모두 다양한 제조 방법에 따라 제조될 수 있다.
그러나, 수천 또는 심지어 수백만 개의 마이크로 LED를 픽셀 드라이버 회로 어레이와 통합하는 것은 상당히 어렵다. 각종 제조 방법이 제안되어 왔다. 하나의 접근법에서, 제어 회로는 하나의 기판 상에 제조되고 마이크로 LED는 별도의 기판 상에 제조된다. 마이크로 LED는 제어 회로가 있는 기판 상에 한 번에 하나 또는 몇 개씩 선택 및 설치된다. 그러나, 이러한 제조 공정은 비효율적이며 비용이 많이 든다.
다른 접근법에서, 오리지널 기판을 갖는 전체 마이크로 LED 어레이는 정렬되어 금속 접합(metal bonding)을 사용하여 제어 회로에 결합된다. 마이크로 LED가 제조되는 기판은 최종 제품에 잔류하며, 이는 가벼운 크로스토크(cross-talk)를 유발할 수 있다. 또한, 두 개의 다른 기판 사이의 온도 불일치는 접합 인터페이스에서 응력을 발생시켜 신뢰성 문제를 일으킬 수 있다. 뿐만 아니라, 다중-컬러 디스플레이 패널은 일반적으로 단일-컬러 디스플레이 패널에 비해 다른 기판 물질 상에서 성장된 더 많은 마이크로 LED 및 상이한 컬러 마이크로 LED를 요구하고, 이에 따라 종래의 제조 공정을 더욱 복잡하고 비효율적으로 만든다.
결과적으로, 마이크로 구조를 갖는 다른 유형의 반도체 장치뿐만 아니라 마이크로 LED 디스플레이에 대해서도 더 나은 제조 방법이 필요하다.
본 발명은 접착제를 사용하여 하나의 기판으로부터 다른 기판으로 마이크로 구조의 물질 이동을 제공함으로써 종래 기술의 한계를 극복한다. 집적된 마이크로 LED 디스플레이와 관련하여, 마이크로 LED 어레이는 본래의(native) 기판 상에 제조되고, 대응하는 CMOS 픽셀 드라이버는 별도의 기판 상에 제조된다. 마이크로 LED 기판(예를 들어, 사파이어) 및 CMOS 기판(예를 들어, 실리콘)은 공존할 수 없다. 예를 들어, 이들은 서로 다른 열 팽창 계수를 가질 수 있고, 이것은 양쪽 모두 오리지널 기판 상에 있는 동안 마이크로 LED를 픽셀 드라이버 회로에 접합하는 것을 어렵게 만든다. 이에 따라, 마이크로 LED 어레이는 접착제를 사용하여 중간 기판(예컨대, 실리콘)으로 이전된다. 이러한 중간 기판은 마이크로 LED 어레이를 픽셀 드라이버의 어레이에 접합하는 공정에 사용될 수 있다. 중간 기판은 접착제를 제거하여 마이크로 LED 어레이로부터 분리된다.
다른 양태는 구성 요소, 장치, 시스템, 개선, 방법, 프로세스, 응용 프로그램, 컴퓨터 판독 가능 매체 및 상기 것들 중 임의의 것에 관련된 기타 기술을 포함한다.
본 발명의 실시 예는 첨부된 도면의 실시 예와 관련하여 다음의 상세한 설명 및 첨부된 청구 범위로부터 더욱 쉽게 명백해질 다른 장점 및 특징을 갖는다.
도 1a는 일 실시 예에 따른 집적된 마이크로 LED 디스플레이용 픽셀의 회로도이다.
도 1b는 일 실시 예에 따른 실리콘 기판 상에 제조된 픽셀 드라이버의 어레이를 갖는 CMOS 다이(die)의 단면도이다.
도 1c는 일 실시 예에 따른 사파이어 기판 상에 제조된 마이크로 LED 어레이를 갖는 마이크로 LED 다이의 단면도이다.
도 2a 내지 2f는 일 실시 예에 따른 단일 플립 물질 전사 접착제 공정에 의한 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다.
도 3a 및 3b는 최종 기판 상의 마이크로 LED의 현미경 이미지이다.
도 3c 및 3d는 마이크로 LED의 전사 후에 캐리어 기판의 현미경 이미지이다.
도 4a 내지 4d는 일 실시 예에 따른 다른 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 예시적인 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 평면도이다.
도 6a 내지 6d는 일 실시 예에 따른 이중 플립 물질 전사 접착제 공정에 의한 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 다중 레이어의 접착제를 사용하는 전사 접착제 공정에 의한 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다.
도 8a 내지 8b는 일 실시 예에 따른 이중 플립 물질 전사 접착제 공정에 의한 다른 종류의 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다.
도 9a 내지 9c는 일 실시 예에 따른 다른 물질 전사 접착제 공정에 의한 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다.
도면 및 이하의 설명은 단지 예시를 위한 바람직한 실시 예에 관한 것이다. 이하의 논의로부터, 본 명세서에 개시된 구조 및 방법의 대안적인 실시 예는 청구된 원리를 벗어나지 않고 채용될 수 있는 실행 가능한 대안으로 쉽게 인식될 것이다.
다음의 실시 예는 주로 GaN 마이크로 LED 어레이가 공융 본딩(eutectic bonding)에 의해 CMOS 픽셀 드라이버에 부착되는 집적된 마이크로 LED 디스플레이를 사용하지만, 이들은 단지 예시일 뿐 기술된 기술은 이러한 특정 적용에 한정되지 않는다. 마이크로 LED의 예는 GaN 계열 UV/청색/녹색 마이크로 LED, AlInGaP 계열 적색/오렌지색 마이크로 LED, 및 GaAs 또는 InP 계열 적외선(IR) 마이크로 LED를 포함한다. 마이크로 LED 및 다른 마이크로 구조의 추가적인 예는 미국 특허 출원 제15/135,217호 "집적된 박막 트랜지스터 회로를 갖는 반도체 장치", 제15/269,954호 "정렬 본딩 및 기판 제거를 이용한 반도체 장치 제조", 제15/269,956호 "집적된 마이크로 렌즈 어레이를 갖는 디스플레이 패널", 제15/272,410호 "집적된 마이크로 렌즈 어레이를 갖는 디스플레이 패널 제조" 및 제15/701,450호 "다중-컬러 마이크로-LED 어레이 광원"에 기술된다. 전술한 것 모두는 그 전체가 참고 문헌으로 포함된다. 본 명세서에 설명된 개념은 또한 수직 공동 표면 방출 레이저(vertical cavity surface-emitting lasers, VCSEL), 레이저 다이오드, 광 검출기, MEMS 및 전력 장치와 같은 다른 미세 구조 및 장치가 물질 전달하는데 사용될 수 있다. 공융 본딩 외에, 드라이버 회로로 마이크로 LED의 전기 전도성 본딩은 또한 접착제에 침지된 전기 전도성 입자를 갖는 접착제를 사용하여 달성될 수 있다.
도 1a는 일 실시 예에 따른 집적된 마이크로 LED 디스플레이용 픽셀의 회로도이다. 픽셀은 픽셀 드라이버 미 마이크로 LED(140)을 포함한다. 이 예에서, 픽셀 드라이버는 2개의 트랜지스터 및 하나의 캐패시터(130)를 포함하고, 하나의 트랜지스터는 제어 트랜지스터(120)이고 다른 하나는 구동 트랜지스터(110)이다. 제어 트랜지스터(120)는 그의 게이트가 스캔 신호 버스 라인(bus line)(150)에 연결되고, 그의 하나의 소스/드레인은 데이터 신호 버스 라인(170)에 연결되고, 다른 드레인/소스는 저장 캐패시터(130) 및 구동 트랜지스터(110)의 게이트에 연결된다. 구동 트랜지스터(110)의 하나의 소스/드레인은 전원(Vdd)에 연결되고, 다른 드레인/소스는 마이크로 LED(140)의 p-전극에 연결된다. 마이크로 LED(140)의 n-전극은 캐패시터(130) 및 그라운드에 연결된다. 이 예에서, 스캔 신호(150)가 제어 트랜지스터(120)의 게이트를 개방할 때, 데이터 신호(170)는 저장 캐패시터(130)를 충전하고 마이크로 LED(140)를 통한 전류 흐름을 제어하는 구동 트랜지스터(110)의 게이트 전압을 설정한다. 여기서 저장 캐패시터(130)는 구동 트랜지스터(110)의 게이트 전압을 유지하기 위해 사용되고, 이에 따라 스캔 신호(150)가 다른 픽셀을 설정하는 시간 동안 마이크로 LED(140)를 통한 전류 흐름을 유지한다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 집적된 마이크로 LED 디스플레이용 픽셀 드라이버는 전형적으로 하나의 기판 상에 제조된다. 도 1c에 도시된 바와 같이, 마이크로 LED는 다른 기판 상에 제조된다. 집적된 마이크로 LED 디스플레이는 마이크로 LED를 해당 픽셀 드라이버와 통합하여 만들어지며, 아래에 설명된 대로 접착제 및 중간 기판을 사용한 물질 이동 프로세스를 이용하여 구현된다.
도 1b는 일 실시 예에 따른 실리콘 기판 상에 제조된 픽셀 드라이버의 어레이를 갖는 CMOS 다이의 단면도이다. 도 1b에서, 개별 드라이버 회로(110) 어레이는 CMOS 기판(102) 상에 제조된다. 드라이버 회로(110)는 적색, 녹색 및 청색 픽셀에 대응하기 때문에 접미사 R, G, B로 라벨링된다. 이 예에서, 도 1a와 비교하여, 각 픽셀 드라이버 회로의 구동 트랜지스터(110)만이 명확화를 위해 도 1b에 도시된다. 구동 트랜지스터(110)는 그 소스(117)가 대응하는 마이크로 LED에 본딩될 콘택트(116)에 연결된 CMOS 드라이버 회로이다. 도시되지 않은 다른 실시 예에서, 드라이버 회로는 유리 또는 플렉서블 기판 상의 TFT 회로일 수도 있다.
명확화를 위해, 도 1b는 110R, 110G 및 110B로 라벨링된 6개의 드라이버 회로(110)만을 도시하는데, 이는 후술하는 바와 같이 적색 마이크로 LED, 녹색 마이크로 LED 및 청색 마이크로 LED에 대응한다. 드라이버 회로는 상이한 수의 드라이버 회로를 포함할 수 있다. 완전히 프로그램 가능한 디스플레이 패널에서, 마이크로 LED 및 드라이버 회로는 개별적으로 다룰 수 있는 픽셀, 바람직하게는 컬러 픽셀 어레이를 형성하도록 어레이로 배열된다. 다른 실시 예에서, 디스플레이 패널은 보다 제한된 프로그램 작동 가능성을 가질 수 있고 픽셀은 상이한 기하학적 구조로 배열될 수 있다. 또한, 드라이버 회로 및 마이크로 LED 사이에 일대일 대응이 필요하지 않다. 예를 들어, 동일한 픽셀 드라이버 출력 장치에 연결되어 중복성(redundancy)을 만들 수 있는 2개 이상의 마이크로 LED가 있어, 마이크로 LED 중 하나에 장애가 발생해도 나머지 마이크로 LED는 여전히 픽셀을 비출 수 있다.
도 1b로 돌아가서, 드라이버 회로(100)는 다음과 같이 제조된다. CMOS 기판(102)은 개별 드라이버 회로(110) 어레이가 제조되는 기판이다. 일 실시 예에서, 기판(102)은 Si 기판이다. 다른 실시 예에서, 지지 기판(102)은 투명 기판, 예를 들어 유리 기판이다. 다른 예시적인 기판은 GaAs, GaP, InP, SiC, ZnO, 사파이어 또는 플렉서블 기판을 포함한다.
후술하는 바와 같이, 드라이버 회로(110)는 드라이버 회로에 본딩되는 마이크로 LED를 구동하기 위한 개별 픽셀 드라이버를 형성한다. 도 1b에 도시된 예에서, 드라이버 회로(110)는 소스(117), 드레인(118) 및 게이트(119)를 포함하는 CMOS 드라이버 회로이다. 또한, 소스(117)는 본딩 콘택트(116)와 접촉하는 전극에 연결된다. 드레인(118)은 Vdd 콘택트(115)를 통해 외부 전원에 연결된다. 다른 실시 예에서, 드레인(118R) 및 소스(117R)의 위치는 드라이버 회로(110R)의 채널 유형(예를 들어, n-채널 또는 p-채널 FET)에 따라 전환될 수 있다.
Vdd 콘택트(115), 게이트(119) 및 전극을 소스(117)로부터 전기적으로 분리시키기 위해 절연 유전체층(113)이 형성된다. 그라운드 콘택트(114)는 각각의 픽셀 드라이버 내에 형성되어 대응하는 마이크로 LED가 연결될 것이다. 마이크로 LED는 일측면의 본딩 콘택트(116)와 타측면의 그라운드 콘택트(114)와 접촉할 것이다. 도시되지 않은 다른 실시 예에서, 드라이버 회로는 CMOS 드라이버 회로 이외의 드라이버 회로를 포함할 수 있다. 일례로서, 드라이버 회로는 박막 트랜지스터(TFT) 드라이버 회로를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 구동 회로는 III-V 화합물 반도체를 사용할 수 있다.
아래에서 상술되는 바와 같이, 본딩 콘택트(116)는 대응하는 마이크로 LED의 본딩 콘택트와 접촉하기 위해 각각의 드라이버 회로(110)에 대해 절연 유전체층(113)의 상부에 형성되어, 드라이버 회로(110)가 전기적으로 마이크로 LED에 결합될 수 있게 한다. 본딩 콘택트(116)는 옴 콘택트(ohmic contact), 예를 들어 금속 콘택트이다.
도 1c는 GaAs 기판(142R) 상에 제조된 적색 마이크로 LED(140R) 어레이를 갖는 마이크로 LED 다이의 단면도이다. 다른 실시 예에서, 마이크로 LED는 청색 또는 녹색 마이크로 LED일 수 있고, 기판은 사파이어, SiC 또는 Si 기판일 수 있다. 마이크로 LED(140)의 크기는 20 마이크론 또는 그 이하인 것이 바람직하다. 일 실시 예에서, 마이크로 LED(140R)는 기판(142R) 상에 어레이로 배열되어 마이크로 LED가 도 1b에 도시된 CMOS 다이 상에 집적된 후에 개별적으로 다룰 수 있는 픽셀을 갖는 완전히 프로그램 가능한 디스플레이 패널을 형성한다. 명확화를 위해, 도 1c는 기판(142R) 상에 제조된 2개의 마이크로 LED(140R)만을 도시한다. 마이크로 LED 다이는 상이한 수의 마이크로 LED를 포함할 수 있고, 예를 들어 적색, 녹색 및 청색 마이크로 LED에 대한 상이한 다이와 같은 다중 다이가 사용될 수 있음을 이해해야 한다.
마이크로 LED(140R)는 기판(142R) 상에 에피택셜 성장된다. 패시베이션 층(143R)은 마이크로 LED 다이 상의 개별 마이크로 LED(140R)를 전기적으로 절연하도록 형성되고, 마이크로 LED의 상부에 본딩 층이 형성되며, 이 경우 각각의 마이크로 LED에 대해, 도 1b에서 상술된 바와 같이 본딩 콘택트(146R)가 대응하는 드라이버 회로(110R)에 전기적으로 결합된다.
도 1c에서, 마이크로 LED(140R)는 적색 마이크로 LED이다. 도시되지 않은 다른 실시 예에서, 형광체 층 또는 나노 입자로 덮인 자외선(UV) 마이크로 LED를 포함하는 마이크로 LED 다이는 또한 풀-컬러 마이크로 LED 디스플레이를 형성하는데 사용될 수 있다. 단일-컬러 마이크로 LED 디스플레이 패널도 제작될 수 있다. 대안적으로, 상이한 컬러 형광체 또는 나노 입자를 갖는 동일한 컬러 마이크로 LED가 다중-컬러 디스플레이를 제조하는데 사용될 수 있다.
마이크로 LED는 전형적으로 마이크로 LED의 p-층과 n-층 중 하나에 한 쌍의 콘택트를 갖는다. 도 1c의 실시 예에서, 상기 쌍의 단지 하나의 콘택트만이 본딩 공정을 통해 연결된다. 이 예에서, 본딩 컨택트(146)는 마이크로 LED의 p-층에 연결된다.
또한, 도 2 내지 9는 마이크로 LED 어레이를 픽셀 드라이버의 어레이에 결합하기 위한 다양한 예를 도시한다. 이들은 접착제를 사용하여 중간 기판에 마이크로 LED 어레이의 물질 전달에 기반한다. 예를 들어, 마이크로 LED 어레이는 CMOS 기판과 열적으로 보다 호환되는 캐리어 기판으로 전달될 수 있다. 본딩 공정이 상승된 온도에서 발생하는 경우, 상이한 열팽창률에 의해 야기되는 오정렬 또는 내부 응력으로 인해 본래의 기판 상에 있는 동안 상이한 열팽창 계수가 마이크로 LED 어레이 및 픽셀 드라이버의 본딩을 방지할 수 있다. 그러나, 이러한 문제는 먼저 보다 호환성이 큰 열팽창 계수를 갖는 중간 기판에 마이크로 LED 어레이를 전사함으로써 극복될 수 있다.
예를 들어, CMOS 픽셀 드라이버는 전형적으로 실리콘 기판 상에 제조되지만, GaN-계열 마이크로 LED는 사파이어 기판 상에서 성장될 수 있다. 실리콘과 사파이어 사이의 열적 불일치는 수용 가능한 전사 수율로 마이크로 픽셀 LED 어레이를 픽셀 드라이버의 어레이에 본딩하는 것을 어렵게 만든다. 대신에, Ga-계열 마이크로 LED는 먼저 중간 실리콘 기판에 물질 이동된 후 픽셀 드라이버의 어레이에 본딩될 수 있다.
도 2a 내지 2f는 일 실시 예에 따른 단일 플립 물질 전사 접착제 공정에 의한 집적된 마이크로 LED 디스플레이 패널의 제조를 예시하는 단면도이다. 도 2a는 본래의 사파이어 기판(242) 상에 제조된 GaN 마이크로 LED(240) 어레이를 도시한다. 마이크로 LED 어레이(240)는 CMOS 기판 상의 대응하는 픽셀 드라이버의 어레이에 부착된다(도 2e 참조). 전사는 접착제를 사용하여 중간 기판(250)에 마이크로 LED 어레이(240)의 물질 이동에 의해 이루어진다. 이 예에서, 중간 기판(250)은 실리콘으로, CMOS 회로를 갖는 기판의 열팽창을 정합시키기 위한 것이다.
도 2b 및 2c는 오리지널 사파이어 기판(242)으로부터 실리콘 캐리어 기판(250)으로의 마이크로 LED 어레이의 전사를 도시한다. 도 2b에서, 마이크로 LED 어레이(240) 및 본래의 기판(242)은 접착제(260)에 의해 실리콘 기판(250)에 부착된다. 접착제의 예는 SU-8, BCB(benzocyclobutene), 폴리이미드, PBO(polybenzoxazole), 실리콘 또는 열 방출 코팅과 같은 에폭시-계열 폴리머를 포함한다. 접착제는 감광성일 수 있으며, 이 경우 UV 또는 다른 조사는 접착제를 경화시키는데 사용된다. 대안으로, 열처리가 접착제를 경화시키는 데 사용될 수 있다. 여기서, 캐리어 기판(250)은 실리콘이지만, 사파이어, 유리, 세라믹 및 폴리머 기판은 캐리어 기판에 사용될 수 있는 다른 예시적인 물질이다.
도 2c에서, 본래의 사파이어 기판(242)은 마이크로 LED 어레이(240)로부터 제거된다. 이 예에서, 기판 제거는 레이저 조사에 의해 달성된다. 습식 화학 에칭, 건식 에칭 또는 화학적 기계 연마(chemical mechanical polishing, CMP)와 같은 다른 기술이 기판 제거 공정에 사용될 수 있다. 사파이어와 같은 투명 기판 상의 GaN 마이크로 LED에 대해, 기판 제거는 레이저 조사에 의해 수행될 수 있다. 실리콘 기판상의 GaN 마이크로 LED에 대해, 기판 제거는 CMP에 이어서 습식 화학 에칭 또는 건식 에칭에 의해 수행될 수 있다. GaAs 기판상의 AlGaInP 마이크로 LED에 대해, 바람직하게는 습식 화학 에칭이 기판 제거에 사용된다. 기판 제거 후, LED(240)들 사이의 접착제(260)는 마이크로 LED의 측벽의 더 많은 부분을 노출시키도록 리세스(recess) 에칭될 수 있고, 이에 따라 마이크로 LED들 사이의 공간에 더 많은 간격을 제공하고, 픽셀 드라이버 다이(210)에 본딩된 후 접착제(260) 및 캐리어 기판(250)으로부터 마이크로 LED의 분리를 더욱 용이하게 한다.
도 2d에서, 본딩 콘택트(246)는 마이크로 LED(240) 상에 놓인다. 도 2e에서, 이들 본딩 콘택트(246)는 픽셀 드라이버를 포함하는 다이(210) 상의 대응하는 콘택트(216)에 본딩된다. 편의상, 이러한 다이는 CMOS 다이(210)와 같이 지칭될 것이다. 이 예에서는 실리콘 기판을 사용한다. 캐리어 기판(250)도 실리콘이기 때문에, 두 기판은 본딩 공정의 열 순환 동안 동일한 속도로 팽창 및 수축한다.
도 2f에서, 캐리어 기판(250)은 접착제(260)를 해제함으로써 마이크로 LED 어레이(240)로부터 분리된다. 마이크로 LED(240)와 주변 접착제(260) 사이의 약한 본딩으로 인해, 기계적 박리는 바람직하게는 캐리어 기판(250)과 접착제(260)를 마이크로 LED(240)로부터 분리하는데 사용된다. CMOS 다이(210)에 대해 마이크로 LED(240)의 양호한 전사 수율을 보장하기 위해, 마이크로 LED(240)와 접착제(260) 사이의 접착 강도는, 이들 사이에 낮은 접착제 층을 삽입하고, 마이크로 LED(240)의 전체 측벽을 노출시켜 이들 사이의 접촉 면적을 최소화하기 위해 접착제(260)를 리세스 에칭함으로써 조절될 수 있다. 또한, 캐리어 기판(250) 및 접착제(260)를 제거하기 위해 레이저 조사, 습식 에칭 또는 건식 에칭과 같은 다른 기술이 사용될 수 있다. 해제 후에, 예를 들어 습식 에칭 또는 건식 에칭에 의해 CMOS 다이(210) 상에 남은 과잉 접착제가 제거될 수 있다. 이 장치는 대응하는 픽셀 드라이버의 어레이에 본딩된 마이크로 LED(240) 어레이를 포함한다.
도너(donor) 기판으로부터 억셉터(acceptor) 기판으로의 마이크로 LED의 물질 이동은 많은 마이크로 LED가 병렬로 전사될 수 있기 때문에 유리하다. 본 명세서에 기술된 예는 다이를 언급하지만, 이들 기술은 웨이퍼(wafer)로부터 싱귤레이트되기(singulated) 전에 웨이퍼-레벨에서 다이에 용이하게 적용될 수 있음을 알아야 한다.
또한, 도 3a 내지 3d는 캐리어 기판 및 억셉터 기판 상으로 전사된 마이크로 LED 어레이의 현미경 이미지를 도시한다. 도 3a 및 3b는 전사 공정 후에 상부에 규칙적으로 배열된 마이크로 LED를 갖는 억셉터 기판을 도시한다. 도 3c 및 3d는 마이크로 LED의 전사 후 캐리어 기판을 도시한다.
또한, 도 4a 내지 4d는 픽셀 드라이버 회로에 적색, 녹색, 및 청색 마이크로 LED의 다수의 물질 이동을 요구하는 풀 컬러 마이크로 LED 디스플레이를 제조하기 위한, 도 2a 내지 2f에 도시된 공정의 적용을 도시한다. 도 4a는 도 2e에 대응하는 단계에서의 장치를 도시한다. 적색 마이크로 LED(140R)는 접착제(260R)를 사용하여 그 본래의 기판으로부터 실리콘 캐리어 기판(250R)으로 이미 전사되었다. 본딩 콘택트(146R)는 마이크로 LED(140R)에 추가되었고 전체 장치는 드라이버 회로(110R)를 포함하는 CMOS 다이 상의 대응하는 본딩 콘택트(116R)에 공융 결합되었다. CMOS 회로용 기판(102)은 실리콘이다. 도 4b는 접착제(260R)의 해제에 의한 캐리어 기판(250R) 제거 후의 장치를 도시한다.
상기 공정은 녹색 및 청색 마이크로 LED에 대해 반복된다. 도 4c는 CMOS 다이에 녹색 마이크로 LED(140G)의 부착을 도시한다. 녹색 마이크로 LED(140G)는 접착제(260G)를 사용하여 본래의 기판으로부터 실리콘 캐리어 기판(250G)으로 전사되었다. 본딩 콘택트(246G)는 마이크로 LED(140G)에 추가되었고, 어레이는 드라이버 회로(110G)를 포함하는 CMOS 다이 상의 대응하는 본딩 콘택트(116G)에 공융 결합되었다.
이 경우, 적색 마이크로 LED(140R) 존재를 가능하게 하기 위해 녹색 마이크로 LED(140G)들 사이에 공간이 있어야 한다는 것을 유의해야 한다. 접착제(260G)가 원래 녹색 마이크로 LED(140G)들 사이에 미친다면, 녹색 마이크로 LED(140G)들 사이에 공간을 형성하도록 에칭되거나 제거될 수 있다. 보다 일반적으로, 접착제 및 기판을 포함하는 마이크로 LED(140G)들 사이의 물질은 마이크로 LED(140G)들 사이의 영역에서 수직 간격을 증가시키도록 제거될 수 있다. 또한, 추가 층이 마이크로 LED(140G)와 기판(250G) 사이에 추가되거나 접착제(260G)의 두께가 증가되어 기판(250G) 위의 마이크로 LED(140G)의 높이를 더 증가시킬 수 있다.
도 4d는 적색, 녹색 및 청색 마이크로 LED(140)의 집적 후 집적된 마이크로 LED 디스플레이를 도시한다.
적색, 녹색, 청색 마이크로 LED가 픽셀 드라이버 다이에 전사되면, 마이크로 LED의 상부 반도체 층과 픽셀 드라이버 다이의 공통 전극 사이에 전기적 연결이 형성된다. 도 5는 일 실시 예에 따른 예시적인 마이크로 LED 디스플레이 패널의 평면도이다. 디스플레이 패널은 데이터 인터페이스(510), 제어 모듈(520) 및 픽셀 영역(540)을 포함한다. 데이터 인터페이스(510)는 디스플레이될 이미지를 정의하는 데이터를 수신한다. 이러한 데이터의 소스 및 포맷은 응용 프로그램에 따라 다르다. 제어 모듈(520)은 입력 데이터를 수신하고 이를 디스플레이 패널의 픽셀을 구동하기에 적합한 형태로 변환한다. 제어 모듈(520)은 수신된 포맷을 픽셀 영역(540), 시프트 레지스터 또는 다른 유형의 버퍼 및 데이터를 저장 및 전송하기 위한 메모리, 디지털-아날로그 변환기 및 레벨 쉬프터, 및 클록킹 회로를 포함한 스캔 컨트롤러에 적합한 것으로 변환하기 위한 디지털 로직 및/또는 상태 머신을 포함할 수 있다.
픽셀 영역(540)은 픽셀 어레이를 포함한다. 픽셀은, 예를 들어 상술한 바와 같은 또는 이하의 도면에서 픽셀 드라이버와 모놀리식으로(monolithically) 집적된 마이크로 LED(534)를 포함한다. 이 예에서, 디스플레이 패널은 컬러 RGB 디스플레이 패널이다. 열에 정렬된 적색, 녹색 및 청색 픽셀을 포함한다. 열(532R)은 적색 픽셀이고, 열(532G)은 녹색 픽셀이고, 열(532B)은 청색 픽셀이다. 각각의 픽셀 내에서, 마이크로 LED(534)는 픽셀 드라이버에 의해 제어된다. 픽셀은 그라운드 패드(536)를 통해 공급 전압(미도시) 및 그라운드에 접촉하고, 이전에 도시된 실시 예에 따라 제어 신호에 또한 접촉한다. 도 5에는 도시되지 않았지만, 마이크로 LED의 p-전극과 구동 트랜지스터의 출력은 마이크로 LED(534)의 하부에 위치하며, 본딩 금속에 의해 전기적으로 연결된다. 마이크로 LED 전류 구동 신호 연결(마이크로 LED의 p-전극과 픽셀 드라이버의 출력 사이), 그라운드 연결(n-전극과 시스템 그라운드 사이), Vdd 연결(픽셀 드라이버와 시스템 Vdd의 소스 사이) 및 픽셀 드라이버의 게이트에 대한 제어 신호 연결은 전술한 다양한 실시 예에 따라 이루어진다.
도 5는 단지 대표적인 도면일 뿐이다. 다른 디자인은 명백할 것이다. 예를 들어, 색상은 적색, 녹색 및 청색 일 필요가 없으며, 각 색상 픽셀의 수가 동일할 필요는 없다. 그것들은 또한 열이나 스트라이프로 배열될 필요가 없다. 예를 들어, 네 개의 컬러 픽셀의 집합이 2x2 정사각형으로 배열될 수 있다. 일 예로서, 도 5에 도시된 픽셀의 정사각 행렬의 배열과는 별도로, 픽셀의 6각 행렬의 배열이 또한 디스플레이 패널을 형성하는데 사용될 수 있다.
일부 적용에서는, 완전히 프로그램 가능한 직사각형 픽셀 어레이가 필요하지 않다. 다양한 형상 및 디스플레이를 갖는 디스플레이 패널의 다른 디자인은 또한 본 명세서에 기재된 장치 구조를 사용하여 형성될 수 있다. 한 종류의 예는 표지판(signage) 및 자동차를 포함한 특수한 적용 예이다. 예를 들어, 디스플레이 패널을 형성하기 위해 다수의 픽셀은 별 또는 나선형으로 배열될 수 있으며, 마이크로 LED를 켜고 끔으로써 디스플레이 패널 상에 상이한 패턴이 생성될 수 있다. 또 다른 특수한 예로는 자동차 헤드 라이트와 스마트 조명이 있는데, 다양한 조명 모양을 만들기 위해 특정 픽셀을 그룹화하고 마이크로 LED 픽셀의 각 그룹은 개별 픽셀 드라이버에 의해 켜거나 끌 수 있다.
상이한 유형의 디스플레이 패널이 제조될 수 있다. 예를 들어, 디스플레이 패널의 해상도는 일반적으로 8x8 내지 4096x2160 범위일 수 있다. 일반적인 디스플레이 해상도는 320x240 해상도 및 4:3 화면비율(aspect ratio)의 QVGA, 1024x768 해상도 및 4:3 화면비율의 XGA, 1280x720 해상도 및 16:9 화면비율의 HD, 1920x1080 해상도 및 16:9 화면비율의 FHD, 3840x2160 해상도 및 16:9 화면비율의 UHD, 4096x2160 해상도의 4K를 포함한다. 또한, 서브마이크론(sub-micron)에서 10mm 이하 및 이상까지 범위의 다양한 픽셀 크기가 있을 수 있다. 전체 디스플레이 영역의 크기는 수십 마이크론 이하의 대각선에서부터 수백 인치 이상에 이르기까지 광범위하게 변할 수 있다.
또한, 상이한 적용은 광학적 밝기에 대한 상이한 요건을 가질 것이다. 예시적인 적용으로는 직접 화상 디스플레이 스크린, 가정/사무실 프로젝터용 광 엔진 및 스마트 폰, 랩톱, 웨어러블 전자 장치 및 망막 투영(retinal projection)과 같은 휴대용 전자 장치를 포함한다. 전력 소모량은 망막 투영기에 대해 수 밀리와트(milliwatt)에서 대형 스크린 실외 디스플레이, 프로젝터 및 스마트 자동차 헤드 라이트에 대해 킬로와트까지 다양하게 변할 수 있다. 프레임 속도 면에서, 무기 마이크로 LED의 빠른 응답(나노 초)으로 인해 프레임 속도는 작은 해상도의 경우 KHz 또는 심지어 MHz까지 높아질 수 있다.
도 2의 예는, "단일 전사" 또는 "단일 플립" 공정이다. 마이크로 LED 어레이는 전사 중에 LED의 방향이 반전된 상태에서 캐리어 기판으로 한번 전사된다. LED 산업에서 가장 널리 사용되는 에피 웨이퍼(epi wafer)의 경우, 상단 에피-층은 청색/녹색 LED의 경우 p-GaN, 적색 LED의 경우 p-GaP와 같은 p-형 반도체이다. 접착제가 있는 캐리어 기판에 대한 단일 전사 공정 및 에피-기판의 제거 후에, 마이크로 LED의 극성은 n-형 반도체인 최상부 에피-층으로 플립된다. 그러나, 전사 공정은 마이크로 LED의 상부 표면의 극성을 제어하기 위해 반복될 수 있다. 도 6a 내지 6d는 "이중 전사" 또는 "이중 플립" 공정의 예이다. 도 6a에서, 마이크로 LED 어레이(640)는 접착제(661)를 사용하여 제1 캐리어 기판(651)으로 이미 전사되었다. 마이크로 LED를 CMOS 다이에 부착하기보다, 그 대신에 도 6b 내지 6d에 도시된 바와 같이, 제2 캐리어 기판(652)에 부착된 후 CMOS 다이에 부착된다. 이것은 도 6a에서 마이크로 LED(640)가 정확하게 배향되지 않기 때문에 수행될 수 있다. 즉, 마이크로 LED(640)의 비노출면은 CMOS 다이에 본딩되는 면일 수 있다. 따라서, 마이크로 LED(640)는 그들에 본딩하기 전에 한 번 플립된다.
도 6b에서, 마이크로 LED 어레이 및 캐리어 기판(651)은 추가적인 접착제(662)를 사용하여 제2 캐리어 기판(652)에 부착된다. 도 6c에 도시된 바와 같이, 제1 캐리어 기판(651)은 접착제(661)를 해제함으로써 마이크로 LED 어레이로부터 분리되고, 제2 캐리어 기판(652)에 의해 지지되는 마이크로 LED 어레이(640)는 남겨둔다. 도 6c에서 마이크로 LED 어레이는 도 6a에서 그것의 방향과 비교하여 거꾸로 되어있다.
도 6d에 도시된 바와 같이, 본딩 컨택트(646)가 추가되고, 기판(652)에 의해 지지되는 마이크로 LED 어레이는 CMOS 다이(610) 상의 대응하는 컨택트(616)에 본딩된다. 그 후, 캐리어 기판(652)은 접착제(662)를 해제함으로써 마이크로 LED 어레이(640)로부터 분리된다. 도 6d에서, 마이크로 LED(640)는 도 2f의 단일 플립 공정에서 마이크로 LED(240)와 비교하여 "거꾸로" 있다.
도 7은 접착제가 2개의 층(761, 762)를 갖는 예를 도시한다. 예를 들어, 이들은 2개의 상이한 접착제일 수 있다. 이것은 마이크로 LED 어레이(640) 및 CMOS 다이(710)로부터 캐리어 기판(750)의 분리를 용이하게 하는데 사용될 수 있다. 예를 들어, 2개의 접착제 층(761, 762) 사이의 인터페이스는 분리거 용이하게 하도록 디자인될 수 있다. 대안적으로, 접착제 층(762)이 이들 기술에 맞지 않은 경우, 접착제 층(761)은 선택적 습식 에칭 또는 레이저 조사를 쉽게 할 수 있다. 그러면, 잔류 접착제 층(762)은 예를 들어 건식 에칭에 의해 제거될 수 있다.
도 8a 내지 8b는 물질 이동시 마이크로 LED가 부가적인 구조를 갖는 예를 도시한다. 도 8a에서, 마이크로 LED가 본래의 사파이어 기판(842)에 의해 여전히 지지되는 동안, 마이크로 LED(840)에 대한 p-전극 및 n-전극은 이미 형성된다. 전극을 갖는 마이크로 LED 어레이(840)는 이전에 기술된 이중 플립 공정을 이용하여 실리콘 캐리어 기판(850)에 전사된다. 그 결과는 도 8b에 도시된다. 그런 다음 CMOS 다이에 본딩될 수 있다. 대안적으로, 마이크로 LED 전극과 CMOS 다이 상의 대응하는 장치 사이에 전기적 연결을 형성하는 전도성 입자를 갖는 접착제를 사용하여 CMOS 다이에 부착될 수 있다.
도 9a 내지 9c는 모든 마이크로 LED가 동시에 해제되지 않는 예를 도시한다. 도 9a는 접착제(960)를 사용하여 캐리어 실리콘 기판(950)으로 전사한 후의 마이크로 LED 어레이(940)를 도시한다. 본딩 콘택트(946)는 이미 놓여 있다. 이것은 도 2d의 구조와 유사하다. 그러나, 도 9b 및 9c에 도시된 바와 같이, 매 세 번째 마이크로 LED(940)만이 CMOS 다이(910)에 본딩된다. 이러한 공정 후에, 캐리어 기판(950)은 그 후 다른 CMOS 다이에 본딩될 수 있는 추가적인 마이크로 LED(940)를 포함한다.
상세한 설명은 많은 세부 사항을 포함하지만, 이들은 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 해석되어서는 안되며, 단지 상이한 예들을 예시하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기에서 상세하게 논의되지 않은 다른 실시 예를 포함한다는 것을 이해해야 한다. 예를 들어, 본딩 패드 금속은 Au/Sn, Au/In 또는 In/Pd일 수 있다. 다른 예로서, CMOS 다이(910) 및 적색, 녹색 및 청색 마이크로 LED 템플릿(도 9a) 상의 본딩 패드는 적색/녹색/청색 템플릿 상의 적색/녹색/청색 마이크로 LED의 선택된 부분만이 지정된 적색/녹색/청색 픽셀에 본딩되도록 배치될 수 있다. 동일한 템플릿 상의 나머지 마이크로 LED는 CMOS 다이(910) 상의 임의의 패드에 본딩되지 않는다. 첨부된 청구 범위에서 정의된 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 당업자에게 명백한 다양한 다른 수정, 변경 및 변형이 본 명세서에 개시된 방법 및 장치의 배치, 동작 및 세부 사항에서 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 첨부된 청구 범위 및 그 등가물에 의해 결정되어야 한다.

Claims (20)

  1. 집적된 마이크로 LED 디스플레이를 제조하는 방법으로서,
    제1 기판 상에 제조된 마이크로 LED 어레이를 포함하는 하나 이상의 마이크로 LED 다이 각각에 대해, 상기 마이크로 LED 어레이를 CMOS 다이에 부착하는 단계를 포함하고,
    상기 CMOS 다이는 CMOS 기판 상에 제조된 픽셀 드라이버의 어레이를 포함하고,
    상기 마이크로 LED 어레이를 상기 CMOS 다이에 부착하는 단계는,
    상기 마이크로 LED 어레이로부터 상기 제1 기판을 분리하면서, 상기 마이크로 LED 어레이가 상기 제2 기판에 의해 지지되도록 접착제를 사용하여 마이크로 LED 어레이를 제2 기판으로 전사하는 단계;
    상기 제2 기판에 의해 지지되는 상기 마이크로 LED 어레이용 본딩 금속 패드를 상기 픽셀 드라이버의 어레이용 대응하는 본딩 금속 패드에 정렬 및 본딩하는 단계; 및
    다음의 마이크로 LED 어레이를 본딩하기 전에 상기 접착제를 해제함으로써 상기 제2 기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본딩하는 단계는 고온에서 발생하고,
    상기 제1 기판 및 CMOS 기판은 상이한 열 팽창 계수로 인해 고온에서의 본딩에 대해 호환성이 없지만, 상기 제2 기판 및 CMOS 기판은 고온에서의 본딩에 대해 호환 가능한 열 팽창 계수를 갖는 것을 특징으로 하는, 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판은 사파이어, 실리콘, GaAs 및 SiC 기판 중 하나이고,
    상기 제2 기판은 사파이어, 실리콘, 유리, 세라믹 및 폴리머 기판 중 하나인 것을 특징으로 하는, 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 접착제가 SU-8, BCB(benzocyclobutene), 폴리이미드, PBO(polybenzoxazole), 실리콘 및 열 방출 코팅 중 하나인 것을 특징으로 하는, 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 사용하여 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판으로 전사하는 단계는, 상기 접착제를 경화시키기 위한 열 처리 또는 UV 조사를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 해제함으로써 상기 제2 기판을 제거하는 단계는, 레이저 조사, 상기 접착제의 습식 에칭, 상기 접착제의 건식 에칭, 열 공정 및 상기 접착제를 해제하기 위한 기계적 박리 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 해제함으로써 상기 제2 기판을 제거하는 단계는, 상기 접착제를 해제하기 위한 기계적 박리를 포함하고,
    접착체 제어 층(control layer)은 상기 접착제로부터 마이크로 LED의 기계적 박리를 용이하게 하기 위해 상기 마이크로 LED와 상기 접착제 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는, 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 해제함으로써 상기 제2 기판이 제거된 후 과잉 접착제를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 과잉 접착제를 제거하는 단계는, 과잉 접착제를 제거하기 위한 습식 에칭 또는 건식 에칭을 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 접착제는 2개의 접착제 층을 포함하고,
    상기 접착제를 해제함으로써 상기 제2 기판을 제거하는 단계는, 상기 2개의 접착체 층 중 상기 제2 기판에 더 가까운 하나를 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 사용하여 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판으로 전사하는 단계는,
    상기 접착제를 사용하여 상기 제1 기판에 의해 지지된 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판에 부착하는 단계; 및
    상기 마이크로 LED 어레이가 상기 제2 기판에 부착되는 동안, 상기 마이크로 LED 어레이로부터 상기 제1 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 사용하여 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판으로 전사하는 단계는,
    상기 제1 기판에 의해지지 된 상기 마이크로 LED 어레이를 중간 기판에 부착하는 단계;
    상기 마이크로 LED 어레이가 상기 중간 기판에 부착되는 동안, 상기 마이크로 LED 어레이로부터 상기 제1 기판을 분리하는 단계;
    상기 접착제를 사용하여 상기 중간 기판에 의해 지지된 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판에 부착하는 단계; 및
    상기 마이크로 LED 어레이가 상기 제2 기판에 부착되는 동안, 상기 마이크로 LED 어레이로부터 상기 중간 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 LED 어레이가 상기 제2 기판에 의해 지지되는 동안, 상기 제2 기판 위의 상기 마이크로 LED 어레이의 돌출 높이를 증가시키기 위해 상기 마이크로 LED 어레이 외부의 영역에서 접착제를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 접착제를 사용하여 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판으로 전사하는 단계는, 상기 제2 기판 위의 상기 마이크로 LED 어레이의 높이를 증가시키기 위해 상기 마이크로 LED 어레이와 상기 제2 기판 사이에 추가 층(들)의 사용을 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 LED 다이는 다수의 마이크로 LED 어레이를 포함하고,
    각각의 마이크로 LED 어레이는 상이한 CMOS 다이에 개별적으로 부착되는 것을 특징으로 하는, 방법.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 방법은, 개별 다이가 웨이퍼로부터 싱귤레이트되기 전에 웨이퍼 스케일에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 방법.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 LED 어레이를 상기 픽셀 드라이버의 어레이에 본딩하는 단계는, 공융 본딩 또는 전기 전도성 본딩을 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  18. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 LED 다이는 상기 마이크로 LED 어레이에 대한 콘택트를 포함하고,
    상기 접착제를 사용하여 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판으로 전사하는 단계는, 상기 접착제를 사용하여 상기 콘택트와 함께 상기 마이크로 LED 어레이를 상기 제2 기판에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  19. 제1 기판 상에 제조된 제1 마이크로 구조의 어레이를 제2 기판 상에 제조된 제2 마이크로 구조의 어레이에 부착하는 방법으로서,
    상기 제1 마이크로 구조의 어레이로부터 상기 제1 기판을 분리하면서, 상기 제1 마이크로 구조의 어레이는 상기 제3 기판에 의해 지지되도록 접착제를 사용하여 상기 제1 마이크로 구조의 어레이를 제3 기판으로 전사하는 단계;
    상기 제3 기판에 의해지지 되는 상기 제1 마이크로 구조의 어레이를 상기 제2 기판 상에 제조된 상기 제2 마이크로 구조의 어레이에 정렬 및 부착하는 단계; 및
    상기 접착제를 해제함으로써 상기 제3 기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  20. 제23항에 있어서,
    상기 제1 마이크로 구조는 VCSEL, 레이저 다이오드, 광 검출기, MEMS 및 전력 장치 중 하나인 것을 특징으로 하는, 방법.
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