KR20190111738A - 진공 처리 장치의 운전 방법 - Google Patents

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KR20190111738A
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료이치 이소무라
게이타로우 오가와
다카히로 사쿠라기
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가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
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Abstract

[과제] 처리의 수율을 향상시킨 진공 처리 장치의 운전 방법을 제공한다.
[해결 수단] 중간실을 통해 연결된 복수의 진공 반송실과, 당해 진공 반송실에 각각 연결된 복수의 진공 처리실을 갖는 진공 처리 장치의 운전 방법에 있어서, 중간실을 통해 복수의 진공 반송실을 연통(連通)시키고, 장치가 놓인 상황 하에 있어서 가장 호적(好適)한 가스 흐름으로 제어되는 것이 가능한 진공 처리 장치를 제공한다.

Description

진공 처리 장치의 운전 방법{VACUUM PROCESSING APPARATUS AND OPERATING METHOD OF VACUUM PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 진공 용기 내부에 배치된 처리실 내에 처리 대상인 시료를 당해 처리실 내에 생성한 플라스마를 이용하여 처리하는 처리 유닛을 복수 구비한 진공 처리 장치 및 그 운전 방법에 관한 것이며, 특히, 시료를 수납할 수 있는 중간실을 통해 연결된 복수의 진공 반송실의 각각에 상기 복수의 처리 유닛 각각이 연결된 진공 처리 장치 및 그 운용 방법에 관한 것이다.
이러한 진공 처리 장치의 종래 기술의 예로서는, 일본국 특개2014-179431호 공보(특허문헌 1)에 기재된 것이 알려져 있다. 이 종래 기술에서는, 감압된 내측을 웨이퍼가 반송되는 진공 반송실을 갖는 제1 및 제2 진공 반송 용기와, 이들 진공 반송 용기 각각에 연결되고 각각의 내측에 당해 연결된 진공 반송실과 연통(連通)된 처리실을 구비한 제1 및 제2 진공 처리 용기와, 제1 및 제2 진공 반송 용기 사이에서 이들과 연결되어 배치되고 그 내부에 웨이퍼를 수납 가능한 수납실을 갖는 중간실 용기와, 제1, 제2 진공 반송 용기 중 진공 처리 장치의 전방측에 배치된 제1 진공 반송 용기에 연결되어 그 내부의 웨이퍼 수납용 공간이 제1 진공 반송 용기 내의 진공 반송실에 연통 가능하게 구성된 로크(lock)실과, 제1, 제2 진공 반송 용기와 이들 각각에 연결된 진공 처리 용기, 중간실 용기 및 로크실의 각각과의 사이에 배치되어 이들 사이의 연통을 개방 및 기밀하게 폐색(閉塞)하는 복수의 게이트 밸브를 구비한 진공 처리 장치가 개시되어 있다.
특히는, 당해 종래 기술에서는, 중간실 용기를 통해 제1 및 제2 진공 반송실이 연통되고 이들 내부의 진공 반송실 중 로크실이 연결된 제1 진공 반송 용기 내의 진공 반송실에 불활성 가스(희(希)가스)를 퍼지 가스로서 공급하면서, 로크실로부터 보다 먼 위치에 배치된 제2 진공 반송 용기 내의 진공 반송실의 내부를 감압하여 배기하는 것이 개시되어 있다. 더욱이는, 제1 또는 제2 진공 반송 용기 내의 진공 반송실 내부의 압력보다 이들 각각에 연통하여 배치된 복수의 진공 처리실 내의 압력을 낮게 함으로써, 진공 반송실과 처리실 사이의 연통이 개방되었을 때에, 처리실 내의 입자가 진공 반송실 내에 유출하고 당해 진공 반송실에 연통된 다른 진공 반송실 내에도 중간실 용기 내부를 통해 유입해 버림으로써, 임의의 하나의 처리 용기 내의 처리실에서 생기(生起)된 부착성 또는 반응성이 높은 입자가 다른 진공 반송실에 연결된 다른 처리 용기 내의 처리실 내에 도달해 버려, 내부의 부재의 표면이나 내부에서 처리되는 반도체 웨이퍼 등의 처리 대상인 기판 형상의 시료를 오염시켜 버린다는, 소위 크로스 콘터미네이션이 생기는 것을 억제하여, 높은 설치 면적당 생산성을 높이는 것이 도모되고 있다.
상기 종래 기술에 있어서는, 반송실 내에 있어서 웨이퍼가 진공 반송 로봇에 의해 반송되고 있을 경우, 웨이퍼가 반송되고 있는 반송실과 다른 반송실 사이에 배치된 밸브를 개방 상태로 하여, 로크실에 연결된 진공 반송실에 퍼지 가스를 공급하고, 로크실로부터 먼 진공 반송실의 반송실 내를 감압 배기함으로써, 연통된 반송실 전체에의 가스 흐름을 만들어, 처리실로부터의 분위기의 유출에 의한 장치 혹은 웨이퍼의 이차 오염을 방지하는 것을 가능하게 하고, 아울러 밸브 동작 시간의 삭감에 의한 진공 처리 장치의 설치 면적당 생산성의 향상이 가능해진다.
일본국 특개2014-179431호 공보
그러나, 상기 종래 기술에서는, 다음과 같은 점에 대해서 고려가 충분하지 않아 문제가 있었다.
즉, 진공 반송실 내에 구비된 진공 반송 로봇의 용적은, 진공 반송실의 용적에 대하여 작지 않은 비율이다. 이 때문에, 진공 반송실 내에 구비된 진공 반송 로봇이 시료를 반송하기 위해 동작하고 있는 가운데 진공 반송실 내에 퍼지 가스가 도입되었을 경우에는, 당해 진공 반송실 내에서 퍼지 가스의 흐름이 적잖이 저해되어 버린다.
이러한 저해가 생기면, 진공 반송실 내를 부유(浮遊)하는 이물이나 시료로부터 방출되는 가스 등의 시료의 오염이 생기하는 원인이 되는 물질이 퍼지 가스에 의해 효과적으로 진공 반송실 외로 배기되지 않게 되어, 진공 반송실 내의 퍼지 가스의 흐름이 도달하지 않는 공간에 있어서 체류해 버려, 퍼지 가스 공급의 목적인 시료의 오염을 억제하는 작용이 저해된다. 또한, 이러한 오염의 생기를 억제하기 위해 진공 반송실 내부의 청소를 보다 짧은 기간에 행하는 것이 필요해져, 이 동안의 진공 처리 장치의 시료의 처리의 효율이 손상되어 버린다.
상기한 바와 같이, 진공 처리 장치에 있어서 시료의 오염의 원인이 되는 물질을 시료에 부착시키지 않고 효과적으로 수송할 수 있는 가스의 흐름을 선택하여 만들어 내는 것에 대해서 충분히 고려되고 있지 않고, 진공 처리 장치에 의한 처리의 효율이 손상되어 있던 점에 대해서, 상기 종래 기술에서는 충분히 고려되고 있지 않았다.
본 발명의 목적은, 처리의 효율을 향상시킨 진공 처리 장치의 운전 방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적은, 대기 반송부에 연결되어 배치된 로크실과, 당해 로크실에 연결되어 배치되고 감압된 내부의 반송실 내에서 시료를 반송하는 제1 진공 반송 용기와, 당해 제1 진공 반송 용기에 불활성 가스를 공급하는 제1 불활성 가스 공급 장치와, 제1 진공 반송 용기에 연결된 제1 진공 배기 장치와, 제1 진공 반송 용기에 연결되어 배치되고 감압된 내부의 처리실 내에서 시료를 처리하는 제1 처리 용기와, 제1 진공 반송 용기에 연결되어 배치된 제1 중간실과, 당해 제1 중간실에 연결되어 배치된 감압된 내부의 반송실 내에서 시료를 반송하는 제2 진공 반송 용기와, 당해 제2 진공 반송 용기에 불활성 가스를 공급하는 제2 불활성 가스 공급 장치와, 제2 진공 반송 용기에 연결된 제2 진공 배기 장치와, 제2 진공 반송 용기에 연결되어 배치되고 감압된 내부의 처리실 내에서 시료를 처리하는 제2 처리 용기를 구비한 진공 처리 장치의 운용 방법에 있어서, 진공 반송실 각각에 구비된 퍼지 가스 도입구와 배기구를, 장치가 놓인 상황에 대하여 지령 장치에 의해 그 상황 하에 있어서 가장 호적(好適)한 가스 흐름을 만들기 위해 각각 개폐 선택 제어됨으로써 가스 흐름을 만들어 냄으로써 달성된다.
예를 들면, 진공 반송 용기 내에 구비된 진공 반송 로봇이, 상기 진공 반송 용기에 연결된 복수의 진공 처리 용기에 기판을 반송하는 동작을 행하고 있을 경우에 있어서, 중간실을 통해 복수의 진공 반송실을 연통시키고, 지령 장치는 중간실을 통해 퍼지 가스 도입구와 배기구가 최단 거리가 되도록 각각 개폐 제어하여 가스 흐름을 만듦으로써 달성된다. 한편, 진공 반송 용기 내에 구비된 진공 반송 로봇이, 상기 진공 반송 용기에 연결된 복수의 진공 처리 용기에 기판을 반송하는 동작을 행하고 있지 않을 경우에 있어서, 중간실을 통해 복수의 진공 반송실을 연통시키고, 지령 장치는 중간실을 통해 퍼지 가스 도입구와 배기구가 최장 거리가 되도록 각각 개폐 제어하여 가스 흐름을 만듦으로써 달성된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 도면.
도 2는 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 사시도.
도 3은 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 종단면을 횡방향에서 본 종단면도.
도 4는 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 진공측 블록 내부의 가스의 흐름을 모식적으로 나타내는 횡단면도.
도 5는 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 진공측 블록 내부의 가스의 흐름을 모식적으로 나타내는 횡단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공 처리 장치(100)의 진공측 블록(102)의 진공 용기 내부의 가스의 배기 및 퍼지 가스의 도입에 의한 다른 가스의 흐름을 모식적으로 나타내는 도면.
도 7은 도 1에 나타내는 본 발명의 실시예의 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타내는 횡단면도.
도 8은 도 1에 나타내는 본 발명의 실시예의 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타내는 횡단면도.
도 9는 도 1에 나타내는 본 발명의 실시예의 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타내는 횡단면도.
도 10은 도 7에 나타내는 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 종단면도. 본 발명의 일 실시예를 나타내는 도면.
이하, 본 발명에 따른 진공 처리 장치의 실시예를 도면에 의해 상세하게 설명한다.
[실시예]
본 발명의 실시예에 따른 진공 처리 장치에 대해서, 도 1 내지 도 9를 이용하여 설명한다. 도 1 내지 도 3은, 본 발명의 실시예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 도면이다. 도 1은 횡단면을 상방에서 본 횡단면도이며, 도 2는 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 사시도, 도 3은 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 종단면을 횡방향에서 본 종단면도이다.
도 1 내지 도 3에 나타내는 본 발명의 실시예에 따른 진공 처리 장치(100)는, 크게 나누어, 대기측 블록(101)과 진공측 블록(102)으로 구성된다. 대기측 블록(101)은, 대기압 하에서 피(被)처리물인 반도체 웨이퍼 등의 기판 형상의 시료를 반송, 수납 위치 결정 등을 행하는 부분이며, 진공측 블록(102)은, 대기압으로부터 감압된 압력 하에서 웨이퍼 등의 기판 형상의 시료를 반송하고, 미리 정해진 진공 처리실 내에 있어서 처리를 행하는 블록이다. 그리고, 진공측 블록(102)의 상술한 반송이나 처리를 행하는 진공측 블록(102)의 개소(箇所)와 대기측 블록(101) 사이에는, 이들을 연결하여 배치되고 시료를 내부에 가진 상태에서 압력을 대기압과 진공압 사이에서 상하(上下)시키는 부분이 배치되어 있다.
대기측 블록(101)은, 내부에 대기측 반송 로봇(109)을 구비한 대략 직방체 형상의 케이싱(106)을 갖고, 이 케이싱(106)의 전면측에 부착되어 있어, 처리용 또는 클리닝용의 피처리 대상인 반도체 웨이퍼 등의 기판 형상의 시료(이하, 웨이퍼(126))가 수납되어 있는 카세트가 그 위에 실리는 복수의 카세트대(107)가 구비되어 있다.
진공측 블록(102)은, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)과, 대기측 블록(101)과의 사이에 배치되고, 대기측과 진공측 사이에서 주고받기를 하는 웨이퍼(126)를 내부에 가진 상태에서 압력을 대기압과 진공압 사이에서 주고받기를 하는 로크실(105)을 하나 또는 복수 구비하고 있다. 이 로크실은, 내부의 공간을 상기의 압력으로 조절 가능한 진공 용기로서, 연결되는 개소에 웨이퍼(126)가 내부를 통과하여 반송되는 통로와 이것을 개방, 폐색하여 기밀하게 봉지(封止) 가능한 밸브(120)가 배치되어 있고, 대기측과 진공측 사이를 기밀하게 분할하고 있다. 또한, 내부의 공간에는, 복수의 웨이퍼(126)를 상하에 극간(隙間)을 두고 수납하여 유지 가능한 수납부를 구비하고 있고, 이들 웨이퍼(126)를 수납한 상태에서 밸브(120)에 의해 폐색되어 기밀하게 분할된다.
제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110)은 각각의 평면 형상이 대략 직사각 형상을 가진 진공 용기를 포함하는 유닛이며, 이들은, 실질적으로 동일하다고 간주할 수 있을 정도의 구성상의 차이를 갖는 2개의 유닛이다. 이들 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110)에는, 퍼지 라인(123)이 각각 구비되어 있다. 또한 상기 퍼지 라인(123)이 구비된 면과 대각(對角)으로 위치하는 면에는, 배기 배관(122)이 구비되어 있고, 도시하지 않은 진공 처리 장치(100)의 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 그 유량이 조절된 불활성 가스 등의 퍼지 가스가 진공 반송실 내에 도입되면서, 당해 진공 반송실 내가 배기됨으로써, 다른 진공 처리실(103), 진공 반송 중간실(111)보다 상대적으로 낮은 압력의 값 또는 같거나 혹은 이것으로 간주할 수 있을 정도로 근사(近似)한 압력의 값, 혹은 그들보다 상대적으로 높은 압력의 값으로 조절 가능하게 구성되어 있다.
진공 반송 중간실(111)은, 내부가 다른 진공 처리실보다 상대적으로 높은 압력까지 감압 가능한 진공 용기로서, 진공 반송실을 서로 연결하여, 내부의 실(室)이 연통되어 있다. 진공 반송실과의 사이에는, 내부의 실을 연통하여 내측에서 웨이퍼(126)가 반송되는 통로를 개방, 차단하여 분할하는 밸브(120)가 배치되어 있고, 이들 밸브(120)가 폐색함으로써, 진공 반송 중간실과 진공 반송실 사이는 기밀하게 봉지된다. 본 실시예의 진공 반송 중간실(111)에는 그 내부의 웨이퍼(126)를 수납하는 공간에 퍼지하는 기구 혹은 배기하는 기구는 구비되어 있지 않고, 진공 반송 중간실(111)은 이것을 사이에 두고 연결된 한쪽 진공 반송실과 다른쪽 진공 반송실 사이를 웨이퍼(126)가 반송될 때의 경로로서 기능하는 실이다.
또한, 진공 반송 중간실(111)의 내부의 실에는, 복수의 웨이퍼(126)가 이들 각각의 양단부가 실려 상면과 하면 사이에서 극간을 두고 수평으로 유지되는 수납부가 배치되어 있고, 제1, 제2 진공 반송실(104, 110) 사이에서 웨이퍼(126)가 건네 받아질 때에, 일시적으로 수납되는 중계실의 기능을 구비하고 있다. 즉, 한쪽 진공 반송실 내의 진공 반송 로봇(108) 중 어느 것에 의해 반입되고 상기 수납부에 실린 웨이퍼(126)가 다른쪽 진공 반송실 내의 진공 반송 로봇(108) 중 어느 것에 의해 반출되어 당해 진공 반송실에 연결된 진공 처리실(103) 또는 로크실(105)에 반송된다.
제1 진공 반송실(104)과 제2 진공 반송실(110)과의 대면(對面)에 있는 일면에 상당하는 서로의 측벽 사이에는 진공 반송 중간실(111)이 배치되어 양자를 연결하고 있다. 또 다른 일면에, 내부가 감압되고 그 내부에 웨이퍼(126)가 반송되어, 웨이퍼(126)를 처리하는 진공 처리실(103)이 접속된다. 본 실시예에서는, 진공 처리실(103)은, 진공 용기를 포함하여 구성된 전계(電界), 자계(磁界)의 발생 수단, 용기 내부의 감압되는 공간을 배기하는 진공 펌프를 포함하는 배기 수단을 포함하는 유닛 전체를 나타내고 있고, 내부의 처리실에 있어서 에칭 처리, 애싱 처리 혹은 다른 반도체 웨이퍼(126)에 처리가 실시된다.
또한, 각 진공 처리실(103)에는, 실시되는 처리에 따라 공급되는 처리 가스가 흐르는 관로가 연결되어 있다. 각 진공 처리실(103)은, 다른 진공 반송실 및 진공 반송 중간실의 압력보다 상대적으로 낮은 압력까지 감압 가능하며, 각각의 진공 처리실에서 실시되는 처리에 의해, 도시하지 않은 지령 장치로부터의 지령을 받아, 각각 내부의 압력 조정이 가능하다. 즉, 복수의 진공 처리실에 있어서, 웨이퍼(126)에 실시하는 처리의 종류가 서로 다르게 설정되었을 경우, 각각의 진공 처리실 내부의 압력은 모두 같은 압력이 아니라, 각각의 처리에 최적인 압력으로 조정되어, 진공 처리실 내부의 압력이 서로 달라도 된다.
제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에는 각각 2개의 진공 처리실(103)이 연결 가능하게 구성되어 있고, 본 실시예에서는 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(112)에는 2개의 진공 처리실(103)이 연결된다.
제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)은, 그 내부가 반송실로 되어 있고, 제1 진공 반송실(104)에는, 진공 하에서 로크실(105)과 진공 처리실(103) 또는 진공 반송 중간실(111) 중 어느 것과의 사이에서 웨이퍼(126)를 반송하는 진공 반송 로봇(108)이 그 내부의 공간의 중앙 부분에 배치되어 있다. 제2 진공 반송실(110)도 상기 마찬가지로 진공 반송 로봇(108)이 내부의 중앙 부분에 배치되어 있고, 진공 처리실(103), 진공 반송 중간실(111) 중 어느 것과의 사이에서 웨이퍼(126)의 반송을 행한다. 이들 진공 반송 로봇(108)의 각각의 구성은 동일하다.
상기 진공 반송 로봇(108)은, 그 아암 상에 웨이퍼(126)가 실려, 제1 진공 반송실(104)에서는 진공 처리실(103)에 배치된 웨이퍼(126)대 상과 로크실(105) 또는 제1 진공 반송 중간실(111) 중 어느 것과의 사이에서 웨이퍼(126)의 반입, 반출을 행한다. 이들 진공 처리실(103), 로크실(105), 진공 반송 중간실(111), 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110) 사이에는, 각각 기밀하게 폐색, 개방 가능한 밸브(120)에 의해 연통하는 통로가 마련되어 있고, 이 통로는, 밸브(120)에 의해 개폐된다.
이하, 본 실시예에서는, 처리 전의 웨이퍼(126)가 로크실(105)로부터 반출되어 처리가 실시되는 개소인 미리 정해진 진공 처리 유닛의 진공 처리실(103)에 반입되어 당해 진공 처리실(103)이 밀봉될 때까지 진공 블록(102) 내에서 반송되는 것에 요하는 시간(반송 시간)이 대기측 블록(101) 내에서의 것과 비교하여 길어지고, 이들 블록을 구성하는 진공 반송실, 중간실이나 진공 처리실을 경유하는 반송 경로 상을 웨이퍼(126)가 반송되는 반송 시간을 저감하여 처리의 효율을 향상시키고, 동시에 각 진공 처리실(103) 내에서 웨이퍼(126)를 처리할 때에 사용한 처리 가스 등의 분위기가, 다른 진공 처리실(103) 내에 유입 혹은 다른 진공 처리실(103) 내에서 웨이퍼(126)를 처리할 때에 사용한 처리 가스 등의 분위기와 접촉(이하, 콘터미네이션)하지 않도록 시키며, 또한 장치의 단위 시간당 생산 효율의 향상이 가능해지는 예를 나타낸다.
다음으로, 이러한 진공 처리 장치(100)에 있어서의, 웨이퍼(126)에 대한 처리를 행하는 동작을 이하에 설명한다.
카세트대(107) 중 어느 것의 위에 실린 카세트 내에 수납된 복수의 웨이퍼(126)는, 진공 처리 장치(100)의 동작을 조절하는, 어떠한 통신 수단에 의해 상기 진공 처리 장치(100)에 접속된 도시하지 않은 지령 장치로부터 지령을 받거나, 또는, 진공 처리 장치(100)가 설치되는 제조 라인의 지령 장치 등으로부터의 지령을 받아, 그 처리가 개시된다. 지령 장치로부터의 지령을 받은 대기측 반송 로봇(110)은, 카세트 내의 특정한 웨이퍼(126)를 카세트로부터 취출하고, 취출한 웨이퍼(126)를 로크실(105)에 반송한다.
예를 들면, 웨이퍼(126)가 반송되어 저장된 로크실(105)에서는, 반송된 웨이퍼(126)를 수납한 상태에서 밸브(120)가 폐색되어 밀봉되고 소정의 압력까지 감압된다. 그 후, 로크실(105)에서는 제1 진공 반송실(104)에 면한 측의 밸브(120)가 개방되어, 제1 로크실(105)과 진공 반송실(104)의 반송실이 연통된다.
진공 반송 로봇(108)은, 그 아암을 로크실(105) 내에 신장(伸張)시켜, 로크실(105) 내의 웨이퍼(126)를 그 아암 선단부의 웨이퍼(126) 지지부 상에 수취하여 제1 진공 반송실(104) 내에 반출한다. 또한, 제1 진공 반송 로봇(108)은, 그 아암에 실은 웨이퍼(126)를, 당해 웨이퍼(126)가 카세트로부터 취출되었을 때에 지령 장치에 의해 미리 지정된 반송의 경로를 따라 제1 진공 반송실(104)에 접속된 진공 처리실(103) 또는 진공 반송 중간실(111) 중 어느 쪽에 반입한다. 예를 들면, 진공 반송 중간실(111)에 반송된 웨이퍼(126)는, 그 후, 제2 진공 반송실(110)에 구비된 진공 반송 로봇(108)에 의해 진공 반송 중간실(111)로부터 제2 진공 반송실(110)에 반출되고, 상기 미리 정해진 반송의 경로의 목적지인 어느 진공 처리실(103)에 반입된다.
웨이퍼(126)가 한쪽 진공 처리실(103)에 반송된 후, 이 진공 처리실(103)과 접속되어 있는 제1 진공 반송실(104) 사이를 개폐하는 밸브(120)가 닫혀 당해 진공 처리실이 봉지된다. 그 후, 당해 처리실 내에 처리용 가스가 도입되어 이 진공 처리실 내가 처리에 적합한 압력으로 조절된다. 당해 진공 처리실에 전계 또는 자계를 공급하고 이에 따라 처리용 가스를 여기(勵起)하여 이 처리실 내에 플라스마가 형성되어 웨이퍼(126)가 처리된다.
웨이퍼(126)가 처리되는 한쪽 진공 처리실(103)과 이것이 연결된 진공 반송실 사이를 개폐하는 밸브(120)는, 지령 장치로부터의 지령을 받아, 당해 진공 반송실을 포함하고 이것이 연결되고 연통되어 있는 공간을 개방 폐색 가능한 다른 밸브(120)가 폐색되어 있는 상태에서 개방된다. 예를 들면, 지령 장치는, 한쪽 진공 처리실(103)과 이것이 연결된 진공 반송실 사이를 구획하는 밸브(120)의 개방 전에, 당해 진공 처리실과 다른 진공 처리실이 연통하지 않도록, 각각의 진공 처리실의 웨이퍼(126)가 내부를 통과하여 반송되는 통로 상에 배치된 게이트를 개폐하는 밸브(120) 중 어느 것을 폐색 또는 폐색의 확인의 동작을 지령하여, 이것이 확인된 후에 한쪽 진공 처리실(103)을 밀봉하고 있는 밸브(120)를 개방한다.
웨이퍼(126)의 처리가 종료된 것이 검출되면, 다른 진공 처리실(103)과 제2 진공 반송실(110) 사이의 밸브(120)가 닫혀 양자의 사이가 기밀하게 봉지되어 있는 것이 확인된 후, 한쪽 진공 처리실(103)과 접속된 제2 진공 반송실(110) 사이를 개폐하는 밸브(120)가 개방되고, 진공 반송 로봇(108)은 처리 완료된 웨이퍼(126)를 그 내부에 반출하고, 당해 웨이퍼(126)가 처리실 내에 반입되었을 경우와 반대의 반송 경로로 로크실(105)에 반송한다.
로크실(105)에 웨이퍼(126)가 반송되면, 로크실(105)과 제1 진공 반송실(104)의 반송실을 연통하는 통로를 개폐하는 밸브(120)가 닫혀, 로크실(105) 내의 압력을 대기압까지 상승시킬 수 있다. 그 후, 케이싱(106)의 내측과의 사이를 구획하는 밸브(120)가 개방되어, 로크실(105)의 내부와 케이싱(106)의 내부가 연 통되고, 대기측 반송 로봇(109)은, 로크실(105)로부터 원래의 카세트에 웨이퍼(126)를 반송하여 카세트 내의 원래의 위치로 되돌린다.
다음으로, 진공 처리 장치(100)의 전후 방향(도 1상의 상하 방향)에 대해서 진공 반송 중간실(111)의 양단부에 배치된 게이트 밸브(120)가 진공 반송 중간실(111) 내부의 웨이퍼(126) 수납용 공간과 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(110) 사이의 연통을 개폐하는 동작의 흐름에 대해서 설명한다.
본 실시예에 있어서, 진공 처리 장치(100)의 전후 방향에 대해서 진공 반송 중간실(111)의 양측의 단부(端部)의 각각에 배치된 게이트 밸브(120)는, 다음 경우를 제외하고 개방 상태가 유지된다. 즉, 메인터넌스 등, 진공 반송 중간실(111)을 사이에 두고 그 전후 방향으로 연결된 복수의 진공 반송실 중 한쪽 진공 반송실에 접속되어 그 내부에 개구를 갖는 퍼지 라인(123)으로부터 불활성 가스를 당해 진공 반송실 내에 도입하고, 당해 진공 반송실 내의 압력을 대기 상태로 되돌릴 경우에 있어서만, 대기 개방되는 측에 구비된 진공 반송 중간실(111)의 게이트 밸브(120)가 닫히도록 동작이 조절된다.
예를 들면, 제2 진공 반송실(110)이 메인터넌스에 의해 대기 개방될 경우, 우선 제2 진공 반송실(110)에 구비된, 진공 반송 중간실(111)에 접속되어 있는 측의 게이트 밸브(120)가 도시하지 않은 지령 장치에 의해 닫힌다. 상기 게이트 밸브(120)가 닫힌 것을 도시하지 않은 지령 장치가 확인한 후, 제2 진공 반송실(110)에 구비된 퍼지 라인(123)으로부터 불활성 가스가 도입된다.
상기한 바와 같이 진공 반송 중간실(111)에는 퍼지 혹은 배기하는 기구가 구비되어 있지 않기 때문에, 웨이퍼(126)를 처리하는 운전 중은 진공 반송 중간실(111)의 전후 방향의 양단부에 배치된 게이트 밸브(120)는, 이들이 동시에 진공 반송 중간실(111)을 폐색하는 상태가 없도록 그 동작이 조절된다. 이것은, 양쪽이 폐색하는 상태일 경우에 진공 반송 중간실(111) 내의 압력을 제어할 수 없는 상태가 되는 것을 피하기 위함이다. 즉, 가령 진공 반송 중간실(111)의 양단에 배치된 게이트 밸브를 닫도록 제어할 경우, 진공 반송 중간실(111) 내에 웨이퍼(126)가 반송된 후, 진공 반송 중간실(111)의 양단에 배치된 게이트 밸브(120) 중 어느 것을 닫고, 한쪽을 열도록 동작이 조절된다.
여기에서, 어떠한 진공 처리실(103)의 압력의 값이 제1 진공 반송실(104)과, 제2 진공 반송실(110)과, 진공 반송 중간실(111)의 압력의 값보다 상대적으로 높거나, 혹은 동등하거나 또는 이것으로 간주할 수 있을 정도로 근사한 값일 경우에는, 진공 처리실(103)의 분위기가 각 진공 반송실로부터 유출하여 반송 중의 웨이퍼(126)나 그 밖의 진공 처리실을 오염시킬 가능성이 있다. 이러한 조건에 있는 것이 도시하지 않은 진공 처리 장치(100)의 제어부가 검출했을 경우, 이하의 조건 하에 있어서, 제1 진공 반송 중간실(111) 내지 제3 진공 반송 중간실(113)의 양단에 구비된 게이트 밸브(120)는 다음과 같이 동작이 조절된다.
예를 들면, 제1 진공 반송실(104)에 접속된 진공 처리실(103)과, 제2 진공 반송실(110)에 접속된 진공 처리실(103)에 있어서 웨이퍼(126)의 반입 또는 반출의 동작이 병행하여 행해져, 같은 시각에 있어서 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)과 각각의 측벽에 연결된 진공 처리실(103) 사이가 연통되는 것이 제어부로 검출되었을 경우에는, 이들 2개의 진공 처리실(103)의 한쪽 내부로부터 유출된 분위기가 다른쪽 진공 처리실(103) 내부로 흘러들어오는 것을 억제하기 위해, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110) 사이의 진공 반송 중간실(111)을 통한 연통이 기밀하게 폐색되도록, 진공 반송 중간실(111)의 양단에 구비된 게이트 밸브(120) 중 적어도 어느 한쪽이 닫히도록 그 동작이 조절된다. 한편, 진공 처리실(103)의 압력이 진공 반송 중간실(111) 내부 혹은 이것을 통해 연결된 다른쪽 진공 반송실 내부의 압력보다 상대적으로 낮게 되어 있을 경우에는, 진공 처리실(103) 내의 입자는 당해 진공 처리실(103)에 그 측벽이 연결된 진공 반송실로부터는 유출되는 것이 억제되므로, 웨이퍼(126)가 진공 처리실(103)에 대하여 반입 또는 반출되고 있는 동안에도 진공 반송 중간실(111)의 양단측의 개소에 구비된 게이트 밸브(120)는 진공 반송 중간실(111)의 양단의 개구를 연 상태에서 그 개도(開度)의 위치가 유지되도록 조절된다.
본 실시예에서는, 반도체 디바이스를 제조하는 공정으로서 웨이퍼(126)를 처리하는 운전 중의 진공 처리 장치(100)에 있어서, 진공 처리실(103)의 압력은, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110), 진공 반송 중간실(111)의 압력보다 상대적으로 낮은 값이 되도록 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 조절된다. 각각의 진공 처리실(103)의 내부의 압력에는, 각각에서 실시되는 웨이퍼(126)의 처리의 결과의 불균일을 허용되는 범위 내로 할 수 있는 범위의 차가 있어도 된다. 이와 같이 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110), 진공 반송 중간실(111)의 압력에 대하여 낮아지도록 압력이 제어됨으로써, 진공 처리실(103) 내의 가스나 생성물의 입자가 당해 진공 처리실(103)로부터 유출되어 버리는 것이 억제된다.
제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)의 각각에는 퍼지 라인(123)이 구비되어 있다. 이들 퍼지 라인(123) 각각에는 도시하지 않은 밸브가 구비되어 있고, 진공 처리실(103)에 있어서 웨이퍼(126)가 처리되고 있는 동안 및 대기 개방되고 있는 동안의 쌍방에서 기능하도록 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 동작이 조절된다.
또한, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에는, 배기 배관(122), 또한 배기 배관(122)에 연결된 드라이 펌프(121)를 구비한 배기 라인이 구비되어 있다. 배기 배관(122)에는, 각각 도시하지 않은 밸브가 구비되어 있고, 웨이퍼(126)가 처리되고 있는 동안 및 대기 개방되고 있는 동안의 쌍방에서 기능하도록 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 동작이 조절된다.
다음으로, 도 4 및 도 5를 이용하여, 진공 처리실(103)의 압력이 진공 반송실 및 진공 반송 중간실(111)보다 상대적으로 낮게 되어 있을 경우에 있어서의, 본 실시예에 있어서의 진공 처리 장치(100)의 동작에 대해서 설명한다. 진공 처리실(103) 내부의 압력이 진공 반송실 및 진공 반송 중간실(111)보다 상대적으로 낮게 되어 있을 경우에는, 당해 진공 처리실(103) 내부의 입자는 당해 진공 처리실(103)이 그 측벽에 연결된 진공 반송실을 통해 다른 진공 반송실, 나아가서는 당해 다른 진공 반송실에 연결된 다른 진공 처리실(103) 내부에 유출되는 것이 억제된다.
이러한 동작을 실현하기 위해, 본 실시예의 진공 처리 장치(100)는, 진공 반송실 내부를 웨이퍼(126)가 반송되고 있는 동안에는, 진공 반송 중간실(111)의 양단측 부분에 구비된 게이트 밸브(120)의 개방 상태가 유지되고, 복수의 진공 반송실에 복수 구비된 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 개폐는, 진공 처리 장치(100)의 운전의 상태에 따라 그 오염의 생기를 억제하는 것에 호적한 가스 흐름이 되도록 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 구동된다. 이러한 동작을 시킴으로써, 진공 처리 장치(100)의 반도체 디바이스의 제조의 효율을 향상시켜, 진공 처리 장치(100)의 설치 면적당 웨이퍼(126)의 처리 능력이 향상된다.
도 4에서는, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에 구비된 각각의 진공 반송 로봇(108)이, 1개 내지 복수의 진공 처리실(103)에서 웨이퍼(126)를 처리하기 위해 반송 동작을 행하고 있는 상태로 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(111)로부터 배기되는 가스, 혹은 이들 중 적어도 어느 쪽에 공급되는 퍼지 가스의 흐름을 나타내고 있다. 도 4는, 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 진공측 블록 내부의 가스의 흐름을 모식적으로 나타내는 횡단면도이다.
본 실시예의 진공 처리 장치(100)에 있어서, 진공 반송 중간실(111)의 수납 공간 내부는, 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 미리 제2 진공 반송실(110)에 연결된 진공 처리실(103)에 반송되어 처리되는 것이 정해진 처리 전의 웨이퍼(126), 혹은 당해 진공 처리 장치(103)에서 처리된 후에 반송된 웨이퍼(126)가 체재한다. 본 실시예에서는, 진공 처리 장치(100) 당해 수납 공간 내에서 웨이퍼(126)가 체재하는 시간이, 다른 진공 반송실과 비교하여 길다. 이것은 진공 처리실(103)에서 처리되는 웨이퍼(126)가 처리되고 반출되기까지의 동안에, 제1 진공 반송 로봇(108) 내지 제2 진공 반송 로봇(108)이, 제2 진공 반송실(110)에 연결된 진공 처리실(103)에서 처리되기 전의, 혹은 처리된 후의 웨이퍼(126)를 반입하여 대기시키는, 즉 반송 대기 상태가 되는 시간이 생기기 때문이다.
한편, 제2 진공 반송실(110) 측벽면에 연결된 2개의 진공 처리실(103) 중 어느 쪽에서 처리된 후의 처리 완료 웨이퍼(126)의 표면의 근방에 체류하고 있는 반응성이 높은 물질의 입자나 표면에 부착된 생성물이 표면으로부터 방출되어 생성되는 입자로 이루어지는 가스는, 진공 반송 중간실(111) 내부에 체류한다. 이 때문에, 진공 반송 중간실(111)은 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)과 비교하여 다른 웨이퍼(126)의 오염을 생기하는 원인이 되는 물질이 보다 많이 체류하고 있다고 생각된다.
또한, 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(110)의 내부에 배치된 진공 반송 로봇(108)은, 그 용적이 이들 진공 반송실 내부의 용적에 대하여 무시할 수 없을 정도의 비율을 점하고 있다. 이 점에서, 진공 반송 로봇(108)이 웨이퍼(126)의 반송을 행할 때의 동작 중에 연통된 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(110)에 퍼지 가스를 공급하고 이들 사이를 진공 반송 중간실(111)을 통해 흐르는 퍼지 가스의 흐름에 의해 상기 오염의 원인이 되는 물질의 입자를 배기하고자 해도, 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(110) 내에 도입되는 퍼지 가스의 흐름 중에 진공 반송 로봇(108)이 존재함으로써 웨이퍼(126)를 반송할 때의 아암의 이동이나 회전 등의 움직임에 의해 상기 가스의 흐름이 저해되어 버린다. 이 때문에, 진공 처리실(103) 내부로부터 진입한 혹은 웨이퍼(126)의 표면이나 그 근방으로부터 당해 진공 반송실 내에 남겨져 체류해 있는 오염의 원인이 되는 물질의 입자가 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(110)로부터 효율적으로 배기되지 않게 되어 버린다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 본 실시예의 진공 처리 장치(100)에서는, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 진공 반송 로봇(108) 중 어느 것이 동작하고 있는 동안에, 제1 진공 반송실(104)에 연결되어 진공 반송 중간실(111)의 웨이퍼(126)를 반출입하는 개구의 수평 방향에서 좌우 중 어느 측(도면상 우측) 또는 당해 개구의 상방측의 제1 진공 반송실(104)의 내벽면의 개소에 가스 도입 구멍을 가진 퍼지 라인(123)의 배관 상에 배치된 밸브가 열리고 당해 퍼지 라인이 열려 퍼지 가스가 제1 진공 반송실(104) 내에 공급되고, 제2 진공 반송실(110)에 구비된 퍼지 라인(123)의 배관 상에 배치된 밸브가 폐색되어 당해 퍼지 라인(123)이 닫혀 제2 진공 반송실(110)에의 퍼지 가스의 공급이 정지, 혹은 저감된다. 또한 병행하여, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 배기 배관(122) 상에 배치된 밸브가 닫히고 당해 배기 라인이 닫혀, 제2 진공 반송실(110)의 진공 반송 중간실(111)의 개구의 수평 방향에서 좌우 중 어느 측(도면상 좌측) 또는 당해 개구의 하방측의 제2 진공 반송실(110)의 내벽면의 개소에 구비된 배기 배관(122) 상의 밸브가 열려 당해 배기 라인이 열리도록, 동작이 조절된다.
이때의 진공 반송 중간실(111)을 사이에 두고 연통된 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110) 내부의 퍼지 가스의 흐름은, 도 4에 나타내는 화살표와 같이, 제1 진공 반송실(104) 내부에 진공 반송 중간실(111)의 전방에서 볼 때 우측으로부터 도입되고, 당해 진공 반송 중간실(111)을 지나 제2 진공 반송실(110) 내부를 진공 반송 중간실(111)의 전방에서 볼 때 좌측에 배기구(125)를 향하여 흐르도록 구성되어 있다. 이러한 가스의 흐름은, 진공 반송 중간실(111)을 통한 상대적으로 짧은 거리가 된다. 이와 같이 형성되는 가스 흐름은, 진공 반송 로봇(108)에 가스 흐름을 저해받지 않고 진공 반송 중간실(111)의 내부에 체류하는 이물 등의 오염 물질을 적극적으로 수송하여, 진공 반송 중간실(111) 내부를 청정하게 유지하는 것이 가능해진다.
본 실시예의 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)은, 동일하거나 또는 실질적으로 같다고 간주할 수 있을 정도로 근사한 치수나 형상, 재질 등의 구성을 구비한 진공 용기의 내부에 배치된 공간이다. 또한, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)을 구성하는 2개의 진공 용기는 상방에서 볼 때 사각형 또는 직사각형이라고 간주할 수 있는 평면형을 갖고, 각 변에 상당하는 4개의 측벽에는 진공 처리실(103) 또는 진공 반송 중간실(111) 혹은 로크실(105)이 연결되고, 이들이 연결된 상태에서 내부끼리 연통하여 웨이퍼(126)가 반송되어 통과하는 통로인 게이트가 배치되어 있다.
또한, 이들 2개의 진공 용기 내의 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에는, 상방에서 볼 때 동일하거나 또는 실질적으로 같다고 간주할 수 있을 정도로 근사한 개소에 퍼지 라인(123)에 연통한 가스 도입구(124) 및 배기 배관(122)에 연통한 배기구(125)를 구비하고 있다. 각각의 진공 반송실의 내부에 배치된 각각의 진공 반송 로봇(108)의 형상, 치수나 구조, 재료 등도, 마찬가지로 동일하거나 또는 이것으로 간주할 수 있을 정도로 근사한 구성을 구비하고, 각각의 진공 반송실 내부의 중앙부에 배치되어 있다. 즉, 본 실시예의 진공 처리 장치(100)는, 진공 반송실 및 이것을 구성하는 진공 용기 및 진공 반송 로봇(108) 등 그 내부에 배치된 구조체를 포함하는 진공 반송 유닛의 복수가, 어느 한쪽을 다른쪽과 치환하여 동일하거나 또는 이것으로 간주할 수 있는 동작을 행하여 기능을 발휘할 수 있도록 구성되어 있고, 진공 반송 중간실(111)을 통해 전후 방향으로 연결되어 있다.
즉, 상방에서 볼 때 동일하거나 또는 이것으로 간주할 수 있을 정도로 근사한 형상을 가진 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)의 각각은, 상방에서 볼 때 당해 진공 반송실의 주위를 둘러싸는 진공 용기의 도면상 상하 좌우 각각의 방향의 측벽에 형성된 게이트와 당해 측벽에 인접하는 2개의 측벽 각각에 형성된 게이트 사이의 내벽 상의 개소에, 상기 퍼지 라인(123)의 가스 도입구(124) 또는 배기 배관(122)의 배기구(125)를 구비하고 있다. 즉, 본 실시예에서는, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)의 각부(角部) 혹은 코너부에 퍼지 가스의 가스 도입구(124) 또는 배기구(125)가 배치되어 있다. 그리고, 그 위치는, 상방에서 볼 때, 진공 반송 로봇(108)이 회전하여 아암을 신축시키는 동작으로 당해 로봇의 부재(部材)가 전유(專有)하는 공간이 상방으로부터 투영된 영역의 외측에 위치해 있다. 이 때문에, 각각의 진공 반송실 내벽에 배치된 가스 도입구(124) 및 배기구(125)에 있어서의 가스의 흐름 방향에 대해서 이들과 진공 반송 로봇(108) 사이의 거리를 두고, 가스 도입구(124) 및 배기구(125)에서의 가스의 흐름이 진공 반송 로봇(108)을 구성하는 부재에 의해 방해받는 것이 억제된다.
본 실시예의 진공 처리 장치(100)에 있어서, 도 4에 나타내는 바와 같이, 진공 반송 중간실(111)이 게이트 밸브를 통해 접속되는 제1 진공 반송실(104)의 측벽의 단부의 당해 진공 반송실의 코너부로서 진공 반송 중간실(111)과의 사이의 게이트의 도면상 우측의 천장면 혹은 내측벽면 혹은 양자가 이어지는 각부에 퍼지 라인(123)으로부터 퍼지 가스가 도입되는 가스 도입구(124)가 배치되고, 진공 반송 중간실(111)이 게이트 밸브를 통해 접속되는 제2 진공 반송실(110)의 측벽의 단부의 당해 진공 반송실의 코너부로서 진공 반송 중간실(111)과의 사이의 게이트의 도면상 좌측의 저면(底面) 혹은 내측벽면 혹은 양자가 이어지는 각부에 배기 배관(122)과 연통되어 제2 진공 반송실(110) 내부의 입자가 배출되는 배기구(125)가 배치된다. 또한, 상방에서 볼 때 사각형 또는 직사각형 혹은 이것으로 간주할 수 있을 정도로 근사한 형상을 가진 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110) 각각의 중심에 배치된 진공 반송 로봇(108)의 상하 방향으로 연장하는 회전축에 대해서 전후 방향 및 좌우 방향의 수평한 축에 대하여 대칭이 되는 4개의 코너부의 위치에 배치된 가스 도입구(124) 및 배기구(125)는, 진공 처리 장치(100)를 수평 방향에서 볼 때, 한쪽이 4변에 상당하는 측벽 4개소의 각각에 형성된 게이트의 내측의 공간의 중심을 지나는 수평 방향의 축의 상방에 위치하고, 다른쪽이 하방에 위치하여 배치되어 있다.
그리고, 실시예에서는, 제1 진공 반송실(104)과 제2 진공 반송실(110) 사이에서 진공 반송 중간실(111)을 통해 퍼지 가스의 흐름을 형성할 때에, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)의 한쪽의 적어도 1개의 가스 도입구(124)는, 진공 반송 중간실(111)에 연통하는 게이트를 사이에 둔 상방에 위치하고, 다른쪽은 하방에 위치해 있다. 도 4에 나타내는 예에서는, 제1 진공 반송실(104) 내의 퍼지 가스를 포함하는 입자가, 진공 반송 중간실(111) 상으로부터 도입되어 진공 반송 중간실을 지나 제2 진공 반송실(110) 내부를 아래를 향하여 흐르도록 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 2개의 진공 반송실이 진공 반송 중간실(111)을 통해 연결된 진공측 블록(102) 내에 체류하는 웨이퍼(126)의 오염이 생기는 원인이 되는 입자가 효율적으로 외부로 배출된다.
또한, 본 실시예의 가스 도입구(124) 및 배기구(125)의 위치는 상기에 한정되지 않는 것이며, 오염을 억제할 수 있는 가스의 흐름이 형성되도록 이들의 위치가 선택 가능하다. 상방에서 볼 때 진공 반송 로봇(108)의 중심의 축에 대해서 전후 혹은 좌우에 대칭으로 배치되어 있지 않아도 되고, 4개의 코너부 모두에 가스 도입구(124) 및 배기구(125)가 배치되지 않아도 되고, 4개소보다 적어도, 혹은 많아도 된다. 또한, 제2 진공 반송실(110)의 가스 도입구(124)와 제1 진공 반송실(104)의 배기구(125)의 조합을 이용해도 되고, 또한, 가스 도입구(124)가 높이 방향에 대해서 게이트의 중심의 축으로부터 하방이고 배기구(125)가 상방에 배치되어 있어도 된다.
또한, 본 실시예의 진공 처리 장치(100)의 복수의 진공 반송실은, 상하 방향에서 볼 때 4개소 각각의 코너부의 내벽면 상에 게이트의 높이 방향의 중심에 대하여 상하의 위치에 배치된 가스 도입구(124)와 배기구(125)의 쌍은, 후술하는 바와 같이, 진공 처리 장치(100)의 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 진공 반송 중간실을 통해 연통된 복수의 진공 반송실의 집합에 있어서, 2개의 진공 반송실 각각에서 적어도 1개의 코너부끼리의 조합이 선택된다. 또한, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 진공 반송실 각각의 선택된 코너부의 한쪽에서 가스 도입구(124)에 연통하는 퍼지 라인(123)이 열리고 배기구(125)에 연통하는 배기 라인이 닫히고, 다른쪽에서 퍼지 라인(123)이 닫히고 배기 라인이 열리도록, 이들 2개의 진공 반송실 사이에 퍼지 가스를 포함하는 입자의 흐름이 형성되도록 퍼지 및 배기의 동작이 조절된다.
한편, 본 실시예의 진공 처리 장치(100)와 같이, 반도체 디바이스를 양산하는 운전 중에 있어서 어느 진공 처리실(103)이 이것에 연결된 진공 반송실 및 진공 반송 중간실(111)보다 내부의 압력이 상대적으로 낮게 되어 있을 경우에는, 진공 처리실(103)과 이것이 연결된 제1 진공 반송실(104) 또는 제2 진공 반송실(110) 사이에 배치된 게이트 밸브(120)가, 진공 처리실(103)과 이들 진공 반송실 사이에서 웨이퍼(126)가 반송될 때에 제어부로부터의 신호에 의해 동작이 조절되어 게이트를 개방한 상태가 되면, 제1 진공 반송실(104)의 퍼지 라인(123)으로부터 도입된 퍼지 가스의 입자가 진공 처리실(103) 내부로 유인(誘引)되어 진입해 버릴 우려가 있다. 이 경우, 진공 반송 로봇(108)이 웨이퍼(126)를 반송하는 동작을 행하고 있는 동안에, 진공 반송 중간실(111)의 내부에서 퍼지 가스에 의한 흐름이 충분한 세기로 형성되지 않아, 내부에 웨이퍼(126)의 오염을 생기하는 물질이 체류한 상태가 되어 버릴 우려가 있다.
그래서, 본 실시예에서는, 상기한 바와 같이 제1 진공 반송실(104)의 도면상 오른쪽 위의 코너부에 구비된 가스 도입구(124) 및 제2 진공 반송실(110)의 도면상 왼쪽 아래의 코너부에 구비되고 배기 배관(122)에 연통한 배기구(125)가 개방이 되도록 제어부로부터의 지령 신호에 의해 퍼지 라인(123) 및 배기 라인의 선택 및 이들의 개폐가 조절된다. 이 상태에서, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110)과 이들 사이에 배치된 진공 반송 중간실(111)이 이들을 구성하는 진공 용기의 연결에 의해 연통되고 1개의 진공 반송 유닛으로서 1개의 공간이 밀폐되어 외부와 기밀하게 구획된다. 이것에 의해, 진공 반송 중간실(111)을 통한 전후의 진공 반송실간의 가스의 흐름이 형성되고, 하나의 진공 반송실 내부 또는 이것의 측벽에 연결된 진공 처리실(103)과의 사이에서 흐름이 닫혀 버리는, 소위 쇼트컷이 생기는 것이 억제된다.
또한, 상기의 예는, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 퍼지 라인(123)에 연통하는 4개의 코너부의 가스 도입구(124) 중 열린 1개소만으로 퍼지 가스가 도입되는 구성이지만, 다른 가스 도입구(124) 중 진공 반송 중간실(111)의 게이트에 보다 가까운 개소에 배치된 가스 도입구(124)를 더한 2개소로부터 동시 또는 병행하여 퍼지 가스가 도입되도록 동작이 조절되어도 된다. 이 경우에는, 진공 반송 중간실(111) 내부를 통과하는 가스 유량이 커짐으로써, 내부의 오염을 생기하는 입자를 퍼지 가스의 흐름에 포함시켜 배출하는 효과를 높일 수 있다.
다음으로, 도 5를 이용하여, 본 실시예의 진공 처리 장치(100)가 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에 구비된 각각의 진공 반송 로봇(108)이, 웨이퍼(126)의 반송의 동작을 행하고 있지 않을 경우(이하, 아이들(idle) 상태라고 호칭함)의 진공측 블록(102) 내부의 가스의 흐름을 설명한다. 도 5는, 도 1에 나타내는 실시예에 따른 진공 처리 장치의 진공측 블록 내부의 가스의 흐름을 모식적으로 나타내는 횡단면도이다.
본 실시예에 있어서, 진공 반송 로봇(108)이 아이들 상태가 될 경우로서는, 카세트대(107)에 실린 적어도 1개의 카세트 내부에 수납된 실질적으로 같은 조건에서 진공 처리실(103) 내부에서 처리되는 일 그룹 매수의 웨이퍼(126)(이하, 로트라고 호칭함)의 처리가 종료 후에 다른 로트의 웨이퍼(126)의 처리를 개시하기 전에, 복수의 진공 처리실(103) 모두의 내부에서 웨이퍼(126)가 처리되지 않고 진공 반송 로봇(108)에 의한 웨이퍼(126)의 반송을 요하지 않는다고 제어부가 판정할 수 있는 기간을 생각할 수 있다.
본 예에 있어서, 진공 반송 로봇(108)이 웨이퍼(126)를 반송하기 위한 회전이나 아암의 신축 등의 동작을 행하지 않고, 그 동작에 의해 퍼지 가스가 도입되어 진공 반송 로봇(108)이 배치된 진공 반송실 내부에 가스 흐름이 형성되거나, 혹은 형성된 흐름이 내부의 입자를 당해 흐름에 실어 운반한다는 작용이 저해되는 것은, 도 4의 경우와 비교하여 상대적으로 억제될 수 있다고 생각된다. 또한, 게이트 밸브(120)가 개폐의 동작을 행하고 있지 않은 상태이기 때문에, 진공 처리실(103) 내부에 진공 반송실 내부에 도입된 퍼지 가스나 입자가 진공 처리실 내로 인입되는 것이 저감된다.
본 실시예에서는, 이러한 진공 반송 로봇(108)에 의한 웨이퍼(126)를 반송하는 동작이 행해지고 있지 않은 상태인 것이 진공 반송 로봇(108)에 설치된 검지기로부터의 신호를 수신한 제어부가 검출하거나, 혹은 미리 정해진 진공 처리 장치(100)를 운전하는 스케줄로부터 반송이 행해지지 않는 시간대인 것이 제어부에 있어서 검출되면, 당해 제어부는 제1 진공 반송실(104)에 연결된 어느 퍼지 라인(123) 상의 밸브도 폐색하고, 제2 진공 반송실(110)에 연결된 어느 적어도 1개의 퍼지 라인(123) 상의 밸브를 열도록 지령 신호를 발신한다. 또한, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 어느 적어도 1개의 배기 배관(122) 상의 밸브를 열고, 제2 진공 반송실(110)에 구비된 어느 배기 배관(122) 상의 밸브도 닫도록 지령 신호를 발신한다.
도 5에 나타내는 예에서는, 제1 진공 반송실(104)에 있어서, 로크실(105)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽에 대해서 전방에서 볼 때 좌측(도면상 왼쪽 아래측)의 코너부에 배치된 배기구(125)에 연통한 배기 배관(122) 상의 밸브가 개방되고, 다른 3개소의 코너부의 배기구(125)에 연통한 배기 배관(122) 상의 밸브는 닫힌다. 또한, 제2 진공 반송실(110)에 있어서, 진공 반송 중간실(111)이 게이트 밸브(120)를 통해 접속된 측벽에 대향하는 위치의 측벽(가장 안쪽의 측벽)에 대해서 이것을 전방에서 볼 때 우측(도면상 오른쪽 윗측)의 코너부에 배치된 가스 도입구(124)에 연통한 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 개방되고 다른 3개소의 코너부의 가스 도입구(124)에 연통한 퍼지 라인(123) 상의 밸브는 닫힌다. 이 상태에서, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110)과 이들 사이에 배치된 진공 반송 중간실(111)이 연결되어 구성되는 진공 용기는, 1개의 밀폐된 공간을 내외에서 기밀하게 구획한다.
이와 같이 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 개폐가 선택된 상태의 본 실시예의 진공 처리 장치(100) 내부의 가스의 흐름은, 도 5에 모식적으로 나타나는 화살표와 같이, 진공 처리 장치(100)의 전후 방향에 대해서, 진공 반송 유닛 내부의 공간에 개구된 가스 도입구(124) 및 배기구(125)에 의한 퍼지 가스의 흡(吸)배기의 조합 중에서 가장 안쪽의 가스 도입구(124)로부터 진공 반송 중간실(111)을 통해 가장 앞쪽의 배기구(125)까지 흐르는, 말하자면 최장 거리를 흐르는 것이 된다. 도면상의 화살표는 모식적으로 이것을 나타낸 것이며, 이러한 가스 또는 입자의 흐름이 정확하게 그 선상을 따라 흐르는 것이 아니라, 정지해 있는 각각의 진공 반송 로봇(108)의 상하 및 주위의 내측벽과의 사이의 극간의 공간을 통과시켜, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110), 진공 반송 중간실(111)의 내부에 흐름이 형성된다. 특히, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)이 열린 퍼지 라인(123)과 연통되지 않아 퍼지 가스를 도입하고 있지 않은 가스 도입구(124) 혹은 열린 배기 배관(122)과 연통해 있지 않아 배기하고 있지 않은 배기구(125)가 배치된 코너부와 그 주위의 극간에 가스의 흐름이 형성된다. 이러한 흐름을 이용함으로써, 극간에 체류하는 오염을 생기하는 물질의 입자를 가스 흐름에 실어 적극적으로 수송하여 배출할 수 있다.
도 5에 나타내는 예에 있어서는, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 도면상 왼쪽 아래측에 위치하는 배기구(125)에 연통하는 배기 배관(122) 및 제2 진공 반송실(110)에 구비된 도면상 오른쪽 윗측의 코너부에 위치하는 가스 도입구(124)에 연통하는 퍼지 라인(123)이 열려 이들 사이에서의 가스의 흐름이 형성된다. 본 발명에서는, 이에 한정되지 않고, 복수의 진공 반송실 각각에 내부의 진공 반송 로봇(108)의 동작이 정지해 있는 기간에 있어서, 오염을 생기하는 물질을 효과적으로 배출할 수 있는 가스의 흐름을 형성할 수 있는 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)이 선택되어도 된다. 즉, 제1 진공 반송실(104)로부터 제2 진공 반송실(104)을 향하는 가스 흐름이 형성되어도 된다.
또한, 상기의 예는, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 퍼지 라인(123)에 연통하는 4개의 코너부의 가스 도입구(124) 중 열린 1개소만으로부터 퍼지 가스가 도입되는 구성이지만, 다른 가스 도입구(124) 중 진공 반송 중간실(111)의 게이트에 보다 가까운 개소에 배치된 가스 도입구(124)를 더한 2개소로부터 동시 또는 병행하여 퍼지 가스가 도입되도록 동작이 조절되어도 된다. 이 경우에는, 진공 반송 중간실(111) 내부를 통과하는 가스 유량이 커짐으로써, 내부의 오염을 생기하는 입자를 퍼지 가스의 흐름에 포함시켜 배출하는 효과를 높일 수 있다.
도 4에 나타내는 가스의 흐름의 예와 도 5에 나타내는 예는, 다음 2개의 패턴에 의해 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의해 전환되어 실시된다. 제1 패턴은, 진공 반송 중간실(111) 내부의 청소가 필요해지기 전에, 진공 반송 로봇(108)을 아이들 상태로 전환하는 것이 가능할 경우이다. 이 패턴에서는, 진공 반송 중간실(111) 내부의 청소가 필요해지기 전에, 임의의 진공 처리 유닛(103)의 청소 등의 보수, 점검을 행하는 기준이 되는 소정의 누적 처리 시간 혹은 웨이퍼(126)의 처리 매수에 달한 것이 제어부에 의해 검출되면, 제어부로부터의 지령 신호에 의해 진공 반송 로봇이 아이들 상태가 되고, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에 구비된 퍼지 가스 라인(123)과 배기 배관(122)의 선택이 전환되어, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110) 및 진공 반송 중간실(111)로 구성되는 진공측 블록(102)의 진공 용기 내부에의 퍼지 가스의 도입 및 배기에 의해 형성되는 입자의 흐름의 패턴이, 도 4에 나타낸 진공 반송 로봇(108)이 동작 중인 것으로부터 도 5에 나타낸 아이들 상태인 것으로 전환된다.
제2 패턴은, 미리 정해진 진공 반송 중간실(111) 내부의 청소를 행해야 하는 오염의 한계에 달해 있지 않고 또한 진공 처리 장치(100)의 가동 또는 웨이퍼(126)의 처리의 계속이 예정되어 있을 경우를 포함하는 것이다. 이것은, 사용자가 미리 설정한 진공 반송 중간실(111)의 청소를 행하는 오염 혹은 오염을 생기하는 물질의 양을 나타내는 파라미터(예를 들면 밀도나 부착 또는 퇴적의 양)의 값이 한도에 달해 있지 않은 것이 제어부에 의해 검출된 상태에서, 어느 진공 처리 유닛(103)에 대해서도 미리 정해진 누적 처리 시간 내지 웨이퍼(126)의 처리 매수에 달해도 카세트대(107) 상에 재치(載置)된 카세트 내부에 수납된 모든 미처리 웨이퍼(126)가 어떠한 진공 처리실(103)에 의해 처리될 때까지 당해 웨이퍼(126)의 처리에 의한 반도체 디바이스의 제조를 위한 운전을 계속한 후, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 진공측 블록(102)에 있어서의 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 선택과 이에 따른 흐름의 패턴이 도 4에 나타낸 것으로부터 도 5에 나타낸 것으로 전환되어 미리 정해진 시간 이것이 계속된다.
제어부는, 카세트대(107) 상에 실린 각 카세트 내부에 수납된 모든 웨이퍼(126)의 처리가 종료된 후에 다른 카세트 내의 웨이퍼(126)의 처리를 개시하기 전에, 상기의 사용자가 미리 설정한 진공 처리 유닛(103)의 누적 처리 시간 혹은 웨이퍼(126)의 매수에 달하는지의 여부를 판정한다. 제어부에 있어서 달한다고 판정되었을 경우에는, 당해 다른 카세트 내의 웨이퍼(126)의 처리가 개시되기 전에, 진공측 블록(102)에 있어서의 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 선택과 이에 따른 흐름의 패턴이 도 4에 나타낸 것으로부터 도 5에 나타낸 것으로 전환되어 미리 정해진 시간 이것이 계속된다.
도 6은, 본 발명의 실시예에 따른 진공 처리 장치(100)의 진공측 블록(102)의 진공 용기 내부의 가스의 배기 및 퍼지 가스의 도입에 의한 다른 가스의 흐름을 모식적으로 나타내는 도면이다. 본 도면에 나타내는 예에서는, 진공측 블록(102)의 진공 용기 내부의 가스의 배기 및 퍼지 가스의 도입이 진공측 블록(102)에 있어서의 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)이 제어부에 의해 선택되고 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)의 각각에 구비된 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122) 각각 위의 밸브가 개방된 결과, 제1 진공 반송실(104)과 제2 진공 반송실(110)의 각각의 내부에 있어서 퍼지 가스가 도입되는 가스 도입구(124)로부터 진공 반송 로봇(108)을 사이에 두고 가스 도입구(124)의 반대측에 위치하는 배기구(125)를 향해 입자가 이동하여 배기되는 흐름이 형성된다.
진공 반송 로봇(108)이 동작하고 있는 상태에서 도 6의 흐름의 패턴이 형성되고, 아이들 상태에 있는 상태에서 도 5에 나타낸 패턴이 형성되도록 제어부에 의해 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)이 선택되었을 경우, 도 6의 패턴에서는 진공 반송 로봇(108)에 의해 각각의 진공 반송실 내부의 가스의 흐름이 저해되고, 추가로 진공 반송 중간실(111) 내부에 적극적인 가스 흐름을 만드는 것이 곤란해진다.
또한, 진공 반송 로봇(108)이 동작하고 있는 상태에서 도 4에 나타내는 패턴의 흐름이 형성되고 아이들 상태에 있는 상태에서 도 6에 나타내는 가스 흐름이 형성될 경우에도, 진공 반송 중간실(111) 내부에 오염을 생기하는 원인이 되는 물질이 계속해서 체류하게 된다. 이 때문에 단기간에 진공 반송 중간실(111)의 청소가 필요해져, 장치의 생산성을 저하시키게 된다. 이 때문에, 본 실시예에서는, 제어부로부터의 지령 신호에 의해, 진공 반송 로봇(108)이 아이들 상태에 있어서 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)이 선택되고, 복수의 아이들 상태의 기간마다 소정의 기간만큼 도 5에 나타내는 가스 흐름을 형성하거나, 혹은 1개의 아이들 상태 중에 소정의 기간 도 5의 가스의 흐름을 형성하는 것이 반복된다.
도 7 내지 도 10은, 도 1에 나타내는 실시예의 변형예를 나타낸다. 이들 도 7 내지 도 10은, 도 1 내지 도 3에 나타낸 상기 실시예에 대하여 제2 진공 반송 중간실(113)을 통해 제3 진공 반송실(112)을 연결한 진공 처리 장치(700)를 나타내고 있다. 제3 진공 반송실(112)은, 도면에 나타내는 바와 같이 제2 진공 반송 중간실(113)과 대면하는 위치에 도시하지 않은 제3 진공 반송 중간실 내지 진공 반송 처리실(103)이 연결 가능하게 되어 있지만, 상기 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110) 및 진공 반송 중간실(111)에 대하여 각각 기능적인 차이 및 구성되는 기기의 차이는 없다.
도 10은, 도 7 내지 도 9에 나타내는 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 종단면도이다. 본 도면에 나타낸 변형예에 따른 진공 처리 장치(700)에서는, 제3 진공 반송실(112)에 진공 처리실(103)이 하나만 나타나 있다. 또한, 진공 반송 중간실(111)의 내부에는 웨이퍼(126)가 도시하지 않은 웨이퍼(126) 지지대 상에 상하로 오프셋된 위치에 유지되어 있다. 또한, 제1 진공 반송실(104)에는 진공 처리실(103)이 2개 접속되어 있다.
또한, 제2 진공 반송 중간실(113) 및 제3 진공 반송실(112)은, 진공 처리 장치(700)를 구성하는 그 외 진공 반송 용기와 비교하여, 구성 및 발휘하는 기능에 실질적인 차이는 없다. 임의의 진공 처리실(103) 내부의 압력이 진공 반송실 및 진공 반송 중간실보다 상대적으로 낮아질 경우에, 당해 진공 처리실(103) 내부의 가스나 생성물 등의 입자가 당해 진공 처리실(103)이 게이트 밸브(120)를 통해 연통된 진공 반송실로부터 유출하는 것이 억제되고 웨이퍼(126)가 반송될 동안에 제1 진공 반송 중간실(111)의 양단에 구비된 게이트 밸브(120)는 개방 상태를 유지하도록 제어되어 있을 경우에 있어서, 장치에 복수 구비된 진공 반송실의 각각의 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 개폐를, 장치가 놓인 복수의 상황 하에 대하여 가장 호적한 가스 흐름이 3개의 진공 반송실과 이들 사이에서 연결하는 진공 반송 중간실로 구성되는 진공 용기 내부에 형성되는 구성을 설명한다.
도 7 및 도 8은, 도 1에 나타내는 본 발명의 실시예의 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타내는 횡단면도이다. 본 도면에서도 도 3과 마찬가지로, 상하를 진공 처리 장치(700)의 전후 방향에 있어서 이것을 상방에서 본 도면을 나타내고 있다. 본 예에 있어서도, 제1 진공 반송 중간실(111) 및 제2 진공 반송 중간실(113)의 내부는, 도 3의 실시예와 마찬가지로, 진공 처리실(103)에서 처리된 후의 웨이퍼(126)가 가지고 들어가는 반응성을 가진 가스나 생성물 혹은 부착성이 높은 입자, 처리된 후의 웨이퍼(126)로부터 방출되는 가스의 입자 등의 처리되기 전의 웨이퍼(126)를 오염시키는 원인이 되는 물질의 입자가 체류하기 쉬워, 진공 반송실과 비교하여 웨이퍼(126)의 오염이 생기하기 쉬운 개소이다. 또한, 상기 실시예와 마찬가지로, 각 진공 반송실 내에 있어서 진공 반송 로봇(108)은 그 용적이 진공 반송실 내부의 용적에 대하여 무시할 수 없을 정도의 비율을 점하고 있으며, 웨이퍼(126)를 반송하는 동작을 행하고 있는 동안에는 그 동작에 의해 각 진공 반송실에 구비된 퍼지 가스 라인(123)으로부터 내부에 공급되는 퍼지 가스의 흐름이 저해된다.
본 예에 있어서도, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110), 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122) 상에 배치된 밸브의 개폐는, 제어부가 발신한 지령 신호에 따라 선택되어 동작한다. 이 결과, 본 변형예의 도 7에 나타내는 예에서는, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에 구비된 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 열리고, 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 닫힌다. 또한, 제1 진공 반송실(104) 및 제3 진공 반송실(112)에 구비된 배기 배관(122) 상의 밸브가 열리고, 제2 진공 반송실(110)에 구비된 배기 배관(122) 상의 밸브가 닫힌다.
도 7의 예에서는, 제1 진공 반송실(104)에 있어서 진공 반송 중간실(111)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 우측의 코너부(도면상 오른쪽 안쪽측의 코너부)에 배치된 가스 공급구에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 상의 밸브가 개방됨과 함께, 로크실(105)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 좌측의 코너부(도면상 왼쪽 앞쪽의 코너부)에 배치된 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브가 개방된다. 또한, 다른 코너부에 배치된 가스 도입구(124)에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 및 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브는 폐색된다.
또한, 제2 진공 반송실(110)에 있어서 진공 반송 중간실(113)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 우측의 코너부(도면상 오른쪽 안쪽측의 코너부)에 배치된 가스 공급구에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 상의 밸브가 개방됨과 함께, 로크실(105)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 좌측의 코너부(도면상 왼쪽 앞쪽의 코너부)에 배치된 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브가 개방된다. 또한, 제2 진공 반송실(110) 및 제3 진공 반송실(112)의 다른 코너부에 배치된 가스 도입구(124)에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 및 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브는 폐색된다.
이러한 퍼지 가스 라인(123) 및 배기 배관(122)의 개폐의 선택이 된 진공 처리 장치(700)의 퍼지 가스의 흐름은, 도면에 나타내는 화살표와 같이, 제1 진공 반송실(104) 내부에 개구된 퍼지 라인(123)의 가스 공급구로부터 당해 제1 진공 반송실(104) 내에 유입하여 진공 반송 로봇(108)을 사이에 두고 반대측에 배치된 배기 배관(122)에 연통하는 배기구(125)를 향하여 흘러 배출된다. 한편, 제2 진공 반송실(110) 및 제3 진공 반송실(112)에 있어서는, 제2 진공 반송실(110) 내부에 진공 반송 중간실(113)의 전방에서 볼 때 우측으로부터 도입되고, 진공 반송 중간실(113)을 지나 제3 진공 반송실(112) 내부를 진공 반송 중간실(112)의 전방에서 볼 때 좌측에 배기구(125)를 향하여 흐르도록 구성되어 있다. 이 경우, 제1 진공 반송실(104)에 있어서는, 진공 반송 로봇(108)이 웨이퍼(126)를 반송하는 동작을 행하고 있을 경우에는 상기 가스의 흐름이 저해되어져, 제1 진공 반송실(104) 내부에 체류하는 오염을 생기하는 원인이 되는 물질을 효과적으로 수송하는 작용이 손상된다. 또한, 제1 진공 반송 중간실(111) 내부에 가스 흐름을 만드는 것이 곤란해져, 제1 진공 반송 중간실(111)의 내부에는 상기 오염의 기인(起因)이 되는 물질이 체류하게 된다.
한편, 도 8에 나타내는 예에서는, 제1 진공 반송실(104) 및 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 열리고, 제2 진공 반송실(110)에 구비된 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 닫힌다. 또한 제2 진공 반송실(110) 및 제3 진공 반송실(112)에 구비된 배기 배관(122) 상의 밸브가 열리고, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 배기 배관(122) 상의 밸브가 폐색된다.
도 8의 예에서는, 제3 진공 반송실(112)에 있어서 진공 처리 장치(700)의 가장 안쪽의 진공 처리실(103)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 우측의 코너부(도면상 오른쪽 안쪽측의 코너부)에 배치된 가스 공급구에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 상의 밸브가 개방됨과 함께, 진공 반송 중간실(113)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 좌측의 코너부(도면상 왼쪽 앞쪽의 코너부)에 배치된 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브가 개방된다. 또한, 다른 코너부에 배치된 가스 도입구(124)에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 및 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브는 폐색된다.
또한, 제1 진공 반송실(104)에 있어서 진공 반송 중간실(111)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 우측의 코너부(도면상 오른쪽 안쪽측의 코너부)에 배치된 가스 공급구에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 상의 밸브가 개방됨과 함께, 진공 반송 중간실(111)이 게이트 밸브(120)를 통해 연결된 측벽의 전방에서 볼 때 수평 방향 좌측의 코너부(도면상 왼쪽 앞쪽의 코너부)에 배치된 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브가 개방된다. 또한, 제2 진공 반송실(110) 및 제3 진공 반송실(112)의 다른 코너부에 배치된 가스 도입구(124)에 연통된 퍼지 가스 라인(123) 및 배기구(125)에 연통된 배기 배관(122) 상의 밸브는 폐색된다.
이러한 퍼지 가스 라인(123) 및 배기 배관(122)의 개폐의 선택이 된 진공 처리 장치(700)의 퍼지 가스의 흐름은, 도면에 나타내는 화살표와 같이, 제3 진공 반송실(112) 내부에 개구된 퍼지 라인(123)의 가스 공급구로부터 당해 제3 진공 반송실(112) 내에 유입하고 진공 반송 로봇(108)을 사이에 두고 반대측에 배치된 배기 배관(122)에 연통하는 배기구(125)를 향하여 흘러서 배출된다. 한편, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에 있어서는, 제1 진공 반송실(104) 내부에 진공 반송 중간실(111)의 전방에서 볼 때 우측으로부터 도입되고, 진공 반송 중간실(111)을 지나 제2 진공 반송실(110) 내부를 진공 반송 중간실(111)의 전방에서 볼 때 좌측에 배기구(125)를 향하여 흐르도록 구성되어 있다.
이 경우, 제3 진공 반송실(112)에 있어서는, 진공 반송 로봇(108)이 반송 동작을 행하고 있을 경우에는, 가스의 흐름이 저해되어져, 효과적으로 제3 진공 반송실(112) 내부에 체류하는 오염 물질을 수송하는 것이 불가능해진다. 또한, 제2 진공 반송 중간실(113) 내부에 가스 흐름을 만들 수 없어, 제2 진공 반송 중간실(113)의 내부는 오염 물질이 체류하게 된다.
그래서, 본 예의 진공 처리 장치(700)는, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 이하와 같이 동작이 행해진다. 즉, 미리 정해진 스케줄의 정보에 의거하여, 임의의 일 그룹의 매수의 웨이퍼(126)에 대해서 당해 일 그룹의 웨이퍼(126)의 최초의 1매를 처리하는 운전이 개시되고 나서 최후의 1매가 처리될 때까지 요하는 시간의 절반의 시간에 달할 때까지, 도 7에 나타내는 가스 흐름이 되도록, 진공측 블록(102)의 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110), 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 각각의 밸브와 그 개폐가 선택된다. 다음으로, 당해 절반의 시간에 달한 것이 제어부에 있어서 검출된 후, 최후의 1매가 처리될 때까지는 도 8에 나타나는 가스의 흐름이 되도록, 당해 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 각각의 밸브와 그 개폐가 선택된다. 또한, 상기 절반의 시간에 한정되지 않고, 4분의 1의 시간마다 도 7 및 도 8의 가스의 흐름을 전환해도 되고, 최초에 선택되는 흐름은 도 7, 8에 나타낸 것 중 어느 것이어도 된다.
이러한 운전을 행함으로써, 가동 상태에 있는 동안에 복수의 진공 반송실 및 진공 반송 중간실에 체류하는 오염을 생기하는 원인이 되는 물질을 적극적으로 수송하여 배출할 수 있어, 제1 진공 반송 중간실(111) 및 제2 진공 반송 중간실(113) 내부를 청정하게 유지하는 것이 가능해진다. 또한, 도 3에 나타내는 실시예와 마찬가지로, 복수의 퍼지 라인(123)에 연통한 가스 도입구(124)로부터 진공 반송 중간실 내부에 가스에 의한 입자의 흐름이 형성되어도 되고, 더 만들기 위해 지령 장치에 의해 개방이 되도록 제어되는 진공 반송실에 구비된 퍼지 라인(123)은, 진공 반송실당 1개소만 개방이 되도록 제어되지만, 상기 퍼지 라인(123)이 구비된 면의 대면 또한 진공 반송 중간실에 가까운 진공 반송실의 면에도 퍼지 라인(123)이 구비되어 있을 경우, 2개소 동시에 개방이 되도록 제어되어도 된다.
한편, 어떤 진공 반송실에 구비된 퍼지 라인(123)으로부터, 같은 진공 반송실에 구비된 배기 배관(122)에 가스가 직접 흐르도록 제어되는, 즉 도 7의 제1 진공 반송실(104)에 있어서의 케이스에서는, 복수의 개소로부터 퍼지 가스를 도입하면, 진공 반송 로봇(108)으로 가스 흐름이 저해될 뿐만 아니라, 당해 진공 반송실의 내부에서 가스가 충돌하여 난류가 발생할 우려가 있다. 이 난류는, 상기 오염을 생기하는 물질의 수송을 방해할 뿐만 아니라, 체류하는 당해 물질을 감아 올려 웨이퍼(126)에 부착되는 것을 촉진하여 처리의 수율을 저하시키는 원인이 되기 때문에 바람직하지 못하다.
다음으로, 도 7 및 도 8에서는, 반도체 디바이스를 제조하는 운전이 행해져 적어도 1개의 진공 반송 로봇(108)이 동작하고 있는 운전에 있어서의 진공측 블록(102) 내의 가스의 흐름을 나타냈다. 도 9를 이용하여, 어느 진공 반송 로봇이 아이들 상태일 경우에, 진공측 블록(102) 내에 형성되는 가스의 흐름을 나타낸다. 도 9는, 도 1에 나타내는 본 발명의 실시예의 변형예에 따른 진공 처리 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타내는 횡단면도이다.
도 9의 구성에서는, 진공 반송 로봇(108) 중 어느 것도 웨이퍼(126)를 반송하는 동작을 행하고 있지 않고 정지해 있기 때문에, 그 동작에 의해 진공 반송 로봇(108)이 배치된 진공 반송실 내의 가스의 흐름이 저해되는 것이 저감된다. 또한, 게이트 밸브(120)는, 웨이퍼(126)의 반송이 되어 있지 않기 때문에 개폐 동작을 행하지 않고 진공 처리실(103) 내부에 개방된 게이트를 통해 진공 반송실 내의 가스나 생성물 등의 입자가 인입될 우려가 작다고 생각된다.
이러한 아이들 상태에 있어서, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110)에 구비된 모든 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 닫히고 제3 진공 반송실(112)에 구비된 적어도 1개의 퍼지 라인(123) 상의 밸브가 열린다. 또한 동시에, 제1 진공 반송실(104)에 구비된 적어도 1개의 배기 배관(122) 상의 밸브가 열리고, 제2 진공 반송실(110) 및 제3 진공 반송실(112)에 구비된 모든 배기 배관(122) 상의 밸브가 닫힌다. 특히, 도 9의 예에서는, 제3 진공 반송실(112)의 가장 안쪽의 진공 처리실(103)이 게이트 밸브(120)를 통해 접속된 측벽의 게이트의 진공 처리 장치(700)의 전방에서 볼 때 우측(도면상 오른쪽 윗측)의 코너부에 배치된 가스 도입구(124)에 연통한 퍼지 가스 라인(123) 상의 밸브가 개방되고, 제1 진공 반송실(104)의 로크실(105)이 게이트 밸브(120)를 통해 접속된 측벽의 게이트의 진공 처리 장치(700)의 전방에서 볼 때 좌측(도면상 왼쪽 아래측)의 코너부에 배치된 배기구(125)에 연통한 배기 배관(122) 상의 밸브가 개방된다. 또한, 이 상태에서, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110), 제3 진공 반송실(112)과 이들 사이에 배치된 진공 반송 중간실(111, 113)이 이들을 구성하는 진공 용기가 연결되고 연통되어 진공 반송 유닛으로서 구성되고, 내부의 1개의 밀폐된 공간 내외가 기밀하게 구획된다.
이 상태에서의 가스의 흐름은, 도 9에 모식적으로 나타내는 화살표와 같이, 제3 진공 반송실(112)과 제1 진공 반송실(104) 사이에서 제1 진공 반송 중간실(111) 및 제2 진공 반송실(110), 제2 진공 반송 중간실(113)을 통해 진공 반송 유닛 내부의 가스 도입구(124) 및 배기구(125)의 조합 중에서, 진공 처리 장치(700)를 전방에서 볼 때 전후 방향으로 이들 공간을 지나는 중심의 축에 대해서 수평 방향 좌우의 측에 각각 배치된, 최장 거리인 것이 된다. 이 흐름은, 진공 반송 유닛 내부의 공간으로서, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110) 및 제3 진공 반송실 내에 배치된 각 진공 반송 로봇(108)의 주위의 내측벽과의 사이의 공간을 흘러 제1 진공 반송 중간실(111) 및 제2 진공 반송 중간실(113)에 가스 흐름을 만들고, 이들의 내부에 체류하기 쉬운 웨이퍼(126)의 오염을 생기하는 원인이 되는 입자를 효율적으로 배기구(125)까지 수송하는 것이 가능해진다. 도 5에 나타내는 가스 흐름에 있어서 수송할 수 없었던, 상기 반송 용기의 내부에 체류하는 오염 물질을 적극적으로 수송하여 배출함으로써, 상기 반송 용기 모두를 청정하게 유지하는 것이 가능해진다.
본 실시예에서는, 도 7에 나타내는 제1 진공 반송실(104)에 구비된 배기 배관(122) 및 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123)이 개방이 되어 가스의 흐름이 형성되고 있지만, 반대로, 제1 진공 반송실(104)에 면하는 가스 도입구(124) 및 제3 진공 반송실(112)에 면하는 배기구(125)가 상기 전후 방향의 중심축의 수평 방향 좌우측에 배치되어, 제1 진공 반송실(104)에 연통된 퍼지 라인(123)으로부터 제1 진공 반송 중간실(111), 제2 진공 반송실(110) 및 제2 진공 반송 중간실(113)을 통해 제3 진공 반송실(112)의 배기 배관(122)까지 흐르도록, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 각 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122) 상의 밸브가 조절되어도 된다.
또한, 도 9의 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123)의 가스 도입구(124)는 1개소만이 개방되지만, 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 라인(123)의 복수의 가스 도입구(124)로부터 퍼지 가스가 도입되어도 된다. 이 경우에도, 본 예의 전후 방향의 중심축에서 좌우측에 가스 도입구(124)와 배기구(125) 중 어느 1개가 배치되어 있고, 복수의 가스 도입구(124)는 상기 축의 좌우 방향의 한쪽에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성의 경우, 진공 반송 유닛을 전후 방향으로 그 내부를 통과하는 가스의 양이 커짐으로써, 입자를 수송하는 효과를 더 높이는 것이 가능해진다.
도 7 내지 도 9에 나타내는 가스의 흐름의 예는, 다음 2개의 패턴에 의해 도시하지 않은 제어부로부터의 지령 신호에 의해 전환되어 실시된다. 제1 패턴은, 진공 반송 중간실(111) 혹은 진공 반송 중간실(113) 내부의 청소가 필요해지기 전에, 진공 반송 로봇(108)을 아이들 상태로 전환하는 것이 가능할 경우이다. 이 패턴에서는, 진공 반송 중간실(111) 또는 진공 반송 중간실(113) 중 어느 쪽의 내부의 청소가 필요해지기 전에, 임의의 진공 처리 유닛(103)의 청소 등의 보수, 점검을 행하는 기준이 되는 소정의 누적 처리 시간 혹은 웨이퍼(126)의 처리 매수에 달한 것이 제어부에 의해 검출되면, 제어부로부터의 지령 신호에 의해 진공 반송 로봇이 아이들 상태가 되어, 제1 진공 반송실(104) 및 제2 진공 반송실(110), 제3 진공 반송실(112)에 구비된 퍼지 가스 라인(123)과 배기 배관(122)의 선택이 전환되어, 제1 진공 반송실(104), 제2 진공 반송실(110), 제3 진공 반송실(112) 및 진공 반송 중간실(111), 진공 반송 중간실(113)로 구성되는 진공 반송 유닛 내부에의 퍼지 가스의 도입 및 배기, 소위 퍼지 가스의 흡배기에 의해 형성되는 입자의 흐름의 패턴이, 그때까지의 도 7 또는 도 8에 나타낸 적어도 어느 1개의 진공 반송 로봇(108)이 동작 중인 것으로부터 도 9에 나타낸 것 중 어느 진공 반송 로봇(108)이 아이들 상태인 것으로 전환된다.
제2 패턴은, 미리 정해진 진공 반송 중간실(111) 또는 진공 반송 중간실(113) 내부의 청소를 행해야 할 오염의 한계에 달해 있지 않으며 또한 진공 처리 장치(700)의 가동 또는 웨이퍼(126)의 처리의 계속이 예정되어 있을 경우를 포함하는 것이다. 이것은, 사용자가 미리 설정한 진공 배송 중간실(111) 또는 진공 반송 중간실(113)의 청소를 행하는 오염 혹은 오염을 생기하는 물질의 양을 나타내는 파라미터(예를 들면 밀도나 부착 또는 퇴적의 양)의 값이 한도에 달해 있지 않는 것이 이들을 검지하는 센서로부터의 신호에 의거하여 제어부에 의해 검출된 상태에서, 어느 진공 처리 유닛(103)에 대해서도 미리 정해진 누적 처리 시간 내지 웨이퍼(126)의 처리 매수에 달해도 카세트대(107) 상에 재치된 카세트 내부에 수납된 모든 미처리 웨이퍼(126)가 어느 진공 처리실(103)에 의해 처리될 때까지 당해 웨이퍼(126)의 처리에 의한 반도체 디바이스의 제조를 위한 운전을 계속한 후, 제어부로부터의 지령 신호에 의거하여 진공 반송 유닛에 있어서의 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 선택과 이에 따른 퍼지 가스의 흡배기로부터 형성되는 흐름의 패턴이 도 7 또는 8에 나타낸 것으로부터 도 9에 나타낸 것으로 전환되어, 당해 아이들 상태의 퍼지 가스의 흡배기가 미리 정해진 시간 이것이 계속된다.
제어부는, 카세트대(107) 상에 실린 각 카세트 내부에 수납된 모든 웨이퍼(126)의 처리가 종료된 후에 다른 카세트 내의 웨이퍼(126)의 처리를 개시하기 전에, 상기의 사용자가 미리 설정한 진공 처리 유닛(103)의 누적 처리 시간 혹은 웨이퍼(126)의 매수에 달하는지의 여부를 판정한다. 제어부에 있어서 달한다고 판정되었을 경우에는, 당해 다른 카세트 내의 웨이퍼(126)의 처리가 개시되기 전에, 퍼지 가스의 진공 반송 유닛에 있어서의 퍼지 라인(123) 및 배기 배관(122)의 선택과 이에 따른 퍼지 가스의 흡배기로부터 형성되는 흐름의 패턴이, 도 7 또는 8에 나타난 것으로부터 도 9에 나타낸 것으로 전환되어 미리 정해진 시간 이것이 계속된다.
상기의 예에 있어서, 진공 반송 유닛 내에 배치된 가스 도입구(124) 및 배기구(125)가 배치된 위치는, 이들 개구의 중심축의 방향에 따라서도 영향받는다. 즉, 이들 가스 도입구(124)로부터의 퍼지 가스가 도입되는 방향 및 배기구(125)에 유입하는 입자의 흐름의 방향은, 진공 반송 로봇(108)의 주위의 진공 반송실 내의 극간 및 진공 반송 중간실 내의 웨이퍼(126)가 재치되는 수납 공간 내의 흐름을 고려하여 선택된다. 한편, 본 실시예에서는, 각 진공 반송실을 구성하는 진공 용기는 적어도 상방에서 볼 때 각각이 동일하거나 또는 동등하다고 간주할 수 있을 정도로 근사한 구성을 구비하고 있으며, 진공 반송 로봇(108)의 중심의 회전축의 상하 방향에서 볼 때 당해 축을 지나는 진공 처리 장치(100, 700)의 전후 방향 및 수평 방향에 대해서 대칭, 또는 상기 상하의 회전축 둘레에 축 대칭으로 배치되어 있다.
단, 진공 반송 로봇(108)은 상기 상하 축 둘레에 대해서 대칭으로 구성되어 있지 않기 때문에, 임의의 진공 반송 로봇(108)이 예를 들면 아이들 상태여도 이것이 배치된 진공 반송실 내에 공급되는 가스의 흐름은 진공 반송 유닛의 각 게이트 의 중심을 지나는 전후 방향의 축의 수평 방향 좌우측으로 대칭되기는 어렵다. 이 때문에, 상기 전후 방향의 축에 대해서 좌우 방향의 어느 측의 진공 반송 유닛 내의 공간에, 가스나 반응 생성물의 입자가 체류하여 웨이퍼(126)의 오염을 생기할 우려가 있다.
이 과제를 해결하기 위해, 상기 실시예 또는 변형예에 있어서, 가스 도입구(124) 및 배기구(125) 중 적어도 어느 것은 상기 전후 방향의 축에 대해서 좌우 대칭으로 배치되거나, 적어도, 축의 양측에 배치된 가스 도입구(124) 및 배기구(125) 중 적어도 어느 하나는 상방에서 볼 때 당해 축의 측을 향해 배치된다. 특히는, 각 진공 반송실의 4개 코너부의 내벽면에 배치된 가스 도입구(124)는, 상방에서 볼 때 각 게이트의 중심 또는 진공 반송 로봇(108)의 중심을 지나는 좌우 방향 및 전후 방향의 각각의 축에 대해서 45도의 동(同)각도를 이루도록 배치되어 있다. 즉, 배기구(125) 특히는 가스 도입구(124)의 개구의 중심의 축이 진공 반송 유닛(108)의 중심의 회전축이 있는 방향을 향해 배치되고, 퍼지 가스는 당해 방향을 향하여 도입되거나, 혹은 진공 반송실 내의 입자는 당해 방향으로부터 배기구(125)에 유입한다. 또한, 상기 전후 방향의 축 어느 측에 가스 도입구(124)가, 다른쪽 측에 배기구(125)가 배치되어 가스의 흐름이 형성된 도 5 또는 9의 예와 전후 방향의 축에 대해서 반대의 패턴, 즉, 진공 반송 유닛 내부에 있어서 각각의 전후 방향의 축의 좌측으로부터 퍼지 가스가 도입되고 우측으로부터 배기되는 패턴이 형성되어도 되고, 더욱이는, 앞쪽측으로부터 안쪽측을 향하여 흐름의 패턴이 형성되어도 된다.
즉, 상기 본 실시예, 변형예에 있어서, 진공 반송 유닛 내부의 퍼지 가스의 흡배기에 의한 흐름의 전후 방향의 축을 가로지르는 패턴은 크게 나누어 전후 좌우의 측에서 4개 형성 가능하게 구성된다. 이들 퍼지 가스의 흡배기가 진공 반송 로봇(108)의 아이들 상태에 있어서 적절하게 선택하거나, 혹은 소정의 시간으로 전환하여 형성되어도 되고, 상기의 구성에 의해, 진공 처리 장치(100, 700)의 진공측 블록(102) 내의 웨이퍼(126)가 오염되는 원인의 물질의 입자를 보다 효율적으로 배출하여, 처리의 수율을 향상시킬 수 있다. 그리고, 장치 내부의 청소의 빈도를 저감시키는 것이 가능해져, 진공 처리 장치(100, 700)의 운전의 효율을 향상시킬 수 있다.
100: 진공 처리 장치 101: 대기측 블록
102: 진공측 블록 103: 진공 처리실
104: 제1 진공 반송실 105: 로크실
106: 케이싱 107: 카세트대
108: 진공 반송 로봇 109: 대기 반송 로봇
110: 제2 진공 반송실 111: 제1 진공 반송 중간실
112: 제3 진공 반송실 113: 제2 진공 반송 중간실
120: 게이트 밸브 121: 드라이 펌프
122: 배기 배관 123: 퍼지 라인
124: 가스 도입구 125: 배기구
126: 웨이퍼

Claims (6)

  1. 감압된 내부에 처리 대상인 웨이퍼가 반송되는 반송실을 구비하여 전후 방향으로 나란히 배치된 2개의 진공 반송 용기와, 이들 진공 반송 용기 사이에 연결되어 배치되고 각각의 진공 반송실끼리와 연통(連通)되는 중간실을 내부에 구비한 중간실 용기와, 상기 2개의 진공 반송 용기의 각각에 연결되고 내부에 상기 웨이퍼가 반송되어 플라스마를 이용하여 처리되는 처리실을 구비한 복수의 진공 처리 용기를 구비하고, 상기 복수의 진공 처리 용기의 각각에 상기 웨이퍼를 반송하여 처리하는 진공 처리 장치의 운전 방법으로서,
    상기 진공 반송 용기의 각각은, 각각의 진공 반송실의 내부에, 상기 웨이퍼를 반송하는 반송 로봇과, 전후 방향에 대해서 상기 반송 로봇의 후방의 당해 진공 반송실의 내벽에 개구를 갖고 이 진공 반송실의 중심측을 향하여 가스를 공급하는 적어도 1개의 공급구 및 상기 반송 로봇의 전방의 당해 진공 반송실의 내벽에 개구를 갖고 상기 가스를 배기하는 적어도 1개의 배기구로서 상기 중간실의 중심을 지나는 전후의 축 방향에 대해서 좌우 중 어느 하나의 측에 각각이 배치된 가스의 공급구 및 배기구를 구비하고,
    상기 2개의 진공 반송 용기의 상기 공급구 및 배기구 중 전후 방향에 대해서 상기 반송 로봇 사이에 배치된 공급구 및 배기구의 쌍 사이에서 가스를 공급하고 상기 중간실을 통과시켜 배기하는 제1 운전과, 상기 2개 반송 로봇의 동작이 정지해 있는 동안에 상기 2개의 진공 반송 용기의 상기 공급구 및 배기구 중 전후 방향에 대해서 상기 반송 로봇을 사이에 둔 상기 공급구 및 배기구의 쌍 사이에서 가스를 공급하고 상기 중간실을 통과시켜 배기하는 제2 운전을 반복하는 진공 처리 장치의 운전 방법.
  2. 감압된 내부에 처리 대상인 웨이퍼가 반송되는 반송실을 구비하여 전후 방향으로 나란히 배치된 2개의 진공 반송 용기와, 이들 진공 반송 용기 사이에 연결되어 배치되고 각각의 진공 반송실끼리와 연통되는 중간실을 내부에 구비한 중간실 용기와, 상기 2개의 진공 반송 용기의 각각에 연결되어 내부에 상기 웨이퍼가 반송되어 플라스마를 이용하여 처리되는 처리실을 구비한 복수의 진공 처리 용기를 구비하고, 상기 복수의 진공 처리 용기의 각각에 상기 웨이퍼를 반송하여 처리하는 진공 처리 장치의 운전 방법으로서,
    상기 진공 반송 용기 중, 전방의 진공 반송 용기의 진공 반송실의 내부에, 상기 웨이퍼를 반송하는 제1 반송 로봇과, 전후 방향에 대해서 상기 제1 반송 로봇의 후방의 당해 진공 반송실의 내벽에 개구를 갖고 이 진공 반송실의 중심측을 향하여 가스를 공급하는 제1 공급구 및 상기 반송 로봇의 전방의 당해 진공 반송실의 내벽에 개구를 갖고 상기 가스를 배기하는 적어도 제1 배기구로서 상기 중간실의 중심을 지나는 전후의 축 방향에 대해서 좌우 중 어느 하나의 측에 각각이 배치된 가스의 제1 공급구 및 배기구를 구비하고,
    상기 진공 반송 용기 중, 후방의 진공 반송 용기의 진공 반송실의 내부에, 상기 웨이퍼를 반송하는 제2 반송 로봇과, 전후 방향에 대해서 상기 제2 반송 로봇의 후방의 당해 진공 반송실의 내벽에 개구를 갖고 이 진공 반송실의 중심측을 향하여 가스를 공급하는 제2 공급구 및 상기 반송 로봇의 전방의 당해 진공 반송실의 내벽에 개구를 갖고 상기 가스를 배기하는 적어도 제2 배기구로서 상기 중간실의 중심을 지나는 전후의 축 방향에 대해서 좌우 중 어느 하나의 측에 각각이 배치된 가스의 제2 공급구 및 배기구를 구비하고,
    상기 제1 공급구 및 제2 배기구의 쌍 사이에서 가스를 공급하고 상기 중간실을 통과시켜 배기하는 제1 운전과, 상기 제1 및 제2 반송 로봇의 동작이 정지해 있는 동안에 상기 제2 공급구 및 제1 배기구의 쌍 사이에서 가스를 공급하고 상기 중간실을 통과시켜 배기하는 제2 운전을 반복하는 진공 처리 장치의 운전 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 2개의 진공 반송 용기 각각이, 상기 공급구 및 배기구를 상방에서 볼 때 각각의 상기 반송 로봇을 사이에 둔 각각의 진공 반송실의 대각(對角)의 각부(角部)에 배치된 진공 처리 장치의 운전 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 운전에 있어서 상기 배기구의 수와 같거나 큰 수의 상기 가스의 공급구가 이용되는 진공 처리 장치의 운전 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 운전에 있어서 상기 2개의 진공 반송실 각각과 연결된 상기 진공 처리 용기와의 사이가 기밀하게 봉지되고 당해 2개의 진공 반송실 및 상기 중간실이 연결된 1개의 실(室)로서 구획되는 진공 처리 장치의 운전 방법.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 운전이, 상기 진공 처리 용기의 내부의 메인터넌스 중에 실시되는 진공 처리 장치의 운전 방법.
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