KR20170096592A - 물품 반송 장치 및 이것을 구비한 물품 반송 설비 - Google Patents

물품 반송 장치 및 이것을 구비한 물품 반송 설비 Download PDF

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Abstract

반송 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하여 반송 경로를 따라 반송하는 반송 기구부(D) 및 그 일부 또는 전부가 수용되는 수용 공간을 형성하는 하우징(S)을 포함하고, 하우징(S)은 지지판(21)과 브래킷(25)과 하우징 패널(22)을 포함하고, 지지판(21)은 반송 경로를 따라 연장되는 판형 부재로서 반송 기구부(D)를 아래쪽으로부터 지지하고, 브래킷(25)은 하단부가 지지판(21)에 장착되고, 또한 폭 방향으로 수용 공간의 외측에 있어서 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 복수 배열되는 상태로 설치되고, 하우징(S)은, 브래킷(25)에 착탈 가능한 하우징 패널(22)을 브래킷(25)에 장착하고 있지 않은 상태에 있어서, 브래킷(25)의 상하 방향의 치수에 대응하는 치수로 설정되고 수용 공간의 내부와 외부를 연통시키는 연통부(20K)를 구비하고 있다.

Description

물품 반송 장치 및 이것을 구비한 물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT DEVICE AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY INCLUDING SAME}
본 발명은, 반송(transport) 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하여 상기 물품을 반송 경로를 따라 반송하는 반송 기구부와, 상기 반송 기구부의 일부 또는 전부가 수용되는 수용 공간을 형성하는 하우징(housing)을 구비한 물품 반송 장치, 및 이것을 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송 장치로서, 일본 공개특허 제2011-157184호 공보(특허 문헌 1)에는, 물품 보관용의 스토커(stocker)에서의 입출고(入出庫)용의 컨베이어가 기재되어 있다.
특허 문헌 1의 컨베이어는, 특허 문헌 1의 도 5에 나타낸 바와 같이, 반송 방향에서 볼 때에 있어서의 4코너에, 장척형(長尺形)으로 형성되어 길이 방향이 반송 방향을 따른 프레임재가 배치된 하우징을 구비하고 있다. 특허 문헌 1에는, 자세한 것은 기재되어 있지 않지만, 이와 같은 하우징을 구비한 컨베이어의 종래예로서, 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같은 컨베이어가 알려져 있다. 즉, 컨베이어는, 반송 방향에서 볼 때에 있어서의 4코너에, 장척형으로 형성되어 길이 방향이 반송 방향을 따른 프레임재(200Y)가 배치되고, 상기 프레임재(200Y)에, 바닥판(201), 측판(202), 및 상면판(203)이 장착된 하우징을 구비하고 있다. 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 컨베이어에는, 상기 하우징의 내부의 수용 공간을 반송 방향을 따라 주행하는 주행 대차(travel carriage)(D)가 설치되고, 주행 대차(D)의 상단(上端)에 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 지지체(54)가 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 하우징의 상면에는 개구부(200G)가 형성되고, 지지체(54)가 그 개구부를 통해 위쪽으로 돌출되도록 구성되어 있다. 이와 같은 컨베이어에 있어서 반송 기구부에 대한 유지보수를 행하는 경우에는, 하우징의 상면에 형성된 개구부로부터 반송 기구부에 액세스하는 경우가 많다.
일본 공개특허 제2011-157184호 공보
그런데, 전술한 컨베이어의 위쪽에, 평면에서 볼 때 컨베이어의 반송 경로와 교차하는 레일과, 상기 레일을 따라 주행하는 물품 반송용(搬送用)의 이동체가 설치되고, 상기 컨베이어와의 사이에서 물품을 수수(授受)하는 설비가 존재한다. 이와 같은 설비에서는, 작업자가 컨베이어의 유지보수를 행할 때, 하우징의 상면에 형성된 개구를 통해 작업한다. 그러므로, 작업자와 레일을 따라 이동하는 이동체와의 접촉이나 충돌을 방지하기 위해, 작업자가 컨베이어의 유지보수를 행하는 동안에는, 이동체의 주행을 정지하지 않으면 안된다. 이와 같이, 유지보수의 기간 중에 이동체를 정지시키면, 설비의 가동(稼動) 효율이 저하될 우려가 있다.
상기와 같은 문제에 대하여, 컨베이어의 하우징의 상면에서가 아니고, 컨베이어의 하우징의 측면으로부터 컨베이어의 유지보수를 행하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 상기한 바와 같이, 특허 문헌 1과 같은 컨베이어는, 수용 공간과 하우징 외부와의 사이에 상하로 나란히 반송 방향을 따른 프레임재가 배치되어 있으므로, 작업자가 하우징의 측방으로부터 수용 공간에 손을 삽입하여 반송 기구부 등에 대한 작업을 행하기 위해서는, 상하로 배열되는 프레임재의 사이에 작업자가 손을 삽입하는 데 충분한 상하 폭의 연통부를 필요로 한다. 그러나, 그와 같은 연통부를 상하로 배열되는 프레임재의 사이에 형성하기 위해서는, 상하로 배열되는 프레임재를 크게 이격시키지 않으면 안되므로, 하우징의 상하 방향의 치수가 커지게 된다.
한편, 특허 문헌 1과 같은 컨베이어에 있어서는, 상기 컨베이어가 설치되는 설비의 상하 방향의 스페이스를 유효하게 이용하기 위해, 하우징의 상하 방향의 치수를 최대한 작게 하는 것이 요구되는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 상기한 바와 같이 상하로 배열되는 프레임재를 구비한 하우징에 있어서, 상기 하우징의 상하 방향의 치수를 작게 하면, 연통부의 상하 방향의 폭을 충분히 취하지 못하여, 작업자가 유지보수할 때, 하우징의 측방으로부터 수용 공간에 손을 삽입하기 어려워, 하우징의 측방으로부터의 유지보수를 행하기 어렵다.
그래서, 상하 방향의 치수를 소형화할 수 있고, 또한 하우징의 측방으로부터의 유지보수를 적절히 행할 수 있는 물품 반송 장치, 및 그와 같은 물품 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비의 실현이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 관한 물품 반송 장치는, 반송 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하여 상기 물품을 반송 경로를 따라 반송하는 반송 기구부와, 상기 반송 기구부의 일부 또는 전부가 수용되는 수용 공간을 형성하는 하우징을 구비한 것으로서,
상기 하우징은, 지지판과 브래킷(bracket)과 하우징 패널을 포함하고, 상기 지지판은, 상기 반송 경로를 따라 연장되어 있는 판형 부재로서 상기 반송 기구부를 아래쪽으로부터 지지하고 있고, 상기 반송 경로를 따른 방향으로 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 브래킷은, 하단부가 상기 지지판에 장착되고, 또한 상기 폭 방향에서, 상기 수용 공간의 외측에 있어서, 상기 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 복수 배열되는 상태로 설치되고, 상기 하우징 패널은, 상기 브래킷에 착탈(着脫) 가능하며, 상기 하우징은, 상기 하우징 패널을 상기 브래킷에 장착하고 있지 않은 상태에 있어서, 상기 수용 공간의 내부와 외부를 연통시키는 연통부를 구비하고, 상기 연통부의 상하 방향의 치수는, 상기 브래킷의 상하 방향의 치수에 대응하는 치수로 설정되어 있는 점에 특징을 가진다.
즉, 하우징은, 지지판과 브래킷과 하우징 패널을 구비하여 구성되어 있지만, 이 중 반송 경로를 따라 연장되어 있는 판형 부재로 이루어지는 지지판이 반송 기구부를 아래쪽으로부터 지지하고 있고, 브래킷은 하우징의 바닥부를 형성하는 지지판 이외의 외주(外周), 특히 하우징의 측부를 형성하는 하우징 패널을 지지하게 된다. 그리고, 지지판은, 전체가 단일의 평판부로서 구성되어 있어도, 상하 방향으로 관통하는 단일 또는 복수의 관통부를 구비하여 구성되어 있어도 된다.
브래킷은, 그 하단부가 지지판에 장착되는 동시에, 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 설치되므로, 반송 경로를 따른 방향으로 배열되는 브래킷의 사이에는, 브래킷이 존재하지 않는 영역이 형성된다.
따라서, 하우징의 측부를 형성하는 하우징 패널을 브래킷으로부터 분리해 냄으로써, 하우징의 측부에 브래킷이 존재하지 않는 영역에 대응한 연통부가 형성된다. 이 연통부는, 상하 방향의 치수가 브래킷의 상하 방향의 치수에 대응하고, 반송 경로를 따른 방향의 치수가 반송 경로를 따른 방향으로 배열되는 브래킷의 사이의 거리로 되어 있다.
따라서, 작업자가 반송 기구부에 대한 유지보수 작업을 행하는 경우에는, 하우징 패널을 브래킷으로부터 분리해 내는 것에 의해, 연통부로부터 수용 공간에 손을 삽입하는 것이 가능해진다.
한편, 지지판과 브래킷이 하우징의 강도 부재로 되므로, 반송 경로를 따른 장척형의 프레임재를 상하로 배열하지 않고 하우징을 구성할 수 있다. 그러므로, 연통부로서 작업자가 손을 삽입하는 데 충분한 상하 치수의 것을 형성했다고 해도, 하우징의 상하 방향의 치수의 대형화를 억제할 수 있다.
이와 같이, 본 특징적 구성에 의하면, 상하 방향의 치수를 소형화하면서, 측면 측으로부터의 유지보수를 적절히 행할 수 있는 물품 반송 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 반도체 제조 공장에 있어서 영역 간 컨베이어가 설치되는 부분을 나타낸 평면도
도 2는 반도체 제조 공장에 있어서 영역 간 컨베이어가 설치되는 부분을 나타낸 측면도
도 3은 영역 간 컨베이어의 반송 방향 한쪽 측의 단부(端部)를 나타낸 평면도
도 4는 영역 간 컨베이어의 반송 방향 한쪽 측의 단부를 나타낸 사시도
도 5는 영역 간 컨베이어의 하우징 및 그 내부의 구성을 설명하는 정면에서 볼 때의 단면도(斷面圖)
도 6은 영역 간 컨베이어의 하우징 및 그 내부의 구성을 설명하는 측면에서 볼 때의 단면도
도 7은 대차(臺車; carriage)의 구성을 설명하는 평면도
도 8은 하우징의 구성을 설명하는 분해사시도
도 9는 측부의 하우징 패널을 분리하여 유지보수를 행하고 있는 상태를 설명하는 도면
도 10은 종래의 영역 간 컨베이어를 나타낸 반송 방향에서 볼 때의 단면도
도 11은 종래의 영역 간 컨베이어의 하우징의 일부를 나타낸 분해사시도
이하, 본 발명의 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비를 반도체 제조 공장에 적용한 경우의 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시형태의 반도체 제조 공장에는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수의 공정 영역(제1 공정 영역 Fb1 및 제2 공정 영역 Fb2)의 각각에 설정된 이동 경로를 따라 천정(C)으로부터 현수(縣垂; suspending)된 상태로 설치된 레일(R)과, 레일(R)을 따라 주행 이동하는 천정 반송차(搬送車; transport vehicle)(V)를 구비한 천정 반송 설비가 설치되어 있다.
레일(R)은, 복수의 처리 장치의 사이에서 반송 대상의 물품인 용기(B)(반도체 기판 반송용 FOUP 라고 하는 용기)를 반송하기 위해, 이들 처리 장치의 배치 개소(箇所)를 경유하여 설치된다. 이와 같은 레일(R)로서, 제1 공정 영역 Fb1 내의 이동 경로를 따른 레일(R1)과, 제2 공정 영역 Fb2 내의 이동 경로를 따른 레일(R2)이 설치되어 있다. 또한, 천정 반송차(V)로서, 레일(R1)을 따라 주행 이동 가능한 천정 반송차(V1)와, 레일(R2)을 따라 주행 이동 가능한 천정 반송차(V2)가 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 공정 영역 Fb1의 천정(C1)과 제2 공정 영역 Fb2의 천정(C2)은 상이한 높이로 설정되어 있고, 레일(R1) 및 레일(R2)도 상이한 높이로 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 레일(R1)과 레일(R2)은 서로 접속되어 있지 않다. 그러므로, 천정 반송차(V1)는 레일(R2)을 따라 주행하지 못하고, 또한 천정 반송차(V2)는 레일(R1)을 따라 주행할 수 없다. 그래서, 도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(V1)와 천정 반송차(V2)와의 사이에서 용기(B)를 받아건네기 위한 영역 간 컨베이어(Y)가 설치된다. 영역 간 컨베이어(Y)는, 레일(R1)의 아래쪽과 레일(R2)의 아래쪽에 걸쳐 설치된다. 본 실시형태에서는, 영역 간 컨베이어(Y)로서, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)와의 2개가 설치되어 있다.
본 실시형태에서는, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)가 제1 물품 반송 장치에 상당하고, 제2 영역 간 컨베이어(Y2)가 제2 물품 반송 장치에 상당한다. 또한, 도 1∼도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)는, 각각의 반송 경로가 직선형으로서 서로 평행하게 배치되어 있는 동시에, 상하 방향의 같은 높이에 있어서 서로 인접하도록 배치되어 있다.
천정 반송차(V)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 레일(R) 상을 전동(轉動)하는 주행륜(11W)을 구비하여 레일(R)을 따라 주행하는 주행부(11)와, 주행부(11)에 현수(suspend) 상태로 지지되고 레일(R)보다도 아래쪽에 위치하는 본체부(12)와, 본체부(12)에 지지된 승강 구동부(13)로부터 와이어로 현수(懸垂)되어, 승강 구동부(13)의 구동에 의해 승강 이동하는 승강체(14)를 구비하고 있다. 또한, 승강체(14)의 하단(下端)에는, 반송 대상의 용기(B)의 상단에 설치된 플랜지(Bf)를 파지(把持) 가능한 파지부(把持部)가 설치되어 있다.
천정 반송차(V)는, 용기(B)를 반송하는 경우에는, 파지부에 의해 플랜지(Bf)를 파지하여 승강체(14)를 상승 이동시켜, 천정 반송차(V)의 주행 방향에서 볼 때 본체부(12)와 중복되는 반송용 위치에 용기(B)를 위치시킨 상태에서 주행부(11)를 주행시킨다. 또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)의 반송 경로와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)의 반송 경로와의 각각은, 상하 방향에서 볼 때 천정 반송 설비의 레일(R)과 교차하는 교차 부위를 가지고 있다. 천정 반송차(V)는, 용기(B)를 후술하는 영역 간 컨베이어(Y)와의 사이에서 수수하는 경우에는, 교차 부위에 있어서 승강체(14)를 승강시키게 된다. 본 실시형태에 있어서는, 영역 간 컨베이어(Y)가 물품 반송 장치에 상당하고, 천정 반송차(V)가, 영역 간 컨베이어(Y)의 반송 경로의 위쪽에 설치된 레일(R)을 따라 이동하는 이동체에 상당한다. 또한, 본 실시형태에서는, 주로 본체부(12)가 레일(R)보다도 아래쪽에 위치하는 레일 하방 부분에 상당한다. 즉, 본 실시형태에서는, 물품 반송 설비가, 천정 반송차(V)를 구비하는 천정 반송 설비와 영역 간 컨베이어(Y)를 구비하여 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(V)는, 레일(R)보다도 아래쪽에 위치하는 본체부(12)(레일 하방 부분)를 가지고 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)는, 반송 경로를 따른 방향으로 위치를 어긋나게 하여 설치되어 있다. 즉, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)는 중복 부분(E2)과 비중복 부분(E1a)을 가지고 있고, 제2 영역 간 컨베이어(Y2)는 중복 부분(E2)과 비중복 부분(E1b)을 가지고 있다. 즉, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)와의 각각은, 반송 경로를 따른 방향에 있어서 중복 부분(도 1에 있어서 E2로 나타내는 부분)과 비중복 부분(도 1에 있어서 E1a 및 E1b로 나타내는 부분)을 가지고 있다.
다음에, 영역 간 컨베이어(Y)의 구성에 대하여 설명한다. 영역 간 컨베이어(Y)로서는 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)와의 2개가 있지만, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)는 같은 구조이므로, 이하 모아서 영역 간 컨베이어(Y)로서 설명한다. 영역 간 컨베이어(Y)는, 도 3∼도 6에 나타낸 바와 같이, 용기(B)를 반송하는 주행 대차(D)를 수용하는 수용 공간(K)과, 상기 수용 공간(K)의 주위를 포위하는 상태로 수용 공간(K)을 형성하는 하우징(S)을 구비하고 있다.
하우징(S)은, 도 4∼도 6에 나타낸 바와 같이, 하우징(S)의 바닥부에 위치하여 주행 대차(D) 등을 지지하는 지지판(21)과, 하단부가 지지판(21)에 장착되는 브래킷(25)과, 브래킷(25)에 장착되는 측판(22) 및 상면판(23)과, 브래킷(25)에 대하여 착탈 가능한 단부 폐색체(閉塞體)(24)를 구비하고 있다. 단부 폐색체(24)는, 브래킷(25)에 대한 착탈에 의해 반송 경로를 따른 방향에서의 수용 공간(K)의 단부를개구하는 개구 상태와 폐색하는 폐색 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 측판(22)은, 하우징 패널에 상당한다. 단부 폐색체(24)는, 단부 폐색부에 상당한다. 지지판(21)은, 반송 경로를 따라 연장되는 판형 부재에 의해 구성되어 있다. 그리고, 지지판(21)은, 영역 간 컨베이어(Y)의 반송 경로를 따른 방향의 전체 길이에 걸쳐, 단일의 부재로 구성해도 되고, 복수의 부재를 연결하여 구성해도 된다. 또한, 단부 폐색체(24)에 의해 형성되는 수용 공간(K)의 단부의 개구는, 후술하는 주행 대차(D)가 통과할 수 있는 크기로 설정되어 있다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 브래킷(25)은, 반송 경로를 따른 방향에서 볼 때 상하 방향을 따르는 제2 부분(25b)과, 제2 부분(25b)의 하단으로부터 수평 방향의 한쪽 측으로 연장되는 제1 부분(25a)과, 제2 부분(25b)의 상단으로부터 수평 방향의 한쪽 측으로 연장되는 제3 부분(25c)을 구비하고 있다. 그리고, 본 실시형태의 브래킷(25)은, 장척형으로 형성된 1개의 금속판의 양 단부를 동일한 방향으로 직각으로 절곡하여, 절곡된 양 단부가 제1 부분(25a) 및 제3 부분(25c)으로 되도록 형성되어 있다. 제1 부분(25a)에는 지지판(21)을 장착하기 위한 암나사공이 형성되어 있다. 마찬가지로, 제2 부분(25b)에는 측판(22)을 장착하기 위한 암나사공이 형성되고, 제3 부분(25c)에는 상면판(23)을 장착하기 위한 암나사공이 형성되어 있다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 지지판(21)에 있어서 제1 부분(25a)의 암나사공에 대응하는 위치에는 관통공이 형성되고, 이 관통공을 통하여 제1 부분(25a)의 암나사공과 나사결합되는 수나사를 나사결합시키는 것에 의해, 지지판(21)에 브래킷(25)이 장착된다.
마찬가지로, 상면판(23)에 있어서 제3 부분(25c)의 암나사공에 대응하는 위치에는 관통공이 형성되고, 이 관통공을 통하여 제3 부분(25c)의 암나사공과 나사결합되는 수나사를 나사결합시키는 것에 의해, 브래킷(25)에 상면판(23)이 장착된다.
상면판(23)은, 도 3, 도 4, 도 5, 도 8, 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 반송 경로를 따른 방향에서 볼 때 좌우로 이격되어 한 쌍 설치되고, 좌우 한 쌍의 상면판(23)의 사이에, 반송 경로를 따라 개구부(20G)가 형성되어 있다(도 3, 도 4를 참조).
도 4에 나타낸 바와 같이, 반송 경로를 따른 방향(도 4의 y방향)과 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 폭 방향(도 4의 x방향)으로 하고 있다. 그리고, 브래킷(25)은, 도 5 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 제1 부분(25a)이 지지판(21)에 장착되고, 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 폭 방향에서, 수용 공간(K)의 외측에 있어서, 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 복수 배열되는 상태로 설치되어 있다.
하우징 패널로서의 측판(22)은, 금속판이나 투명 아크릴판에 의해 구성되어 있고, 브래킷(25)의 제2 부분(25b)에 형성된 암나사공에 대응하는 위치에 관통공이 형성되어 있다. 측판(22)은, 관통공을 통하여 제2 부분(25b)의 암나사공과 나사결합되는 수나사를 나사결합시키는 것에 의해 브래킷(25)에 장착되고, 제2 부분(25b)의 암나사공과 수나사와의 나사결합을 해제함으로써 브래킷(25)으로부터 분리(detach)되도록 구성되어 있다. 그리고, 브래킷(25)에 대한 측판(22)의 장착 구조는, 상기와 같은 나사 체결 구조에 한정되는 것이 아니고, 자석이나 드로우 래치(draw latch)를 사용하는 등, 각종 구조를 적용할 수 있다.
이와 같이, 영역 간 컨베이어(Y)는, 하우징 패널로서의 측판(22)을 브래킷(25)에 착탈 가능하게 구성되어 있다.
또한, 측판(22)을 브래킷(25)에 장착하고 있지 않은 상태에 있어서, 하우징(S)에는, 도 4 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 수용 공간(K)의 내부와 외부를 연통시키는 연통부(20K)가 형성된다.
측판(22)은, 상하 방향에 있어서 브래킷(25)의 제2 부분(25b)의 하단으로부터 상단까지의 치수에 대응하여 형성되어 있다. 또한, 측판(22)은, 반송 경로를 따른 방향에서, 인접하는 브래킷(25)의 거리에 대응하는 치수로 형성되어 있다. 연통부(20K)는, 측판(22)의 치수에 대응하여, 상하 방향의 치수가 브래킷(25)의 상하 방향의 치수에 대응하는 치수[구체적으로는, 브래킷(25)의 상하 방향의 폭과 같은 치수]이며, 반송 방향의 치수가 인접하는 브래킷(25)의 거리에 대응하는 치수[반송 방향으로 인접하는 한쪽의 브래킷(25)으로부터 다른 쪽의 브래킷(25)까지의 거리와 같은 치수]로 된다.
즉, 하우징(S)은, 측판(22)을 브래킷(25)에 장착하고 있지 않은 상태에 있어서, 수용 공간(K)의 내부와 외부를 연통시키는 연통부(20K)를 구비하고, 연통부(20K)의 상하 방향의 치수는, 브래킷(25)의 상하 방향의 치수에 대응하는 치수로 설정되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 지지판(21)의 상단에는, 주행 대차(D)의 주행을 안내하는 안내 레일(20R)이 장착되어 있다. 주행 대차(D)는, 반송 대상의 용기(B)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체(54)와, 지지체(54)와 일체로 수용 공간(K)을 주행하는 주행체(50)를 구비하고 있다. 또한, 수용 공간(K)에는, 반송 방향을 따라 연장하도록 텐션이 부여된 상태로 톱니가 형성된 벨트(50B)가 상면판(23)의 아래쪽에 지지되어 있다.
주행체(50)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 아이들링 회전 차륜(50W)을 구비하는 동시에, 톱니가 형성된 풀리(pully)(U2)를 구비하고 있다. 아이들링 회전 차륜(50W)은, 지지판(21)의 상면을 전동 가능하며, 톱니가 형성된 풀리(U2)는, 반송 경로를 따른 방향에서 볼 때 주행체(50)의 측방에 위치하는 톱니가 형성된 벨트(toothed belt)(50B)와 교합(咬合)한다. 톱니가 형성된 풀리(U2)는 주행 구동 모터(51)에 의해 구동되도록 되어 있고, 주행 구동 모터(51)의 회전에 따라 교합되고 있는 톱니가 형성된 벨트(50B)의 설치 방향을 따라 주행 이동한다. 반송 경로를 따른 방향에서 톱니가 형성된 풀리(U2)의 양측에, 톱니가 형성된 풀리(U2)에 대한 톱니가 형성된 벨트(50B)의 권취량을 크게 하기 위한 텐션 풀리(U1)가 설치되어 있다. 그리고, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)에 있어서, 톱니가 형성된 풀리(U2), 텐션 풀리(U1), 및 톱니가 형성된 벨트(50B)는, 상기 제1 영역 간 컨베이어(Y1) 및 제2 영역 간 컨베이어(Y2)의 배열 방향에서 외측으로 되도록 배치되어 있다.
도 6 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 지지체(54)의 상단에는, 용기(B)의 하단에 형성된 위치 결정홈(Bm)과 걸어맞추어지는 위치결정핀(P)이 설치되어 있다. 또한, 상면판(23)에는, 용기(B)의 하단에 형성된 위치 결정홈(Bm)과 걸어맞추어지는 위치결정핀(Q)이 설치되어 있다. 그리고, 상면판(23)의 위치결정핀(P)은, 반송 경로를 따른 방향에서 분산시켜 복수의 개소에 설치된다. 이들 복수의 개소는, 용기(B)를 버퍼링하여 두기 위해서 임시 탑재하는 개소이다.
주행체(50)에는, 지지체(54)를 승강 이동시키는 실린더 기구(機構)(53)가 장착되어 있고, 지지체(54)는, 개구부(20G)를 통해 상면판(23)을 통해 위쪽과 아래쪽으로 통과할 수 있는 치수로 형성되어 있다. 지지체(54)는, 실린더 기구(53)의 작동에 의해, 위치결정핀(P)의 상단이 상면판(23)의 상단보다도 낮은 위치로 되는 하강 위치와, 지지체(54)의 상단이 상면판(23)의 위치결정핀(Q)보다도 높은 위치로 되는 상승 위치로 위치 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 주행 대차(D)는, 실린더 기구(53)의 작동에 의해 지지체(54)를 하강 위치로 전환한 상태에서 상면판(23)에 지지되어 있는 용기(B)의 아래쪽으로 이동한 후, 실린더 기구(53)의 작동에 의해 지지체(54)를 상승 위치로 전환함으로써, 용기(B)와 위치결정핀(Q)과의 걸어맞춤을 해제하고, 그 상태에서 주행체(50)를 주행시킴으로써 용기(B)를 주행 경로를 따라 반송한다. 용기(B)를 상면판(23)에 내려놓는 경우에는, 그 반대의 동작으로 된다.
이와 같은 주행 대차(D)를, 유지보수를 위해 하우징(S)으로부터 인출하는 경우의 작업 수순에 대하여 설명한다. 작업자(W)는, 하우징(S)의 브래킷(25)으로부터 측판(22)을 분리하여, 하우징(S)의 측면과 연통부(20K)를 형성하고, 그 연통부(20K)로부터 수용 공간(K)에 손을 삽입하여, 톱니가 형성된 풀리(U2) 및 텐션 풀리(U1)로부터 톱니가 형성된 벨트(50B)를 분리해 낸다. 또한, 작업자(W)는, 하우징(S)의 브래킷(25)으로부터 단부 폐색체(24)를 분리하여 수용 공간(K)의 단부를 개구하는 개구 상태로 하고, 주행 대차(D)를 상기 수용 공간(K)의 단부의 개구로부터 인출할 수 있다.
본 실시형태에 있어서는, 주행 대차(D) 및 톱니가 형성된 벨트(50B)가 반송 기구부에 상당한다. 즉, 영역 간 컨베이어(Y)는, 반송 대상의 용기(B)를 아래쪽으로부터 지지하여 상기 용기(B)를 반송 경로를 따라 반송하는 반송 기구부를 구비하고 있다. 상기 반송 기구부가, 반송 대상의 용기(B)를 아래쪽으로부터 지지하는 동시에 반송 경로를 따라 이동하는 지지체(54)와, 반송 경로를 따라 수용 공간(K)을 주행하는 주행체(50)를 구비하고 있다. 지지판(21)은 반송 기구부를 아래쪽으로부터 지지하고 있다.
또한, 영역 간 컨베이어(Y)는, 지지체(54)의 일부 또는 전부가, 개구부(20G)를 통해 위쪽으로 돌출 가능하게 구성되어 있다. 영역 간 컨베이어(Y)의 하우징(S)은, 반송 기구부의 일부 또는 전부가 수용되는 수용 공간(K)을 형성하도록 구성되어 있다.
영역 간 컨베이어(Y)는, 또한 주행 대차(D)에서의 주행 구동 모터(51)나 실린더 기구(53) 등을 제어하는 제어 장치가 수용된 수용체(H)를 구비하고 있다(도 1∼도 3, 도 5, 및 도 6 참조).
수용체(H)로서, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)에 대한 제어 장치를 수용하는 제1 수용체(H1)와, 제2 영역 간 컨베이어(Y2)에 대한 제어 장치를 수용하는 제2 수용체(H2)가 설치되어 있다.
제1 수용체(H1) 및 제2 수용체(H2)의 각각은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 경로를 따른 방향에서 하우징(S)의 존재 범위에 있어서 폭 방향에서 하우징(S)의 측방에 배치되어 있다. 또한, 제1 수용체(H1) 및 제2 수용체(H2)의 각각은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상하 방향에서 하우징(S)보다도 위쪽에 배치되어 있다. 즉, 수용체(H)가, 반송 경로를 따른 방향에서 하우징(S)의 존재 범위에 있어서 폭 방향에서 하우징(S)의 측방에 배치되고, 또한 상하 방향에서 하우징(S)과 중복되지 않는 위치에 배치되어 있다. 그리고, 수용체(H)의 설치 형태에 대하여는, 천정으로부터의 현수 지지나 바닥면으로부터 세워 설치된 지주(support members)에 의한 지지 등, 각종 형태를 적용할 수 있다.
또한, 제1 수용체(H1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 경로를 따른 방향에서 제1 영역 간 컨베이어(Y1)에 대한 비중복 부분(E1a)의 존재 범위에 배치되고, 제2 수용체(H2)는, 반송 경로를 따른 방향에서 제2 영역 간 컨베이어(Y2)에 대한 비중복 부분(E1b)의 존재 범위에 배치되어 있다.
이와 같은 구성에 의해, 수용체(H)를 평면에서 볼 때 하우징(S)의 측방에 접근하여 설치하면서도, 반송 기구부의 유지보수를 측방으로부터 적절히 행할 수 있는 영역 간 컨베이어(Y)를 제공할 수 있다.
본 실시형태에서는, 영역 간 컨베이어(Y)는 천정(C)으로부터 현수된 상태로 지지되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 영역 간 컨베이어(Y)의 지지 형태를 이하에 설명한다. 하우징(S)의 바닥부를 구성하는 지지판(21)을 아래쪽으로부터 지지하는 하우징 지지부(A)가, 천정(C)으로부터 현수된 현수 볼트(suspension bolts)(T)에 의해 매달려 지지되어 있다. 하우징 지지부(A)는, 폭 방향에 있어서 하우징(S)의 존재 범위보다 장척(長尺)으로 형성되고, 폭 방향에서의 하우징(S)의 존재 범위와 중복되지 않는 위치에 현수 볼트(T)가 연결되어 있다. 하우징 지지부(A)는, 길이 방향에서 볼 때의 좌우 양단이 아래쪽으로 절곡 형성되어 있다. 이 절곡 부분이 강화 리브(rib)로 되어, 하우징 지지부(A)의 길이 방향의 강도가 강화된다. 그리고, 현수 볼트(T)에는, 상기 현수 볼트(T)의 하단의 높이를 미세 조정하는 조정부(T1)가 설치되어 있다.
즉, 지지판(21)은, 장척형의 하우징 지지부(A)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있다. 하우징 지지부(A)는, 그 길이 방향이 폭 방향(도 4의 x방향)을 따르는 자세이며, 또한 반송 경로를 따른 방향에서 브래킷(25)의 위치에 대응하여 분산 배치되어 있다.
다음에, 천정 반송차(V)와 영역 간 컨베이어(Y)와의 상하 방향의 배치 관계에 대하여 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 레일(R)은, 상기 레일(R)을 이동하는 천정 반송차(V)의 레일 하방 부분의 이동 궤적의 하단이, 교차 부위에 있어서 영역 간 컨베이어(Y)의 상단과 설정 간격 이하의 간격(도 2에서의 L4, L5)으로 되도록 배치되어 있다. 그리고, 천정 반송차(V)의 이동 궤적의 하단의 높이, 반송 대상의 용기(B)의 상하 방향의 치수, 및 영역 간 컨베이어(Y)의 설치 하한 높이를 감안하여, 영역 간 컨베이어(Y)의 하우징(S)의 상하 방향의 치수로서 허용되는 치수가 정해진다.
즉, 도 2에 나타낸 바와 같이, 영역 간 컨베이어(Y)의 아래쪽에 작업자(W)의 작업 영역이 존재하는 경우 등에는, 영역 간 컨베이어(Y)의 하단[상세하게는, 후술하는 하우징 지지부(A)의 하단]이, 작업자(W)의 신장에 기초하여 정의되는 높이보다 높은 위치에 위치할 필요가 있다. 그러므로, 바닥면으로부터의 높이로서 영역 간 컨베이어(Y)의 설치 하한 높이 L1이 정해진다. 또한, 영역 간 컨베이어(Y)가 반송하는 용기(B)와 천정 반송차(V)와의 충돌을 피하기 위해, 영역 간 컨베이어(Y)에 지지되는 용기(B)의 상단의 높이로서 용기 상한 높이 L2가 정해진다. 그리고, 용기 상한 높이 L2와 천정 반송차(V)의 이동 궤적의 하단과의 사이에는, 안전을 위해, 소정의 상하 거리를 가지는 공간을 더 확보하고 있다.
상기와 같은 조건에 따라 하우징(S)의 상하 방향의 치수는, 설치 하한 높이 L1과 용기 상한 높이 L2에 의해 규정되게 된다. 스페이스의 유효 이용을 위해 바닥면으로부터 천정까지의 높이를 최대한 작게 할 필요가 있는 경우, 천정 반송차(V)의 이동 영역의 하단의 높이가 낮아지므로, 용기 상한 높이 L2가 낮아진다. 이와 같은 경우, 하우징(S)의 상하 방향의 치수를 최대한 작게 할 필요가 생기지만, 본 실시형태와 같은 하우징(S)으로 함으로써, 상하 방향의 치수를 최대한 작게 하면서 측방으로부터의 유지보수를 행하기 용이한 영역 간 컨베이어(Y)로 할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 본 발명의 물품 반송 장치를, 2개의 공정 영역 Fb의 천정 반송차(V) 사이에서 용기(B)를 받아건네기 위한 영역 간 컨베이어(Y)에 적용하는 실시형태를 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 본 발명의 물품 반송 장치를, 용기(B)를 보관하는 스토커의 입출고용의 컨베이어에 적용하는 형태라도 된다. 이 경우, 컨베이어의 한쪽 측 단부를 스토커 외부에 위치시켜, 상기 단부에 천정 반송차(V)와의 물품 수수 개소를 설정하고, 다른 쪽 측의 단부를 스토커 내부에 위치시켜, 상기 단부에 스토커 내의 용기 반송 장치[스태커 크레인(stacker crane) 등]와의 물품 수수 개소를 설정한다.
(2) 상기 실시형태에서는, 반송 경로를 따라 주행 가능한 주행 대차(D)를 구비하여 반송 기구부를 구성하는 예를 나타냈으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 반송 롤러를 반송 경로를 따라 복수 배열하여 구비한 롤러 컨베이어에 의해 반송 기구부를 구성해도 된다. 이 경우, 반송 롤러는 반송 경로를 따른 방향에서 볼 때 폭 방향으로 이격되어 한 쌍 설치하는 형태로 할 수 있다. 또한, 이 경우, 반송 롤러의 일부 또는 전부가 개구부(20G)를 통해 상면판(23)보다도 위쪽으로 돌출하게 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 반송 대상의 물품을 반도체 기판 반송용 용기(B)(FOUP)로 하는 예를 나타냈으나, 반송 대상의 물품을 FOUP 이외의 용기(예를 들면, FOSB)나, 레티클(reticle) 반송 용기라도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 본 발명의 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비를 반도체 제조 공장에 적용하는 예를 나타냈으나, 본 발명의 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비를 적용하는 설비는 어떠한 것이라도 되고, 예를 들면, 식품 가공 공장이나 기계 장치 제조 공장 등에 적용할 수 있다. 이 경우, 당연, 반송 대상의 물품은 이들 설비에 의해 취급되는 가공 대상물이나 제조 대상물로 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 브래킷(25)의 형성 방법을, 금속판의 절곡 형성으로 하는 예에 대하여 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 부분(25a), 제2 부분(25b), 제3 부분(25c)을 별체로서 형성하여 서로 용접에 의해 접속하거나, 주조(鑄造)에 의해 일체로 형성하는 등, 각종 형성 방법을 이용해도 된다. 또한, 브래킷(25)의 재질에 대하여도, 금속 이외에 강화 플라스틱이나 세라믹 등 각종 재질을 사용해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 하우징 지지부(A)가 천정(C)으로부터 현수 볼트(T)에 의해 현수된 상태로 지지되는 구성을 설명하였으나, 하우징 지지부(A)가 바닥면으로부터 지주에 의해 지지되는 구성이나, 하우징 지지부(A)가 벽면으로부터 캔틸레버(cantilever) 지지되는 구성으로 해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 측판(22) 및 단부 폐색체(24)를, 하우징(S)에서의 반송 경로를 따른 방향의 단부에 착탈 가능한 부재로서 구성하는 예를 나타냈으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 힌지를 회동(回動) 지점(支点)에 개폐 가능한 도어로서 구성해도 된다. 이 경우, 힌지를 설치하는 개소는, 측판(22)이나 단부 폐색체(24)의 상단이라도 하단이라도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 수용체(H)를 상하 방향에서 하우징(S)보다도 위쪽에 배치하는 구성으로 하였으나, 수용체(H)를 상하 방향에서 하우징(S)보다도 아래쪽에 배치해도 된다. 또한, 수용체(H)가 상하 방향에서 하우징(S)과 중복되어 있어도 된다.
(7) 상기 실시형태에서는, 영역 간 컨베이어(Y)로서 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)를 설치하는 구성으로 하였으나, 영역 간 컨베이어(Y)를 1개만 설치하는 구성으로 해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 영역 간 컨베이어(Y)로서 제1 영역 간 컨베이어(Y1)와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)를 설치하는 경우에 있어서, 수용체(H)로서, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)에 대한 제어 장치를 수용하는 제1 수용체(H1)와, 제2 영역 간 컨베이어(Y2)에 대한 제어 장치를 수용하는 제2 수용체(H2)를 설치하는 구성으로 하였으나, 제1 영역 간 컨베이어(Y1)에 대한 제어 장치와 제2 영역 간 컨베이어(Y2)에 대한 제어 장치를 동일한 수용체에 수용하는 구성으로 해도 된다. 이 경우에도, 수용체는 하우징(S)의 측방으로서 또한 상하 방향에서 하우징(S)과 중복되지 않는 위치에 배치한다.
(8) 상기 실시형태에서는, 이동체로서 천정 반송차(V)를 예시하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 레일(R)을 걸치는 형태로 또한 레일(R)보다도 아래쪽에 위치하는 부분을 구비한 주행차를 이동체로 해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 이동체를, 용기(B)를 반송하고 또한 영역 간 컨베이어(Y)와의 사이에서 상기 용기를 수수하는 천정 반송차(V)로 하였으나, 이동체를, 용기(B) 등의 물품의 반송이 아니고 예를 들면, 설비 감시용의 이동 카메라나 물품 이외의 반송 대상(예를 들면, 사람 등)을 반송하는 반송체로 해도 되고, 레일(R)을 따라 이동하고 또한 레일 하방 부분을 가지는 것이면, 그 용도나 구조은 상관없다.
(9) 상기 실시형태에서는, 지지판(21)을, 나사공 이외에 상하로 관통하는 관통공이 없는 평판형의 부재로 하는 구성을 나타냈으나, 지지판(21)에 나사공 이외의 관통공을 형성해도 된다. 또한, 지지판(21)으로서는, 예를 들면, 펀칭 메탈(punching Metal)과 같이 복수의 관통공을 배열하여 구비한 것이나, 슬릿형의 관통공을 형성한 것을 포함할 수 있다. 또한, 반송 경로를 따른 방향을 따른 봉형체(棒形體), 또는 폭 방향을 따른 봉형체를, 그 길이 방향에 직교하는 방향으로 배열하여 인접하는 봉형체끼리를 연결한 것을 지지판(21)으로서 사용해도 된다.
(10) 상기 실시형태에서는, 하우징(S)의 상부에, 반송 경로를 따라 개구부(20G)를 연속하여 형성하는 구성을 예시하였으나, 하우징(S)의 상부의 개구부(20G)를 반송 경로를 따라 이산적(離散的)으로 복수 구비하는 구성으로 해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 반송 기구부를 주행 대차(D)로 하였으므로, 개구부(20G)로부터 수용 공간에 액세스 가능한 상태로 되어 있지만, 예를 들면, 반송 기구부를 롤러 컨베이어나 벨트 컨베이어로 한 경우에는, 평면에서 볼 때 개구부(20G)의 폭 방향 전체에 걸쳐 롤러나 컨베이어 벨트가 존재하는 구성으로 하고, 개구부(20G)로부터 수용 공간에 액세스할 수 없는 구성으로 해도 된다. 그리고, 반송 기구부를 롤러 컨베이어나 벨트 컨베이어로 한 경우에는, 단부 폐색부를 구비하지 않아도 된다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 반도체 용기 보관 설비의 개요에 대하여 설명한다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 관한 물품 반송 장치는, 반송 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하여 상기 물품을 반송 경로를 따라 반송하는 반송 기구부와, 상기 반송 기구부의 일부 또는 전부가 수용되는 수용 공간을 형성하는 하우징을 구비한 것으로서,
상기 하우징은, 지지판과 브래킷과 하우징 패널을 포함하고, 상기 지지판은, 상기 반송 경로를 따라 연장되어 있는 판형 부재로서 상기 반송 기구부를 아래쪽으로부터 지지하고 있고, 상기 반송 경로를 따른 방향으로 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 브래킷은, 하단부가 상기 지지판에 장착되고, 또한 상기 폭 방향으로, 상기 수용 공간의 외측에 있어서, 상기 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 복수 배열되는 상태로 설치되고, 상기 하우징 패널은, 상기 브래킷에 착탈 가능하며, 상기 하우징은, 상기 하우징 패널을 상기 브래킷에 장착하고 있지 않은 상태에 있어서, 상기 수용 공간의 내부와 외부를 연통시키는 연통부를 구비하고, 상기 연통부의 상하 방향의 치수는, 상기 브래킷의 상하 방향의 치수에 대응하는 치수로 설정되어 있는 점에 특징을 가진다.
즉, 하우징은, 지지판과 브래킷과 하우징 패널을 구비하여 구성되어 있지만, 이 중 반송 경로를 따라 연장되어 있는 판형 부재로 이루어지는 지지판이 반송 기구부를 아래쪽으로부터 지지하고 있고, 브래킷은 하우징의 바닥부를 형성하는 지지판 이외의 외주, 특히 하우징의 측부를 형성하는 하우징 패널을 지지하게 된다. 그리고, 지지판은, 전체가 단일의 평판부로서 구성되어 있어도, 상하 방향으로 관통하는 단일 또는 복수의 관통부를 구비하여 구성되어 있어도 된다.
브래킷은, 그 하단부가 지지판에 장착되는 동시에, 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 설치되므로, 반송 경로를 따른 방향으로 배열되는 브래킷의 사이에는, 브래킷이 존재하지 않는 영역이 형성된다.
따라서, 하우징의 측부를 형성하는 하우징 패널을 브래킷으로부터 분리해 냄으로써, 하우징의 측부에 브래킷이 존재하지 않는 영역에 대응한 연통부가 형성된다. 이 연통부는, 상하 방향의 치수가 브래킷의 상하 방향의 치수에 대응하고, 반송 경로를 따른 방향의 치수가 반송 경로를 따른 방향으로 배열되는 브래킷의 사이의 거리로 되어 있다.
따라서, 작업자가 반송 기구부에 대한 유지보수 작업을 행하는 경우에는, 하우징 패널을 브래킷으로부터 분리해 내는 것에 의해, 연통부로부터 수용 공간에 손을 삽입하는 것이 가능해진다.
한편, 지지판과 브래킷이 하우징의 강도 부재로 되므로, 반송 경로를 따른 장척형의 프레임재를 상하로 배열하지 않고 하우징을 구성할 수 있다. 그러므로, 연통부로서 작업자가 손을 삽입하는 데 충분한 상하 치수의 것을 형성했다고 해도, 하우징의 상하 방향의 치수의 대형화를 억제할 수 있다.
이와 같이, 본 특징적 구성에 의하면, 상하 방향의 치수를 소형화하면서, 측면 측으로부터의 유지보수를 적절히 행할 수 있는 물품 반송 장치를 제공할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 장치에 있어서는, 상기 반송 기구부가, 반송 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 동시에 상기 반송 경로를 따라 이동하는 지지체를 구비하고, 상기 하우징의 상부에, 상기 반송 경로를 따라 개구부가 형성되고, 상기 지지체의 일부 또는 전부가, 상기 개구부를 통해 위쪽으로 돌출되어 있는 것이 바람직하다.
하우징의 상부에 반송 경로를 따른 개구부가 형성되어 있는 경우, 반송 기구부의 유지보수는 이 개구부로부터 행하는 것이 일반적이다. 그러나, 예를 들면, 물품 반송 장치의 위쪽으로 설정된 이동 경로를 이동하는 이동체가 있는 것과 같은 경우, 작업자가 하우징의 상단보다 위쪽에 위치하는 상태로 되면, 상기 이동체가 작업자에게 접촉 또는 충돌할 우려가 있으므로, 하우징보다 위쪽에 위치한 상태에서 물품 반송 장치의 유지보수를 할 수 없는 경우가 있다.
본 특징적 구성에 의하면, 이와 같은 경우라도, 하우징의 측방으로부터 수용 공간 내에 손을 삽입하는 것이 가능하므로, 작업자는 하우징의 상단보다 아래쪽에 위치한 상태에서 물품 반송 장치의 유지보수를 행할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 장치에 있어서는, 상기 지지판이, 장척형의 하우징 지지부에 의해 아래쪽으로부터 지지되고, 상기 하우징 지지부는, 그 길이 방향이 상기 폭 방향을 따른 자세이며, 상기 하우징 지지부는, 또한 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 브래킷의 위치에 대응하여 분산 배치되어 있는 것이 바람직하다.
예를 들면, 하우징의 측면의 하우징 패널에 현수용 부재를 반송 경로를 따른 방향으로 이격시켜 장착하여, 상기 현수용 부재에 의해 하우징을 소정 높이로 지지하는 구성으로 하면, 현수용 부재의 장착 위치에서 하우징 패널이 휘게 될 우려가 있다. 이와 같은 사태를 회피하도록 하면, 반송 경로를 따른 장척형의 프레임재를 구비한 하우징으로 하는 등, 하우징을 보강하는 구성이 필요해진다.
본 특징적 구성에 의하면, 하우징 지지부가 지지판을 아래쪽으로부터 지지하므로, 하우징 패널의 휨이 쉽게 발생하지 않아, 하우징의 외형을 유지한 상태에서 하우징을 소정의 높이로 지지할 수 있다.
또한, 하우징 지지부는 반송 경로를 따른 방향에서 브래킷의 위치에 대응하여 설치된다. 즉, 지지판이 브래킷으로 보강되어 있는 위치에 있어서 하우징 지지부가 지지판을 아래쪽으로부터 지지하므로, 판형의 지지판의 변형을 억제하여 적절히 지지판을 지지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 장치에 있어서는, 상기 반송 기구부가, 상기 반송 경로를 따라 상기 수용 공간을 주행하는 주행체를 구비하고, 상기 하우징은, 상기 반송 경로를 따른 방향에서의 상기 수용 공간의 단부에 단부 폐색부를 구비하고, 상기 단부 폐색부는, 상기 주행체가 통과할 수 있도록 상기 단부를 개구하는 개구 상태와, 상기 단부를 폐색하는 폐색 상태로 전환 가능한 것이 바람직하다.
즉, 단부 폐색부를 개구 상태로 전환함으로써, 수용 공간의 내부에 위치하는 주행체를 하우징의 단부로부터 하우징의 외부로 인출할 수 있다. 그러므로, 반송 기구부의 유지보수를 행하기 용이하다.
본 발명에 관한 물품 반송 장치에 있어서는, 상기 반송 기구부를 제어하는 제어 장치가 수용된 수용체를 더 포함하고, 상기 수용체가, 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 하우징의 존재 범위에 있어서 상기 폭 방향으로 상기 하우징의 측방에 배치되고, 또한 상하 방향에서 상기 하우징과 중복되지 않는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 제어 장치가 수용된 수용체를 폭 방향으로 하우징의 측방에 배치하는데 있어서, 수용체를 상하 방향에서 하우징과 중복되는 위치에 배치하면, 상기 수용체가 방해로 되어 하우징의 측방으로부터 수용 공간에 손을 삽입하기 어렵다. 본 특징적 구성에 의하면, 수용체를 상하 방향에서 하우징과 중복되지 않는 위치에 배치하여, 하우징의 측방의 공간을 개방시키고 있으므로, 작업자는, 하우징의 측면의 하우징 패널을 분리하여 하우징의 측방으로부터 수용 공간에 손을 삽입하기 쉽다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 관한 물품 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비는, 물품 반송 장치로서, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 구비하고, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치는, 각각의 상기 반송 경로가 직선형으로서 서로 평행하게 배치되어 있는 동시에, 상하 방향의 같은 높이에 있어서 서로 인접하도록 배치되고, 상기 수용체로서, 상기 제1 물품 반송 장치에 대한 상기 제어 장치를 수용하는 제1 수용체와, 상기 제2 물품 반송 장치에 대한 상기 제어 장치를 수용하는 제2 수용체를 구비하고, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치는, 상기 반송 경로를 따른 방향에 있어서, 중복 부분과 비중복 부분을 가지고, 상기 제1 수용체는, 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 제1 물품 반송 장치에 대한 상기 비중복 부분의 존재 범위에 배치되고, 상기 제2 수용체는, 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 제2 물품 반송 장치에 대한 상기 비중복 부분의 존재 범위에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치가, 각각의 반송 경로가 직선형으로서 서로 평행하게 배치되어 있는 동시에, 상하 방향의 같은 높이에 있어서 서로 인접하도록 배치되어 있는 경우에도, 제1 물품 반송 장치 및 제2 물품 반송 장치의 각각에 대하여, 하우징의 측방으로부터 유지보수할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 상기 어느 하나의 물품 반송 장치와, 상기 반송 경로의 위쪽에 설치된 레일을 따라 이동하는 이동체를 구비하고, 상기 이동체는, 상기 레일보다도 아래쪽에 위치하는 레일 하방 부분을 가지고, 상기 레일은, 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 경로와 교차하는 교차 부위를 가지고, 상기 레일은, 또한 상기 레일을 이동시키는 상기 이동체의 상기 레일 하방 부분의 이동 궤적의 하단이, 상기 교차 부위에 있어서 상기 물품 반송 장치의 상단과 설정 간격 이하의 간격으로 되도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 물품 반송 장치의 반송 경로의 위쪽에 설치된 레일을 따라 이동하는 이동체에서의 레일 하방 부분의 이동 궤적의 하단이, 교차 부위에 있어서 물품 반송 장치의 상단과 설정 간격 이하의 간격이므로, 물품 반송 설비에서의 상하 방향의 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다.
이와 같은 구성에 있어서는, 물품 반송 장치의 상단과 이동체의 레일 하방 부분의 이동 궤적의 하단과의 거리가 가까우므로, 작업자가 물품 반송 장치의 하우징의 위쪽으로부터 상기 물품 반송 장치의 유지보수를 행하면, 이동체가 작업자에게 접촉 또는 충돌할 우려가 있다. 그러므로, 작업자가 물품 반송 장치의 하우징의 위쪽으로부터 상기 물품 반송 장치의 반송 기구부의 유지보수를 행하는 경우에는, 유지보수 기간 중에 이동체의 가동을 정지하지 않으면 안된다.
본 특징적 구성에 의하면, 물품 반송 장치의 유지보수를 하우징의 측방으로부터 행할 수 있으므로, 작업자는, 신체를 물품 반송 장치의 하우징보다 위쪽에 위치시키지 않아도 유지보수를 행할 수 있다. 그러므로, 물품 반송 장치의 유지보수를 행할 때, 이동체의 가동을 정지시킬 필요가 없다.
그러므로, 설비에서의 상하 방향의 스페이스를 유효하게 이용하면서, 물품 반송 장치의 반송 경로의 위쪽에 설치된 레일을 따라 이동하는 이동체의 가동 효율의 저하를 억제할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
20G: 개구부
20K: 연통부
21: 지지판
22: 측판(하우징 패널)
24: 단부 폐색체
25: 브래킷
50: 주행체
54: 지지체
A: 하우징 지지부
B: 용기(물품)
E1a: 비중복 부분
E1b: 비중복 부분
H: 수용체
H1: 제1 수용체
H2: 제2 수용체
K: 수용 공간
S: 하우징
R, R1, R2: 레일
V, V1, V2: 천정 반송차(이동체)
Y: 영역 간 컨베이어(물품 반송 장치)
Y1: 제1 영역 간 컨베이어(제1 물품 반송 장치)
Y2: 제2 영역 간 컨베이어(제2 물품 반송 장치)

Claims (7)

  1. 반송(transport) 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하여 상기 물품을 반송 경로를 따라 반송하는 반송 기구부; 및
    상기 반송 기구부의 일부 또는 전부가 수용되는 수용 공간을 형성하는 하우징(housing);
    을 포함하고,
    상기 하우징은, 지지판과 브래킷(bracket)과 하우징 패널을 구비하고,
    상기 지지판은, 상기 반송 경로를 따라 연장되어 있는 판형 부재로서 상기 반송 기구부를 아래쪽으로부터 지지하고 있고,
    상기 반송 경로를 따른 방향으로 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 폭 방향으로 하고,
    상기 브래킷은, 하단부가 상기 지지판에 장착되고, 또한 상기 폭 방향에서, 상기 수용 공간의 외측에 있어서, 상기 반송 경로를 따른 방향으로 간격을 두고 복수 배열되는 상태로 설치되고,
    상기 하우징 패널은, 상기 브래킷에 착탈(着脫) 가능하며,
    상기 하우징은, 상기 하우징 패널을 상기 브래킷에 장착하고 있지 않은 상태에 있어서, 상기 수용 공간의 내부와 외부를 연통시키는 연통부를 구비하고,
    상기 연통부의 상하 방향의 치수는, 상기 브래킷의 상하 방향의 치수에 대응하는 치수로 설정되어 있는,
    물품 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 기구부가, 반송 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 동시에 상기 반송 경로를 따라 이동하는 지지체를 구비하고,
    상기 하우징의 상부에, 상기 반송 경로를 따라 개구부가 형성되고,
    상기 지지체의 일부 또는 전부가, 상기 개구부를 통해 위쪽으로 돌출되어 있는, 물품 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 지지판이, 장척형(長尺形)의 하우징 지지부에 의해 아래쪽으로부터 지지되고,
    상기 하우징 지지부는, 그 길이 방향이 상기 폭 방향을 따른 자세이며,
    상기 하우징 지지부는, 또한 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 브래킷의 위치에 대응하여 분산 배치되어 있는, 물품 반송 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반송 기구부가, 상기 반송 경로를 따라 상기 수용 공간을 주행하는 주행체를 구비하고,
    상기 하우징은, 상기 반송 경로를 따른 방향에서의 상기 수용 공간의 단부(端部)에 단부 폐색부(閉塞部)를 구비하고,
    상기 단부 폐색부는, 상기 주행체가 통과할 수 있도록 상기 단부를 개구하는 개구 상태와, 상기 단부를 폐색하는 폐색 상태로 전환 가능한, 물품 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반송 기구부를 제어하는 제어 장치가 수용된 수용체를 더 포함하고,
    상기 수용체가, 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 하우징의 존재 범위에 있어서 상기 폭 방향으로 상기 하우징의 측방에 배치되고, 또한 상하 방향에서 상기 하우징과 중복되지 않는 위치에 배치되어 있는, 물품 반송 장치.
  6. 제5항에 기재된 물품 반송 장치로서, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 더 포함하고,
    상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치는, 각각의 상기 반송 경로가 직선형으로서 서로 평행하게 배치되어 있는 동시에, 상하 방향의 같은 높이에 있어서 서로 인접하도록 배치되고,
    상기 수용체로서, 상기 제1 물품 반송 장치에 대한 상기 제어 장치를 수용하는 제1 수용체와, 상기 제2 물품 반송 장치에 대한 상기 제어 장치를 수용하는 제2 수용체를 구비하고,
    상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치는, 상기 반송 경로를 따른 방향에 있어서, 중복 부분과 비중복 부분을 포함하고,
    상기 제1 수용체는, 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 제1 물품 반송 장치에 대한 상기 비중복 부분의 존재 범위에 배치되고,
    상기 제2 수용체는, 상기 반송 경로를 따른 방향에서 상기 제2 물품 반송 장치에 대한 상기 비중복 부분의 존재 범위에 배치되어 있는,
    물품 반송 설비.
  7. 제1항 또는 제2항에 기재된 물품 반송 장치; 및
    상기 반송 경로의 위쪽에 설치된 레일을 따라 이동하는 이동체;
    를 포함하고,
    상기 이동체는, 상기 레일보다도 아래쪽에 위치하는 레일 하방 부분을 포함하고,
    상기 레일은, 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 경로와 교차하는 교차 부위를 포함하고,
    상기 레일은, 또한 상기 레일을 이동시키는 상기 이동체의 상기 레일 하방 부분의 이동 궤적의 하단(下端)이, 상기 교차 부위에 있어서 상기 물품 반송 장치의 상단(上端)과 설정 간격 이하의 간격으로 되도록 배치되어 있는,
    물품 반송 설비.
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