JP2010205943A - 機能性領域の移設方法、ledアレイ、ledプリンタヘッド、及びledプリンタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】機能性領域の移設方法では、第1の基板103の第1の分離層105上に接合されて配されている機能性領域106の少なくとも一部を第2の基板100に移設する。第2の基板100上の機能性領域が移設される領域には、第2の分離層115が設けられる。第1の工程では、第1の基板103と第2の基板100とを、機能性領域106と第2の分離層115とが接触する様に貼り合わせて接合する。第2の工程では、第1の分離層105の所で第1の基板103と機能性領域106を分離する。第3の工程では、第2の工程の前或いは後に、第2の基板100の第2の分離層115がある面の反対側の面から第2の基板100と第2の分離層115を貫通する分離溝111を設ける。
【選択図】図3
Description
機能性領域の移設方法に係る第1の実施例を説明する。図1(a)、(b)は、夫々、シード基板である第1の基板の化合物半導体基板(図示例ではGaAs基板)103、移設先基板である第2の基板の透明なガラス基板100を示す。両者のサイズ(口径)は略同じである。化合物半導体基板103においては、機能性領域がエピタキシャル成長され、それは複数の島状の領域にエッチング等で分離され、更に分離された複数の島状領域がグループ(図1(a)では第1と第2のグループ101、102を符号で示す)を成す。複数のグループは所定の間隔の領域110を空けて配列されている。GaAs基板103には、更に、位置決め領域(アライメントマーク)117a、118aが形成されている。位置決め領域117aは、複数の島状領域を含むグループの外の領域に形成され、位置決め領域118aは、各グループの領域内に形成されている。島状の機能性領域の形状や配列形態は、図示例ではグループ毎にストライプ状のものが平行に並んでいるが、種々の形状(例えば、円形)のものが種々の配列形態で配置され得る。使用目的に応じて決定すればよい。
(式1)l≦L
(式2)W>w
(式3)W+S>w+s
(式4)l=L
(式5)W=n×w
(式6)W+S=n(w+s)
ここで、nは2以上の整数を表す。ここでは、シード基板103から機能性領域が移設された基板100のセグメント120上に高密度で形成した機能性領域を選択的に最終的な基板200の接合層の配置領域に移設することを例えばn回繰り返す。こうすれば、発光層などとなる機能性領域を回路素子などに移設する場合に、機能性領域の配列及び取り個数は、回路素子などの配列にあまり制約されることはなくなる。従って、シード基板の単位面積当たりにおいて発光層などとして活用できる面積割合を大きくできる。その結果として、シリコンウェーハよりも数十倍も格段に高価な化合物半導体ウェーハなどを有効に利用することが可能となり、複合的な多機能素子集積回路において、より有利な経済効果をもたらすことができる。また、シード基板と移設先基板とのサイズの相違をあまり意識することなく、セグメントを仲介として、機能性領域の作製・移設を行うことができる。
機能性領域の移設方法に係る第2の実施例を説明する。第2の実施例は、第1の実施例と次の点で異なる。第1の実施例では、シード基板と移設先基板との両方に別個に位置決め領域(アライメントマーク)を形成しておいて、これらを利用して両者の重ね合わせを行った。これに対して、第2の実施例では、シード基板に位置決め領域(アライメントマーク)を設けて、これをも移設先基板に移設して、この移設先基板の各セグメントが次の移設工程で前記位置決め領域を利用する。従って、シード基板と移設先基板を重ね合わせるときには、位置決め領域を用いないで両者の縁などを利用して位置合わせを行う。この段階では、あまり厳密な位置決めは要求されないので、こうした位置合わせでも充分目的が達せられる。その他の点は、第1の実施例と同様である。よって、同機能部分には、第1の実施例の説明で用いた図面における符号と同じ符号を付した図6乃至図9を用いて、本実施例を説明する。図6乃至図9は図2乃至5に夫々対応する。
機能性領域の移設方法に係る第3の実施例を説明する。第3の実施例は、第1の実施例と次の点で異なる。第1の実施例では、シード基板と移設先基板との両方に別個に位置決め領域(アライメントマーク)を形成しておいて、これらを利用して両者の重ね合わせを行った。これに対して、第3の実施例では、位置決め領域(アライメントマーク)は全く用いずに基板間の位置決めと重ね合わせを行う。従って、シード基板と移設先基板を重ね合わせるときには、位置決め領域を用いないで両者の縁などを利用して位置合わせを行う。また、分割されたセグメントと移設先基板の位置決めと重ね合わせも、機能性領域や接合層などのエッジを利用した位置決めを利用して行う。集積度の低いLED群などの作製に際しては、精密な位置合わせを行う必要がないので、こうした位置合わせでも充分目的が達せられる。その他の点は、第1の実施例と同様である。よって、ここでも、同機能部分には、第1の実施例の説明で用いた図面における符号と同じ符号を付した図10乃至図13を用いて、本実施例を説明する。図10乃至図13は図2乃至5に夫々対応する。
第3の実施例は、分割されたセグメントの再使用法に係る。例えば、第1の実施例で作製されたセグメント120は、全ての機能性領域を移設後に再使用することがきる。その為に、使用した両面剥離テープである分離層115を剥離して、新しい分離層を再貼付する。そして、図14に示す様に、再生したセグメント120を適当なトレイ上に並べる。その後、所望するセグメント120を、シード基板103上に作製された複数の機能性領域を含むグループ上に、位置決め領域118bを利用して重ね合わせる。この後の工程は、第1の実施例で説明した通りに実行される。ここでも、フリップ・チップ貼り合わせ装置を用いて、再使用するセグメントをシード基板上へ配置し、貼り合わせすることが有効である。
上記機能性領域の移設方法を用いて製造されるLEDアレイに係る第4の実施例を説明する。前記実施形態や実施例において説明した移設方法を用いることにより、図16に示す様なLEDアレイが提供される。図16は、プリント基板5000上に駆動回路とLEDアレイ4000とが接続・配置された一構成例を示す斜視図である。駆動回路とLEDアレイは、前述した半導体物品の移設方法で図15に示す様なシリコン基板200上に複数のLED素子を形成し、シリコン基板をダイシングにより分割して得たものを複数並べることで得られる。各LED素子と駆動回路の断面構成は、後述する図17のLED発光領域を含むLED素子と駆動回路と同様なものである。
第4の実施例で説明したLEDプリンタヘッドを用いて、LEDプリンタを構成した例を図19(a)に示す。このLEDプリンタは、前記LEDプリンタヘッドと、感光ドラムと、帯電器を備え、LEDプリンタヘッドを光源として感光ドラムに静電潜像を書き込む作像ユニットを含む。
101 複数の機能性領域を含む第1のグループ
102 複数の機能性領域を含む第2のグループ
103 第1の基板(シード基板)
105 第1の分離層(エッチング犠牲層)
106 化合物半導体多層膜(機能性領域)
110 間隔領域
111 分離溝
115 第2の分離層(両面剥離テープ)
117a、118a 第1の基板上の位置決め領域(アライメントマーク)
117b、118b 第2の基板上の位置決め領域(アライメントマーク)
119 他の基板上の位置決め領域(アライメントマーク)
120 セグメント
200、300、400、500、600、700 他の基板
205、305、405、505、605、705 接合層
318 第2の基板上に移設される位置決め領域(アライメントマーク)
319 他の基板上の位置決め領域(アライメントマーク)
3000、8101 ロッドレンズアレイ
4000、8105 LEDアレイ
8103 帯電器
8104、9005〜9008 LEDプリンタヘッド
8106、9001〜9004 感光体(感光ドラム)
Claims (11)
- 処理により分離可能状態になる第1の分離層を有する第1の基板の前記分離層上に接合されて配されている機能性領域の少なくとも一部を第2の基板に移設する機能性領域の移設方法であって、
前記第2の基板上の前記機能性領域が移設される領域は、処理により分離可能状態になる第2の分離層を有し、
前記第1の基板と前記第2の基板とを、前記機能性領域と前記第2の分離層とが接触する様に貼り合わせて接合する第1の工程と、
前記第1の分離層の所で前記第1の基板と前記機能性領域を分離する第2の工程と、
前記第2の工程の前或いは後に、前記第2の基板の前記第2の分離層を有する面の反対側の面から前記第2の基板と前記第2の分離層とを貫通する分離溝を設ける第3の工程と、
を含むことを特徴とする機能性領域の移設方法。 - 前記第3の工程では、前記第1の基板と前記第2の基板とが接合された状態で、前記分離溝を設け、
前記第2の工程では、少なくとも前記分離溝を通って導入されるエッチング液により前記第1の分離層を除去して前記第1の基板と前記機能性領域を分離することを特徴とする請求項1に記載の機能性領域の移設方法。 - 前記機能性領域は、互いに所定の間隔領域を空けて複数の領域が前記第1の基板上に配されており、
前記第2の基板に設ける分離溝は、前記複数の機能性領域の間の間隔領域の少なくとも一部に対応する位置に設けることを特徴とする請求項1または2に記載の機能性領域の移設方法。 - 前記第1の基板の前記分離層上には位置決め領域が設けられ、
前記第2の工程では、前記機能性領域を前記第1の基板から前記第2の基板に移設する際に、前記位置決め領域も前記第2の基板に移設することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の機能性領域の移設方法。 - 前記第1の基板上には位置決め領域が設けられ、
前記第2の基板には、前記第1の基板上の位置決め領域に対応する位置決め領域が設けられることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の機能性領域の移設方法。 - 前記機能性領域を移設する際に、前記機能性領域、又は前記機能性領域と前記基板とを接合する接合層、又は前記分離層を位置決め領域として接合位置を決定し、前記機能性領域を移設することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の機能性領域の移設方法。
- 前記第3の工程において前記分離溝により互いに分離された前記第2の基板のセグメントを、該セグメント上の機能性領域を他の基板に移設し前記第2の分離層を除去して新しい第2の分離層を設けた後に、前記第2の基板として再使用することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の機能性領域の移設方法。
- LEDを駆動する回路と、発光層である機能性領域とが電気的に接合されたLEDアレイであって、請求項1乃至7の何れか1項に記載の機能性領域の移設方法を用いて前記機能性領域が移設されたことを特徴とするLEDアレイ。
- 請求項8に記載のLEDアレイに対して、ロッドレンズアレイが実装されていることを特徴とするLEDプリンタヘッド。
- 請求項8に記載のLEDアレイを含むLEDプリンタヘッド又は請求項9に記載のLEDプリンタヘッドと、感光体と、帯電器を含み、
前記LEDプリンタヘッドを光源として前記感光体に静電潜像を書き込む作像ユニットを備えることを特徴とするLEDプリンタ。 - 請求項8に記載のLEDアレイを含むLEDプリンタヘッド又は請求項9に記載のLEDプリンタヘッドと、感光体と、帯電器を含み、
前記LEDプリンタヘッドを光源として前記感光体に静電潜像を書き込む作像ユニットを複数備えることを特徴とするカラーLEDプリンタ。
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